JP4312535B2 - パターン露光装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネル等の平面型表示装置の製造工程に用いられる大面積パネル基板上に配線等のパターンを露光するパターン露光装置およびパターン露光方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、平面型表示装置として、液晶パネルやプラズマディスプレイパネル等、様々なものが提案されている。また、このような平面型表示装置では、大画面化および高精細化が図られており、高精細化のためには、0.5μm程度の解像度が要求されるものと考えられる。
【0003】
そして、サブミクロンオーダーの微小サイズパターンを形成する方法としては、マスクパターンをパネル基板上に投影して縮小露光する縮小投影露光法が提案されている。
【0004】
しかしながら、この縮小投影露光法では、解像度の向上にともなって露光用集光レンズの焦点深度が狭くなるため、露光フィールド内のパネル基板の反りによって、焦点ぼけが発生する。
【0005】
したがって、上記縮小投影露光法では、所望のパターンが得られなくなるという問題が生じる。特に、平面型表示装置用のパネル基板にパターンを露光する場合、1辺1mを超える大型パネル基板に対し短時間で露光するため、露光フィールドが広く設定されており、上記パネル基板の反りによる影響が無視できないものとなる。
【0006】
この問題の解決策として、配線パターン等のCADデータに基づいて、収束したレーザビームをパネル基板に照射するパターン露光装置、つまり、直接描画方式を採用したパターン露光装置が提案されている。また、この直接描画方式を採用したパターン露光装置は、特許文献1に開示されている。
【0007】
特許文献1のパターン露光装置は、レーザ光源から出射されたレーザ光をパネル基板に塗布された感光材料に集光する集光レンズと、上記集光レンズと感光材料との距離を計測するフォーカス誤差信号検出系と、集光レンズを光軸方向に移動するアクチュエータとから構成されている。そして、上記パターン露光装置では、上記集光レンズと上記感光材料との距離を常に一定に保つようにフォーカスサーボが行われている。このフォーカスサーボにより、パネル基板に反りがあっても、上記集光レンズを通過したレーザ光の焦点と感光材料とが一致する状態で露光を行えるので、均一なパターンを得ることが可能となる。
【0008】
【特許文献1】
特開平5−290720号公報(公開日1993年11月5日)
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献1に開示されている露光装置は、レーザ光源および集光レンズがそれぞれ1つずつしか備えられていないため、大型パネル基板を露光するには非常に長い時間を要するという問題を有している。
【0010】
そこで、露光の高速化を図るために、特許文献1にて開示されたパターン露光装置において、レーザ光源と集光レンズとからなる光学ユニットを複数に構成して、複数のパターンを同時に形成することが考えられる。
【0011】
ところが、複数の光学ユニットを構成した場合、各光学ユニットの有する特性の相違に起因して、各光学ユニットから照射されるビーム形状にばらつきが生じる。したがって、各光学ユニットの露光目標とするパターン幅を同一としても、各光学ユニットが現実に露光するパターン幅は均一にならない。なお、上記各光学ユニットの特性とは、半導体レーザ夫々の特性、または、各光学ユニットの取り付け位置の調整誤差、各光学ユニットに備えられている光学部品の特性等をいう。
【0012】
つまり、複数の光学ユニットをパターン露光装置に備えると、上記各光学ユニットの特性の相違(各光学ユニットの特性ムラ)に起因して、目標露光パターンに関するパターンデータに忠実なパターンを露光できないという問題が生じる。
【0013】
本発明は上記の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、複数の光学ユニットを備えたパターン露光装置であっても、上記各光学ユニットの特性ムラに関係なく、目標露光パターンに関するパターンデータに忠実なパターンを露光するパターン露光装置およびパターン露光方法を提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明のパターン露光装置は、上記課題を解決するために、走査露光用のレーザ光を出射する光源と、上記レーザ光をパネル基板に塗布された感光材料に集光する集光レンズとを有する光学ユニットが複数備えられていると共に、目標露光パターンに関するパターンデータに基づいて、露光するパターン幅を制御するための制御信号を各光学ユニットに送る制御手段が備えられて、上記感光材料に対して、各光学ユニットが上記制御信号に基づいてパターンを走査露光するパターン露光装置であって、上記制御手段より夫々の光学ユニットに送られる制御信号を、夫々の光学ユニットの特性に基づいて補正する補正手段が備えられていることを特徴とする。
【0015】
