JP4399240B2 - プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、プラズマディスプレイパネルの封着に関し、特に、前面板と背面板の間隙を一定に規定できる封着構造に関する。

プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰとする）の両基板の封着構造に関する背景技術としては、特開２０００−８２４０１号に開示されるものがある。

かかる封着（封止ともいう）技術は、封着材を介して重ね合わせた前面基板と背面基板の基板間空隙を排気して減圧状態としながら当該封着材を融着させる加熱及び冷却を行うものであり、減圧による空隙内外の圧力差によって両基板が溶融状態の封着材を押し潰しながら空隙内の放電空間区画用隔壁の高さまで引き寄せられて、かつその隔壁で間隙規定された状態の両基板が封着材の融着によって接合され封着が行われる構成である。この封着技術によれば、封着材を押し潰すための両基板に対する外部圧力（強力なバネ力を持つクリップによる圧力）が必要なくなるので基板に局部的なストレスをかけずに封着可能となるとともに、封着時間の大幅な短縮が可能となる。
特開２０００−８２４０１号

上記特開２０００−８２４０１号に開示された封着技術では、封着材が焼結していない溶解状態で基板間空隙が減圧状態となるため、その減圧力が大きくなった時は溶融状態にある封着材の一部が当該空隙内に吸い込まれて流出する事態が生じることにより、焼結後の封着材による基板間間隔（封止部の高さ）が隔壁による基板間間隔（放電空間の間隙）よりも低くなり、その結果として隔壁の中央部において基板内面との間に隙間が生じ基板の相対的移動を可能とすることから、表示動作中に基板間振動を誘発するという課題がある。

本発明は、かかる課題を解決するためになされたもので、封止部の高さを正確に規定できるプラズマディスプレイパネルの封着構造を提供することを目的とする。

本発明に係るプラズマディスプレイパネルは、対向する前面板と背面板の片方に放電空間を区画する隔壁を備え、背面板又は前面板の片方の基板の表示領域の外側に該表示領域を囲むように前記隔壁の高さより２０〜４０μｍ低い外周隔壁を設け、当該外周隔壁の頂部から内側壁部までに封着材を形成し、外周隔壁と前面板との間の外周隔壁と隔壁の高さの差分に相当する間隙に残存する前記封着材により前面板と背面板を貼合しているものである。このように本発明においては、外周隔壁が表示領域の外側に該表示領域を囲むように前記隔壁と同時に形成され、当該外周隔壁の頂部から内側壁部までに封着材を形成し前面板と背面板を貼合しているので、外周隔壁を形成して封着材と外周隔壁とで封着構造をなし封着材の加熱により生じる不純ガスを低減化し、隔壁と同じ高さの外周隔壁で封着して両基板の間隙を規定し振動による音の発生を防止できると共に外周隔壁と隔壁が同一材質で同時に形成され別途外周隔壁のための機器の導入費用を必要とせず、且つ、作業性もよく、隔壁と同一材質からなり同一原料を用いることができて生産コストも抑えることができ、さらに、隔壁と同様に形成されたポーラス状の外周隔壁を表示領域内から覆って密閉性を高めることができる。
また、前記外周隔壁が、前記隔壁の高さより低いので、外周隔壁の頂部及び表示領域内の側壁に封着材の低融点ガラスペーストを塗布し両基板を貼り合せたときに、低融点ガラスが両基板に挟まれて押圧されて外周隔壁の幅方向に流出するが、外周隔壁と前面板との間には外周隔壁と隔壁の高さの差分だけ間隙が生じており、この間隙に低融点ガラスペーストが残存し、十分な接着性と密閉性とを実現することができる。

また、本発明に係るプラズマディスプレイパネルは、対向する前面板と背面板の片方に放電空間を区画する隔壁を備え、背面板又は前面板の片方の基板の表示領域の外側に該表示領域を囲むように前記隔壁の高さより２０〜４０μｍ低い外周隔壁を設け、当該外周隔壁の頂部から外側壁部までに封着材を形成し、外周隔壁と前面板との間の外周隔壁と隔壁の高さの差分に相当する間隙に残存する前記封着材により前面板と背面板を貼合しているものである。このように本発明においては、外周隔壁が表示領域の外側に該表示領域を囲むように前記隔壁と同時に形成され、当該外周隔壁の頂部から外側壁部までに封着材を形成し前面板と背面板を貼合しているので、同様に不純ガスの低減化、基板間隙の規定並びに作業量及び製造コストの抑制を実現できると共に、この封着材となる低融点ガラスペーストを外周隔壁の頂部から外側壁部まで塗布し焼成しているとき外側壁部で不純ガスが生じて不純ガスが表示領域内で略生じず、より不純ガスの悪影響を低下させることができ、また、外周隔壁の頂部に低融点ガラスペーストを塗布した後に別途塗布することができ、例えば、前面板と背面板とを貼り合わせクリップで固定し焼成し、放電空間を真空状態にするべく排気した場合に、所定の真空状態とならなかったときに、外周隔壁の外側壁部に封着材の低融点ガラスペーストを塗布し焼成することができ、不良のＰＤＰを廃棄することなく正常なＰＤＰとすることができる。

また、本発明に係るプラズマディスプレイパネルは、対向する前面板と背面板の片方に放電空間を区画する隔壁を備え、背面板又は前面板の片方の基板の表示領域の外側に該表示領域を囲むように前記隔壁の高さより２０〜４０μｍ低い外周隔壁を設け、当該外周隔壁の内側壁部から頂部を介して外側壁部までに封着材を形成し、外周隔壁と前面板との間の外周隔壁と隔壁の高さの差分に相当する間隙に残存する前記封着材により前面板と背面板を貼合しているものである。このように本発明においては、外周隔壁が表示領域の外側に該表示領域を囲むように前記隔壁と同時に形成され、当該外周隔壁の内側壁部から頂部を介して外側壁部までに前面板と背面板を接着するための封着材を形成し前面板と背面板を貼合しているので、同様に不純ガスの低減化、基板間隙の規定並びに作業量及び製造コストの抑制を実現できると共に、外周隔壁の頂部及び両側壁に精度よく塗布しなくてもよく、大まかに外周隔壁を中心にして低融点ガラスペーストを塗布することができ作業性が著しく向上する。

