JP4376693B2 - 露光方法および装置 - Google Patents

Description

本発明は、露光ヘッドが主走査方向に複数配置された露光ヘッド列が副走査方向に複数配列された露光部により感光材料を露光する露光方法および装置に関するものである。

従来、ＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）等の空間光変調素子を利用してレーザ光を画像データに応じて変調し、その変調されたレーザ光で感光材料を露光する露光装置が種々提案されている。

そして、上記のような露光装置として、たとえば、特許文献１などにおいて、上記のような空間変調素子が設けられた複数の露光ヘッドにより感光材料を走査して露光する露光装置が提案されている。具体的には、上記のような露光ヘッドが主走査方向に複数配置された露光ヘッド列を副走査方向に複数配列し、その露光ヘッド列が複数配列された露光部を感光材料に対して相対的に副走査方向に移動させることにより露光を行う露光装置が提案されている。

ここで、上記のような露光装置により露光を行う際には、たとえば、レーザダイオードなどの露光光源から射出された露光光が露光ヘッドに入射され、その露光光が露光ヘッドにより変調および結像されて感光材料に照射されるが、上記のような複数の露光ヘッド列が副走査方向に配列された露光部により露光を行う際には、露光開始および露光終了時において、露光光の照射範囲が感光材料上にない露光ヘッド列が存在する。したがって、従来は、露光開始および露光終了時において、上記のような露光ヘッド列に入射される露光光をメカニカルシャッターにより遮断することにより、その露光ヘッド列による露光光の照射を停止したり、もしくは、上記のような露光ヘッド列においてＤＭＤを制御することによりその露光ヘッド列から露光光が照射されないようにしていた。
特開２００１−３３８８６７号公報

しかしながら、上記のように露光ヘッド列から照射される露光光を停止したとしても、露光光源からは無駄な露光光が射出されていることになるので、その分露光光源の動作時間が長くなって露光光源の寿命が短くなり、露光光源の交換サイクルが短くなってコストアップになる。特に、高価なレーザダイオードなどを多数して露光光源を構成するような場合には、上記コストアップの問題が顕著になってくる。

本発明は、上記事情に鑑み、上記のような複数の露光ヘッド列が副走査方向に配列された露光部により露光を行う露光方法および装置において、露光光源の寿命を長くして交換サイクルを延ばすことによりコストの削減を図ることができる露光方法および露光装置を提供することを目的とするものである。

本発明の第１の露光方法は、露光光源から射出された露光光を受けて露光光を照射する露光ヘッドが主走査方向に複数配置された露光ヘッド列を複数列有し、複数列の露光ヘッド列が主走査方向にずらされて副走査方向に配列された露光部を、感光材料に対して副走査方向に相対的に移動させて感光材料を露光光で露光する露光方法において、露光光を射出する露光光源の駆動制御により露光ヘッド列単位で各露光ヘッド列への露光光の射出を可能にし、感光材料への露光開始の際、露光光を射出する露光光源の駆動制御により露光ヘッド列単位で副走査方向に並んだ順で露光光の照射を開始することを特徴とする。

本発明の第２の露光方法は、露光光源から射出された露光光を受けて露光光を照射する露光ヘッドが主走査方向に複数配置された露光ヘッド列を複数列有し、複数列の露光ヘッド列が主走査方向にずらされて副走査方向に配列された露光部を、感光材料に対して副走査方向に相対的に移動させて感光材料を露光光で露光する露光方法において、露光光を射出する露光光源の駆動制御により露光ヘッド列単位で各露光ヘッド列への露光光の射出の停止を可能にし、感光材料への露光終了の際、露光光を射出する露光光源の駆動制御により露光ヘッド列単位で副走査方向に並んだ順で露光光の照射を停止することを特徴とする。

また、上記第１および第２の露光方法においては、露光光を射出する露光光源の駆動制御により露光ヘッド単位での各露光ヘッドへの露光光の射出を可能にし、露光光を射出する露光光源の駆動制御により感光材料の主走査方向の幅に対応する範囲における露光ヘッドのみにより露光光の照射を行うようにすることができる。

