JP2009076732A - エッチングマスクの形成方法、制御プログラム及びプログラム記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【課題】複雑なパターンのレチクルを用いることなく非直線状の微細なパターンのエッチングマスクを精度良く容易に形成することのできるエッチングマスクの形成方法、制御プログラム及びプログラム記憶媒体を提供する。
【解決手段】第1のレチクルを用いて、フォトレジスト11に直線状の露光パターン10を転写、現像、トリミングした後、これをマスクとしてSiO2層12をエッチングする。次に、第2のレチクルを用いて、フォトレジスト14に直線状の露光パターン15を転写、現像した後、SiO2層12からのフォトレジスト14端部のはみ出し量Lを測定する。次に、フォトレジスト14のパターンを所定の太さ、長さにトリミングするとともに、はみ出し量Lを所定量以下とし、これをマスクとしてSi3N4層13をエッチングして略L字状のエッチングマスクを形成する。
【選択図】図2
【解決手段】第1のレチクルを用いて、フォトレジスト11に直線状の露光パターン10を転写、現像、トリミングした後、これをマスクとしてSiO2層12をエッチングする。次に、第2のレチクルを用いて、フォトレジスト14に直線状の露光パターン15を転写、現像した後、SiO2層12からのフォトレジスト14端部のはみ出し量Lを測定する。次に、フォトレジスト14のパターンを所定の太さ、長さにトリミングするとともに、はみ出し量Lを所定量以下とし、これをマスクとしてSi3N4層13をエッチングして略L字状のエッチングマスクを形成する。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体ウエハ等の基板にプラズマエッチング等のエッチング処理を施す際に使用するエッチングマスクを形成するためのエッチングマスクの形成方法、制御プログラム及びプログラム記憶媒体に関する。
従来から、半導体装置等の製造工程においては、半導体ウエハ等の基板にプラズマエッチング等のエッチング処理を施して、微細な回路パターン等を形成することが行われている。このようなエッチング処理工程では、フォトレジストを用いたフォトリソグラフィー工程によって、エッチングマスクを形成することが行われている。
このようなフォトリソグラフィー工程では、形成するパターンの微細化に対応するため、種々の技術が開発されている。その一つとして、所謂ダブルパターニングがある。このダブルパターニングは、第1のマスクパターン形成ステップと、この第1のマスクパターン形成ステップの後に行われる第2のマスクパターン形成ステップの2段階のパターニングを行うことによって、1回のパターニングでエッチングマスクを形成する場合より微細な間隔のエッチングマスクを形成できるようにしたものである(例えば、特許文献1参照。)。
また、フォトレジストの露光に使用するレチクルについてOPC(Optical Proximity Correction)を適用してパターンの微細化を行うことも知られている。このOPC技術を適用したレチクルにおいては、単純な直線状のマスクパターンに対しては、比較的簡単なパターンとなるが、例えば、図4(a)に示すようなL字状のマスクパターン(フォトレジストパターン)1等の非直線状のマスクパターンを形成する場合、露光に使用するレチクルは、図4(b)に示すパターン2のように、複雑な形状のパターンになる。
特開2007−027742号公報
上記したとおり、従来技術においては、L字状のマスクパターン等の非直線状の微細なマスクパターンを形成する場合、レチクルが複雑なパターンとなってしまうという課題があった。
また、このようなL字状のマスクパターン等を、ダブルパターニング技術により、第1のマスクパターン形成ステップによって形成した直線状のパターンと、第2のマスクパターン形成ステップによって形成した直線状のパターンによって形成しようとすると、仮にこれら2つの直線状のパターンの間に間隔等が空くと、2つの直線状のパターンが分離した状態となり、このようなマスクパターンを使用してゲート等を形成すると、電気的な接続が切断された状態のゲートとなってしまう。
このため、2つのパターンが分離することのないよう2つの直線状のパターンの端部がはみ出すように、重ね合わせる必要がある。しかし、このはみ出し量が大きすぎると、隣接するパターンと電気的に短絡を起こす可能性が生じる。このため、はみ出した部分をエッチングにより除去する方法が考えられており、重ねあわせ部分の制御(スティッチング制御)が煩雑になるという課題があった。