上記パターン露光装置には、光学ユニットが複数備えられている。ここで、各光学ユニットは、それぞれで光源の特性にばらつきがある。また、各光学ユニットは、それぞれで光学部品の取り付け時の調整誤差にばらつきがある。さらに、各光学ユニットに備えられている光学部品の特性にもばらつきがある。ここで、上記光源の特性、光学部品の取り付け時の調整誤差、光学部品の特性等を光学ユニットの特性というが、各光学ユニットの特性のばらつき(ムラ)によって、各光学ユニットが露光するパターンの幅にばらつきが生じる。
【0016】
したがって、各光学ユニットの特性を補償する手段を備えることなく、光学ユニットを複数備えた場合、上記パターンデータに忠実なパターンをパネル基板上に露光できないと言える。
【0017】
そこで、上記構成では、上記制御手段より夫々の光学ユニットに送られる制御信号を、夫々の光学ユニットの特性に基づいて補正する補正手段を備えている。そして、各光学ユニットは、夫々の光学ユニットの特性に基づいて補正された制御信号によって、露光するパターンの幅を調整することになる。
【0018】
これにより、各光学ユニットは、各光学ユニットの特性を補償した制御信号に基づいて、露光するパターンの幅を調整できるので、上記各光学ユニットの特性に関係なく、上記パターンデータに忠実なパターンをパネル基板上に露光できる。
【0019】
本発明のパターン露光装置は、上記構成に加えて、各光学ユニットには、上記制御信号に基づいて上記集光レンズの焦点位置を光軸方向に調整するフォーカスサーボ制御手段が備えられていることを特徴とする。
【0020】
感光材料の位置に対しての集光レンズの焦点位置を光軸方向に移動させると、感光材料上でのビーム幅が変化するので、露光されるパターンの幅も変化する。したがって、上記フォーカスサーボ制御手段が、光学ユニットに送られた制御信号に基づいて上記集光レンズの焦点位置を光軸方向に調整するように構成すれば、上記制御信号に基づいてパターン幅を制御できる。
【0021】
この点、上記特許文献1では、露光パターンの幅を制御する機構が備えられておらず、常に一定幅のパターンしか露光できない。しかしながら、上記構成によれば、露光するパターンの幅を制御できるので、様々な形状のパターンデータを作成することにより、様々な形状のパターンを露光できる。
【0022】
本発明のパターン露光装置は、上記構成に加えて、各光学ユニットには、上記レーザ光源から出射するレーザ光の強度を上記制御信号に基づいて調整する強度可変手段が備えられていることを特徴とする。
【0023】
レーザ光は、一定強度以上で感光材料を感光させる。したがって、レーザ光源から出射するレーザ光の強度を変更すると、感光材料を感光させる領域の幅も変化するので、露光されるパターンの幅も変化する。したがって、上記レーザ光源から出射するレーザ光の強度を上記制御信号に基づいて調整すれば、上記制御信号に基づいてパターン幅を制御できる。
【0024】
本発明のパターン露光方法は、上記課題を解決するために、走査露光用のレーザ光を出射する光源と、上記レーザ光をパネル基板に塗布された感光材料に集光する集光レンズとを有する光学ユニットが複数備えられているパターン露光装置を用いて、上記感光材料に対してパターンを走査露光するパターン露光方法であって、目標露光パターンに関するパターンデータに基づいて、露光するパターン幅を制御するための制御信号を各光学ユニットに送るステップと、上記制御手段より夫々の光学ユニットに送られる制御信号を、夫々の光学ユニットの特性に基づいて補正するステップとを含むことを特徴とする。
【0025】
上記パターン露光装置には、光学ユニットが複数備えられている。ここで、各光学ユニットは、それぞれで光源の特性にばらつきがある。また、各光学ユニットは、それぞれで光学部品の取り付け時の調整誤差にばらつきがある。さらに、各光学ユニットに備えられている光学部品の特性にもばらつきがある。ここで、上記光源の特性、光学部品の取り付け時の調整誤差、光学部品の特性等を光学ユニットの特性というが、各光学ユニットの特性のばらつき(ムラ)によって、各光学ユニットが露光するパターンの幅にばらつきが生じる。
【0026】
したがって、各光学ユニットの特性を補償する手順を含むことなく、複数の光学ユニット夫々がパターンを露光した場合、上記パターンデータに忠実なパターンをパネル基板上に露光できないと言える。
【0027】
そこで、上記手順では、上記制御手段より夫々の光学ユニットに送られる制御信号を、夫々の光学ユニットの特性に基づいて補正するステップを含んでいる。そして、各光学ユニットは、夫々の光学ユニットの特性に基づいて補正された制御信号によって、露光するパターンの幅を調整することになる。
【0028】
これにより、各光学ユニットは、各光学ユニットの特性を補償した制御信号に基づいて、露光するパターンの幅を調整できるので、上記各光学ユニットの特性に関係なく、上記パターンデータに忠実なパターンをパネル基板上に露光できる。
【0029】
本発明のパターン露光方法は、上記手順に加えて、上記制御信号に基づいて上記集光レンズの焦点位置を光軸方向に調整することにより、各光学ユニットが露光するパターン幅を制御することを特徴とする。
【0030】