また、露光光源から射出された露光光を検出し、その検出された露光光の光量に応じてその光量が所定量になるように露光光源の駆動電流を制御するようにすることができる。

本発明の第１の露光装置は、露光光源から射出された露光光を受けてその露光光を照射する露光ヘッドが主走査方向に複数配置された露光ヘッド列を複数列有し、その複数列の露光ヘッド列が主走査方向にずらされて副走査方向に配列された露光部と、その露光部と感光材料とを副走査方向に相対的に移動させて感光材料を露光光で露光する走査手段とを備えた露光装置において、露光光源が、駆動制御されて露光ヘッド列単位で各露光ヘッド列への露光光の射出が可能なものであり、感光材料への露光開始の際、露光ヘッド列単位で副走査方向に並んだ順で露光光の照射を開始するよう露光光源を駆動制御する露光光源制御手段を備えたことを特徴とする。

本発明の第２の露光装置は、露光光源から射出された露光光を受けて露光光を照射する露光ヘッドが主走査方向に複数配置された露光ヘッド列を複数列有し、複数列の露光ヘッド列が主走査方向にずらされて副走査方向に配列された露光部と、露光部と感光材料とを副走査方向に相対的に移動させて感光材料を露光光で露光する走査手段とを備えた露光装置において、露光光源が、駆動制御されて露光ヘッド列単位で各露光ヘッド列への露光光の射出の停止が可能なものであり、感光材料への露光終了の際、露光ヘッド列単位で副走査方向に並んだ順で露光光の照射を停止するよう露光光源を駆動制御する露光光源制御手段を備えたことを特徴とする。

また、上記第１および第２の露光装置においては、露光光源を、駆動制御されて露光ヘッド単位で各露光ヘッドへの露光光の射出が可能なものとし、露光光源制御手段を、感光材料の主走査方向の幅に対応する範囲における露光ヘッドのみにより露光光の照射を行うよう露光光源を駆動制御するものとすることができる。

また、露光光源から射出された露光光の光量を検出する露光光検出手段と、露光光検出手段により検出された露光光の光量に応じてその光量が所定量になるように露光光源の駆動電流を制御する駆動電流制御手段とを備えたものとすることができる。

本発明の第１および第２の露光方法および装置によれば、感光材料への露光開始または終了の際、露光光を射出する露光光源の駆動制御により露光ヘッド列単位で副走査方向に並んだ順で露光光の照射の開始または停止を行うようにしたので、露光光源を無駄に動作させることがない分露光光源の寿命を長くすることができ、その分交換サイクルを延ばすことができるのでコストの削減を図ることができる。

また、上記のように露光ヘッド列においてＤＭＤを制御することにより、その露光ヘッド列から露光光が照射されないようにした場合と比較すると、ＤＭＤのミラー面への露光光の照射時間を短くすることができるので、その分ミラー面を保護することができ、ＤＭＤの寿命も長くすることができる。

また、上記第１および第２の露光方法および装置において、露光光を射出する露光光源の駆動制御により感光材料の主走査方向の幅に対応する範囲における露光ヘッドのみにより露光光の照射を行うようにした場合には、たとえば、感光材料の主走査方向の幅が露光ヘッド列の主走査方向の幅よりも小さいような場合において、感光材料からはみ出した範囲における露光ヘッドに対応する露光光源を無駄に動作させないようにすることができる。

また、たとえば、露光光源としてレーザダイオードなどを利用した場合、駆動直後の光量が安定しないため、光量が安定するまで露光光の照射を待つ必要があるが、上記露光方法および装置において、露光光源から射出された露光光を検出し、その検出された露光光の光量に応じてその光量が所定量になるように露光光源の駆動電流を制御するようにするようにした場合には、上記待ち時間を短縮することができるので、その分露光光源の動作時間を短くすることができ、露光光源の寿命を長くすることができる。

以下、図面を参照して本発明の露光方法を実施する露光装置の一実施形態について説明する。なお、本発明の露光装置は、露光光源の駆動制御方法に特徴を有するものであるが、まずは、露光装置の全体構成について説明する。

本露光装置は、図１に示すように、シート状の感光材料１５０を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ１５２を備えている。４本の脚部１５４に支持された厚い板状の設置台１５６の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド１５８が設置されている。ステージ１５２は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されるとともに、ガイド１５８によって往復移動可能に支持されている。

