JP4312555B2 - 真空蒸着用ルツボおよび蛍光体シート製造装置 - Google Patents
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Description
このシステムでは、蛍光体シート(蛍光体層)に人体などの被写体の放射線画像情報を記録し、記録後に、蛍光体シートをレーザ光等の励起光で2次元的に走査して輝尽発光光を生ぜしめ、この輝尽発光光を光電的に読み取って画像信号を得、この画像信号に基づいて再生した画像を、CRTなどの表示装置や、写真感光材料などの記録材料等に、被写体の放射線画像として出力する。
これに対し、特許文献1や特許文献2に示されるように、真空蒸着等の物理蒸着法(気相成膜法)によって、支持体に蛍光体層を形成してなる蛍光体シートも知られている。蒸着によって作製される蛍光体層は、真空中で形成されるので不純物が少なく、また、バインダなどの蓄積性蛍光体以外の成分が殆ど含まれないので、性能のバラツキが少なく、しかも発光効率が非常に良好であるという、優れた特性を有している。
ここで、従来のルツボを用いた抵抗加熱によって蛍光体層を成膜すると、適正な品質の蛍光体層を安定して得ることができない。
さらに、従来のルツボでは、蒸発面(湯面)の揺らぎが大きく、そのため蒸発速度が不安定になり、やはり蛍光体層の特性分布が不均一になってしまう。
ここで、蛍光体層中において、付活剤は非常に微量であり、従って、多元の真空蒸着では、成膜材料のルツボへの充填量も少ない。そのため、突沸等によって材料がルツボの外部に漏れてしまうと、材料の利用効率が著しく悪くなってしまう。しかも、付活剤の材料は高価な物が多く、ルツボからの材料漏れは、コスト的にも大きな問題となる。
このような本発明の真空蒸着用ルツボの第1の態様において、前記対流部材が、通電により発熱する材料で形成され、かつ、前記ルツボ本体と電気的に接続されるものであるのが好ましく、また、前記対流部材が、成膜材料蒸気の排出口と対面するルツボ本体内面に接触して配置されるのが好ましく、また、前記対流部材が、真空蒸着装置に設置された状態において上方から見た際に、成膜材料蒸気の排出口を閉塞する形状を有するのが好ましく、また、前記ルツボ本体が、中空容器の一部に成膜材料の蒸発蒸気を排出するための開口を有し、この開口を囲んで外方向に突出するチムニー状の排出部を有するのが好ましく、さらに、成膜材料として、臭化セシウムを収容して蒸発させるのが好ましい。
このような本発明の真空蒸着用ルツボの第2の態様において、前記蒸気排出口が一方向に延在するスリット状であるのが好ましく、さらに、成膜材料として、臭化ユーロピウムを収容して蒸発させるのが好ましい。
このような本発明の蛍光体シート製造装置において、蛍光体成分と付活剤成分の成膜材料を別々にして両者を独立に加熱蒸発させる多元の真空蒸着で前記蛍光体層を成膜するものであり、前記蛍光体成分の成膜材料を前記本発明の第1の態様の真空蒸着用ルツボを用いた抵抗加熱で蒸発させるのが好ましく、さらに、前記付活剤成分の成膜材料を前記本発明の第2の態様の真空蒸着用ルツボを用いた抵抗加熱で蒸発させるのが好ましい。
図1に示される蛍光体シート製造装置(以下、製造装置10とする)は、基本的に、真空チャンバ12と、基板保持/回転機構14と、蛍光体蒸発部16と、付活剤蒸発部18とを有して構成される。なお、本発明の製造装置10は、これ以外にも、公知の真空蒸着装置が有する各種の構成要素を有してもよいのは、もちろんである。
この製造装置10は、蛍光体(母体)となる材料と、付活剤(賦活剤:activator)となる材料とを別々に蒸発する二元の真空蒸着によって、基板Sの表面に蓄積性蛍光体(輝尽性蛍光体)からなる層(以下、蛍光体層とする)を成膜して、蓄積性蛍光体シートを製造する、二元の真空蒸着装置である。