感光材料の位置に対しての集光レンズの焦点位置を光軸方向に移動させると、感光材料上でのビーム幅が変化するので、露光されるパターンの幅も変化する。したがって、光学ユニットに送られた制御信号に基づいて上記集光レンズの焦点位置を光軸方向に調整すれば、上記制御信号に基づいてパターン幅を制御できる。
【0031】
本発明のパターン露光方法は、上記手順に加えて、上記レーザ光源から出射するレーザ光の強度を上記制御信号に基づいて調整することにより、各光学ユニットが露光するパターン幅を制御することを特徴とする。
【0032】
レーザ光は、一定強度以上で感光材料を感光させる。したがって、レーザ光源から出射するレーザ光の強度を変更すると、感光材料を感光させる領域の幅も変化するので、露光されるパターンの幅も変化する。したがって、上記レーザ光源から出射するレーザ光の強度を上記制御信号に基づいて調整すれば、上記制御信号に基づいてパターン幅を制御できる。
【0033】
本発明のパターン露光方法は、上記手順に加えて、上記集光レンズの光軸と感光材料上の露光位置とが交わった場合、感光材料を感光可能な強度に、上記レーザ光の強度を調整するステップと、上記集光レンズの光軸と感光材料上の非露光位置とが交わった場合、感光材料を感光可能な強度未満に、上記レーザ光の強度を調整するステップとを含むことを特徴とする。
【0034】
光源をオン/オフすることによって、パターンの露光/非露光を制御すると、光源をオンした後にフォーカシングを行う必要があるため、フォーカシングに要する間、露光位置であるにも関わらず非露光の状態になる。この場合、走査が続行されているので、パターンを露光せずに露光位置を走査してしまうという不都合が生じる。
【0035】
そこで、上記手順によれば、上記集光レンズの光軸と感光材料上の露光位置とが交わった場合、感光材料を感光可能な強度に、上記レーザ光の強度を調整する。これにより、上記露光位置においてパターンを露光できる。また、上記集光レンズの光軸と感光材料上の非露光位置とが交わった場合、感光材料を感光可能な強度未満に、上記レーザ光の強度を調整する。これにより、上記非露光位置ではレーザ光を出射したまま、パターンの非露光状態を維持できる。
【0036】
このようにすれば、光源からのレーザ光の出射をオフすることなく、強度調整だけで、パターンの露光/非露光を制御できる。したがって、光源からのレーザ光の出射のオン/オフによって、パターンの露光/非露光を制御する必要がないため、走査露光の間、常にフォーカシングを行うことが可能になる。これにより、上記不都合を回避できる。つまり、光源からのレーザ光のオン/オフによってパターンの露光/非露光を制御する必要がないので、走査露光の間、常にフォーカシングを行うことが可能になる。これにより、上記不都合を回避できる。
【0037】
本発明のパターン露光方法は、上記手順に加えて、上記集光レンズが合焦状態の際に上記光学ユニットの露光するパターンの幅を、目標とする最小パターンの幅以下にすることを特徴とする。
【0038】
感光材料上に露光するパターンの幅を広げたい場合、集光レンズの焦点を感光材料から遠ざけることにより実現できる。一方、上記パターンの幅を狭めたい場合、集光レンズの焦点を感光材料に近づけるとよい。つまり、集光レンズがフォーカス状態(合焦状態)の際、上記光学ユニットの露光するパターンの幅が最小幅となる。しかし、フォーカス状態において目標最小パターンの幅を露光する構成とすると、上記光学ユニットの特性のばらつきにより集光性能が劣化した場合、目標最小パターンを露光できない可能性が生じる。
【0039】
よって、上記集光レンズが合焦状態の際に上記光学ユニットの露光するパターンの幅を、目標とする最小パターンの幅以下にすると(すなわち、最小露光幅に余裕をもたせる)、上記光学ユニットの特性のばらつきにより集光性能が劣化した場合に、目標とするパターンを露光できないという不都合を回避できる。
【0040】
【発明の実施の形態】
〔実施の形態1〕
本発明の一実施形態のパターン露光装置について、図面に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
【0041】
(パターン露光装置の概略構成)
図1は、本実施形態に係るパターン露光装置30の概略構成を示している。図1に示すように、パターン露光装置30には、複数の光学ユニット1…、XYZステージ11、パネル基板10、データ転送手段22、制御手段23、複数の補正演算用メモリ(補正手段)24…が備えられている。
【0042】
XYZステージ11は、各辺の方向をx方向、y方向、z方向とする直方体のステージであって、パネル基板10を搭載するためのものである。本実施の形態では、図1に示すように、XYZステージ11の底辺の幅方向に平行な方向をX方向とし、XYZステージ11の底辺の奥行方向に平行な方向をY方向とする。そして、X方向およびY方向に垂直な方向をZ方向とする。また、XYZステージ11は、X方向またはY方向に移動可能となっている。これにより、パネル基板10を、X方向あるいはY方向に走査することができる。なお、本実施の形態では、パネル基板10を移動させているが、パネル基板10を固定にすると共に各光学ユニット1…を移動させる構成であっても構わない。
【0043】