設置台１５６の中央部には、ステージ１５２の移動経路を跨ぐようにコ字状のゲート１６０が設けられている。コ字状のゲート１６０の端部の各々は、設置台１５６の両側面に固定されている。このゲート１６０を挟んで一方の側には露光部としてのスキャナ１６２が設けられ、他方の側には感光材料１５０の先端および後端を検知する複数（例えば２個）のセンサ１６４が設けられている。スキャナ１６２およびセンサ１６４はゲート１６０に各々取り付けられて、ステージ１５２の移動経路の上方に固定配置されている。なお、スキャナ１６２およびセンサ１６４は、これらを制御する図示しないコントローラに接続されている。

スキャナ１６２は、図２および図３（Ｂ）に示すように、感光材料１５０に露光光を射出する露光ヘッド１６６が主走査方向に複数配置された露光ヘッド列１６３を複数列有し、その複数列の露光ヘッド列１６３が主走査方向にずらされて副走査方向に配列されたものである。なお、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドを示す場合は、露光ヘッド１６６_ｍｎと表記する。

露光ヘッド１６６による露光エリア１６８は、副走査方向を短辺とする矩形状である。従って、ステージ１５２の移動に伴い、感光材料１５０には露光ヘッド１６６毎に帯状の露光済み領域１７０が形成される。なお、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドによる露光エリアを示す場合は、露光エリア１６８_ｍｎと表記する。

また、図３（Ａ）および（Ｂ）に示すように、帯状の露光済み領域１７０が主走査方向に隙間無く並ぶように、ライン状に配列された露光ヘッド列１６３の露光ヘッドの各々は、主走査方向に所定間隔（露光エリアの長辺の自然数倍、本実施形態においては１倍）ずらして配置されている。このため、１行目の露光エリア１６８_１１の露光できない部分は、２行目の露光エリア１６８_２１により露光することができる。なお、厳密には、図３（Ｃ）に示すように、隣接する帯状の露光済み領域１７０が一部重なり合うように、各露光ヘッド列１６３の露光ヘッドは主走査方向に配列されている。

露光ヘッド１６６_１１〜１６６_ｍｎ各々は、図４に示すように、入射された光ビームを画像データに応じて各画素毎に変調する空間光変調素子として、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）５０を備えている。

ＤＭＤ５０は、図５に示すように、ＳＲＡＭセル（メモリセル）６０上に、微小ミラー（マイクロミラー）６２が支柱により支持されて配置されたものであり、画素（ピクセル）を構成する多数の（例えば１０２４個×７６８個）の微小ミラーを格子状に配列して構成されたミラーデバイスである。各ピクセルには、最上部に支柱に支えられたマイクロミラー６２が設けられている。

ＤＭＤ５０のＳＲＡＭセル６０にデジタル信号が書き込まれると、支柱に支えられたマイクロミラー６２が、対角線を中心としてＤＭＤ５０が配置された基板側に対して±α度（例えば±１０度）の範囲で傾けられる。図６（Ａ）は、マイクロミラー６２がオン状態である＋α度に傾いた状態を示し、図６（Ｂ）は、マイクロミラー６２がオフ状態である−α度に傾いた状態を示す。したがって、画像信号に応じて、ＤＭＤ５０の各ピクセルにおけるマイクロミラー６２の傾きを、図６に示すように制御することによって、ＤＭＤ５０に入射したレーザ光Ｂはそれぞれのマイクロミラー６２の傾き方向へ反射される。なお、マイクロミラー６２のオンオフ制御は、ＤＭＤ５０に接続された後述するコントローラ３０２によって行われる。

また、ＤＭＤ５０は、その短辺が副走査方向と所定角度θ（例えば、１°〜５°）を成すように僅かに傾斜させて配置するのが好ましい。上記のようにＤＭＤ５０を傾斜させることにより、各マイクロミラーによる露光ビームの走査軌跡（走査線）のピッチが、ＤＭＤ５０を傾斜させない場合の走査線のピッチより狭くなり、解像度を大幅に向上させることができる。

そして、ＤＭＤ５０の光入射側には、図４に示すように、ファイバアレイ光源６６から出射されたレーザ光を補正してＤＭＤ上に集光させるレンズ系６７、このレンズ系６７を透過したレーザ光をＤＭＤ５０に向けて反射するミラー６９がこの順に配置されている。