本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので、複雑なパターンのレチクルを用いることなく、非直線状の微細なパターンのエッチングマスクを、精度良く容易に形成することのできるエッチングマスクの形成方法、制御プログラム及びプログラム記憶媒体を提供しようとするものである。
請求項1のエッチングマスクの形成方法は、基板上の被エッチング層を所定のパターンにエッチングするためのエッチングマスクを形成する方法であって、第1のマスクパターン形成ステップと、前記第1のマスクパターン形成ステップの後に行われる第2のマスクパターン形成ステップとを有し、前記第1のマスクパターン形成ステップで形成された第1のパターンと、前記第2のマスクパターン形成ステップで形成された第2のパターンは、少なくとも1つの重ね合わせ部を有し、前記第1のマスクパターン形成ステップは、第1のパターントリミングステップと、第1のマスクエッチングステップとを有し、前記第2のマスクパターン形成ステップは、第2のパターントリミングステップと、第2のマスクエッチングステップとを有し、少なくとも1つの前記重ね合わせ部は、前記第2のパターントリミングステップによって、はみ出した部分のはみ出し量を減少させるよう補正して形成されることを特徴とする。
請求項2のエッチングマスクの形成方法は、請求項1記載のエッチングマスクの形成方法であって、前記基板は、前記被エッチング層上に形成された第2マスク層と、前記第2マスク層の上に形成された第1マスク層とを有し、前記第1のマスクパターン形成ステップにおいては、前記第1マスク層に前記第1のパターンを形成し、前記第2のマスクパターン形成ステップにおいては、前記第2マスク層に前記第2のパターンを形成することを特徴とする。
請求項3のエッチングマスクの形成方法は、請求項1又は2記載のエッチングマスクの形成方法であって、前記第1のパターンと前記第2のパターンは、前記重ね合わせ部において同一直線上に無いことを特徴とする。
請求項4のエッチングマスクの形成方法は、請求項1〜3いずれか1項記載のエッチングマスクの形成方法であって、前記第2のパターントリミングステップは、前記第2のパターンの長さを所定長さにするトリミングを同時に行うことを特徴とする。
請求項5の制御プログラムは、コンピュータ上で動作し、基板上の被エッチング層を所定のパターンにエッチングするためのエッチングマスクを形成する装置を制御する制御プログラムであって、実行時に、請求項1〜4いずれか1項記載のエッチングマスクの形成方法が実行されるように、前記エッチングマスクを形成する装置を制御することを特徴とする。
請求項6のプログラム記憶媒体は、基板上の被エッチング層を所定のパターンにエッチングするためのエッチングマスクを形成する装置を制御するためのコンピュータ上で動作する制御プログラムが記憶されたプログラム記憶媒体であって、前記制御プログラムは、実行時に、請求項1〜4いずれか1項記載のエッチングマスクの形成方法が行われるように、前記エッチングマスクを形成する装置を制御することを特徴とする。
本発明によれば、複雑なパターンのレチクルを用いることなく非直線状の微細なパターンのエッチングマスクを精度良く容易に形成することのできるエッチングマスクの形成方法、制御プログラム及びプログラム記憶媒体を提供することができる。
以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る半導体ウエハWの一部を拡大して模式的に示すものである。この実施形態は、図中点線で示すように、直線状の露光パターン10を有するレチクルと、直線状の露光パターン15を有するレチクルの2つのレチクルを用い、直線の端部が重なり合うように露光を行って、半導体ウエハWに略L字状のエッチングマスクを形成するものである。このように、角部を有する非直線状の露光パターンではなく、直線状の露光パターンを有する2つのレチクルを用いることによって、OPCモデルを簡素化することができ、図4に示したように、複雑なパターンのレチクルを使用する必要がなくなる。
図2(a)〜(i)は、本実施形態におけるエッチングマスクの形成工程を、模式的に示すものである。同図に示すように、本実施形態では、まず、第1のレチクルを用いて、半導体ウエハWに形成されたフォトレジスト11に露光を行い、直線状の露光パターン10を転写する(a)。