パネル基板10は、感光材料が塗布されていると共に、感光材料の塗布されている面が光学ユニット1と対向するようにXYZステージ11に搭載されている。
【0044】
データ転送手段(データ転送回路)22は、露光目標とするパターン(所望するパターン)に関するデータ(以下、「パターンデータ」と称する)を外部から入力すると共に、上記パターンデータを制御手段23に転送するための装置である。なお、上記パターンデータは、CADシステムに基づいて作成される。つまり、CADシステムにより作成されたパターンデータは、データ転送手段22によって、制御手段23に転送される。
【0045】
制御手段(制御回路)23は、データ転送手段22から転送されたパターンデータに基づき、各光学ユニット1…に対して、露光するパターン幅を制御するための制御信号を出力するための回路である。つまり、制御手段23は、各光学ユニット1…に対して夫々別々の制御信号を生成すると共に、各光学ユニット1…に向けて夫々別々の制御信号を送っている。
【0046】
補正演算用メモリ(ルックアップテーブル)24…は、制御手段23から夫々の光学ユニット1…に送られる制御信号を、夫々の光学ユニット1…の特性に基づいて補正するための回路である。ここで、各補正演算用メモリ24…は、各光学ユニット1…と1対1で対応するものであって、各補正演算用メモリ24…には、対応する光学ユニットの特性に基づいた補正用データが格納されている。
【0047】
なお、本実施の形態では、補正手段としての補正演算用メモリ24を複数備えた構成としているが、各光学ユニットに対応する補正用データを1つの補正手段に格納する構成であっても構わない。
【0048】
光学ユニット1…は、夫々の光学ユニットに対応する補正演算用メモリ24から送られてきた制御信号に基づいて、パネル基板10に塗布されている感光材料にレーザ光を照射することにより、上記感光材料上にパターンを露光するための装置である。
【0049】
つまり、各光学ユニット1…は、各補正演算用メモリ24…と1対1で接続されていると共に、各補正演算用メモリ24…は制御手段23と接続されている。例えば、図1において、データ転送手段22、制御手段23、補正演算用メモリ24a、光学ユニット1aがカスケードに接続されていて、データ転送手段22、制御手段23、補正演算用メモリ24b、光学ユニット1bがカスケードに接続されていることになる。
【0050】
なお、光学ユニット1は、上記制御信号に基づいて露光するパターンの幅を制御することになるが、パターン幅の制御方法には以下の2方法がある。まず、1つめの方法として、各光学ユニット1…において、上記制御信号に基づいて、レーザ光を感光材料に集光する光学系の焦点位置を調整することにより、露光パターンの幅を調整する方法である。つぎに、2つめの方法として、各光学ユニット1…において、上記制御信号に基づいてレーザ光の強度を調整することにより、露光パターンの幅を調整する方法である。ここで、本実施の形態では1つめの方法を採用し、2つめの方法は実施の形態2で説明することにする。
【0051】
以上の構成によれば、パネル基板10上の感光材料は、複数の光学ユニット1…によって露光される。したがって、感光材料表面には、複数の集光点が形成されることとなる。また、パネル基板10はXまたはY方向に走査露光されるので、パネル基板10上の感光材料には、複数の光学ユニット1によって一度の走査で複数のパターンが露光される。
【0052】
さらに、上記構成によれば、制御手段23が、データ転送手段22から転送されたパターンデータに基づいて上記制御信号を出力し、上記制御信号は各補正演算用メモリ24…によって補正される。そして、各光学ユニット1…は、補正された制御信号に基づいて、パネル基板10上の感光材料を走査露光する。このようにして、上記パターンデータに忠実なパターンを感光材料上に露光することができる。以下、光学ユニット1、および補正演算用メモリ24について詳述する。
【0053】
(光学ユニットについて)
つぎに、本実施形態に係るパターン露光装置30における光学ユニット1の構成について、図2を参照しながら以下に説明する。
【0054】
光学ユニット1は、半導体レーザ(光源)2、コリメータレンズ3、ビームスプリッタ(以下、BSと称す)4、第1受光素子5、偏光ビームスプリッタ(以下、PBSと称す)6、1/4波長板7、第1集光レンズ8、アクチュエータ9、誤差信号検出系15、およびフォーカスサーボ制御手段16を備えた構成となっている。
【0055】
なお、光学ユニット1は、半導体レーザ2からの光が、コリメータレンズ3、BS4、PBS6、1/4波長板7、第1集光レンズ8の順に通過して、パネル基板10上の感光材料に集光されるように構成されている。そして、パネル基板10上の感光材料に集光した光は反射すると共に、反射光が、第1集光レンズ8、1/4波長板7、PBS6の順に通過して、誤差信号検出系15に入射するように構成されている。
【0056】
つぎに、光学ユニット1の各構成要素の詳細について説明する。半導体レーザ2は、上記感光材料に対して感光特性を示すレーザ光を出射するためのレーザ光源である。コリメータレンズ3は、半導体レーザ2から出射したレーザ光を整形し(例えば、平行光に整形)、整形したレーザ光をBS4に導くためのレンズである。