また、ＤＭＤ５０の光反射側には、ＤＭＤ５０で反射されたレーザ光を、感光材料１５０上に結像する結像光学系５１が配置されている。

露光ヘッド１６６にレーザ光を射出するファイバアレイ光源６６は、その光ファイバの出射端部（発光点）が露光エリア１６８の長辺方向と対応する方向に沿って一列に配列されたものである。ファイバアレイ光源６６は、図７に示すように、複数（例えば１４個）のレーザモジュール６４を備えており、各レーザモジュール６４には、マルチモード光ファイバ３０の一端が結合されている。マルチモード光ファイバ３０の他端には、コア径がマルチモード光ファイバ３０と同一で且つクラッド径がマルチモード光ファイバ３０より小さい光ファイバ３１が結合されている。そして、ファイバアレイ光源６６は各露光ヘッド１６６に対応して設けられており、後述するＬＤ駆動回路３０３により駆動制御されて、上記露光ヘッド列１６３単位で各露光ヘッド列１６３へのレーザ光を射出または停止が可能なものである。なお、本実施形態では、上記のようにファイバアレイ光源６６を各露光ヘッド１６６に対応させて設けるようにしたが、上記のように露光ヘッド列１６３単位で各露光ヘッド列１６３へレーザ光を射出または停止するものであれば如何なる構成としてもよい。

次に、図８を参照して、本露光装置における電気的な構成について説明する。図８に示すように、全体制御部３００には変調回路３０１が接続され、その変調回路３０１にはＤＭＤ５０を制御するコントローラ３０２が接続されている。また、全体制御部３００には、ファイバアレイ光源６６のレーザモジュール６４を駆動する、露光光源制御手段としてのＬＤ駆動回路３０３が接続されている。そして、本実施形態におけるＬＤ駆動回路３０３は、露光ヘッド列１６３から射出されるレーザ光の照射範囲が感光材料１５０上にない場合にはその露光ヘッド列１６３によるレーザ光の照射を停止するようファイバアレイ光源６６を駆動制御するものである。また、全体制御部３００には、ステージ１５２を駆動するステージ駆動装置３０４が接続されている。

次に、本露光装置の動作について説明する。

まず、感光材料を表面に吸着したステージ１５２が、図８に示すステージ駆動装置３０４により、ガイド１５８に沿ってゲート１６０の上流側から下流側に一定速度で移動する。ステージ１５２がゲート１６０下を通過する際に、ゲート１６０に取り付けられたセンサ１６４により感光材料１５０の先端が検出され、この検出に応じて露光ヘッド列１６３の１列目１６３ａに対応して設けられたファイバアレイ光源６６のレーザモジュール６４（以下第１のレーザモジュール群という）がＬＤ駆動回路３０３により駆動制御され、第１のレーザモジュール群からレーザ光が射出され、そのレーザ光が露光ヘッド列１６３ａに入射され、露光ヘッド列１６３ａによる露光光の照射が開始される。なお、感光材料１５０の先端が検出されたときの露光ヘッド列１６３ａの位置は、感光材料１５０の位置に対して、図９（Ａ）に示すような位置になるように設定されている。図９（Ａ）に示す距離Ｌは、レーザモジュール６４におけるレーザダイオードの発光量が安定する時間とステージ１５２の移動速度から設定することが望ましい。

また、露光ヘッド列１６３が図９（Ａ）に示す位置にあるときには、露光ヘッド列１６３の２列目１６３ｂに対応して設けられたファイバアレイ光源６６のレーザモジュール６４（以下第２のレーザモジュール群という）は、レーザ光が射出されないようにＬＤ駆動回路３０３により駆動制御され、露光ヘッド列１６３ｂによる露光光の照射はまだ開始されない。

そして、さらにステージ１５２が移動して、露光ヘッド列１６３ａが図９（Ｂ）の位置にきたとき、露光ヘッド列１６３ａによる感光材料１５０への露光が開始され、さらにステージ１５２が移動して、露光ヘッド列１６３ｂが感光材料１５０に対して図９（Ｃ）に示すような位置にきたとき、つまり、感光材料１５０の先端から距離Ｌの位置にきたとき、第２のレーザモジュール群がＬＤ駆動回路３０３により駆動制御され、第２のレーザモジュール群からレーザ光が射出され、そのレーザ光が露光ヘッド列１６３ｂに入射され、露光ヘッド列１６３ｂによる露光光の照射が開始される。そして、さらにステージ１５２が移動して、露光ヘッド列１６３ａが図９（Ｄ）の位置にきたとき、露光ヘッド列１６３ｂによる感光材料１５０への露光が開始される。

