JP4342571B2 - リフロー方法およびパターン形成方法 - Google Patents
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Description
図1は本発明の一実施形態に係るリフロー方法を含むパターン形成方法を示すフローチャート、図2は各工程を説明するための工程断面図である。
図6はこのような処理システムを示すブロック図である。この処理システム50は、上述したように、レジスト塗布、露光、現像およびこれらに付随する熱処理等を行うフォトリソグラフィ技術によりレジスト層3を形成するレジストパターン形成装置51、レジストパターンをマスクとしてエッチング対象膜2をエッチングする、例えば平行平板型のプラズマエッチング装置52、ノズルからレジスト液を吐出して補助パターンのレジスト層6を形成するインクジェット塗布装置53、レジスト層3、6を軟化させ、流動させるリフロー処理を行うリフロー装置54等を備えており、さらに、これらの間で基板1を搬送する搬送機構55を備えている。また、これら処理装置51〜54および搬送機構55を制御するマイクロプロセッサ(コンピュータ)からなるプロセスコントローラ58を有している。プロセスコントローラ58には、オペレータが処理システム50を管理するためにコマンドの入力操作等を行うキーボードや、プラズマ処理装置の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等からなるユーザーインターフェース59が接続されている。
2;エッチング対象層
3;第1のパターンのレジスト層
4;レジスト部
5;第1のエッチング部位
6;補助パターンのレジスト層
7;レジスト部
8;インクジェットノズル
9;レジスト液
10;一体化したレジスト部
11;第2のパターンのレジスト層
12;表面張力
13;第2のエッチング部位
50;処理システム
51;レジストパターン形成装置
52;プラズマエッチング装置
53;インクジェット塗布装置
54;リフロー装置
58;プロセスコントローラ
60;記憶部
Claims (8)
- 下地層の上に形成された、複数のレジスト部が所定の間隔で配置された第1のパターンのレジスト層を軟化させて流動させることにより、その中の互いに隣接するレジスト部を一体化させて第2のパターンのレジスト層を形成するリフロー方法であって、
前記第1のパターンの隣接するレジスト部の間にレジスト液を滴下して補助パターンを形成し、その後、前記第1のパターンのレジスト層と前記補助パターンのレジスト層を軟化させて流動させることにより前記隣接するレジスト部と補助パターンのレジスト部を一体化することを特徴とするリフロー方法。 - 前記第1のパターンのレジスト層と前記補助パターンのレジスト層の軟化・流動は、これらを有機溶剤雰囲気に曝すことにより行われることを特徴とする請求項1に記載のリフロー方法。
- 前記補助パターンのレジスト層は、インクジェット方式によりレジスト液を滴下して形成されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のリフロー方法。
- 被エッチング層に所定パターンのレジスト層をマスクとしてエッチング処理を施し、所定のパターンを形成するパターン形成方法であって、
被エッチング層の上に、複数のレジスト部が所定の間隔で配置された第1のパターンのレジスト層を形成する工程と、
前記第1のパターンのレジスト層をマスクとして前記被エッチング層に第1のエッチングを施す工程と、
前記第1のパターンの中の互いに隣接するレジスト部の間にレジスト液を滴下して補助パターンのレジスト層を形成する工程と、
その後、前記第1のパターンのレジスト層と前記補助パターンのレジスト層を軟化させて流動させることにより前記隣接するレジスト部と補助パターンのレジスト部を一体化して第2のパターンのレジスト層を形成する工程と、
前記第2のパターンのレジスト層をマスクとして前記被エッチング層に第2のエッチングを施す工程と
を有することを特徴とするパターン形成方法。 - 前記第1のパターンのレジスト層と前記補助パターンのレジスト層の軟化・流動は、これらを有機溶剤雰囲気に曝すことにより行われることを特徴とする請求項4に記載のパターン形成方法。
- 前記補助パターンのレジスト層は、インクジェット方式によりレジスト液を滴下して形成されることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のパターン形成方法。
- コンピュータ上で動作し、処理システムを制御するプログラムが記憶された記憶媒体であって、前記プログラムは、実行時に、請求項1から請求項3のいずれかのリフロー方法が行われるように、コンピュータに前記処理システムを制御させることを特徴とする記憶媒体。
- コンピュータ上で動作し、処理システムを制御するプログラムが記憶された記憶媒体であって、前記プログラムは、実行時に、請求項4から請求項6のいずれかのパターン形成方法が行われるように、コンピュータに前記処理システムを制御させることを特徴とする記憶媒体。
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