また、本発明に係るプラズマディスプレイパネルは必要に応じて、前記前面板、背面板及び封着材によりに形成される空間の角部分に外周隔壁を設けないものである。このように本発明においては、前記前面板、背面板及び封着材によりに形成される空間の角部分に外周隔壁を設けないので、角部分に外周隔壁を設ける場合には、外周隔壁も角状に形成するために外周隔壁となる低融点ガラスペーストが角状に形成にされ、この角状に形成された低融点ガラスペーストを焼成すると、低融点ガラスペースト中の有機溶媒やバインダーがなくなって体積収縮し、その体積収縮により外周隔壁の角部分も隔壁の長手方向に引張られ、そのため角部分の中心部が盛り上がり角部分以外の外周隔壁の高さより高くなり通常であれば高さ調整を必要とするところであるが、角部分がないために外周隔壁の高さが一定となって適切に基板間隙を規定することができる。ここで、前記空間の角部分とは、ＰＤＰを上面から見た場合に形成されている角（直線的に曲がっているところ）部分であり、原則的には、封着材が形成されている部分を上面から見ると現れる矩形の四隅を指す。

また、本発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、対向する前面板と背面板を重ね合わせた後クリップにて仮固定するときに、当該クリップが隔壁群のうちの最外側に位置する隔壁の上を押圧するものである。このように本発明においては、クリップで前面板と背面板とを仮固定するときに、隔壁群のうちの最外側に位置する隔壁の上を押圧の上を押圧しているので、外周隔壁が隔壁より低く形成された場合に、表示領域内は隔壁により両基板の間隙が規定されており、また、外周隔壁を低く形成した部分に適切に封着材が形成される。すなわち、外周隔壁が隔壁より低く形成された場合に、外周隔壁をクリップで仮固定するとクリップの押圧力にもよるが、低く形成した分だけ外周隔壁部分の両基板の間隙が小さくなり、両基板全面に渡って両基板の間隙を一定に規定することができなくなる。

（本発明の第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態に係るＰＤＰについて図１ないし図４に基づき説明する。図１は本実施形態に係るＰＤＰの背面板の上面図、図２は本実施形態に係る背面板の外周隔壁周辺の要部断面図、図３は本実施形態に係るＰＤＰの要部斜視図、図４は本実施形態に係るＰＤＰの両基板貼り付け後の外周隔壁周辺の要部断面図である。

前記各図において、本実施形態に係るＰＤＰは、一対の表示電極１２が複数形成された前面板１０とアドレス電極２２が複数形成された背面板２０とを対向して配置し、これら複数の交差する表示電極１２とアドレス電極２２とが対応して３電極構造をなして表示領域４０を有し、前面板１０及び背面板２０間の隔壁２４で区画された放電空間にキセノンをネオンに混合した放電ガスを封入した構成で、特に、背面板２０の表示領域の外側の基板周辺に枠状の外周隔壁３０を隔壁２４と共に形成し、この外周隔壁３０の頂部３０ａから内側壁部３０ｂまでに前面板１０と背面板２０を接着するための封着材３１を形成し前面板１０と背面板２０を貼合している点に特徴を有するものである。なお、表示領域４０の外側には数本のダミー隔壁（図示せず）が前記隔壁２４と同時形成にて隣接して設けられている。

前記前面板１０は、ガラス基板１１上に表示電極１２が形成され、この表示電極１２上に誘電体層１３が形成され、この誘電体層１３の上には保護膜１４が形成されている。面放電を発生する１対の表示電極１２はガラス基板１１上に平行して形成され、透明導電膜１２ａとこの透明導電膜１２ａの導電性を補うべく高い導電性を有するバス電極１２ｂとからなる。誘電体層１３は壁電荷による放電を維持するためのものであり、数十［μｍ］の膜厚を有する低融点ガラスからなる。保護膜１４はＭｇＯからなり、誘電体層１３の上に数千［Å］の膜厚を有する。

前記背面板２０は、ガラス基板２１上にアドレス電極２２がストライプ状に形成され、このアドレス電極２２の上に誘電体層２３が形成され、さらにこの誘電体層２３の上にストライプ状に形成されたアドレス電極２２間に隔壁２４が形成されている。アドレス電極２２はＣｒ、Ｃｕ、Ｃｒの順の複数層の膜からなる。隔壁２４は、膜厚が１５０［μｍ］ないし２００［μｍ］であって、フィラーが含有した低融点ガラスからなる。この隔壁２４間には誘電体層２３の上及び隔壁側壁を覆うように蛍光体層２５が形成される。この蛍光体層２５は赤、緑、青の３色があり隔壁２４間に順に連続して形成されている。駆動時には、表示電極対による放電によって短波長の紫外線が生じ、この紫外線で励起されて蛍光体層２５が発光して表示がなされる。

