JP4359674B2 - 光触媒酸化チタン膜の高速成膜方法 - Google Patents
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Description
他方、酸素ガス導入量が多い場合には、酸化チタン薄膜は得られるものの、成膜速度が遅すぎる。
請求項2記載の発明は、前記交流電圧の周波数は10kHz以上100kHz以下にされた請求項1記載の酸化チタン膜製造方法である。
この成膜装置10は、真空槽11を有しており、該真空槽11の内部には、第1、第2のチタンターゲット121、122が配置されている。第1、第2のチタンターゲット121、122はチタンを主成分としており、ここでは純度99%以上の金属チタンターゲットである。第1、第2のチタンターゲット121、122の片面は、スパッタリングされるスパッタ面である。
ガス導入系23は、スパッタリングガスボンベ32aと酸素ガスボンベ32bを有しており、各ボンベ32a、32bは流量制御装置33a、33bを介して、真空槽11に接続されており、各ボンベ32a、32bに充填されたスパッタリングガスと酸素ガスを流量制御しながら真空槽11の内部に導入できるように構成されている。
従って、第1のチタンターゲット121と第2のチタンターゲット122は交互にスパッタリングされる。
スパッタリングの際、真空槽11内に搬入された基板15は、第1のチタンターゲット121と対面する位置と、第1のチタンターゲット122と対面する位置とをこの順序で通過する。
プラズマ中でのチタンの発光光の波長は500nmであり、受光装置13は波長500nmの光の受光強度を示す電圧の信号を制御装置20に出力する。
その結果、プラズマ中に含まれるチタンの割合は常に一定値に保たれる。
即ち、所定の投入電力でスパッタリングガスだけを導入したときのチタンの発光光の強度を100%とすると、同じ投入電力でスパッタリングガスに加えて酸素ガスを導入したときのチタンの発光光の強度が20%になるように、酸素ガスの導入量が制御される。
紫外線強度は1mW/cm2、メチレンブルー水溶液の濃度は0.01mmol/l、用いたメチレンブルー水溶液の量は20cc、サンプルサイズは75mm×25mmである。
紫外線照射時間と透過率の関係を図2のグラフに示す。上記各条件で形成した酸化チタン膜は光触媒性能を有している。
投入電力と接触角の関係を図3のグラフに示す。接触角90°以上を撥水性、90°〜10°が親水性、10°以下は超親水性と呼ばれており、6°〜7°になっているから明らかに超親水性が示されている。
膜厚と接触角の関係を図5のグラフに示す。全ての酸化チタン膜の接触角が6°〜7°であり、超親水性となっている。
121、122……第1、第2のチタンターゲット
15……基板
Claims (2)
- 真空槽内に第1、第2のチタンターゲットを配置し、
前記真空槽内にスパッタリングガスと酸素ガスを導入し、前記真空槽内を大気圧よりも低くした状態で
成膜対象の基板と前記第1、第2のチタンターゲットとを相対移動させ、
前記第1、第2のチタンターゲットに同じ周波数で180°異なる位相の交流電圧を印加してプラズマを生成し、前記第1、第2のチタンターゲットを交互にスパッタリングし、前記第1のチタンターゲットからのスパッタリング粒子と酸素の反応生成物と、前記第2のチタンターゲットからのスパッタリング粒子と酸素の反応生成物を交互に堆積させ、前記基板表面に酸化チタン膜を形成する酸化チタン膜製造方法であって、
前記酸素ガスを導入しないときの前記プラズマ中の波長500nmのチタンの発光光の強度を予め測定しておき、
前記第1、第2のチタンターゲットへの投入電力密度を3.2W/cm 2 以上6.4W/cm2以下にし、
予め測定しておいた前記発光光の強度の値を100%としたときに、スパッタリング中の前記チタンの発光光を測定し、測定した光強度が15%以上25%以下になるように流量制御しながら前記酸素ガスを導入し、
前記第1、第2のチタンターゲットへ交流電圧を印加し、光触媒性を有する酸化チタン膜を前記基板上に加熱せずに形成する酸化チタン膜製造方法。 - 前記交流電圧の周波数は10kHz以上100kHz以下にされた請求項1記載の酸化チタン膜製造方法。
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