JP4361452B2 - 石英ガラスルツボの除去対象物の除去装置 - Google Patents
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Description
2 撮像手段
3 照明手段
4 位置検出手段
5 サイズ判定手段
6 種類識別手段
7 照射位置制御手段
8 レーザ光発振手段
9 制御手段
10c1 撮像系進退制御器
11 レーザ光発振手段送り機構
12 回動機構
13 AD回路
14 画像処理装置
15 ルツボ回転機構
Claims (6)
- 複数種類の除去対象物が存在する石英ガラスルツボの内表面側を順次撮像可能に配置され、同一位置の深さが異なる点に各々焦点が合わされる複数の撮像単位からなる撮像手段と、
前記内表面側を照射し、各々発光波長の異なる光を発する複数の照明単位からなる照明手段と、
前記撮像手段により撮像された除去対象物の3次元位置を検出する位置検出手段と、
前記撮像手段により撮像された除去対象物の大きさを判定するサイズ判定手段と、
前記照明手段からの照明の発光波長の違いにより、ルツボ内表面画像での色の濃淡の変化を認識して前記複数種類の除去対象物の種類を識別する種類識別手段と、
前記位置検出手段からの位置情報に基づき、レーザ光の照射位置を制御する照射位置制御手段と、
前記除去対象物のサイズおよび種類に応じて、出力が変化するレーザ光発振手段と、
前記各構成手段を制御する制御手段
を有することを特徴とする石英ガラスルツボの除去対象物の除去装置。 - 前記撮像手段は複数のCCDカメラであり、照明手段はLEDであることを特徴とする請求項1に記載の石英ガラスルツボの除去対象物の除去装置。
- 前記位置検出手段は、制御手段の制御機能部とCCDカメラおよびLEDを回動させる回動機構とその回動制御器、前記制御機能部と石英ガラスルツボを回転させるルツボ回転機構とそのルツボ回転制御器、前記制御機能部とCCDカメラおよびLEDの送り機構とその進退制御器、および画像処理装置の画像処理機能部であることを特徴とする請求項1または2に記載の石英ガラスルツボの除去対象物の除去装置。
- 前記サイズ判定手段は、画像処理装置であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の石英ガラスルツボの除去対象物の除去装置。
- 前記種類識別手段は、照明手段と画像処理装置であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の石英ガラスルツボの除去対象物の除去装置。
- 前記照射位置制御手段は、レーザ光発振手段を進退させるレーザ光発振手段送り機構とこれを制御するレーザ進退制御器、および、回動機構とこれを制御する回動制御器であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の石英ガラスルツボの除去対象物の除去装置。
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