JP2008102272A - エレクトロクロミック素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】高速成膜が可能であり、また空隙形成のための成膜条件制御も容易な成膜技術により、発色効率の高いエレクトロクロミック素子を低コストに提供する。
【解決手段】基板上に、第1の導電膜、酸化発色層、電解層、還元発色層、及び第2の導電膜がこの順或いは逆順で積層されてなる積層膜を有するエレクトロクロミック素子において、該酸化発色層、電解層及び還元発色層のうちのいずれか1層又は2層以上が、水素を含有する雰囲気において、デュアルマグネトロンスパッタ法により成膜される。プラズマエミッションコントロールによりスパッタ雰囲気の酸素濃度が制御されて成膜される。これらの層内にこの水素に起因するプロトンが導入されてプロトン導電性が付与されることになり、エレクトロクロミック現象の応答性が向上する。
【選択図】図1
【解決手段】基板上に、第1の導電膜、酸化発色層、電解層、還元発色層、及び第2の導電膜がこの順或いは逆順で積層されてなる積層膜を有するエレクトロクロミック素子において、該酸化発色層、電解層及び還元発色層のうちのいずれか1層又は2層以上が、水素を含有する雰囲気において、デュアルマグネトロンスパッタ法により成膜される。プラズマエミッションコントロールによりスパッタ雰囲気の酸素濃度が制御されて成膜される。これらの層内にこの水素に起因するプロトンが導入されてプロトン導電性が付与されることになり、エレクトロクロミック現象の応答性が向上する。
【選択図】図1
Description
本発明はエレクトロクロミック素子及びその製造方法に係り、特に、基板上の酸化発色層、電解層又は還元発色層を効率的に成膜するエレクトロクロミック素子及びその製造方法に関する。
エレクトロクロミック素子は、電圧の印加により電気化学的な酸化還元反応を誘起し、着色及び消色を生じさせる素子であり、ディスプレイや調光ウィンドウ等への利用が期待されている。エレクトロクロミック素子は、第6図に示す如く、基板1上に透明導電膜(第1の電極膜)2、酸化発色層3、電解層(イオン良導層)4、還元発色層5、透明導電膜(第2の電極膜)6が順次積層された構成とされている。7は、必要に応じて設けられる透明基板又は保護カバーである。透明基板1,7としてはガラス基板が用いられ、透明導電膜2,6としてはITO膜等が形成される。また、酸化発色層3としては、酸化ニッケル(NiO)、酸化イリジウム(IrOx)等が、還元発色層5としては酸化タングステン(WO3)、酸化モリブデン(MoO3)、酸化バナジウム(VO)等が形成される。また、電解層4としては、固体電解層として五酸化二タンタル(Ta2O5)、酸化シリコン(SiO2)、酸化クロム(Cr2O3)等が形成される。
電解層として液体電解層を設けたエレクトロクロミック素子もあり、このようなエレクトロクロミック素子は、第7図に示す如く、封止材(液封止用シール剤)8により電解液を封止して液体電解層4Aが形成されている。なお、第7図において第6図に示す部材と同一機能を奏する部材には同一符号を付してある。
従来、このようなエレクトロクロミック素子10,10Aの透明導電膜2,6、還元発色層3、酸化発色層6や固体電解層4は、スパッタ法(プレーナー型マグネトロンスパッタ法。以下、「通常のスパッタ法」と称す場合がある。)或いは蒸着法により形成されている。
なお、本発明で採用する後述のデュアルマグネトロンスパッタ法自体は公知の成膜手法であり、本出願人は先に、デュアルマグネトロンスパッタ法を、水浄化、空気浄化等に用いられる光触媒膜や、色素増感型太陽電池用半導体電極層の形成に応用する技術を提案している(特許文献1〜2)。
特開2003−117404号
特開2005−76105号
従来、エレクトロクロミック素子の酸化発色層や還元発色層等の成膜に用いられている通常のスパッタ法は、均一成膜が可能である反面、成膜速度が遅いという欠点がある。
一方、蒸着法は均一成膜が困難であり素子の大きさに制限が加わることや、成膜できる材料が限られるという欠点がある。
本発明は、上記従来の問題点を解決し、安定して高速成膜が可能であり、また水素導入による応答性向上を果たし、発色効率の高いエレクトロクロミック素子を低コストで提供することを目的とする。
本発明(請求項1)のエレクトロクロミック素子は、基板上に、第1の導電膜、酸化発色層、電解層、還元発色層、及び第2の導電膜がこの順或いは逆順で積層されてなる積層膜を有するエレクトロクロミック素子において、該酸化発色層、電解層及び還元発色層のうちのいずれか1層又は2層以上が、水素を含有する雰囲気において、デュアルマグネトロンスパッタ法により成膜されてなることを特徴とする。
請求項2のエレクトロクロミック素子は、請求項1において、プラズマエミッションコントロールによりスパッタ雰囲気の酸素濃度が制御されて成膜されてなることを特徴とする。
請求項3のエレクトロクロミック素子は、請求項1又は2において、前記酸化発色層がNi及び/又はIrをターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜されてなることを特徴とする。
請求項4のエレクトロクロミック素子は、請求項1ないし3のいずれか1項において、前記還元発色層がW、Mo及びVよりなる群から選ばれる1種又は2種以上をターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜されてなることを特徴とする。
請求項5のエレクトロクロミック素子は、請求項1ないし4のいずれか1項において、前記電解層がTa、Nb、Cr、Si、V、Zr、Hf、及びMgよりなる群から選ばれる1種又は2種以上をターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜されてなることを特徴とする。
請求項6のエレクトロクロミック素子は、請求項1ないし5のいずれか1項において、前記第1の導電膜及び第2の導電膜のうちの少なくとも一方が透明導電膜であり、該透明導電膜がITO、IZO、AZO、GZO、InSn合金、InZn合金、ZnAl合金、及びZnGa合金よりなる群から選ばれる1種又は2種以上をターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜されてなることを特徴とする。
請求項7のエレクトロクロミック素子は、請求項1ないし6のいずれか1項において、前記基板がガラス又は高分子フィルムよりなることを特徴とする。
本発明(請求項8)のエレクトロクロミック素子の製造方法は、基板上に、第1の導電膜、酸化発色層、電解層、還元発色層、及び第2の導電膜がこの順で或いは逆順で積層されてなる積層膜を形成してエレクトロクロミック素子を製造する方法において、該酸化発色層、電解層及び還元発色層のうちのいずれか1層又は2層以上を、水素を含有する雰囲気において、デュアルマグネトロンスパッタ法により成膜することを特徴とする。
請求項9のエレクトロクロミック素子の製造方法は、請求項8において、プラズマエミッションコントロールによりスパッタ雰囲気の酸素濃度を制御することを特徴とする。
請求項10のエレクトロクロミック素子の製造方法は、請求項8又は9において、前記酸化発色層をNi及び/又はIrをターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜することを特徴とする。
請求項11のエレクトロクロミック素子の製造方法は、請求項8ないし10のいずれか1項において、前記還元発色層をW、Mo及びVよりなる群から選ばれる1種又は2種以上をターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜することを特徴とする。
請求項12のエレクトロクロミック素子の製造方法は、請求項8ないし11のいずれか1項において、前記電解層をTa、Nb、Cr、Si、V、Zr、Hf、及びMgよりなる群から選ばれる1種又は2種以上をターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜することを特徴とする。
請求項13のエレクトロクロミック素子の製造方法は、請求項8ないし12のいずれか1項において、前記第1の導電膜及び第2の導電膜のうちの少なくとも一方が透明導電膜であり、該透明導電膜をITO、IZO、AZO、GZO、InSn合金、InZn合金、ZnAl合金、及びZnGa合金よりなる群から選ばれる1種又は2種以上をターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜することを特徴とする。
請求項14のエレクトロクロミック素子の製造方法は、請求項8ないし13のいずれか1項において、前記基板がガラス又は高分子フィルムよりなることを特徴とする。
デュアルマグネトロンスパッタ成膜法は、反応性ガスが含まれる雰囲気中で成膜を行う反応性スパッタ法による物理的蒸着法で、隣り合った少なくとも二つ以上のカソードに一定の周期で交互にパルス状の電圧を印加することによって、一方がカソードとしてスパッタリングされる際、もう一方はアノードとして機能する方法で、異常放電を大幅に抑制できることから、長時間安定した高速成膜が可能となり、更にはピンホールなどのダメージの少ない高品質の膜を成膜することが可能となる。
本発明では、酸化発色層、電解層及び還元発色層のうちのいずれか1層又は2層以上が、水素を含有する雰囲気において、デュアルマグネトロンスパッタ法により成膜されているため、これらの層内にこの水素に起因するプロトンが導入されることになる。これにより、エレクトロクロミック素子にプロトン導電性が付与されることになり、エレクトロクロミック現象の応答性が向上する。
本発明において、プラズマエミッションコントロールによりスパッタ雰囲気の酸素濃度を制御して成膜することが好ましい。この場合、金属領域と酸化物領域との間に存在する遷移領域での成膜を安定して行うことができ、更なる高速成膜化が可能となる。また、酸素含有量が制御された酸化物膜を均一かつ高速に成膜することができる。
なお、プラズマエミッションコントロールとは、スパッタ雰囲気における酸素やスパッタされた金属のプラズマ中での発光強度をモニターし、この結果をフィードバックして酸素ガス流量の制御弁(例えばピエゾバルブ)の開度を調節する制御方法である。
以下に本発明のエレクトロクロミック素子及びその製造方法の実施の形態を詳細に説明する。
まず、本発明で採用するデュアルマグネトロンスパッタ法による成膜方法について説明する。
デュアルマグネトロンスパッタ法には、バイポーラ型デュアルマグネトロンスパッタ法とユニポーラ型デュアルマグネトロンスパッタ法が知られている。
第1図は、バイポーラ型デュアルマグネトロンスパッタ装置の概略的な構成を示す模式図、第2図は第1図において、磁界に形成されたグロー放電を示す該略図である。
支持体30a上にターゲット31aが設けられたターゲット電極と、その背後の磁石32aを有するスパッタリング部、及び支持体30b上にターゲット31bが設けられたターゲット電極と、その背後に磁石32bを有するスパッタリング部が隣接して設置され、これらのスパッタリング部に、スイッチングユニット34を介して直流電源35が接続されている。あるいはスイッチングユニット34と直流電源35の機能をひとつにまとめた形の交流電源を設置してもよい。スイッチングユニット34からターゲットに印加される電圧波形あるいは交流電源からの電圧波形は、矩形波、三角波、サイン波などが用いられ、周波数としては100Hz〜1MHz程度である。
ターゲット31a,31bの上方にコリメータ36a,36bが設けられており、これらコリメータ36a,36bは、それぞれ図示しないフィルタ及び光倍増幅管を介して、プラズマエミッションモニター(以下PEMと称することがある。)37a,37bに接続されている。これらコリメータ36a,36b、フィルタ、光倍増幅管及びPEM37a,37bにより、第1、第2のモニタが構成されている。
PEMは、プラズマの発光をコリメータで集光し、光倍増幅管(PM)で光電変換した電気信号を監視する装置である。PEMはある一定の感度に設定されてプラズマの発光強度をモニタするようになっている。
ターゲット31a,31b用のフィルタとしては、ターゲットからスパッタされた金属や、ガス雰囲気中の酸素の発光スペクトルの波長を選択的に通過させることが可能なものが用いられる。
上記装置を用いて、酸化発色層、電解層、還元発色層などの金属酸化物膜を成膜する際には、先ずターゲット31a,31bの上方に基板33を配置し、ポンプによって装置内を真空にした後、アルゴン等の不活性ガス中に酸素及び水素を含有させた混合ガスを装置内に導入し、装置内を所定の圧力とする。
次いで、ターゲット31a,31bに交互に電圧を印加して、グロー放電E(第2図参照)を形成させる。これにより、これらの上部を右方向に移動する基板33上にスパッタリングされた粒子が付着し、酸化物膜が形成される。基板の搬送に関しては、搬送せずに固定とし、基板とターゲットの間にシャッター機構をもたせる場合や、基板がフィルム状の場合には基板をドラムに沿って走行させて成膜するいわゆるRoll−to−Rollのウェブコーターとするなど、様々な方式が可能なことは言うまでも無い。
ターゲット31a,31bのスパッタ時におけるターゲットからスパッタされた金属や酸素の放電の発光波長と発光強度が、コリメータ36a,36b、フィルタ及び光倍増幅管を介して電気信号となり、PEM37a,37bによって検知される。これらの電気信号から第1のターゲット31aのスパッタ速度と第2のターゲット31bのスパッタ速度が算出される。この算出結果に基づき、各ターゲット31a,31bに供給される酸素量が制御される(プラズマエミッションコントロール)。
この方法では、スイッチングユニット34からの電圧出力波形が交流でターゲット31a、31bが交互にスパッタされることから、片方がスパッタされている時にもう一方はアノードとして機能し、ターゲット表面のチャージがキャンセルされることから安定して成膜することができ、大電力の投入が可能となることから高速に成膜することができる。
また、形成される酸化物膜内に、雰囲気中の水素に起因するプロトンが導入されることになる。これにより、膜にプロトン導電性が付与されることになり、この膜を用いたエレクトロクロミック素子は、エレクトロクロミック現象の応答性に優れたものになる。
この方法では、プラズマエミッションコントロールによりスパッタ雰囲気の酸素濃度が制御されるため、均一な膜を高速にて成膜することができる。
即ち、通常の反応性スパッタ成膜では、成膜中に反応性ガスである酸素とターゲット表面とが反応し、ターゲット表面が金属酸化物に変化してしまい、これが成膜速度を低下させる原因になっている。第4図は、装置内に導入する反応性ガス流量を通常の流量計を用いて制御したときの、反応性ガス流量と成膜速度との関係を示す模式図である。第4図の通り、成膜チャンバー内に導入する酸素流量を通常の流量計を用いて制御した場合、反応性ガス流量と成膜速度との関係はヒステリシス曲線を描くことが知られている。そして、この流量計を用いた制御方法では、ターゲット表面が完全に酸化されている「反応性スパッタ領域」と、ターゲット表面が酸化されずに成膜が行われている「金属的スパッタ領域」のどちらかでのみの成膜が可能である。しかし、「反応性スパッタ領域」では成膜速度が非常に遅く、また、「金属的スパッタ領域」では得られた膜に含まれる酸素量が不十分で吸収のある膜となる。
そこで、この2領域の中間領域である「遷移領域」で成膜が行われることが望ましい。この遷移領域であれば、成膜速度を大幅に低下させること無く、十分に酸素と反応した酸化物膜を作製することが可能である。
本実施の形態では、成膜時の金属や酸素の発光波長と発光量をモニタリングし、プラズマ中の金属や酸素の密度から導入する酸素量を精密に制御するプラズマエミッションコントロールを実施している。このプラズマエミッションコントロールを行う場合、反応性ガス流量と成膜速度との関係が第5図のようにS字カーブを描くことが知られている。そして、このプラズマエミッションコントロールによると、「遷移領域」での安定な成膜が可能となる。これにより、均一な膜を高速で成膜することができる。
第3図にユニポーラ型デュアルマグネトロンスパッタリング法を説明するための概略図の1例を示す。支持体40a上にターゲット41aが設けられたターゲット電極と、その背後の磁石42aを有するスパッタリング装置、及び支持体40b上にターゲット41bが設けられたターゲット電極と、その背後に磁石42bを有するスパッタリング装置が隣接して設置され、これらのスパッタリング装置のそれぞれに、スイッチングユニット44a,44bを介して、それぞれ直流電源45a,45bが接続され、アノード電極48a,48bにそれぞれ連結されている。
ターゲット41a,41bの上方にコリメータ46a,46bが設けられており、これらコリメータ46a,46bは、それぞれ図示しないフィルタ及び光倍増幅管を介して、プラズマエミッションモニター(以下PEMと称することがある。)47a,47bに接続されている。これらコリメータ46a,46b、フィルタ、光倍増幅管及びPEM47a,47bにより、第1、第2のモニタが構成されている。
PEMは、プラズマの発光をコリメータで集光し、光倍増幅管(PM)で光電変換した電気信号を監視する装置である。PEMはある一定の感度に設定されてプラズマの発光強度をモニタするようになっている。
ターゲット41a,41b用のフィルタとしては、ターゲットからスパッタされた金属や、ガス雰囲気中の酸素の発光スペクトルの波長を選択的に通過させることが可能なものが用いられる。
上記装置を用いて金属酸化物膜を成膜する際には、先ずターゲット41a,41bの上方に基板43を配置し、ポンプによって装置内を真空にした後、アルゴン等の不活性ガス中に酸素及び水素を含有させた混合ガスを装置内に導入し、装置内を所定の圧力とする。
次いで、ターゲット41a,41bに交互に電圧を印加して、グロー放電E(第2図参照)を形成させる。これにより、これらの上部を右方向に移動する基板43上にスパッタリングされた粒子が付着し、酸化物膜が形成される。基板の搬送に関しては、搬送せずに固定とし、基板とターゲットの間にシャッター機構をもたせる場合や、基板がフィルム状の場合には基板をドラムに沿って走行させて成膜するいわゆるRoll−to−Rollのウェブコーターとするなど、様々な方式が可能なことは言うまでも無い。
ターゲット41a,41bのスパッタ時におけるターゲットからスパッタされた金属又は酸素の放電の発光波長と発光強度が、コリメータ46a,46b、フィルタ及び光倍増幅管を介して電気信号となり、PEM47a,47bによって検知される。これらの電気信号から第1のターゲット41aのスパッタ速度と第2のターゲット41bのスパッタ速度が算出される。この算出結果に基づき、各ターゲット41a,41bに供給される酸素量が制御される(プラズマエミッションコントロール)。
この方法でも、上記のバイポーラ型デュアルマグネトロンスパッタ法の場合と同様に、均一な膜を高速にて成膜することができる。また、膜にプロトン導電性が付与されることになり、エレクトロクロミック現象の応答性に優れたものになる。さらに、プラズマエミッションコントロールによりスパッタ雰囲気の酸素濃度が制御されるため、均一な膜を高速にて成膜することができる。またユニポーラ型の場合は1つのカソードでの単独使用も可能である。
上記デュアルマグネトロンスパッタリングを行う際、到達真空度は1×10−3Pa以下、特に6×10−4Pa以下とした後、不活性ガス、酸素分子及び水素を有するガスが導入され、0.1〜3.0Paの範囲に調整される。ここで、上記スパッタ空間に供給される酸素分子を有するガスとしては、公知のガスを使用することができ、具体的には、酸素、オゾン、空気、水等が挙げられ、通常は酸素が用いられる。また、不活性ガスとしては、ヘリウム、アルゴンなどを用いることができ、特に工業的に安価なアルゴンが好適に使用し得る。
上記ガスの流量は、装置の内容量の大きさ、カソードの数などにより適宜選定されるが、不活性ガスと酸素分子を有するガスとの合計量で、通常20〜1000cc/分程度である。
投入電力も適宜選定されるが、放電が安定な範囲で高い投入電力とすることが好ましく、ターゲット単位面積当りのエネルギー量を一般に3W/cm2以上、さらに5W/cm2以上、特に10W/cm2以上とすることが好ましく、これによりエレクトロクロミック素子の高速成膜が可能となる。
さらに、スパッタリングのその他の条件は公知の条件でよく、例えばスパッタリング時の圧力は0.1〜3.0Paとすることができ、スパッタ膜が形成される基板の種類、膜厚なども適宜選定される。
なお、酸化発色層、電解層及び還元発色層の3層のうち、特に電解層を、水素を含有するガス雰囲気においてデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜するのが好ましい。
また、これら3層のうち、水素を含有するガス雰囲気においてデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜しない層にあっては、ガス雰囲気に水素を含有させることなくデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜してもよい。また、導電膜についても、デュアルマグネトロンスパッタ法により成膜してもよい。
以下に各層の成膜方法、成膜条件等の一例について説明する。
<透明導電膜>
透明導電膜をデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜する場合、ターゲットとしては、ITO(SnドープIn2O3)、IZO(InドープZnO)、AZO(AlドープZnO)、GZO(GaドープZnO)、InSn合金、InZn合金、ZnAl合金、及びZnGa合金よりなる群から選ばれる1種又は2種以上を用い、装置及びターゲットサイズによるが、一般的に次のような条件で成膜することができる。
透明導電膜をデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜する場合、ターゲットとしては、ITO(SnドープIn2O3)、IZO(InドープZnO)、AZO(AlドープZnO)、GZO(GaドープZnO)、InSn合金、InZn合金、ZnAl合金、及びZnGa合金よりなる群から選ばれる1種又は2種以上を用い、装置及びターゲットサイズによるが、一般的に次のような条件で成膜することができる。
スパッタ圧力:0.1〜3.0Pa
電力密度:1〜25W/cm2
アルゴン:20〜1000sccm
酸素ガス:0〜120sccm
基板温度:室温
電力密度:1〜25W/cm2
アルゴン:20〜1000sccm
酸素ガス:0〜120sccm
基板温度:室温
通常、透明導電膜はITO、IZO、AZO、GZO等により、必要な抵抗値によるが、10〜500nm程度の厚さに形成される。その際、本発明に従って、デュアルマグネトロンスパッタ法を採用することにより、30〜150nm・m/minの動的成膜速度の高速成膜を行うことができる。
<酸化発色層>
酸化発色層をデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜する場合、ターゲットとしては、Ni、及び/又はIrを用い、装置及びターゲットサイズによるが、一般的に次のような条件で成膜することができる。
酸化発色層をデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜する場合、ターゲットとしては、Ni、及び/又はIrを用い、装置及びターゲットサイズによるが、一般的に次のような条件で成膜することができる。
スパッタ圧力:0.1〜3.0Pa
電力密度:1〜25W/cm2
アルゴン:20〜1000sccm
酸素ガス:0〜120sccm
水素ガス:0〜120sccm
基板温度:室温
酸素ガスは遷移領域にて透明かつ高速成膜が成し遂げられる流量に適宜変更される。
電力密度:1〜25W/cm2
アルゴン:20〜1000sccm
酸素ガス:0〜120sccm
水素ガス:0〜120sccm
基板温度:室温
酸素ガスは遷移領域にて透明かつ高速成膜が成し遂げられる流量に適宜変更される。
通常、酸化発色層はNiO、IrOx等により、50〜750nm程度の厚さに形成される。その際、本発明に従って、デュアルマグネトロンスパッタ法を採用することにより、30〜150nm・m/minの動的成膜速度の高速成膜を行うことができる。
<還元発色層>
還元発色層をデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜する場合、ターゲットとしては、W、Mo、及びVよりなる群から選ばれる1種又は2種以上を用い、装置及びターゲットサイズによるが、一般的に次のような条件で成膜することができる。
還元発色層をデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜する場合、ターゲットとしては、W、Mo、及びVよりなる群から選ばれる1種又は2種以上を用い、装置及びターゲットサイズによるが、一般的に次のような条件で成膜することができる。
スパッタ圧力:0.1〜3.0Pa
電力密度:1〜25W/cm2
アルゴン:20〜1000sccm
酸素ガス:0〜120sccm
水素ガス:0〜120sccm
基板温度:室温
酸素ガスは遷移領域にて透明かつ高速成膜が成し遂げられる流量に適宜変更される。
電力密度:1〜25W/cm2
アルゴン:20〜1000sccm
酸素ガス:0〜120sccm
水素ガス:0〜120sccm
基板温度:室温
酸素ガスは遷移領域にて透明かつ高速成膜が成し遂げられる流量に適宜変更される。
通常、還元発色層はWO3、MoO3、VO等により、100〜1000nm程度の厚さに形成される。その際、本発明に従って、デュアルマグネトロンスパッタ法を採用することにより、30〜150nm・m/minの動的成膜速度の高速成膜を行うことができる。
<電解層>
固体電解層をデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜する場合、ターゲットとしては、Ta、Nb、Cr、Si、V、Zr、Hf、及びMgよりなる群から選ばれる1種又は2種以上を用い、装置及びターゲットサイズによるが、一般的に次のような条件で成膜することができる。
固体電解層をデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜する場合、ターゲットとしては、Ta、Nb、Cr、Si、V、Zr、Hf、及びMgよりなる群から選ばれる1種又は2種以上を用い、装置及びターゲットサイズによるが、一般的に次のような条件で成膜することができる。
スパッタ圧力:0.1〜3.0Pa
電力密度:1〜35W/cm2
アルゴン:20〜1200sccm
酸素ガス:0〜150sccm
水素ガス:0〜150sccm
基板温度:室温
酸素ガスは遷移領域にて透明かつ高速成膜が成し遂げられる流量に適宜変更される。
電力密度:1〜35W/cm2
アルゴン:20〜1200sccm
酸素ガス:0〜150sccm
水素ガス:0〜150sccm
基板温度:室温
酸素ガスは遷移領域にて透明かつ高速成膜が成し遂げられる流量に適宜変更される。
通常、電解層は、Ta2O5、Cr2O5、Mb2O5、SiO2等により、200〜3000nm程度の厚さに形成される。その際、本発明に従って、デュアルマグネトロンスパッタ法を採用することにより、30〜300nm・m/minの動的成膜速度の高速成膜を行うことができる。
なお、上記各層のデュアルマグネトロンスパッタ法による成膜に当たり、2種類以上のターゲットを用いて複合酸化物層を形成することも可能である。また、各層を2種以上の材料の多層膜とすることもできる。
本発明によりエレクトロクロミック素子を製造するには、例えば、ガラス基板や高分子フィルム等の透明基板上に透明導電膜、酸化発色層、電解層、還元発色層及び透明導電膜をデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜すれば良い。或いは、予め透明導電膜が形成された透明基板上に酸化発色層、電解層、還元発色層及び透明導電膜を順次成膜すれば良い。
なお、以上の説明では、第6図に示す如く、透明基板上に透明導電膜、酸化発色層、電解層、還元発色層及び透明導電膜を有するエレクトロクロミック素子を、透明基板にこれらの層を順次積層成膜して製造する方法を示したが、本発明のエレクトロクロミック素子は、これに限らず、透明基板上に透明導電膜、還元発色層、電解層、酸化発色層及び透明導電膜を有するエレクトロクロミック素子であっても良く、この場合には透明基板上にこの順で各層を積層成膜すれば良い。また、導電膜の一方が透明でなく金属膜等の不透明導電膜であっても良い。
以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
なお、以下において基板として用いたITOガラスは、厚さ1mmのガラス基板の一方の面に厚さ250nmのITO膜が形成されたものである。
実施例1
第1図に示すバイポーラ型デュアルマグネトロンスパッタ装置を用い、チャンバーに、基板としてITOガラスをセットし、チャンバー内を6.0×10−4Paまで排気した後、0.5Paのガス圧となるようにガス(アルゴンガス、酸素及び水素)を導入した。パルス周波数を50kHzとし、交互に各ターゲットに電圧を印加した。消費電力は片方のターゲットにつき12kWとなった。なお、プラズマエミッションコントロールにより遷移領域での成膜を行った。
第1図に示すバイポーラ型デュアルマグネトロンスパッタ装置を用い、チャンバーに、基板としてITOガラスをセットし、チャンバー内を6.0×10−4Paまで排気した後、0.5Paのガス圧となるようにガス(アルゴンガス、酸素及び水素)を導入した。パルス周波数を50kHzとし、交互に各ターゲットに電圧を印加した。消費電力は片方のターゲットにつき12kWとなった。なお、プラズマエミッションコントロールにより遷移領域での成膜を行った。
このようにして、酸化発色層、電解質層及び還元発色層の3層の多層膜を成膜して、第8図に示すエレクトロクロミック素子を製造した。
その後、通常のDCスパッタ法により透明導電膜(ITO薄膜)を厚み200nmに形成し、エレクトロクロミック素子とした。
なお、具体的な成膜条件は下記表1の通りとし、その他の条件は、次の通りである。
<デュアルマグネトロンスパッタ装置>
・ターゲット寸法:120mm×999mm×6mmt(2個)
・カソード形状:平行平板対向型(上記ターゲットを2枚平行に対向させて配置、距離200mm)
・基板温度:室温(基板加熱なし)
・基板位置:カソード端部と基板との距離80mm
<酸化発色層>
・ターゲット材料:Ni
<電解質層>
・ターゲット材料:Ta
<還元発色層>
・ターゲット材料:W
<DCスパッタ装置>
・ターゲット寸法:100mm×1000mm×5mmt
・カソード形状:プレーナ型マグネトロン、基板と平行に対面して設置
・基板温度:室温(基板加熱なし)
・基板位置:カソードと基板との距離80mm
・ターゲット寸法:120mm×999mm×6mmt(2個)
・カソード形状:平行平板対向型(上記ターゲットを2枚平行に対向させて配置、距離200mm)
・基板温度:室温(基板加熱なし)
・基板位置:カソード端部と基板との距離80mm
<酸化発色層>
・ターゲット材料:Ni
<電解質層>
・ターゲット材料:Ta
<還元発色層>
・ターゲット材料:W
<DCスパッタ装置>
・ターゲット寸法:100mm×1000mm×5mmt
・カソード形状:プレーナ型マグネトロン、基板と平行に対面して設置
・基板温度:室温(基板加熱なし)
・基板位置:カソードと基板との距離80mm
比較例1
通常のDCマグネトロンスパッタ装置を用いて、実施例1と同様の層構成のエレクトロクロミック素子(第7図)を製造した。
通常のDCマグネトロンスパッタ装置を用いて、実施例1と同様の層構成のエレクトロクロミック素子(第7図)を製造した。
真空チャンバーに、基板としてITOガラスをセットし、荒引きポンプ(ロータリーポンプ+メカニカルブースターポンプ)で1×10−1Paまで排気した後、ターボ分子ポンプで6×10−4Paまで排気し、次いで4層の多層膜を成膜した。
なお、具体的な成膜条件は下記表2の通りとし、その他の条件は、次の通りである。
<DCスパッタ装置>
・ターゲット寸法:100mm×400mm×5mmt
・カソード形状:プレーナ型マグネトロン、基板と平行に対面して設置
・基板温度:室温(基板加熱なし)
・基板位置:ターゲットと基板との距離80mm
・ターゲット寸法:100mm×400mm×5mmt
・カソード形状:プレーナ型マグネトロン、基板と平行に対面して設置
・基板温度:室温(基板加熱なし)
・基板位置:ターゲットと基板との距離80mm
<評価>
実施例1のエレクトロクロミック素子の両電極間に電圧を印加(還元発色層側をマイナス、酸化発色層側をプラスとし両電極間に1.5V印加)すると、両発色層が着色し、透過率が75%から10%へと変化した。一方、逆方向に電圧を印加すると透過率が10%から75%へと変化し、可逆性の調光性能が得られることが確認できた。
実施例1のエレクトロクロミック素子の両電極間に電圧を印加(還元発色層側をマイナス、酸化発色層側をプラスとし両電極間に1.5V印加)すると、両発色層が着色し、透過率が75%から10%へと変化した。一方、逆方向に電圧を印加すると透過率が10%から75%へと変化し、可逆性の調光性能が得られることが確認できた。
この際、実施例1では着色に4秒、消色に2秒程度で着脱色が出来る事が確認できた。これに対し、比較例1では着色に40秒、消色に20秒必要であった。
この結果、実施例1では高速成膜が可能であることが確認された。また、実施例1では水素の導入によりエレクトロクロミックの応答性が向上することが確認された。
1,7 透明基板
2,6 透明導電膜
3 酸化発色層
4,4A 電解層
5 還元発色層
8 封止材
10,10A エレクトロクロミック素子
30a,30b,40a,40b 支持体
31a,31b,41a,41b ターゲット
32a,32b,42a,42b 磁石
33,43 基板
35,45a,45b 交流電源
36a,36b,46a,46b コリメータ
37a,37b,47a,47b PEM
2,6 透明導電膜
3 酸化発色層
4,4A 電解層
5 還元発色層
8 封止材
10,10A エレクトロクロミック素子
30a,30b,40a,40b 支持体
31a,31b,41a,41b ターゲット