(上記式において、MI は、Li,Na,K,RbおよびCsからなる群より選択される少なくとも一種であり、MIIは、Be,Mg,Ca,Sr,Ba,Zn,Cd,CuおよびNiからなる群より選択される少なくとも一種の二価の金属であり、MIII は、Sc,Y,La,Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Yb,Lu,Al,GaおよびInからなる群より選択される少なくとも一種の三価の金属であり、X、X’およびX''は、F,Cl,BrおよびIからなる群より選択される少なくとも一種であり、Aは、Eu,Tb,Ce,Tm,Dy,Pr,Ho,Nd,Yb,Er,Gd,Lu,Sm,Y,Tl,Na,Ag,Cu,BiおよびMgからなる群より選択される少なくとも一種である。また、0≦a<0.5であり、0≦b<0.5であり、0≦c<0.2である。)
真空チャンバ12には、図示しない真空ポンプが接続される。真空ポンプにも、特に限定はなく、必要な到達真空度を達成できるものであれば、真空蒸着装置で利用されている各種のものが利用可能である。一例として、油拡散ポンプ、クライオポンプ、ターボモレキュラポンプ等を利用すればよく、また、補助として、クライオコイル等を併用してもよい。なお、前述の蛍光体層を成膜する製造装置10においては、真空チャンバ40内の到達真空度は、8.0×10-4Pa以下であるのが好ましい。
ターンテーブル72は、上側の本体74と下側(両蒸発部側)のシースヒータ76とからなる円板で、その中心に、回転軸70が固定される。ターンテーブル72は、下面(シースヒータ76の下面)の所定位置に基板Sを保持して、回転駆動源20aによって所定速度で回転される。また、シースヒータ76は、蛍光体層を成膜される基板Sを裏面(成膜面と逆面)から加熱することにより、基板Sおよび成膜された蛍光体層を加熱する。
なお、基板Sは、マスクを兼ねるホルダや治具等を用いた公知の方法で、成膜面を下方に向けてターンテーブル72に保持すればよい。
なお、本発明において、抵抗加熱用の電源(加熱制御手段)には、特に限定はなく、サイリスタ方式、DC方式、熱電対フィードバック方式等、抵抗加熱装置で用いられる各種の方式が利用可能である。また、抵抗加熱を行う際の出力にも特に限定はなく、使用する成膜材料、ルツボの形成材料の抵抗値や発熱量等に応じて、適宜、設定すればよい。
このルツボ20は、本発明の第1の態様のルツボの一例であって、基本的に、ルツボ本体22と、チムニー24と、ルツボ本体22内に配置される対流部材26とを有して構成される。
ルツボ本体22は、真空蒸着における抵抗加熱蒸発源用のルツボに用いられる、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)などの高融点金属で形成されるものであり、電極28から通電されることにより自身が発熱し、充填された成膜材料を加熱/溶融して、蒸発させる。
ルツボ本体22には、開口29と略同一の底面形状を有し、上下面が開放する略四角柱状のチムニー24が、開放面で開口29を囲むように固定される。また、チムニー24が潰れるのを防止するために、軸線方向の中央に、ルツボ本体22の周方向(軸線方向と直交する方向=開口29の短手方向 以下、この方向を幅方向とする)にチムニー24を内部から支える、角部が直角の略Z字状のリブ24aが配置される。
このようなチムニー24を有することにより、ルツボ本体22内で突沸が生じても、突沸した成膜材料をチムニー24の内壁に衝突させて、外部に漏れる事を好適に防止でき、突沸に起因する特性低下を防止した、高品質な蛍光体シートを安定して製造することができる。
対流部材26は、ルツボ本体22内で溶融した成膜材料に自然的に発生する対流方向を強制的に変更する部材である。図示例においては、対流部材26は、図2(D)の上面図に示すように、矩形の板材を長手方向両端で直角に折り曲げた略Z字状の本体26aを有する。この本体26aには、短手方向の一端を矩形に切り欠いた開口部26bが形成され、また、開口部26bを挟む短手方向端部を互いに逆方向に折り曲げて、取付部26cが形成される。なお、取付部26cは、ルツボ本体22の内面と同曲率を有するように構成される。さらに、本体26aの長手方向の長さは、チムニー24の軸線方向の長さと略一致している。