【0057】
BS4は、コリメータレンズ3からのレーザ光の一部を第1受光素子5に反射すると共に、残りのレーザ光を透過してPBS6に導くための光学素子である。第1受光素子5は、BS4からのレーザ光を受光することにより、半導体レーザ2が出力するレーザ光の強度をモニタするためのものである。
【0058】
PBS6は、BS4からのレーザ光を反射して1/4波長板7へ導くと共に、パネル基板10上の感光材料からの反射光を透過して誤差信号検出系15へ導くための光学素子である。
【0059】
1/4波長板7は、入射光に対して、1/4波長板7の結晶軸と平行な方向の偏光成分とそれに垂直な方向の偏光成分との位相が1/4波長分ずれている光を出射する光学素子である。本実施形態では、1/4波長板7は、PBS6からのレーザ光を直線偏光から円偏光に変換すると共に、上記感光材料からの反射光を円偏光から直線偏光に変換する。つまり、1/4波長板7は、1/4波長板7を透過する前の入射光に対し、1/4波長板7を透過した後の出射光の偏光面を90°回転している。
【0060】
第1集光レンズ8は、1/4波長板7からのレーザ光を、パネル基板10上の感光材料に集光するためのレンズである。
【0061】
誤差信号検出系15は、パネル基板10上の感光材料を反射して第1集光レンズ8、1/4波長板7、PBS6を通過してきた反射光に基づいて、フォーカス誤差信号(以下、FESとする)を出力するためのユニットである。
【0062】
フォーカスサーボ制御手段16は、上記FESに基づいて、アクチュエータ9を駆動することによりフォーカスサーボを行うためのものである。なお、後述するが、本実施の形態においては、補正演算用メモリ24とフォーカスサーボ制御手段16とが接続されている。そして、上記制御信号に基づいてオフセット電流を調整すると共に、調整したオフセット電流を上記FESに付加することにより、フォーカスサーボが行われる。
【0063】
アクチュエータ9は、フォーカスサーボ制御手段16によって制御されると共に、第1集光レンズ8を光軸方向に移動させることにより、上記感光材料と第1集光レンズ8との距離を調整するためのものである。
【0064】
さらに、誤差信号検出系15によるFESを検出する手順を、図2ないし図4に基づいて説明する。FES検出法としては非点収差法、ナイフエッジ法等があるが、本実施の形態では、非点収差法を用いてFESを検出する構成について述べる。ただし、ナイフエッジ法を用いてFESを検出する構成であっても構わない。
【0065】
図2に示すように、誤差信号検出系15は、第2集光レンズ12、シリンドリカルレンズ13、および第2受光素子14から構成される。つまり、パネル基板10上の感光材料を反射した反射光の光軸上に、第1集光レンズ8、1/4波長板7、PBS6、第2集光レンズ12、シリンドリカルレンズ13、第2受光素子14が順に構成されていることになる。
【0066】
第2集光レンズ12は、感光材料を反射して第1集光レンズ8、1/4波長板7、PBS6を通過してきた反射光を、第2受光素子14に集光するためのレンズである。シリンドリカルレンズ13は、第2集光レンズ12からの光のうち一方向のみを集光させることにより、上記光に非点収差を与えるためのレンズである。
【0067】
第2受光素子14は、図3に示すように、受光面が4分割されているいわゆる4分割受光素子であり、第2集光レンズ12およびシリンドリカルレンズ13を通過した光(パネル基板10上の感光材料からの反射光)を各受光面で受光すると共に、各受光面が受光した光を電気信号に変換する素子である。
【0068】
ここで、4分割された各受光面を、第1受光面17、第2受光面18、第3受光面19、および第4受光面20として、第1受光面17と第3受光面19とは対角関係にあり、第2受光面18と第4受光面20とは対角関係にあるものとする。
【0069】
そして、第1受光面17からの出力信号をP1、第2受光面18からの出力信号をP2、第3受光面19からの出力信号をP3、第4受光面20からの出力信号をP4とすると、FESは、
FES=(P1+P3)−(P2+P4)
により求めることができる。
【0070】
ここで、第1集光レンズ8の焦点と、パネル基板10上に塗布された感光材料の位置とが一致するときに、第2受光素子14上での光のパターン形状が円形になるように、第2集光レンズ12、シリンドリカルレンズ13、および第2受光素子14の位置関係を調整している。この場合、4つの受光面の受光量は互いに等しくなり、4つの受光面の出力は全て等しくなる。したがって、FESは0となる。
【0071】
一方、第1集光レンズ8と感光材料との距離が第1集光レンズ8の焦点距離よりも長い場合は、図4に示すように第2受光素子14上でのパターン形状が楕円になると共に、第1受光面17および第3受光面19の受光量のほうが、第2受光面18および第4受光面20の受光量よりも多くなる。この場合、各受光素子に対応する反射光の出力は、
P1=P3>P2=P4
となり、FESは正となる。
【0072】
他方、第1集光レンズ8と感光材料との距離が第1集光レンズ8の焦点距離よりも短い場合は、
P2=P4>P1=P3
となり、FESは負となる。
【0073】