一方、上記のような露光ヘッド列１６３へのレーザ光の入射とともに、フレームメモリに記憶された画像データが順次読み出され、その画像データに基づいて各露光ヘッド１６６対して制御信号が出力される。

ファイバアレイ光源６６から露光ヘッド１６６のＤＭＤ５０にレーザ光が入射されると、ＤＭＤ５０のマイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザ光は、レンズ系５４、５８により感光材料１５０上に結像され、オフ状態のときに反射されたレーザ光は感光材料１５０上に結像しない。上記のようにしてファイバアレイ光源６６から射出されたレーザ光が画素毎にオンオフされて、感光材料１５０が所定のパターンで露光される。

そして、さらに感光材料１５０がステージ１５２と共に一定速度で移動し、感光材料１５０がスキャナ１６２によりステージ移動方向と反対の方向に副走査され、露光ヘッド１６６毎に帯状の露光済み領域１７０が形成される。

そして、露光終了近くになるとセンサ１６４で感光材料１５０の後端が検出されるが、このとき、露光ヘッド列１６３ａが感光材料１５０に対して図１０（Ａ）に示すような位置に来るよう設定されている。そして、上記のようにセンサ１６４で感光材料１５０の後端が検出されると、第１のレーザモジュール群からのレーザ光の射出がＬＤ駆動回路３０３の駆動制御により停止される。そして、さらにステージ１５２が移動し、露光ヘッド列１６３ｂが図１０（Ｂ）に示すような位置にきたとき、第２のレーザモジュール群からのレーザ光の射出がＬＤ駆動回路３０３の駆動制御により停止される。

そして、スキャナ１６２による感光材料１５０の副走査が終了し、ステージ１５２は、ステージ駆動装置３０４により、ガイド１５８に沿ってゲート１６０の最上流側にある原点に復帰し、再度、ガイド１５８に沿ってゲート１６０の上流側から下流側に一定速度で移動される。

本露光装置によれば、感光材料１５０への露光開始または終了の際、副走査方向に並んだ順で露光ヘッド列単位での露光光の照射の開始または停止を行うよう第１のレーザモジュール群および第２のレーザモジュール群を駆動制御するようにしたので、レーザモジュール６４を無駄に動作させることがない分レーザモジュール６４の寿命を長くすることができ、その分交換サイクルを延ばすことができるのでコストの削減を図ることができる。

具体的には、たとえば、感光材料１５０における露光エリアの副走査の距離が６００ｍｍ、ステージ１５２の移動速度が（またはスキャナ１６２による副走査速度が）３０ｍｍ/ｓ、露光ヘッド１６６の中心間隔が１２０ｍｍの場合、上記第１のレーザモジュール群および第２のレーザモジュール群を同時に駆動および停止するようにした場合には、その動作時間は（６００＋１２０）/３０＝２４ｓとなるが、本露光装置のように、第１のレーザモジュール群および第２のレーザモジュール群を駆動制御するようにした場合には、第１のレーザモジュール群および第２のレーザモジュール群の動作時間は６００/３０＝２０ｓとなり、１６．７％の動作時間を削減することができる。また、感光材料１５０における露光エリアの副走査の距離が３００ｍｍと短い場合は、（３００＋１２０）/３０＝１４ｓとなるが、上記のように第１のレーザモジュール群および第２のレーザモジュール群を駆動制御するようにした場合には、３００/３０＝１０となり、２８．６％の動作時間を削減することができ、効果がさらに大きい。さらに、副走査方向の解像度を上げるため、上記移動速度を遅くした場合にも、さらに大きな効果を得ることができる。

また、たとえば、特開２００２−２０２４４２号公報に示すように、複数のレーザダイオードから射出されるレーザ光を集光光学系を介してマルチモード光ファイバに合波するレーザモジュールを複数使用する場合などには、高価なレーザダイオードが膨大な数となるため、上記コスト削減の効果は顕著である。

なお、上記実施形態の露光装置においては、露光の開始および終了の際に、第１のレーザモジュール群と第２のレーザモジュール群とを上記のように駆動制御するようにしたが、露光の開始の際にのみ、または露光の終了の際にのみ上記のように第１のレーザモジュール群と第２のレーザモジュール群とを駆動制御するようにしてもよい。