以上、前面板１０及び背面板２０の基本的構造について説明したが、前記したように本実施形態に係るＰＤＰは以下説明する外周隔壁３０及び封着材３１に特徴を有する。外周隔壁３０は表示領域４０の外側にそれを囲むように形成されている。前面板１０及び背面板２０の表示領域４０には隔壁２４で区画された放電空間４１が構成されている。この放電空間４１内に放電ガスが封入されており、放電ガスが外部に洩れないようにするために、一般的には、前面板１０と背面板２０間の周辺部を封着材３１を用いて封止している。すなわち、前面板１０のガラス基板１１、背面板２０のガラス基板２１及び封着材３１の低融点ガラス３１ａにより放電ガスがもれないようにしている。しかし、封着時に封着材３１を融着させるべく加熱した際に不純ガスが発生し、この不純ガスにより前面板１０の保護膜１４や背面板２０の蛍光体層２５が影響を受ける。よって、本実施形態に係るＰＤＰにおいては、従来封着材３１のみで構成されていた封着構造に、外周隔壁３０追加し、封着材３１の構成比率を減らすことで、封着材３１の焼成時に発生する不純ガスの低減化を図った。さらに、封着材３１だけであれば、両基板の貼り合せ時に両基板に容易に押し潰されて確実に基板間隙を規定することができないため、貼り合せ時に既に焼成され十分な硬さを持った外周隔壁３０を形成することでより確実に基板間隙を規定できるようにした。

外周隔壁３０は、隔壁２４と同じ高さであり、前記隔壁２４と同一材質からなって隔壁２４と同時に背面板２０に形成する。したがって、隔壁形成工程内で同時に形成することができ、隔壁２４を形成するための装置でそのまま外周隔壁３０を形成することができる。すなわち、既存装置を用いるので、新たな装置の購入費用が発生せず、同一装置で連続して外周隔壁３０を形成することができるので作業性の観点からも優れている。また、隔壁２４と同一材質であり別途原料を用意する必要もない。隔壁２４の形成方法としては、サンドブラスト法が一般的であるが、他の方法を用いても、隔壁２４と同一材質からなり同時に同じ背面板２０に形成するので、前記したよう経済性・作業性のメリットを得ることができる。サンドブラス法以外の他の方法は、例えば、印刷ペーストを複数回重ねて印刷して焼成する印刷法、感光性ドライフィルムフォトレジストをガラス基板２１全体に貼付し露光して生じた隙間に低融点ガラスペーストを流入させて残りの感光性ドライフィルムフォトレジストを除去するアディティブ法及び低融点ガラスペーストを塗布し型押し成形する型押法がある。

封着材３１は、このような外周隔壁３０の頂部３０ａから内側壁部３０ｂまでに塗布され、前面板１０と背面板２０を接着する。封着材３１が外周隔壁３０の頂部３０ａに塗布されるのは、封着材３１により外周隔壁３０と前面板１０とを接着するためである。また、封着材３１が外周隔壁３０の内側壁部３０ｂに塗布されるのは、接着するためではなく、焼成されてポーラス状に形成されている外周隔壁３０を表示領域内部から覆って密封性を向上させるためである。したがって、放電空間４１に面する外周隔壁３０の全ての内側壁に封着材３１が形成される必要がある。封着材３１は、ディスペンサ等により塗布するのであるが、外周側壁３０に直接塗布してもよいし、前面板１０の背面板２０の外周側壁３０に対応する位置に塗布してもよいし、さらには、そのどちらにも塗布してもよく、前面板１０と背面板２０とを貼付したときに、図４に示すように形成されていればよい。但し、図４は加熱融着前の封着材について図示してあり、なお加熱して焼結すると塗布された封着材はこの図４の封着材より小さくなる。このようにバインダ等が消失する分まで考慮して封着材３１を塗布する必要がある。ディスペンサ方式以外にも、スクリーン版を用いた印刷方式により封着材３１を形成してもよい。

隔壁２４は、材質的には、低融点ガラスフリット、バインダ、溶剤、アルミナ等のフィラーを混入させた低融点ガラスペーストを焼成したものであり、外周隔壁３１も同様である。一方、封着材３１は、材質的には、低融点ガラスフリット、バインダ、溶剤、鉛等のフィラーを混入させた低融点ガラスペースト３１ａを焼成したものである。外周隔壁３０と封着材３１の材質的相違点は、構成比率を別として、主にフィラーの種類による。隔壁２４は単位発光領域を構成し、前面板１０を支持すべくある程度の高さをもった所定形状としなければならず、外周隔壁２４も両基板の間隙を規定するためにある程度の高さをもった所定形状としなければならない。このことから隔壁２４と外周隔壁３０は、ある程度の高さをもった所定形状を維持するために、アルミナ等のフィラーを必要とする。他方、封着材３１は、前面板１０と背面板２０とを接着し、放電空間４１の気密性を保つ必要があるので、焼成後にポーラス状となるフィラーを混入してはいけない。また、封着材３１は、隔壁２４及び外周隔壁３０と同時に焼成（加熱）されるのではなく、隔壁２４及び外周隔壁３０が焼成されて背面板２０を作成し、前面板１０と背面板２０とを貼り合わせた後に焼成され、隔壁２４及び外周隔壁３０を再び軟化させないために封着材３１の焼成温度が隔壁２４及び外周隔壁３０の焼成温度より低くしないといけないので、Ｐｂ、Ｂｉ、Ｚｎ、Ｐ又はＳｎの酸化物を混入する。

次に、本実施形態に係るＰＤＰの形成方法について説明する。形成方法を大まかに分けると、前面板１０の製造工程、背面板２０の製造工程、並びに、貼り合わせ、封着、排気及び放電ガスの封入からなる組立工程からなる。

前面板１０の製造工程は、まず、ガラス基板１１の全面にスパッタリングにより酸化スズ（ＳｎＯ２）やインジウムとスズの合金酸化膜（ＩＴＯ）等の薄膜を成膜し、ファトリソグラフィでパターン形成して透明導電膜１２ａを形成する。透明導電膜１２ａをガラス基板１１に形成した後、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｃｒの３層をスパッタリングにより成膜し、ファトリソグラフィでパターン形成してバス電極１２ｂを形成する。透明導電膜１２ａとバス電極１２ｂが形成されたガラス基板１１の全面に低融点ガラスペーストをベタ印刷して誘電体層１３を形成する。前面板１０の製造工程の最後に、真空蒸着等の蒸着法により、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を成膜し、保護膜１４を形成する。