なお、第1集光レンズ8と感光材料との距離が第1集光レンズ8の焦点距離よりも長い場合にFESが負となり、第1集光レンズ8と感光材料との距離が第1集光レンズ8の焦点距離よりも短い場合にFESが正となるように、誤差信号検出系15を構成してもよい。
【0074】
(補正演算用メモリについて)
以上のように、本実施形態に係るパターン露光装置30は、光学ユニット1が複数設置されている構成である。ここで、全ての光学ユニット1…において、半導体レーザ2に印加する電流を全て均一にすると共に、FESが0になるようにフォーカスサーボを調整しても、各光学ユニット1…が出射するレーザ光の形状は均一にならないので、各光学ユニット1…が露光するパターンの幅にばらつきが生じる。つまり、各光学ユニット1…の露光目標とするパターン幅を同一としても、各光学ユニット1…が現実に露光するパターン幅は均一にならない。
【0075】
これは、各光学ユニット1…は、それぞれで半導体レーザ2の特性にばらつきがあり、また、各光学ユニット1…は、それぞれで光学部品の取り付け時の調整誤差にばらつきがある。さらに、各光学ユニット1…に備えられている光学部品の特性にもばらつきがある。本明細書では、このような半導体レーザ2の特性や光学部品の取り付け時の調整誤差、光学部品の特性を「光学ユニットの特性」とする。さらに、上記光学ユニットの特性のばらつきによって生じる、各光学ユニット1…が露光するパターンの幅のばらつきを「露光ムラ」とする。
【0076】
したがって、このような露光ムラを補正する手段を備えることなく、パターン露光装置30に光学ユニット1を複数備えた場合、上記パターンデータに忠実なパターンをパネル基板10上に露光できないと言える。
【0077】
そこで、本実施の形態では、制御手段23より夫々の光学ユニット1…に送られる制御信号を、夫々の光学ユニット1…の特性に基づいて補正する補正演算用メモリ24…を備えている。つまり、各補正演算用メモリ24…には、夫々と接続されている各光学ユニット1…の特性に基づいた補正用データが格納されていて、上記制御信号は上記補正用データに応じて補正される。ここで、上記補正用データは、各光学ユニット1…のセットアップにおいて、各光学ユニット1の特性に基づいて、上記露光ムラが解消するように設定される。
【0078】
上記セットアップについて以下説明する。まず、各光学ユニット1…の目標とするパターン幅が互いに同一であるパターンデータに基づいて、各光学ユニット1…に実際にパターンを露光させる。そして、各光学ユニット1…が現実に露光するパターンが均一になるように、各光学ユニット1…に入力する制御信号に夫々係数をかける。ここで算出された各係数を補正用データとして、各光学ユニット1…に対応する各補正演算用メモリ24…に記憶する。
【0079】
これにより、各光学ユニット1…の露光目標とするパターン幅を同一とした場合に、各光学ユニット1…が現実に露光するパターン幅を均一にできる。よって、各光学ユニット1…は、上記光学ユニットの特性に関係なく、パターンデータに忠実なパターンをパネル基板10上に露光できる。
【0080】
(露光パターン幅の調整)
つぎに、露光するパターン幅の調整について詳細に説明する。図5の上図は、互いに焦点位置を異ならせている2つの光学ユニット1・1から出射するレーザ光の形状(感光材料上での形状)を示し、図5の下図は、該レーザ光によって露光されるパターンの形状(パネル基板10上に形成されたレジストの断面)を示した図である。なお、ここでは、2つの光学ユニット1・1において、レーザ光の強度を互いにI1として、レーザ光の強度を一定と仮定する。
【0081】
ここで、実線で示したレーザ光においては、その焦点位置と感光材料の位置とが一致しているものとし、点線で示したレーザ光においては、その焦点位置と感光材料との位置とが距離dだけずれているものとする。つまり、実線のレーザ光はフォーカシング状態であり、点線のレーザ光はデフォーカス量dのデフォーカス状態である。
【0082】
なお、感光材料はネガレジストであり、露光量E1で露光が開始される特性であるとする。そして、露光量E2で露光が完了するものとする。
【0083】
ここで、図5の上図より、露光量E1〜E2において、フォーカシング状態のビーム幅のほうが、デフォーカス状態のビーム幅より狭いことがわかる。
【0084】
そして、現像後のパターンの形状は、図5の下図に示すようになる。つまり、図5の下図から、フォーカシング状態のレーザ光によるパターンの幅x1より、デフォーカス状態のレーザ光によるパターンの幅x2の方が広くなっていることが分かる。なお、図5の下図において、パターンの幅x1・x2はパネル基板10表面でのパターンの幅をとった。
【0085】
ここで、パターン幅x2とx1とが一致するように、いずれかの光学ユニット1に構成される第1集光レンズ8の焦点位置をデフォーカス量dだけ調整すると、各光学ユニット1・1による露光パターン幅を一定にできる。なお、図5において、本実施形態の説明を分かりやすくするために、デフォーカス量dが大きくなるように設定している。しかし、実際には、デフォーカス量dは、微小な量である。
【0086】
つぎに、光学ユニット1において、第1集光レンズ8の焦点位置をデフォーカス量dだけ調整する方法を説明する。