また、本件出願人の検討によれば、前述した各種の蓄積性蛍光体、特にアルカリハライド系蓄積性蛍光体、中でも特にCsBr:Euを真空蒸着で成膜する場合には、一旦、系内を高い真空度に排気した後、アルゴンガスや窒素ガス等を系内に導入して、0.1Pa〜2Pa、特に0.5Pa〜1.0Pa程度の中真空度として成膜を行うのが好ましい。ここで、この程度の真空度での真空蒸着では、蒸発した成膜材料を確実に基板Sに到達させるためには、通常に比して、成膜材料の蒸発位置と基板Sとの距離を短くする必要がある。このような蒸発位置と基板Sとの距離が短い成膜系では、成膜材料の突沸や蒸発の不均一等に起因する不都合は、より発生し易くなる。
その結果、局所的な加熱や大きな温度分布の発生、湯面の大きな揺らぎ等を防止し、成膜材料の加熱状態、溶融状態や温度を全体的に均一にでき、その結果、突沸の発生や、ルツボ内の温度分布等に起因する不均一な成膜材料の蒸発等を防止して、欠陥が少なく、かつ、全面的に均一な特性を有する、高品質な蛍光体層を形成することができる。また、欠陥の減少等により、製造得率を向上して蛍光体シートの製造コストを低減できる。
好ましくは、対流部材26もルツボ本体22と同じ材料で形成し、かつ、対流部材26とルツボ本体22とを電気的に接続した状態とする。これにより、ルツボ本体22のみならず、対流部材26でも成膜材料の加熱を行うことができ、その結果、成膜材料の加熱効率を向上し、かつ、ルツボ本体22内の成膜材料をより好適に均一化できる。なお、ルツボ本体22に固定可能であれば、同じ材料ではなく、抵抗加熱可能な異なる材料で対流部材を作製してよい。また、以上の点に関しては、後述する他の対流部材も同様である。
図3に、本発明の第1の態様のルツボの別の例を示す。なお、図3において、(A)は上面図、(B)は正面図、(C)はルツボ本体22内に配置された対流部材を側面方向から見た図である。
ルツボ30の対流部材32は、長尺な矩形の板材を長手方向の中心で鋭角に折り曲げて、その両端部をV字の外方向に略直角に折り曲げて固定部32aとした、略V字状の形状を有するものである。なお、先の例と同様、固定部32aはルツボ本体22の内面と同曲率となるように構成される。
また、図示例では、軸線方向に配列して3つの対流部材32が配置される。両側の対流部材32は、外側をチムニー24の端部に一致して、中央の対流部材32は、中心をチムニー24の中心と一致して、それぞれ配置される。
図4のルツボ36の対流部材38は、略弓形の板状形状を有し、例えば絞り加工によって円弧の周囲に固定用の淵が形成されている。また、図4(C)に示すように、弓形の弦の中心からの垂線と円弧とが交わる位置を中心とする円形に切り欠いて、開口38aが形成される。
この対流部材38は、開口38aをルツボ本体22の底面に向けて前記淵をルツボ本体22の内面に当接した状態で、面方向を幅方向と一致(すなわち面と軸線方向とを直交)して、ルツボ本体22の軸線方向の中心と同位置に配置され、例えば、EB溶接によって淵をルツボ本体22の内面に固定される。
前記図2〜図4に示す各例においては、対流部材は、成膜材料蒸気の排出口と対面するルツボ本体22の内面、すなわち、ルツボ本体22の底面および/または底面近傍に接触して配置される。そのため、これらの対流部材は、基本的に、常時、ルツボ本体22に充填された成膜材料と接触した状態にある。従って、この対流部材は、溶融した成膜材料の対流による混合の効率化や、成膜材料の加熱に、極めて大きく寄与する。
他方、図5に示す例では、上方から見た際に、対流部材がチムニー24を閉塞するように構成される。この例では、成膜材料の対流や加熱への寄与は前述の各例よりも低いが、成膜材料が突沸した際に、溶融した成膜材料や異常蒸発物を遮蔽し、外部に漏れるのを防止できる。