次に、フォトレジスト11の現像処理を行い、露光パターン通りの形状のフォトレジスト11が残り、他の部分には、半導体ウエハW表面に形成されたSiO2層12が露出した状態とする(b)。
次に、第1のパターントリミングステップを行い、フォトレジスト11のパターンを所定の太さ、長さにシュリンクさせる(c)。
次に、シュリンクさせたフォトレジスト11のパターンをマスクとして第1のマスクエッチングステップを行い、第1マスク層であるSiO2層12をエッチングして、SiO2層12を、シュリンクさせたフォトレジスト11のパターンの形状に残し、フォトレジスト11をアッシングにより除去する(d)。この状態では、SiO2層12以外の部分は、下層のSi3N4層(第2マスク層)13が露出した状態となっている。
以上の工程が、第1のマスクパターン形成ステップであり、半導体ウエハW上に、第1マスク層としてのSiO2層12からなる直線状の第1のパターンが形成される。次に、引き続いて、以下に示す第2のマスクパターン形成ステップを行う。
第2のマスクパターン形成ステップでは、半導体ウエハWに再びフォトレジスト14を塗布し、第2のレチクルを用いて、フォトレジスト14に露光を行い、直線状の露光パターン15を転写する(e)。なお、図2(e)には、フォトレジスト14を現像した後の状態を示してある。この工程では、露光パターン15の端部が、SiO2層12からなる直線状の第1のパターンの端部と確実に重ね合わせられるように、その一部がはみ出した状態となるように位置合わせし、露光パターン15を転写する。
次に、上記現像処理後の露光パターン通りの形状のフォトレジスト14が残った状態において、第1のマスクパターン形成ステップで形成されたSiO2層12からなる直線状の第1のパターンからはみ出しているフォトレジスト14端部のはみ出し量(図2(f)に示す長さL)を測定する(f)。
次に、第2のパターントリミングステップを行い、フォトレジスト14のパターンを所定の太さ、長さにトリミングする(g)。この際、上記したはみ出し量(図2(f)に示す長さL)が所定量以下となるように、シュリンク量を制御する。
次に、シュリンクさせたフォトレジスト14のパターンをマスクとして第2のマスクエッチングステップを行い(h)、第2マスク層であるSi3N4層13をエッチングして、Si3N4層13をシュリンクさせたフォトレジスト14のパターンの形状に残して下層のポリシリコン層16が露出した状態とし、フォトレジスト14をアッシングにより除去する(i)。
以上の工程によって、略L字状のエッチングマスクを形成することができ、この後、この略L字状のエッチングマスクを用いて、ポリシリコン層16のエッチングを行い、ポリシリコン層16を略L字状に形成する。
なお、上記の実施形態では、略L字状のエッチングマスクを形成する場合について説明したが、例えば、略コ字状のエッチングマスクや、その他直角でない角度で曲折された部分を有するエッチングマスク等、非直線状のエッチングマスクであれば、他の形状のものに対しても同様にして適用することができる。
図3は、上記のエッチングマスク形成方法を実施するための装置の構成の一例を模式的に示す上面図である。この装置は、内部に半導体ウエハWを搬送する搬送機構が設けられ、長方形状に形成された搬送部31を具備している。この搬送部31の長辺方向に沿って、一方(図中下側)には、半導体ウエハWを収容したカセット又はフープが載置される複数の載置部32,33と、半導体ウエハWに形成されたパターンの所望部位の寸法(CD)を測定するための測定装置38が設けられている。また、搬送部31の長辺方向に沿って、他方(図中上側)には、半導体ウエハWに、エッチング処理を施すための複数のプラズマエッチング処理部35,36,37が設けられている。
また、搬送部31の一方の端部には、半導体ウエハWの位置合わせを行うための位置合わせ装置34が設けられている。そして、載置部32,33に載置されたカセット又はフープから搬送部31の搬送機構によって取り出された半導体ウエハWは、一旦位置合わせ装置34に搬送され、ここで位置合わせされた後、各プラズマエッチング処理部35,36,37及び測定装置38に送られてエッチング処理及びパターンの所望部位の寸法(CD)の測定が行われ、処理が終了した半導体ウエハWは、載置部32,33に載置されたカセット又はフープに収容される。
上記の装置の各構成部は、プロセスコントローラ50によって制御される構成となっている。プロセスコントローラ50には、ユーザーインターフェース51が接続されている。ユーザーインターフェース51は、コマンドの入力操作等を行うためのキーボードや、装置の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等から構成されている。
また、プロセスコントローラ50には、この装置で実行される各種処理をプロセスコントローラ50の制御にて実現するための制御プログラムや、処理条件に応じて装置の各構成部に処理を実行させるための制御プログラムすなわちレシピが格納された記憶部52が接続されている。レシピはハードディスクや半導体メモリ等のプログラム記憶媒体に記憶されていてもよいし、CDROM、DVD等の可搬性のプログラム記憶媒体に記憶された状態で記憶部52の所定位置にセットするようになっていてもよい。さらに、他の装置から、例えば専用回線を介してレシピを適宜伝送させるようにしてもよい。
そして、必要に応じて、ユーザーインターフェース51からの指示等にて任意のレシピを記憶部52から呼び出してプロセスコントローラ50に実行させることで、プロセスコントローラ50の制御下でこの装置での所望の処理が行われる。
上記構成の装置を用いて、前述したはみ出し量(図2に示す長さL)の測定、及びSiO2層12のエッチング処理、Si3N4層16のエッチング処理を行ない、エッチングマスクを形成することができる。
W……半導体ウエハ、10……露光パターン、11……フォトレジスト、12……SiO2層、13……Si3N4層、14……フォトレジスト、15……露光パターン、16……ポリシリコン層。
Claims (6)
- 基板上の被エッチング層を所定のパターンにエッチングするためのエッチングマスクを形成する方法であって、
第1のマスクパターン形成ステップと、前記第1のマスクパターン形成ステップの後に行われる第2のマスクパターン形成ステップとを有し、
前記第1のマスクパターン形成ステップで形成された第1のパターンと、前記第2のマスクパターン形成ステップで形成された第2のパターンは、少なくとも1つの重ね合わせ部を有し、
前記第1のマスクパターン形成ステップは、第1のパターントリミングステップと、第1のマスクエッチングステップとを有し、
前記第2のマスクパターン形成ステップは、第2のパターントリミングステップと、第2のマスクエッチングステップとを有し、
少なくとも1つの前記重ね合わせ部は、前記第2のパターントリミングステップによって、はみ出した部分のはみ出し量を減少させるよう補正して形成される
ことを特徴とするエッチングマスクの形成方法。 - 請求項1記載のエッチングマスクの形成方法であって、
前記基板は、前記被エッチング層上に形成された第2マスク層と、前記第2マスク層の上に形成された第1マスク層とを有し、
前記第1のマスクパターン形成ステップにおいては、前記第1マスク層に前記第1のパターンを形成し、
前記第2のマスクパターン形成ステップにおいては、前記第2マスク層に前記第2のパターンを形成する
ことを特徴とするエッチングマスクの形成方法。 - 請求項1又は2記載のエッチングマスクの形成方法であって、
前記第1のパターンと前記第2のパターンは、前記重ね合わせ部において同一直線上に無いことを特徴とするエッチングマスクの形成方法。 - 請求項1〜3いずれか1項記載のエッチングマスクの形成方法であって、
前記第2のパターントリミングステップは、前記第2のパターンの長さを所定長さにするトリミングを同時に行うことを特徴とするエッチングマスクの形成方法。 - コンピュータ上で動作し、基板上の被エッチング層を所定のパターンにエッチングするためのエッチングマスクを形成する装置を制御する制御プログラムであって、
実行時に、請求項1〜4いずれか1項記載のエッチングマスクの形成方法が実行されるように、前記エッチングマスクを形成する装置を制御することを特徴とする制御プログラム。 - 基板上の被エッチング層を所定のパターンにエッチングするためのエッチングマスクを形成する装置を制御するためのコンピュータ上で動作する制御プログラムが記憶されたプログラム記憶媒体であって、
前記制御プログラムは、実行時に、請求項1〜4いずれか1項記載のエッチングマスクの形成方法が行われるように、前記エッチングマスクを形成する装置を制御することを特徴とするプログラム記憶媒体。
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