【0087】
まず、誤差信号検出系15によって検出されるFESの電圧と、第1集光レンズ8のデフォーカス量との特性曲線を示すグラフを図6に示す。なお、図6において、横軸はデフォーカス量を示し、縦軸はFESの電圧を示す。ここで、フォーカスサーボ制御手段16は、FESが0となるようにアクチュエータ9を駆動してフォーカスサーボを行っている。この結果、デフォーカス量が0になる。
【0088】
つぎに、上記FESに対しオフセット電圧V´を加えた場合のFESの電圧と、デフォーカス量との特性曲線を示したグラフを図7に示す。なお、図7において、横軸はデフォーカス量を示し、縦軸はFESの電圧を示す。ここでも、フォーカスサーボ制御手段16はFESが0となるようにアクチュエータ9を駆動してフォーカスサーボを行っている。この結果、デフォーカス量がd´になる。
【0089】
つまり、図6におけるFESに対して、デフォーカス量−d〜dの範囲に対応する−V〜+Vの範囲の電圧をオフセット電圧V´として付加すれば、デフォーカス量−d〜dの範囲をフォーカスサーボの目標位置とすることができる。これにより、光学ユニット1…ごとに、デフォーカス量−d〜dの範囲で、第1集光レンズ8とパネル基板10上の感光材料との距離の調整を行うことができる。
【0090】
ここで、本実施の形態では、補正演算用メモリ24とフォーカスサーボ制御手段16とが接続されていると共に、補正演算用メモリ24から送られてくる制御信号をフォーカスサーボ制御手段16に入力するようにして、フォーカスサーボ制御手段16が上記制御信号に基づいてFESに付加されるオフセット電圧V´を調整するように構成している。そして、上記制御信号に基づいて調整されたオフセット電流を、上記FESに付加することにより、フォーカスサーボが行われる。これにより、上記パターンデータに基づいて、各光学ユニット1…が露光するパターンの幅を調整することができる。
【0091】
また、本実施の形態では、上記制御信号は、補正演算用メモリ24…によって補正されているので、各光学ユニット1…の特性に関係なく、パターンデータに忠実なパターンをパネル基板10上に露光できる。つまり、各光学ユニット1…の露光目標とするパターン幅が同一の場合に、各光学ユニット1…が現実に露光するパターン幅を均一にできるようになる。
【0092】
なお、以上のように、本実施の形態のフォーカスサーボ制御手段16は、補正演算用メモリ24…によって補正された制御信号に基づいてオフセット電圧V´を調整し、調整したオフセット電圧V´をFESに加えると共に、FESが0になるようにフォーカスサーボを行っている。しかし、補正演算用メモリ24…によって補正された制御信号に基づいて目標電圧を設定し、FESと上記目標電圧とが一致するように、フォーカスサーボを行っても構わない。
【0093】
ここまでは、各光学ユニット1…において、各光学ユニット1の露光ムラに関係なく、フォーカスサーボによって、パターンデータに忠実なパターンを形成する方法について説明した。しかし、上記方法だけでは、以下に示す問題が生じることになる。
【0094】
液晶パネル等のパネル基板10には薄膜トランジスタ等を形成するため、部分的に金属膜等が積層されている。したがって、実際の環境では金属膜の種類または形状の変化により、パネル基板10によって反射される光量が変化し、第2受光素子14の受光量が変化する。第2受光素子14の受光量が変化すると、図8に示すようにFESの信号振幅が変化する。これにより、図8に示すように、フォーカスサーボの目標位置が、デフォーカス量d1からデフォーカス量d2へと変化してしまうことがある。
【0095】
すなわち、各光学ユニット1…が露光している金属膜の種類または形状の変化により、第1集光レンズ8と感光材料との距離も変化してしまうという問題が生じる。
【0096】
そこで、この問題を回避するために、第2受光素子14の全受光量に応じてフォーカスサーボを変化させる必要がある。具体的には、第2受光素子14の全受光量に所定の係数を積算してオフセット電圧V´とするか、FESを上記全受光量で除算した後にオフセット電圧V´を加える。このようにすることにより、反射光量が変化しても第1集光レンズ8の焦点位置と感光材料の位置とを適切に維持できる。
【0097】
〔実施の形態2〕
本発明の異なる実施形態について、図面に基づいて説明すると以下のとおりである。実施の形態1では、各光学ユニット1…の半導体レーザ2の強度を一定にすると共に、各光学ユニット1…において第1集光レンズ8の位置を光軸方向に調整することで、露光する各パターンの幅を制御する構成であった。これに対し、本実施の形態では、各光学ユニット1…における半導体レーザ2の強度を可変にすると共に、各光学ユニット1…において半導体レーザ2の強度を調整することで、露光される各パターンの幅を制御する構成を説明する。なお、本実施の形態では、実施の形態1と異なる点のみ説明する。
【0098】
実施の形態2における光学ユニット1の構成を図13に示す。図13に示す光学ユニット1には、補正演算用メモリ24と半導体レーザ2とを接続するレーザドライバ(強度可変手段)25が備えられている。このレーザドライバ25は、補正演算用メモリ24から送られてくる制御信号に基づいて、半導体レーザ2に印加する電流を調整するためのユニットである。