ルツボ40において、対流部材42は、長手方向と軸線方向とを一致し、チムニー24の立設方向に対してT字を立設した向きで、チムニー24を真上から見てT字上部がチムニー24を閉塞し、かつ、足部がルツボ本体22の軸線を通過して下端が軸線の若干下となるように配置され、前記取付部42aとルツボ本体22の端面内面とを、例えばEB溶接によって固定される。従って、成膜材料が突沸した際にも、異常蒸発物や溶融成膜材料を好適に遮蔽でき、外部に漏れるのを防止できる。
対流部材の数も図示例に限定はされず、例えば、図4に示されるルツボ36において、軸線方向に複数の対流部材38を配置する等、各種の構成が利用可能である。
また、以上の例では、対流部材は、全て、板材(平板)を加工してなるものであるが、本発明は、これに限定はされず、例えば線材を格子状に配設したようなメッシュ状の材料で対流部材を形成してもよい。この際においても、対流部材は、ルツボ本体22と同じ材料のように、通電によって発熱する材料で形成するのが好ましい。
また、以上の例は、好ましい態様として、筒状の本体に開口を形成し、此処にチムニー(煙突状の排出部)を配置した構成を有するが、本発明の第1の態様は、これに限定はされず、例えば、通常のボート型のルツボや、一面が開放する矩形の筐体をルツボ本体として、この内部に、前述の各例のような溶融した成膜材料の自然対流方向を矯正的に変更する対流部材を設けたものであってもよい。
なお、蛍光体シートに成膜される蛍光体層において、付活剤と蛍光体とは、例えば、モル濃度比で0.0005/1〜0.01/1程度と、蛍光体層の大部分が蛍光体である。従って、付活剤蒸発部18のルツボ50は、前述の蛍光体蒸発部16のルツボに比して、大幅に小型でよい。
付活剤蒸発部18のルツボ50は、本発明の第2の態様のルツボであって、基本的に、ルツボ本体52と、蓋体54とを有して構成される。
ルツボ本体52は、基本的に、真空蒸着における抵抗加熱蒸発源用に用いられる、いわゆるボート型の真空蒸着用のルツボであって、先のルツボ本体22と同様の高融点金属で形成され、電極52bに通電されることにより自身が発熱し、凹部52aに充填された成膜材料を加熱/溶融して、蒸発させる。
このチムニー54aは、前述の臭化セシウム加熱/蒸発用の各ルツボに形成されるチムニー24と同様に、成膜材料が蒸発した蒸気の出口、および、成膜材料の充填口となるものである。従って、ルツボ50は、基本的に、チムニー54aの開放端が上方に向くように配置される。このようなチムニー54aを有することにより、先と同様に、突沸による成膜材料(臭化ユーロピウム)のルツボ50外部への漏れを好適に防止でき、好ましい。なお、本態様においても、チムニー54aは有さなくてもよい。
これに対して、本発明の第2の態様にかかるルツボ50においては、ルツボ本体52と蓋体54とは固定的に結合されて、取り外すことはできない。図示例においては、一例として、ルツボ本体52と蓋体54とは、図6(A)に×印で示される位置でEB溶接されて、固定的に結合されている。
ここで、多元の真空蒸着による蛍光体層では、付活剤成分の成膜材料、特に前記アルカリハライド系蓄積性蛍光体における付活剤成分の成膜材料、中でも特に図示例で付活剤成分の成膜材料として使用する臭化ユーロピウムは、溶融した際における漏れ性が高く、突沸や湯面の揺らぎ等が生じると、容易に、ルツボ本体(抵抗加熱用のボート型ルツボ)と蓋体との間から外部に漏れてしまい、成膜材料の利用効率が低い。
これに対し、本発明の第2の態様のルツボにおいては、例えば図示例のようなEB溶接によって、ルツボ本体52aと蓋体54とを固定的に結合しているため、突沸等が生じても、両者の隙間から成膜材料が漏れるのを防止できる。従って、本発明によれば、従来に比して成膜材料の利用効率を向上して、製造コストの低減を図ることができる。