背面板２０の製造工程は、まず、銀（Ａｇ）やアルミニウム（Ａｌ）を材料として、スパッタリングにより薄膜をガラス基板２１全面に形成し、ファトリソグラフィによりパターン形成してアドレス電極２２を形成する。アドレス電極２２が形成されたガラス基板２１の全面に低融点ガラスペーストを印刷して焼成し所定厚みの誘電体層２３を形成する。次に、隔壁２４と外周隔壁３０をすべく、最初に、低融点ガラスペーストをスクリーン印刷法等によりアドレス電極２２を形成したガラス基板２１の全面に塗布する。この塗布した低融点ガラスペーストの上に金属研磨材の切削に耐えうるドライフィルムフォトレジストを貼付け、ファトマスクを介して露光、現像を行って、レジストを隔壁２４形成部分及び外周隔壁３０形成部分にパターン形成する。レジストがパターン形成されたガラス基板２１に対して、サンドブラスト装置により金属研磨材を射出し、レジストがパターン形成されていない低融点ガラスペースを切削する。切削後、レジストを除去することで、ガラス基板２１の隔壁２４形成部分及び外周隔壁３０形成部分に所定形状になされた低融点ガラスペーストが形成される。この状態で背面板２０を焼成炉に搬入し、５００ないし６００［℃］で焼成する（焼成前に乾燥工程がなされる場合がある）。この焼成により所定形状の低融点ガラスペーストが焼結し、バインダと溶媒が揮発し、隔壁２４及び外周隔壁３０を形成する。ストライプ状に形成された隔壁２４間に蛍光体ペーストを充満するように充填し、乾燥・焼成して蛍光体層２５を形成する。

組み立て工程は、外周隔壁３０の内側壁部３０ｂ及び外周側壁３０の頂部３０ａにディスペンサを用いて封着材の低融点ガラスペーストを塗布する。塗布した後に必要に応じて低融点ガラスペーストを乾燥・焼成する（ここでの焼成は形状を保つための焼成であり、完全に焼結させるためのものではない）。この低融点ガラスペーストを塗布した背面板２０と前記前面板１０とを対向させ、位置決めしてクリップにより仮固定をする。両基板の封着は放電空間を排気しかつ放電ガスを充填するための基板上の通気孔を利用して行なう。すなわち通気孔から排気を行い放電空間を減圧する。このように減圧しているために、両基板を相互に近づけるような吸引力が生じる。この減圧した状態で貼り合せた両基板を焼成炉で４００［℃］前後で焼成する。この焼成により低融点ガラスペーストが焼結し、外周隔壁３０の内側壁部３０ｂ及び外周側壁３０の頂部３０ａに封着材３１が形成され両基板が封着される。最後に、ガラス基板１１、１２及び封着材３１で密閉された放電空間から排気して真空状態にして、ネオン（Ｎｅ）やキセノン（Ｘｅ）の放電ガスを封入する。ここでクリップで仮固定するとしたが、外周隔壁３０が形成され、この外周隔壁３０が両基板の間隙を規定できるので、両基板の表示領域４０部分でなくて外周隔壁３０部分をクリップで押圧する。このように外周隔壁３０部分をクリップで押圧し、例え若干損傷が生じたとしても外周隔壁３０としての機能を果たすことができれば、プラズマディスプレイパネルの表示等に与える影響はない。一方で、隔壁２４をクリップで押圧した場合で損傷が生じた場合には、特に、前面板１０の場合には表示に直接影響を与え、場合によりプラズマディスプレイパネル自体を破棄しなければならなくなり、歩留りが著しく悪化する。

このように本実施形態に係るＰＤＰによれば、背面板２０の表示領域の外側に枠状の外周隔壁３０を隔壁２４と共に形成し、この外周隔壁３０の頂部３０ａから内側壁部３０ｂまでに前面板１０と背面板２０を接着するための封着材３１を形成し前面板１０と背面板２０を貼合しているので、外周隔壁３０を形成して封着材３１と外周隔壁３０とで封着構造をなし封着材３０の焼成により生じる不純ガスを低減化し、隔壁２４と同じ高さの外周隔壁３０で封着して両基板の間隙を規定し振動による音の発生を防止し、隔壁２４と同様に形成されたポーラス状の外周隔壁３０を表示領域４０内から覆って密閉性を高めることができる。また、隔壁２４と同一材質で構成し、同時に形成しているので、低融点ガラスペーストを塗布する装置、サンドブラスト装置等の隔壁２４を形成するための装置を別途装置を用意することなく用いて、隔壁２４と同時に形成しており、機器の導入費用を必要とせず、且つ、作業性もよく、隔壁２４と同一材質からなり同一原料を用いることができて生産コストも抑えることができる。

なお、本実施形態に係るＰＤＰにおいては、外周隔壁３０を背面板２０に形成しているが、前面板１０に外周隔壁３０を形成することもできる。
また、本実施形態に係るＰＤＰにおいては、両基板を貼り合せ後に減圧した状態で焼成しているが、従来通り、両基板を貼り合せした後に焼成し、排気減圧し放電ガスを封入してもよく、この場合では減圧による両基板からの押し潰しはなくなるものの、クリップによる押圧による押し潰しが強く働くために、外周隔壁３０で表示領域の端近傍をしっかりと支持し基板間隙を規定することができる。

