JP4360371B2 - 変位素子 - Google Patents
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Description
12 第1の片持ち梁
13 第2の片持ち梁
14,14a,14b 折り返し梁
15 固定端部
16 基板
17 固定部
18 自由端部
19,19a,19b 連結部材
20 基端部
21 先端部
22 変位部材
34 下部電極層
35 圧電体層
36 上部電極層
37,38,42,43 引出電極
41 可変容量素子
44 第1の容量電極
47,100 ブリッジ部材
49,50 第2の容量電極
53,102 空気層
61 光スイッチ
62 ミラー
63〜65 光ファイバ
72,92,98 絶縁体層
73,93 導電体層
74, 75, 94,95,99,103 電極パッド
76 通電体
77,78,96,104 接続ライン
79,80,97 ダミーライン
81 磁石
Claims (9)
- 一方の端部となる固定端部が固定部に固定される、片持ち梁と、
前記片持ち梁の前記固定端部とは逆の自由端部に固定される、連結部材と、
一方の端部となる基端部が前記連結部材に固定されかつ前記片持ち梁とは平行に折り返すように延びる、折り返し梁と、
前記折り返し梁の前記基端部とは逆の先端部に固定される、変位部材と、
前記片持ち梁および前記折り返し梁が並ぶ面に対して実質的に垂直な方向に前記変位部材を変位させるため、前記片持ち梁および前記折り返し梁の少なくとも一方を撓ませるように電気的に駆動するための駆動手段と
を備え、
前記片持ち梁および前記折り返し梁の少なくとも一方を撓ませることによって生じる、前記固定部に対する前記変位部材の変位を利用する変位素子であって、
前記片持ち梁と前記折り返し梁とは、互いに同じ材料からなり、さらに、
前記固定部、前記連結部材および前記変位部材は、前記片持ち梁および前記折り返し梁と比較して、その厚み方向寸法が大きくされるとともに、
前記片持ち梁の、前記固定部と前記連結部材との間の長手方向寸法は、前記折り返し梁の、前記連結部材と前記変位部材との間の長手方向寸法と等しくされていることを特徴とする、
変位素子。 - 前記片持ち梁および前記折り返し梁は、ともに、互いに異なる材料からそれぞれなる複数の機能材料層を積層した構造を有し、かつ、前記片持ち梁と前記折り返し梁とは、互いに同じ積層構造を有していることを特徴とする、請求項1に記載の変位素子。
- 前記片持ち梁と前記折り返し梁とは、互いに同じ幾何学的形態を有することを特徴とする、請求項1に記載の変位素子。
- 前記片持ち梁は、互いの間に間隔を隔てて互いに平行に延びる第1および第2の片持ち梁を備え、前記折り返し梁は、前記第1および第2の片持ち梁の間に配置されることを特徴とする、請求項1に記載の変位素子。
- 前記駆動手段は、圧電体の逆圧電効果または電歪効果を利用する手段を備えることを特徴とする、請求項1に記載の変位素子。
- 前記駆動手段は、電磁力を利用する手段を備えることを特徴とする、請求項1に記載の変位素子。
- 前記駆動手段は、静電引力を利用する手段を備えることを特徴とする、請求項1に記載の変位素子。
- 前記変位部材上に設けられる第1の容量電極と、前記第1の容量電極に対して静電容量を形成するように空気層を隔てた位置に固定的に設けられる第2の容量電極とをさらに備え、前記変位部材の変位によって前記静電容量が変更される可変容量素子を構成することを特徴とする、請求項1に記載の変位素子。
- 前記変位部材上に設けられるミラーをさらに備え、前記変位部材の変位によって光路が変更される光スイッチを構成することを特徴とする、請求項1に記載の変位素子。
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