この構成によれば、ルツボ内への成膜材料の充填量を増加でき、あるいは、充填量を増加しない場合には、突沸した際におけるチムニー60b(蒸気排出口)からの成膜材料の漏れも、より好適に防止できる。
また、図示例の製造装置10においては、付活剤の成膜材料のルツボは、ボート型の本体と蓋体とからなるものであるが、本発明の製造装置は、これに限定はされず、例えば、図2等に示されるような、筒状でかつチムニー24を有するルツボ本体22を用いて、付活剤の成膜材料を加熱/溶融してもよい。この際には、対流部材を有しても有さなくてもよい。
例えば、上述したような、蛍光体蒸発部16と付活剤蒸発部18との組み合わせを2組以上有する、多元の真空蒸着を行う構成であってもよい。あるいは、付活剤蒸発部18は1つとし、蛍光体蒸発部16のみを2以上の複数にした多元の真空蒸着を行う構成であってもよい。あるいは、1つの成膜材料を用いて、本発明の第1の態様のルツボを用いて真空蒸着を行う、一元の真空蒸着装置であってもよい。
蛍光体シートを製造する際には、まず、回転機構14のターンテーブル72の下面に基板Sを成膜面を下方に向けて装着し、ルツボ20に臭化セシウムを、ルツボ50に臭化ユーロピウムを、それぞれ充填した後、真空チャンバ12を閉塞する。次いで、真空ポンプを駆動して、真空チャンバ12内を減圧すると共に、シースヒータ76を駆動して、基板Sを裏面から加熱する。
なお、蛍光体成分となる臭化セシウムを蒸発させるルツボ20は、ルツボ本体22内に対流部材26を有するために、成膜材料の突沸や溶融材料の温度分布等を生じることがなく、これに起因する蛍光体層の膜欠陥や特性ムラの無い、高品質な蛍光体シートを製造できる。他方、付活剤成分となる臭化ユーロピウムを蒸発させるルツボ50は、ルツボ本体52と蓋体54とが、固定的に結合されているので、臭化ユーロピウムが漏れることなく、材料の利用効率が高い。
また、図示例に示したように、本発明の真空蒸着用ルツボの第1の態様は多元の真空蒸着による蓄積性蛍光体の成膜における蛍光体(母材)の成膜材料の蒸発に、他方、本発明の真空蒸着用ルツボの第2の態様は臭化ユーロピウムの蒸発に、それぞれ、好適である。しかしながら、本発明は、これに限定はされず、第1の態様であれば溶融材料の良好な対流性や異常突沸物の遮蔽性能を生かして、他方、第2の態様であれば、材料の漏れ防止性能を行かして、真空蒸着における各種の材料を蒸発するためのルツボとして利用可能であるのは、もちろんである。
[実施例1]
製造装置10のターンテーブル72(シースヒータ76)に450mm×450mmの板状の基板S(合成石英基板)を取り付け、さらに、蛍光体蒸発部16のルツボ20に臭化セシウム(CsBr)を、付活剤蒸発部18のルツボ50に臭化ユーロピウム(EuBrx x≒2.2)を、それぞれ充填した。なお、ルツボ20は前記図2に示される対流部材26を有する、本発明の第1の態様のルツボであり、また、ルツボ50は前記図6に示される、ルツボ本体52と蓋体54とがEB溶接されている、本発明の第2の態様のルツボである。
なお、蛍光体層におけるEu/Csのモル濃度比が0.003:1、かつ、成膜速度が8μm/minとなるように、蛍光体蒸発部16および付活剤蒸発部18における抵抗加熱用電源の出力を調整した。この出力調整は、予め行った成膜実験に基づいて行った。
作製した蛍光体シートの膜表面欠陥を目視で確認したところ、100μmを超える表面欠陥数は5個未満であった。また、真空チャンバ12内を目視で確認したところ、臭化ユーロピウムの漏れは確認されなかった。
蛍光体蒸発部16のルツボ20を対流部材26を有さない通常のルツボに変え、さらに、付活剤蒸発部18のルツボ50をルツボ本体52と蓋体54とがEB溶接されない、蓋体54がルツボ本体52に載置されただけの通常のルツボに変えた以外は、前記実施例1と全く同様にして蛍光体シートを作製した。
作製した蛍光体シートの膜表面欠陥を目視で確認したところ、100μmを超える表面欠陥数は1000個を大幅に超えていた。また、真空チャンバ12内を目視で確認したところ、付活剤蒸発部18のルツボ周辺に臭化ユーロピウムの漏れが確認された。
蛍光体蒸発部16のルツボ20を、図3に示すルツボ30、図4に示すルツボ36、図5に示すルツボ40に、それぞれ交換して、これ以外は前記実施例1と全く同様に蛍光体シートの作製を行った。さらに、付活剤蒸発部18のルツボ50を、図6(G)に示す蓋体60を用いるものに交換して、これ以外は前記実施例1と全く同様に蛍光体シートの作製を行った。
その結果、何れの例においても、前記実施例1と同様の結果が得られた。
以上の結果より、本発明の効果は明らかである。
12 真空チャンバ
14 (基板保持/)回転機構
16 蛍光体蒸発部
18 付活剤蒸発部
20,30,36,40,50 ルツボ
22,52 ルツボ本体
24 チムニー
26,32,38,42 対流部材
54,60 蓋体
70 回転軸
72 ターンテーブル
74 本体
76 シースヒータ
Claims (10)
- 成膜材料を収容する通電により発熱するルツボ本体と、成膜材料蒸気の排出口と対面するルツボ本体内面に接触して、内面から立設して前記ルツボ本体の内部に固定され、かつ、溶融した前記成膜材料が前記ルツボ本体の底部において通過可能な連通部を有する、溶融した前記成膜材料の自然対流方向を強制的に変更する対流部材と、を有することを特徴とする真空蒸着用ルツボ。
- 成膜材料を収容する通電により発熱するルツボ本体と、前記ルツボ本体の成膜材料蒸気の排出口と離間して前記ルツボ本体の通電方向の端部内面に固定される板状部、および、この板状部から垂下する、板状で下端部が前記ルツボ本体の底部と離間する足部を有し、かつ、前記板状部が、真空蒸着装置に設置された状態において上方から見た際に、前記ルツボ本体の成膜材料蒸気の排出口を内包する形状を有する、前記ルツボ本体の内部に固定され、溶融した前記成膜材料の自然対流方向を強制的に変更する対流部材と、を有することを特徴とする真空蒸着用ルツボ。
- 前記対流部材が、通電により発熱する材料で形成され、かつ、前記ルツボ本体と電気的に接続されるものである請求項1または2に記載の真空蒸着用ルツボ。
- 前記ルツボ本体が、中空容器の一部に成膜材料の蒸発蒸気を排出するための開口を有し、この開口を囲んで外方向に突出するチムニー状の排出部を有する請求項1〜3のいずれか記載の真空蒸着用ルツボ。
- 成膜材料として、臭化セシウムを収容して蒸発させる請求項1〜4のいずれかに記載の真空蒸着用ルツボ。
- 真空蒸着法によって、基板に蛍光体層を成膜する蛍光体シートの製造装置であって、
前記蛍光体層の成膜材料の少なくとも1つを、請求項1〜5のいずれかに記載の真空蒸着用ルツボを用いた抵抗加熱によって蒸発させることを特徴とする蛍光体シート製造装置。 - 蛍光体成分と付活剤成分の成膜材料を別々にして両者を独立に加熱蒸発させる多元の真空蒸着で前記蛍光体層を成膜するものであり、前記蛍光体成分の成膜材料を請求項1〜5のいずれかに記載の真空蒸着用ルツボを用いた抵抗加熱で蒸発させる請求項6に記載の蛍光体シート製造装置。
- 前記付活剤成分の成膜材料を、成膜材料を収容する通電により発熱するルツボ本体と、前記ルツボ本体の成膜材料収容部を閉塞する、前記成膜材料の蒸発蒸気を排出するための蒸気排出口を有する蓋体とを有し、前記ルツボ本体と蓋体とが固定的に結合されている、第2の真空蒸着用ルツボを用いた抵抗加熱で蒸発させる請求項7に記載の蛍光体シート製造装置。
- 前記第2の真空蒸着用ルツボの前記蒸気排出口が、一方向に延在するスリット状である請求項8に記載の蛍光体シート製造装置。
- 前記第2の真空蒸着用ルツボが、成膜材料として、臭化ユーロピウムを収容して蒸発させる請求項8または9に記載の蛍光体シート製造装置。
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