（本発明の第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係るＰＤＰについて説明する。
本実施形態に係るＰＤＰは、一対の表示電極１２が複数形成された前面板１０とアドレス電極２２が複数形成された背面板２０とを対向して配置し、これら複数の交差する表示電極１２とアドレス電極２２とが対応して３電極構造をなして表示領域４０を有し、前面板１０及び背面板２０間の隔壁２４で区画された放電空間にキセノンをネオンに混合した放電ガスを封入した前記第１の実施形態と同様の構成で、背面板２０の表示領域４０の外側に枠状の外周隔壁３０を形成し、当該外周隔壁３０の頂部３０ａから外側壁部３０ｃまでに前面板１０と背面板２０を接着するための封着材３１を形成し前面板１０と背面板２０を貼合している点に相違を有するものである。

本実施形態に係るＰＤＰと前記第１の実施形態に係るＰＤＰとの相違は、端的に説明すると、前者が封着材３１を外側壁部３０ｃに形成しているのに対し、後者が封着材３１を内側壁部３０ｂに形成していることである。この形成位置の相違の他に、形成方法においても違いはないが、他の形成方法を用いることができる。すなわち、封着材３１を外周隔壁３０の外側壁部３０ｃに形成すればよいので、外周隔壁３０の頂部３０ａに低融点ガラスペーストを塗布した後、前面板１０と背面板２０とを貼り合せてクリップで固定した後に、貼り合せた前面板１０と背面板２０との隙間から封着材の低融点ガラスペーストを外周隔壁３０の外側壁部３０ｃに塗布することができる。このように低融点ガラスペーストを外周隔壁３０の外側壁部３０ｃに塗布するのは、前面板１０と背面板２０とを貼り合せた後、放電ガスを封入する前までに行うことができる。例えば、外周隔壁３０の頂部３０ａに塗布した低融点ガラスペーストを焼成した後に、この低融点ガラスペーストより融点の低い低融点ガラスペーストを外周隔壁３０の外側壁部３０ｃに塗布し、この低融点ガラスペーストだけを焼成することもできる。

このように本実施形態に係るＰＤＰによれば、背面板２０の表示領域４０の外側に枠状の外周隔壁３０を形成し、当該外周隔壁３０の頂部３０ａから外側壁部３０ｃまでに前面板１０と背面板２０を接着するための封着材３１を形成し前面板１０と背面板２０を貼合しているので、前記第１の実施形態に係るＰＤＰの効果に加えて、この封着材３１となる低融点ガラスペーストを外周隔壁３０の頂部３０ａから外側壁部３０ｃまで塗布し焼成しているとき外周隔壁３０の外側壁部３０ｃで不純ガスが生じて不純ガスが表示領域４０内で略生じずより不純ガスの悪影響を低下させることができ、また、外周隔壁３０の頂部３０ａに低融点ガラスペーストを塗布した後に別途塗布することができ、例えば、前面板１０と背面板２０とを貼り合わせクリップで固定し、放電空間を真空状態にするべく排気した場合に、所定の真空状態とならなかったときに、外周隔壁３０の外側壁部３０ｃに低融点ガラスペーストを塗布し焼成することができ、不良のＰＤＰを廃棄することなく正常なＰＤＰとすることができる。

なお、本実施形態に係るＰＤＰにおいて、封着材３１を外周隔壁３０の内側壁部３０ｂから頂部３０ａを介して外側壁部３０ｃまでに形成し（図５参照）、前面板１０と背面板２０を貼合することもでき、外周隔壁３０の頂部３０ａ及び両側壁に精度よく塗布しなくてもよく、大まかに外周隔壁３０を中心にして低融点ガラスペーストを塗布することができ作業性が著しく向上する。なるべく、パネル内部に封着材の低融点ガラスペーストを塗布しないように、外周隔壁３０の外側壁部３０ｃを中心に塗布することが好ましい。

（本発明の第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態に係るＰＤＰについて説明する。
本実施形態に係るＰＤＰは、前記第１の実施形態に係るＰＤＰと同様に構成するが、枠上の外周隔壁３０が、放電空間を区画する隔壁２４の高さより２０［μｍ］低く形成されている。

前記外周隔壁３０が隔壁２４より低く形成されると、外周隔壁３０の頂部３０ａに塗布できる封着材３１の低融点ガラスペーストの量を多くすることができる。すなわち、外周隔壁３０の高さを変更することによって、外周隔壁３０の頂部３０ａに塗布される低融点ガラスの塗布量を調整することができる。しかし、あまりにも外周隔壁３０が隔壁２４より低くすると、不純ガスの発生の低減化及び基板間の間隙の規定といった効果が働かなくなるので、おおよそ４０［μｍ］程度までが望ましい。

このように外周隔壁３０を隔壁２４より低く形成するためには、以下のような方法で形成できる。隔壁２４及び外周隔壁３０の材料である低融点ガラスをアドレス電極２２の上の誘電体層２３に塗布する場合に、隔壁形成部分から基板の縁に向かって低くなるように塗布することで、後の工程は前記第１の実施形態に係る背面板２０の製造工程と同様に行って、隔壁２４より低い外周隔壁３０を形成することができる。ここで、隔壁形成部分から基板の縁に向かって低くなるように塗布としたが、外周隔壁形成部分だけを低く低融点ガラスペーストを形成できればよい。他には、サンドブラスト法でなく、型押で行うときには、より単純に、隔壁より低い外周隔壁３０の形状となるような型を用いることができる。

また、両基板をクリップで仮固定するとき、前記第１の実施形態のように両基板の外周隔壁３０部分をクリップで仮固定するのではなく、隔壁２４群のうちのダミー隔壁と呼ばれる外側の隔壁をクリップで仮固定することが望ましい場合がある。特に、両基板の間隙を小さくする程にクリップの押圧力が強い場合には、本実施形態に係る外周隔壁３０は隔壁２４より低く形成されており、外周隔壁３０部分を押圧されると両基板の間隙が小さくなって間隙を適切に規定することができない。さらには、折角外周隔壁３０を低くして封着材３１が残存できずスペースを設けたにも拘らず、形成された封着材３１が逃げて結局外周隔壁３０の頂部３０ａに残存できず、所望の接着性を得ることができない。

このように本実施形態に係るＰＤＰによれば、前記外周隔壁３０が、前記隔壁２４の高さより２０［μｍ］低いので、前記第１の実施形態に係るＰＤＰの効果に加えて、外周隔壁３０の頂部３０ａ及び内側壁部３０ｂに封着材３１の低融点ガラスペーストを塗布し両基板を貼り合せたときに、低融点ガラスが両基板に挟まれて押圧されて外周隔壁３０の幅方向に流出するが、外周隔壁３０と前面板１０との間には外周隔壁３０と隔壁２４の高さの差分だけ間隙が生じており、この間隙に低融点ガラスペーストが残存し、十分な接着性と密閉性とを実現することができる。

（本発明の第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態に係るＰＤＰについて図６または図７に基づき説明する。図６は本実施形態に係るＰＤＰの背面板の上面図、図７は本実施形態に係る背面板の外周隔壁周辺の要部断面図である。
本実施形態に係るＰＤＰでは、前記外周隔壁３０を第１の外周隔壁３０１とし、当該第１の外周隔壁３０１が形成されている基板に第１の外周隔壁３０１の外周に枠状の第２の外周隔壁３０２を形成、つまり外周隔壁３０を２重に形成する。そして２重形態の第１の外周隔壁３０１及び第２の外周隔壁３０２の頂部３０１ａ、３０２ａ並びに第１の外周隔壁３０１と第２の外周隔壁３０２との間に封着材３１を形成している。

このように第１の外周隔壁３０１だけでなく、第２の外周隔壁３０２をも形成するためには、前記第１の実施形態に係るＰＤＰの隔壁２４及び外周隔壁３０の形成方法に用いたフォトマスクの形状に、第２の外周隔壁３０２の部分を形成するだけでよい。また、第１の外周隔壁３０１と第２の外周隔壁３０２との間に封着材３１の低融点ガラスペーストを塗布するときは、第１の外周隔壁３０１と第２の外周隔壁３０２とで形成される凹部３０ｆに低融点ガラスを第１の外周隔壁３０１と第２の外周隔壁３０２の高さ以上に山盛り状に塗布する。こうすることにより、両基板を貼り合せたときに、第１の外周隔壁３０１と第２の外周隔壁３０２の高さ以上に塗布された部分が両基板に押圧されて外周隔壁の幅方向に流出し、確実に第１の外周隔壁３０１及び第２の外周隔壁３０２の頂部３０１ａ、３０２ａに低融点ガラスペーストが残留することとなる。なお、当然に、低融点ガラスペーストを、第１の外周隔壁３０１及び第２の外周隔壁３０２の頂部３０１ａ、３０２ａ、第１の外周隔壁３０１と第２の外周隔壁３０２により形成される凹部３０ｆに塗布してもよい。このような凹部３０ｆへの塗布には蛍光体ペーストを充填する技術を転用することができる。

このように本実施形態に係るＰＤＰによれば、外周隔壁３０を２重に形成し、その２重
の第１の外周隔壁３０１及び第２の外周隔壁３０２の頂部３０１ａ、３０２ａ並びに第１の外周隔壁３０１と第２の外周隔壁３０２との間に封着材３１を形成しているので、前記第１の実施形態に係るＰＤＰの効果に加えて、外周隔壁３０の頂部３０ａ及び両側壁部３０ｂ、３０ｃに精度よく塗布しなくてもよく、大まかに第１の外周隔壁３０１と第２の外周隔壁３０２により形成される凹部３０ｆに塗布することで、両基板の貼り付け後に封着材低融点ガラスペーストが第１の外周隔壁３０１及び第２の外周隔壁３０２の頂部３０１ａ、３０２ａにも残留し、適切に封着材３１が形成され、封着材３１と前面板１０との接する表面積が大きくなることでより安定した接着性を得ることができる。

（本発明の第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態に係るＰＤＰについて図８または図９に基づき説明する。図８は本実施形態に係る背面板の外周隔壁周辺の要部断面図、図９は本実施形態に係るＰＤＰの両基板貼り付け後の外周隔壁周辺の要部断面図である。
本実施形態に係るＰＤＰは、隔壁２４及び外周隔壁３０３が背面板２０の基材であるガラス基板２１を切削加工して形成し、当該外周隔壁３０３の頂部３０３ａに前面板１０と背面板２０を接着するための封着材３１を形成し前面板１０と背面板２０を貼合している点を特徴としている。

本実施形態に係るＰＤＰと前記第１の実施形態に係るＰＤＰとの相違は、端的に説明すると、外周隔壁３０３がガラス基板２１の一部から構成され、外周隔壁３０３の頂部３０３ａに低融点ガラスペーストを塗布して封着材３１を形成していることである。

以下、本実施形態に係る背面板の形成方法について説明する。まず、ガラス基板２１の上に感光性レジストを塗布し、パターンマスクを介して露光、現像してレジストを隔壁部分及び外周隔壁部分にパターン形成する。このレジストをパターン形成したガラス基板２１に、フッ酸によるウェットエッチング（等方性エッチング）を行い、所定形状の隔壁２４と外周隔壁３０３が形成される。なお、ガラス基板の切削はサンドブラスト加工法を使用してもよい。パターン形成したレジストを残置させたまま、スパッタリングによりレジストが形成されていない部分にニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）等の金属層を形成する。さらに、感光性レジストを金属層の上に塗布し、アドレス電極２２を形成する部分のみレジストを残すように露光、現像して所望のレジストを形成する。このレジストを用いてアドレス電極部分だけに金属層を残存させて、アドレス電極２２を形成する。最後に、レジストを除去した後に、蛍光体を隔壁２４間に塗布する。

