JP4390194B2 - 偏向ミラー、偏向ミラー製造方法、光書込装置及び画像形成装置 - Google Patents
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Description
θ=fK(ω,δ)/I
で与えられる。したがって、静電力を増せば振れ角θも増加する。
f=1/2εo(V/d)^2S
で与えられる。この式より、静電力を大きくするためには、電極面積を大きくし、また、電極間のギャップを狭くすればよいことがわかる。
204 梁
205 枠部
212,213,520,521 コンタクトパッド
214,215 可動電極
216,217 固定電極(上段側固定電極)
516,517 下段側固定電極
Claims (12)
- 光を反射するミラー面を有するミラー基板、梁、該梁を介して前記ミラー基板を支持する支持部材、前記ミラー基板の自由端部に形成された櫛歯状の可動電極、及び、前記支持部材に形成された前記可動電極とギャップを介して噛み合う櫛歯状の固定電極を有し、前記ミラー基板が前記可動電極と前記固定電極の間の静電力によって駆動され前記梁を軸として往復振動する偏向ミラーにおいて、
前記固定電極及び前記可動電極が、その厚さ方向の一方の端側が他方の端側より幅が狭い同じ向きの台形状の断面形状を有することを特徴とする偏向ミラー。 - 光を反射するミラー面を有するミラー基板、梁、該梁を介して前記ミラー基板を支持する支持部材、前記ミラー基板の自由端部に形成された櫛歯状の可動電極、及び、前記支持部材に形成された前記可動電極とギャップを介して噛み合う櫛歯状の固定電極を有し、前記ミラー基板が前記可動電極と前記固定電極の間の静電力によって駆動され前記梁を軸として往復振動する偏向ミラーにおいて、
前記固定電極は前記可動電極より厚さが大きく、
前記固定電極は、前記ミラー基板の静止時に前記可動電極と対向しない領域に、前記可動電極と対向する領域より幅の広い部分を有することを特徴とする偏向ミラー。 - 前記固定電極は、厚さ方向の途中に段差を有し、該段差を境に幅が異なることを特徴とする請求項2に記載の偏向ミラー。
- 前記固定電極は、前記段差の位置を境界として厚さ方向に2分割され、該2分割された各部分は相互に絶縁分離されていることを特徴とする請求項3に記載の偏向ミラー。
- 前記固定電極の前記2分割された各部分のためのコンタクトパッド及び前記可動電極のためのコンタクトバッドが同じ面側に設けられていることを特徴とする請求項4に記載の偏向ミラー。
- 光を反射するミラー面を有するミラー基板、梁、該梁を介して前記ミラー基板を支持する支持部材、前記ミラー基板の自由端部に形成された櫛歯状の可動電極、及び、前記支持部材に形成された前記可動電極とギャップを介して噛み合う櫛歯状の固定電極を有し、前記ミラー基板が前記可動電極と前記固定電極の間の静電力によって駆動され前記梁を軸として往復振動する偏向ミラーにおいて、
前記可動電極は前記固定電極より厚さが大きく、
前記可動電極は、前記ミラー基板の静止時に前記固定電極と対向しない領域に、対向する領域より幅の大きい部分を有することを特徴とする偏向ミラー。 - 前記可動電極は、厚さ方向の途中に段差を有し、該段差を境に幅が異なることを特徴とする請求項6に記載の偏向ミラー。
- 少なくとも前記可動電極及び前記固定電極は単結晶シリコンにより形成されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の偏向ミラー。
- 前記ミラー基板の振動空間を減圧状態に封止する封止手段を有することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の偏向ミラー。
- 請求項2,3,4,6又は7に記載の偏向ミラーの製造方法であって、2枚のシリコン基板を絶縁層を介し接合してなる基板の両面からの位置合わせ及び高密度プラズマエッチングにより、前記偏向ミラーの可動電極及び固定電極を形成することを特徴とする偏向ミラー製造方法。
- 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の偏向ミラーと、該偏向ミラーのミラー基板のミラー面に光ビームを入射させる手段と、前記ミラー面で反射された光ビームを被走査面に結像させる手段とを有することを特徴とする光書込装置。
- 像担持体と、該像担持体を記録信号により変調された光ビームにより走査する光書込装置とを備え、前記像担持体に前記光ビームの走査により静電潜像が形成される画像形成装置において、
前記光書込装置は請求項11に記載の光書込装置からなることを特徴とする画像形成装置。
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