JP4379469B2 - Iii族窒化物半導体のエッチング方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1におけるIII族窒化物半導体のエッチング方法のフローチャートである。図1を用いて本発明の実施の形態1におけるIII族窒化物半導体のエッチング方法について説明する。
次に、図1および図3〜図6を参照して、本発明の実施の形態2におけるファブリ・ペロー・レーザを説明する。図3は、本発明の実施の形態2におけるファブリ・ペロー・レーザを示す断面図である。図4は、本発明の実施の形態2におけるファブリ・ペロー・レーザを製造するための準備する工程での断面図である。図5は、本発明の実施の形態2におけるファブリ・ペロー・レーザを製造するためのエッチングを行なう工程での断面図である。図6は、本発明の実施の形態2におけるファブリ・ペロー・レーザを製造するための絶縁体膜を形成する工程での断面図である。実施の形態2におけるファブリ・ペロー・レーザはリッジ構造を有している。
図7は、本発明の実施の形態3におけるフォトニック結晶構造を有する素子を示す図であり、(A)は、上面図であり、(B)は、(A)における線分VII(B)−VII(B)における断面図である。図8は、本発明の実施の形態3におけるフォトニック結晶構造を有する素子を製造するための準備する工程を示す断面図である。図7および図8を用いて、実施の形態3におけるフォトニック結晶構造を有する素子について説明する。
図1および図7〜図11を参照して本発明の実施の形態4におけるフォトニック結晶レーザを説明する。図9は、本発明の実施の形態4におけるフォトニック結晶レーザを示す断面図である。図10は、本発明の実施の形態4におけるフォトニック結晶レーザの準備する工程を示す断面図である。図11は、本発明の実施の形態4におけるフォトニック結晶レーザのエッチングを行なう工程を示す断面図である。図12は、本発明の実施の形態4におけるフォトニック結晶レーザのエッチング後のエピタキシャル成長させる工程を示す断面図である。
実施例1では、実施の形態2にしたがってファブリ・ペロー・レーザを製造した。具体的には、アルミニウムを相対的に多く有する層と、アルミニウムを相対的に少なく有する層とを含むIII族窒化物半導体のベース部を準備する工程(S10)で、p型ブロック層16は、アルミニウムを18%含有するように形成した。そして、ベース部に対してヨウ素原子を含むガスによりエッチングを行なう工程(S20)で、ヨウ化水素とキセノンとの比が0.8:1.0の環境下でエッチングを行なった。上記工程(S10,S20)を実施することにより、実施例1におけるファブリ・ペロー・レーザを製造した。
実施例2では、実施の形態3にしたがってフォトニック結晶構造を有する素子を製造した。具体的には、アルミニウムを相対的に多く有する層と、アルミニウムを相対的に少なく有する層とを含むIII族窒化物半導体のベース部を準備する工程(S10)で、AlGaN層32は、厚みを200nm、アルミニウムの組成を15%とした。そして、ベース部に対してヨウ素原子を含むガスによりエッチングを行なう工程(S20)で、ヨウ化水素とキセノンとの比が0.8:1.0の環境下でエッチングを行なった。工程(S10,S20)を実施することにより、実施例2におけるフォトニック結晶構造を有する素子を製造した。なお、実施例2では、孔部33bは、径を150nm、深さを200nmとした。
実施例3では、実施の形態4にしたがってフォトニック結晶レーザを製造した。具体的には、アルミニウムを相対的に多く有する層と、アルミニウムを相対的に少なく有する層とを含むIII族窒化物半導体のベース部を準備する工程(S10)で、p型ブロック層45は、Al(x)Ga(1−x)N(x=0.15)となるように形成した。そして、ベース部に対してヨウ素原子を含むガスによりエッチングを行なう工程(S20)で、ヨウ化水素とキセノンとの比が0.8:1.0の環境下でエッチングを行なった。工程(S10,S20)を実施することにより、実施例3におけるフォトニック結晶レーザを製造した。
Claims (2)
- アルミニウムを相対的に多く有する層と、アルミニウムを相対的に少なく有する層とを含むIII族窒化物半導体のベース部を準備する工程と、
前記ベース部に対してヨウ化水素を含むガスによりエッチングを行なう工程とを備え、
前記アルミニウムを相対的に多く有する層が、Al(x)Ga(1−x)N(x>0.10)であり、
前記エッチングを行なう工程では、前記Al(x)Ga(1−x)N(x>0.10)がエッチングストップ層となることを特徴とする、III族窒化物半導体のエッチング方法。 - アルミニウムを相対的に多く有する層と、アルミニウムを相対的に少なく有する層とを含むIII族窒化物半導体のベース部を準備する工程と、
前記ベース部に対してヨウ化水素を含むガスによりエッチングを行なう工程とを備え、
前記アルミニウムを相対的に多く有する層が、Al(x)Ga(1−x)N(x>0.18)であり、
前記エッチングを行なう工程では、前記Al(x)Ga(1−x)N(x>0.18)がエッチングストップ層となることを特徴とする、III族窒化物半導体のエッチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006344423A JP4379469B2 (ja) | 2006-12-21 | 2006-12-21 | Iii族窒化物半導体のエッチング方法 |
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JP2008159684A JP2008159684A (ja) | 2008-07-10 |
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JP (1) | JP4379469B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010287805A (ja) | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Panasonic Corp | 窒化物半導体装置及びその製造方法 |
JP5874947B2 (ja) * | 2010-07-30 | 2016-03-02 | 国立大学法人京都大学 | 2次元フォトニック結晶レーザの製造方法 |
US9130348B2 (en) | 2010-07-30 | 2015-09-08 | Kyoto University | Two-dimensional photonic crystal laser |
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2006
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JP2008159684A (ja) | 2008-07-10 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090326 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090528 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090825 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090907 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |