JP5234773B2 - 酸化チタン膜の形成方法 - Google Patents
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Description
始めに、本発明の実施の形態1について説明する。図1および図2は、本発明の実施の形態における酸化チタン膜の形成方法を説明する説明図である。まず、図1に示すように、ECRスパッタ装置の、密閉可能な処理室における成膜室101の内部に膜形成対象の基板103を載置する。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。図5は、本発明の実施の形態2における酸化チタン膜の形成方法を説明する説明図である。まず、図5に示すように、平行平板電極型プラズマスパッタ装置の、密閉可能な処理室501の内部に膜形成対象の基板503を載置する。基板503は、平行平板型の陽極504の上に載置される。
次に、本発明の実施の形態3について説明する。図6は、本発明の実施の形態3における酸化チタン膜の形成方法を説明する説明図である。まず、図6に示すように、RFマグネトロンスパッタ装置の、密閉可能な処理室601の内部に膜形成対象の基板603を載置する。基板603は、陽極604の上に載置される。
Claims (1)
- 内部にチタンからなるターゲットが固定された密閉可能な処理室内に膜形成対象の基板を載置する第1工程と、
前記処理室内を真空排気する第2工程と、
前記処理室内に不活性ガスと酸素ガスを導入して不活性ガスと酸素ガスとのプラズマを生成し、前記ターゲットに負のバイアスを印加して前記プラズマにより発生した粒子を前記ターゲットに衝突させてスパッタ現象を起こし、酸化チタン膜を前記基板の表面に形成する第3工程と
を少なくとも備え、
前記プラズマは、電子サイクロトロン共鳴により生成されて発散磁界により運動エネルギーが与えられた電子サイクロトロン共鳴プラズマであり、
前記第3工程では、前記ターゲットと前記基板との距離を20cmとし、ヒータにより前記基板を600℃に加熱することで発生する輻射熱で前記ターゲットを加熱することを特徴とする酸化チタン膜の形成方法。
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