32a,32b,42a,42b 磁石
33,43 基板
35,45a,45b 交流電源
36a,36b,46a,46b コリメータ
37a,37b,47a,47b PEM
Claims (14)
- 基板上に、第1の導電膜、酸化発色層、電解層、還元発色層、及び第2の導電膜がこの順或いは逆順で積層されてなる積層膜を有するエレクトロクロミック素子において、
該酸化発色層、電解層及び還元発色層のうちのいずれか1層又は2層以上が、水素を含有する雰囲気において、デュアルマグネトロンスパッタ法により成膜されてなることを特徴とするエレクトロクロミック素子。 - 請求項1において、プラズマエミッションコントロールによりスパッタ雰囲気の酸素濃度が制御されて成膜されてなることを特徴とするエレクトロクロミック素子。
- 請求項1又は2において、前記酸化発色層がNi及び/又はIrをターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜されてなることを特徴とするエレクトロクロミック素子。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、前記還元発色層がW、Mo及びVよりなる群から選ばれる1種又は2種以上をターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜されてなることを特徴とするエレクトロクロミック素子。
- 請求項1ないし4のいずれか1項において、前記電解層がTa、Nb、Cr、Si、V、Zr、Hf、及びMgよりなる群から選ばれる1種又は2種以上をターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜されてなることを特徴とするエレクトロクロミック素子。
- 請求項1ないし5のいずれか1項において、前記第1の導電膜及び第2の導電膜のうちの少なくとも一方が透明導電膜であり、該透明導電膜がITO、IZO、AZO、GZO、InSn合金、InZn合金、ZnAl合金、及びZnGa合金よりなる群から選ばれる1種又は2種以上をターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜されてなることを特徴とするエレクトロクロミック素子。
- 請求項1ないし6のいずれか1項において、前記基板がガラス又は高分子フィルムよりなることを特徴とするエレクトロクロミック素子。
- 基板上に、第1の導電膜、酸化発色層、電解層、還元発色層、及び第2の導電膜がこの順で或いは逆順で積層されてなる積層膜を形成してエレクトロクロミック素子を製造する方法において、
該酸化発色層、電解層及び還元発色層のうちのいずれか1層又は2層以上を、水素を含有する雰囲気において、デュアルマグネトロンスパッタ法により成膜することを特徴とするエレクトロクロミック素子の製造方法。 - 請求項8において、プラズマエミッションコントロールによりスパッタ雰囲気の酸素濃度を制御することを特徴とするエレクトロクロミック素子の製造方法。
- 請求項8又は9において、前記酸化発色層をNi及び/又はIrをターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜することを特徴とするエレクトロクロミック素子の製造方法。
- 請求項8ないし10のいずれか1項において、前記還元発色層をW、Mo及びVよりなる群から選ばれる1種又は2種以上をターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜することを特徴とするエレクトロクロミック素子の製造方法。
- 請求項8ないし11のいずれか1項において、前記電解層をTa、Nb、Cr、Si、V、Zr、Hf、及びMgよりなる群から選ばれる1種又は2種以上をターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜することを特徴とするエレクトロクロミック素子の製造方法。
- 請求項8ないし12のいずれか1項において、前記第1の導電膜及び第2の導電膜のうちの少なくとも一方が透明導電膜であり、該透明導電膜をITO、IZO、AZO、GZO、InSn合金、InZn合金、ZnAl合金、及びZnGa合金よりなる群から選ばれる1種又は2種以上をターゲットとするデュアルマグネトロンスパッタ法により成膜することを特徴とするエレクトロクロミック素子の製造方法。
- 請求項8ないし13のいずれか1項において、前記基板がガラス又は高分子フィルムよりなることを特徴とするエレクトロクロミック素子の製造方法。
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- 2006-10-18 JP JP2006283883A patent/JP2008102272A/ja active Pending
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