また、上記実施形態の露光装置においては、露光光源としてレーザモジュール６４を利用しているが、レーザモジュール６４におけるレーザダイオードは、図１１（Ａ），（Ｂ）に示すように、駆動直後の光量が安定しないため、光量が安定する時間ｔ１まで露光光の照射を待つ必要がある。したがって、本露光装置において、レーザモジュール６４から射出された露光光を検出し、その検出された露光光の光量に応じてその光量が所定量になるようにレーザモジュール６４の駆動電流を制御するようにするようにしてもよい。上記のようにした場合には、上記待ち時間を短縮することができるので、その分露光光源の動作時間を短くすることができ、露光光源の寿命を長くすることができる。

具体的には、露光ヘッド１６６におけるレンズ系６７に、図１２に示すように、ファイバアレイ光源６６から射出されて集光レンズ７１を通過した光を透過させるとともに、その一部を反射する光学フィルタ８０と、光学フィルタ８０により反射された光を検出する光学素子８１とを設け、この光学素子８１において光電変換された電気信号の大きさに基づいて、この電気信号の大きさが所望の値になるようにＬＤ駆動回路３０３によりレーザモジュール６４に流す駆動電流を制御するようにすればよい。駆動電流の制御の方法については、たとえば、図１３（Ｂ）に示すように、駆動電流が次第に所定の電流値Ｉに近づくように制御するようにすれば、図１３（Ａ）に示すように、レーザモジュール６４の駆動直後の光量が安定するので上記待ち時間を時間ｔ２に短縮することができる。なお、図に示す光学系６７は、ファイバアレイ光源６６から射出したレーザ光Ｂを集光する集光レンズ７１、この集光レンズ７１を通過した光の光路に挿入されたロッド状オプティカルインテグレータ７２、およびこのロッドインテグレータ７２の前方つまりミラー６９側に配置された結像レンズ７４から構成されており、集光レンズ７１、ロッドインテグレータ７２および結像レンズ７４は、ファイバアレイ光源６６から射出したレーザ光を、平行光に近くかつビーム断面内強度が均一化された光束としてＤＭＤ５０に入射させるものである。また、上記待ち時間をより短縮するには、特願２００３−０８３２２５号に示すような、合波モジュール光源を利用することが望ましい。具体的には、複数のレーザダイオードから射出されたレーザ光をコリメートし、そのレーザ光をファイバへ合波結合する合波モジュール光源であって、その合波されたレーザ光のビーム径がファイバのコア径のほぼ１/２となるような合波モジュール光源であれば、１秒程度の高速立ち上げ可能となり、上記待ち時間を１秒以下にすることができる。したがって、駆動直後の光量安定時間をより短縮することができ、露光光源の動作時間をさらに削減することができる。

また、上記実施形態の露光装置のように、ファイバアレイ光源６６を各露光ヘッド１６６に対応させて設けるようにした場合には、感光材料１５０の主走査方向の幅に対応する範囲における露光ヘッド１６６のみにより露光光の照射を行うようにファイバアレイ光源６６を駆動制御するようにしてもよい。上記のようにファイバアレイ光源６６を駆動制御する場合には、感光材料１５０の主走査方向の幅については、予め所定の入力手段により入力するようにしてもよいし、光学センサなどで自動的に検出するようにしてもよい。

本発明の露光装置の一実施形態の外観を示す斜視図 図１に示す露光装置のスキャナの構成を示す斜視図 （Ａ）は感光材料に形成される露光済み領域を示す平面図、（Ｂ）は各露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す図 図１に示す露光装置の露光ヘッドの概略構成を示す斜視図 デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）の構成を示す部分拡大図 （Ａ）および（Ｂ）はＤＭＤの動作を説明するための説明図 ファイバアレイ光源の構成を示す斜視図 図１に示す露光装置の電気的構成を示すブロック図 図１に示す露光装置の作用を説明する図 図１に示す露光装置の作用を説明する図 従来のレーザモジュールの動作を説明するための図 図４に示す露光ヘッドの光学系６７のその他の実施形態を示す図 図１に示す露光装置のレーザモジュールの駆動方法の一実施形態を説明するための図

符号の説明

３０，３１ マルチモード光ファイバ
５０ デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）
５１ 拡大結像光学系
６４ レーザモジュール
６６ ファイバアレイ光源
８０ 光学フィルタ
８１ 光学素子
１５０ 感光材料
１５２ ステージ
１６２ スキャナ
１６３ 露光ヘッド列
１６６ 露光ヘッド
１６４ センサ
１６６ 露光ヘッド
１６８ 露光エリア
１７０ 露光済み領域