第１の実施形態に係るＰＤＰの形成方法と異なる部分は、両基板の貼り付け前に、背面板２０の外周隔壁３０３の頂部３０３ａのみに封着材３１の低融点ガラスペーストを塗布する点である。なお、外周隔壁３０３の頂部３０３ａ以外の両壁に低融点ガラスペーストを塗布してもよいが、特に、表示領域４０内の側壁部３０ｂに塗布することは焼成時に不純ガスが発生し、折角封着材３１を内側壁部３０３ｂに塗布しなくともガラス基板２１の一部からなる外周隔壁３０３は密閉性を高く維持することができるため、不要である。

このように本実施形態に係るＰＤＰによれば、背面板２０のガラス基板を加工して隔壁２４と外周隔壁３０３を形成し、当該外周隔壁３０３の頂部３０３ａに前面板１０と背面板２０を接着するための封着材３１を形成し前面板１０と背面板２０を貼合しているので、封着材３１を外周隔壁３０３の内側壁部３０３ｂ、外側壁部３０３ｃに形成しなくとも外周隔壁３０３がガラス基板２１の一部からなりポーラス状となっておらず、接着性という観点から封着材３１が外周隔壁３０３の頂部３０３ａのみ形成されているだけで高い密閉性を有することができ、封着材３１の塗布量を最小限に抑えることができ、不純ガスの発生の低減に繋がる。

（本発明の第６の実施形態）
本発明の第６の実施形態に係るＰＤＰについて図１０に基づき説明する。図１０は本実施形態に係るＰＤＰの背面板の上面図及び要部拡大図である。
本実施形態に係るＰＤＰは、前記第１の実施形態と同様の構成であり、前記前面板１０、背面板２０及び封着材３１によりに形成される空間の角部分に外周隔壁３０４を設けない点に相違を有するものである。

このように外周隔壁３０４を角部分に形成しないためには、前記第１の実施形態に係るＰＤＰの隔壁２４及び外周隔壁３０の形成方法に用いたフォトマスクの形状に角部分を形成しなければよい。その他の形成方法は、前記第１の実施形態に係るＰＤＰと同様である。

前記第１の実施形態に係るＰＤＰのように外周隔壁３０を枠状に形成する場合には、外周隔壁３０となる低融点ガラスペーストが枠上に形成にされ、この枠状に形成された低融点ガラスペーストを焼成すると、ペースト中の溶媒やバインダーがなくなって体積収縮し、その体積収縮により外周隔壁３０の角部分が隔壁２４の長手方向に引張られ、そのために角部分の中心部が盛り上がり角部分以外の外周隔壁３０の高さより高くなり、従ってその高さ調整を必要とする。しかし、本実施形態は、当該角部分がないために外周隔壁３０４の高さが一定となってより適切に基板間隙を規定することができる。

なお、本実施形態に係るＰＤＰにおいては、角部分の外周隔壁を形成しないとしたが、角部分を円弧状に形成することもでき、円弧状の一部分が集中的に両方向に引かれることがないために、盛り上がることなく外周隔壁の高さを一定に保つことができる。
また、本実施形態に係るＰＤＰにおいては、角部分の外周隔壁を形成しないとしたが、角部分に小さな外周隔壁をスポット的に設けてもよく、盛り上がりを形成することなく角部分の基板間隙を確実に規定することができる。

（その他の実施形態）
前記各実施形態に係るＰＤＰにおいて、前記外周隔壁３０及び封着材３１の熱膨張係数が、背面板２０の熱膨張係数から１０×１０ ^-7 ［ｃｍ・ｄｅｇ／℃］を引いた熱膨張係数以上にすることもでき、背面板２０と外周隔壁３０の熱膨張係数がこの関係を有する場合には外周隔壁３０となる低融点ガラスペーストを焼成・焼結させた後の徐冷によるガラスの収縮度合いの差異が少なくクラックが生じず、また、封着材３１も同様に外周隔壁３０となる低融点ガラスペーストを焼成・焼結させた後の徐冷によるガラスの収縮度合いの差異が少なくクラックが生じず、歩留よくＰＤＰを製造することができる。

また、前記各実施形態に係るＰＤＰにおいて、前記封着材３１が接着性を有する感光性材料からなることもでき、封着材３１となる感光性材料を外周隔壁３０の頂部３０ａ又は側壁部３０ｂ、３０ｃに塗布若しくは印刷し、両基板を貼り付けた後に焼成することなく露光・現像することで、封着材３１が形成され、焼成しないためガラスの熱膨張を考慮することなく、また、ＰＤＰを冷却することなく迅速にＰＤＰを製造することができる。感光性材料としては、例えば、紫外線硬化樹脂がある。

また、前記各実施形態に係るＰＤＰにおいて、前記封着材３１が樹脂からなることもでき、封着材３１となる樹脂を外周隔壁３０の頂部３０ａ又は側壁部３０ｂ、３０ｃに塗布し、両基板を貼り付けた後に低融点ガラスペーストを焼成する程基板が高温とならず、乾燥により封着材３１を形成することができ、高温とならないためガラスの熱膨張を考慮することなく、また、ＰＤＰを冷却することなく迅速にＰＤＰを製造することができる。樹脂としては、例えば、真空シール材がある。

また、前記各実施形態に係るＰＤＰにおいて、外周隔壁３０の頂部３０ａを粗面とすることもでき、封着材３１となる低融点ガラスペーストを塗布したときに、塗布した低融点ガラスが頂部３０ａから流れ落ちても一部残留して頂部３０ａに適切に封着材３１を形成することができる。このように頂部３０ａを粗面にする場合に、内側壁部３０ｂに封着材３１を形成するとき頂部３０ａの面を表示逆領域４０方向へいく程粗くし、外側壁部３０ｃに封着材３１を形成するとき頂部の面を表示領域４０方向へいく程粗くし、外周隔壁３０の頂部３０ａから所望の方向のみに頂部３０ａに塗布した低融点ガラスペーストが流れ落ちるようにすることができる。

また、前記各実施形態に係るＰＤＰにおいて、２重、３重と複数外周隔壁３０を形成する場合に、内周の外周隔壁を貼り付け時に鉛直上方向になるように形成し、この内周の外周隔壁を次に取り囲む外周の外周隔壁を取り付け時に鉛直下方向になるように形成し、封着材３１の低融点ガラスペーストを内周の外周隔壁の頂部３０ａ及び外側壁部３０ｃに塗布することもでき、塗布した封着材３１のための低融点ガラスペーストが内周の外周隔壁から外周の外周隔壁へ流れ出し、少なくとも外周の外周隔壁の頂部３０ａに確実に封着材３１が形成される。

また、前記各実施形態に係るＰＤＰにおいて、２重、３重と複数外周隔壁３０を形成する場合に、この複数外周隔壁３０に大量に封着材３１のための低融点ガラスペーストを塗布することもでき、両基板を貼り付けることにより大量の低融点ガラスペーストが均されて確実に一部の外周隔壁３０の頂部３０ａ及び側壁部３０ｂ、３０ｃを覆う封着材３１を形成することができる。

また、前記各実施形態に係るＰＤＰにおいて、外周隔壁３０の側壁部３０ｂ、３０ｃに低融点ガラスペーストを塗布する工程と、外周隔壁３０の頂部３０ａに低融点ガラスペーストを塗布する工程とを別々にすることもでき、確実にそれぞれの封着材３１を形成することができる。

本発明の第１の実施形態に係るＰＤＰの背面板の上面図である。 本発明の第１の実施形態に係る背面板の外周隔壁周辺の要部断面図である。 本発明の第１の実施形態に係るＰＤＰの要部斜視図である。 本発明の第１の実施形態に係るＰＤＰの両基板貼り付け後の外周隔壁周辺の要部断面図である。 本発明の第２の実施形態に係る背面板の外周隔壁周辺の要部断面図である。 本発明の第４の実施形態に係るＰＤＰの背面板の上面図である。 本発明の第４の実施形態に係る背面板の外周隔壁周辺の要部断面図である。 本発明の第５の実施形態に係る背面板の外周隔壁周辺の要部断面図である。 本発明の第５の実施形態に係るＰＤＰの両基板貼り付け後の外周隔壁周辺の要部断面図である。 本発明の第６の実施形態に係るＰＤＰの背面板の上面図及び要部拡大図である。

符号の説明

１０ 前面板
１１ ガラス基板
１２ 表示電極
１２ａ 透明導電膜
１２ｂ バス電極
１３ 誘電体層
１４ 保護膜
２０ 背面板
２１ ガラス基板
２２ アドレス電極
２３ 誘電体層
２４ 隔壁
２５ 蛍光体層
３０ 外周隔壁
３０ａ 頂部
３０ｂ 内側壁部
３０ｃ 外側壁部
３０ｆ 凹部
３０１ 第１の外周隔壁
３０１ａ 頂部
３０２ 第２の外周隔壁
３０２ａ 頂部
３０３ 外周隔壁
３０３ａ 頂部
３０３ｂ 内側壁部
３０３ｃ 外側壁部
３０４ 外周隔壁
３１ 封着材
４０ 表示領域
４１ 放電空間

Claims (5)

1. 対向する前面板と背面板の片方に放電空間を区画する隔壁を備えるプラズマディスプレイパネルにおいて、
   背面板又は前面板の片方の基板の表示領域の外側に該表示領域を囲むように前記隔壁の高さより２０〜４０μｍ低い外周隔壁を設け、当該外周隔壁の頂部から内側壁部までに封着材を形成し、外周隔壁と前面板との間の外周隔壁と隔壁の高さの差分に相当する間隙に残存する前記封着材により前面板と背面板を貼合していることを
   特徴とするプラズマディスプレイパネル。
2. 対向する前面板と背面板の片方に放電空間を区画する隔壁を備えるプラズマディスプレイパネルにおいて、
   背面板又は前面板の片方の基板の表示領域の外側に該表示領域を囲むように前記隔壁の高さより２０〜４０μｍ低い外周隔壁を設け、当該外周隔壁の頂部から外側壁部までに封着材を形成し、外周隔壁と前面板との間の外周隔壁と隔壁の高さの差分に相当する間隙に残存する前記封着材により前面板と背面板を貼合していることを
   特徴とするプラズマディスプレイパネル。
3. 対向する前面板と背面板の片方に放電空間を区画する隔壁を備えるプラズマディスプレイパネルにおいて、
   背面板又は前面板の片方の基板の表示領域の外側に該表示領域を囲むように前記隔壁の高さより２０〜４０μｍ低い外周隔壁を設け、当該外周隔壁の内側壁部から頂部を介して外側壁部までに封着材を形成し、外周隔壁と前面板との間の外周隔壁と隔壁の高さの差分に相当する間隙に残存する前記封着材により前面板と背面板を貼合していることを
   特徴とするプラズマディスプレイパネル。
4. 前記請求項１ないし３のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
   前記前面板、背面板及び封着材により形成される空間の角部分に外周隔壁を設けないことを
   特徴とするプラズマディスプレイパネル。
5. 前記請求項１ないし４のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルを製造するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
   対向する前面板と背面板を重ね合わせた後クリップにて仮固定するときに、当該クリップが隔壁群のうちの最外側に位置する隔壁の上を押圧することを
   特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。