Claims (8)

1. 露光光源から射出された露光光を受けて該露光光を照射する露光ヘッドが主走査方向に複数配置された露光ヘッド列を複数列有し、該複数列の露光ヘッド列が前記主走査方向にずらされて副走査方向に配列された露光部を、感光材料に対して前記副走査方向に相対的に移動させて前記感光材料を前記露光光で露光する露光方法において、
   前記露光光を射出する露光光源の駆動制御により前記露光ヘッド列単位で各露光ヘッド列への前記露光光の射出を可能にし、
   前記感光材料への露光開始の際、前記露光光を射出する露光光源の駆動制御により前記露光ヘッド列単位で前記副走査方向に並んだ順で前記露光光の照射を開始することを特徴とする露光方法。
2. 露光光源から射出された露光光を受けて該露光光を照射する露光ヘッドが主走査方向に複数配置された露光ヘッド列を複数列有し、該複数列の露光ヘッド列が前記主走査方向にずらされて副走査方向に配列された露光部を、感光材料に対して前記副走査方向に相対的に移動させて前記感光材料を前記露光光で露光する露光方法において、
   前記露光光を射出する露光光源の駆動制御により前記露光ヘッド列単位で各露光ヘッド列への前記露光光の射出の停止を可能にし、
   前記感光材料への露光終了の際、前記露光光を射出する露光光源の駆動制御により前記露光ヘッド列単位で前記副走査方向に並んだ順で前記露光光の照射を停止することを特徴とする露光方法。
3. 前記露光光を射出する露光光源の駆動制御により前記露光ヘッド単位で各露光ヘッドへの前記露光光の射出を可能にし、
   前記露光光を射出する露光光源の駆動制御により前記感光材料の前記主走査方向の幅に対応する範囲における前記露光ヘッドのみにより前記露光光の照射を行うことを特徴とする請求項１または２記載の露光方法。
4. 前記露光光源から射出された露光光を検出し、
   該検出された露光光の光量に応じて該光量が所定量になるように前記露光光源の駆動電流を制御することを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の露光方法。
5. 露光光源から射出された露光光を受けて該露光光を照射する露光ヘッドが主走査方向に複数配置された露光ヘッド列を複数列有し、該複数列の露光ヘッド列が前記主走査方向にずらされて副走査方向に配列された露光部と、該露光部と前記感光材料とを前記副走査方向に相対的に移動させて前記感光材料を前記露光光で露光する走査手段とを備えた露光装置において、
   前記露光光源が、駆動制御されて前記露光ヘッド列単位で各露光ヘッド列への前記露光光の射出が可能なものであり、
   前記感光材料への露光開始の際、前記露光ヘッド列単位で前記副走査方向に並んだ順で前記露光光の照射を開始するよう前記露光光源を駆動制御する露光光源制御手段を備えたことを特徴とする露光装置。
6. 露光光源から射出された露光光を受けて該露光光を照射する露光ヘッドが主走査方向に複数配置された露光ヘッド列を複数列有し、該複数列の露光ヘッド列が前記主走査方向にずらされて副走査方向に配列された露光部と、該露光部と前記感光材料とを前記副走査方向に相対的に移動させて前記感光材料を前記露光光で露光する走査手段とを備えた露光装置において、
   前記露光光源が、駆動制御されて前記露光ヘッド列単位で各露光ヘッド列への前記露光光の射出の停止が可能なものであり、
   前記感光材料への露光終了の際、前記露光ヘッド列単位で前記副走査方向に並んだ順で前記露光光の照射を停止するよう前記露光光源を駆動制御する露光光源制御手段を備えたことを特徴とする露光装置。
7. 前記露光光源が、駆動制御されて前記露光ヘッド単位で各露光ヘッドへの前記露光光の射出が可能なものであり、
   前記露光光源制御手段が、前記感光材料の前記主走査方向の幅に対応する範囲における前記露光ヘッドのみにより前記露光光の照射を行うよう前記露光光源を駆動制御するものであることを特徴とする請求項５または６記載の露光装置。
8. 前記露光光源から射出された露光光の光量を検出する露光光検出手段と、
   該露光光検出手段により検出された露光光の光量に応じて該光量が所定量になるように前記露光光源の駆動電流を制御する駆動電流制御手段とを備えたことを特徴とする請求項５から７いずれか１項記載の露光装置。

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