【0099】
(露光パターン幅の調整)
つぎに、本実施の形態における露光するパターン幅の調整について詳細に説明する。図9の上図は、互いに光ビームの強度を異ならせている2つのレーザ光の形状(感光材料上での形状)を示し、図9の下図は、該レーザ光によって露光されるパターンの形状(パネル基板10上に形成されたレジストの断面)を示した図である。なお、ここでは、点線で示したレーザ光の強度をI2とし、実線で示したレーザ光の強度をI3とする。
【0100】
なお、感光材料は、ネガレジストであり、露光量E1で露光が開始される特性であるとする。また、露光量E2で露光を完了させることとする。
【0101】
ここで、図9の下図に示すように、強度がI2のレーザ光によって形成されるパターンの幅はx3であり、強度がI3のレーザ光によって形成されるパターンの幅はx4となる。
【0102】
図9によれば、強度I2の方が強度I3よりパターン幅が狭くなっていることが分かる。つまり、レーザ光の強度の違いによって、露光されるパターンの幅が異なることになる。
【0103】
つまり、レーザ光の強度を調整することによっても、露光するパターンの幅を均一にすることができる。よって、各光学ユニット1…において、補正演算用メモリ24…からの制御信号に基づいて、レーザドライバ25によって半導体レーザ2に印加する電流を調整すれば、上記パターンデータに基づいて、各光学ユニット1…が露光するパターンの幅を調整することができる。
【0104】
さらに、上記制御信号は、補正演算用メモリ24…によって補正されているので、各光学ユニット1…の特性に関係なく、パターンデータに忠実なパターンをパネル基板10上に露光できる。つまり、各光学ユニット1…の露光目標とするパターン幅が同一の場合に、各光学ユニット1…が現実に露光するパターン幅を均一にできるようになる。
【0105】
なお、半導体レーザ2から出力したレーザ光を第1受光素子5でモニタさせることにより、半導体レーザ2の強度の調整はより容易になる。また、露光パターン幅の調整について、実施の形態1の方法または実施の形態2の方法のうち、いずれの方法を採用してもよく、さらに、実施の形態1および実施の形態2を組み合わせた方法を採用してもよい。
【0106】
〔実施の形態3〕
本発明の異なる実施形態について説明すると以下の通りである。
【0107】
実際に感光材料上にパターンを形成する場合、様々な形状の露光パターンを描画する必要がある。そこで、本実施の形態では、任意形状のパターンを露光する方法を説明する。なお、本実施の形態では、実施の形態1、2と異なる点のみ説明する。
【0108】
例えば、図10に示すような露光パターンを描画する場合の露光方法について説明する。ここで、走査露光におけるパネル基板10の移動方向はY方向とする。
【0109】
まず、光学ユニット1は、強度I4のレーザ光で感光材料を露光する。ここで強度I4とは、図11に示すように、感光材料上において、感光材料が感光する露光量E1以下になるような強度(感光材料が感光する強度未満の強度)である。
【0110】
次に、パネル基板10上の位置y1にレーザ光が集光したとき、レーザ光の強度をI1に調整して感光材料に露光を行う。なお、強度I1とは、感光材料上において、感光材料が感光する露光量になるような強度(感光材料が感光する強度)である。
【0111】
このとき、FESに対するオフセット電圧は0のままである。そして、位置y2にレーザ光が達したときに、FESにオフセット電圧V´を付加することにより、デフォーカス量d´を目標とするフォーカスサーボを行って、パターン露光する。さらに、位置y3に集光ビームが達したときにレーザ光の強度をI4にする。
【0112】
このように、目標とするパターンの形状に応じて、適宜オフセット電圧を変更させることにより、様々な形状の露光パターンを得ることが可能となる。同様に、目標とするパターンの形状に応じて、適宜、半導体レーザ2が出力するレーザ光の強度を変更することにより、様々な形状の露光パターンを得ることが可能となる。
【0113】
また、上記した露光パターンの描画方法に示したように、露光を行わない領域、例えば露光開始地点であるy1に至るまでの領域については、予め、上記露光量E1より小さい露光量となる強度I1でレーザ光を照射しておくと共に、予めフォーカスサーボを行っておくことが好ましい。
【0114】
つまり、半導体レーザ2をオン/オフすることによって、パターンの露光/非露光を制御すると、半導体レーザ2をオンした後にフォーカシングを行う必要があるため、フォーカシングに要する間、露光位置であるにも関わらず非露光の状態になる。この場合、走査が続行されているので、パターンを露光せずに露光位置を走査してしまうという不都合が生じる。
【0115】
したがって、上記不都合を回避するために、半導体レーザ2をオフすることなく、レーザ光の強度調整だけで、パターンの露光/非露光を制御すればよい。この場合、走査露光の間、常にフォーカシングを行うことが可能になる。
【0116】
また、フォーカス状態(合焦状態)の光学ユニット1によって露光されるパターンの幅が、目標最小パターンの幅より細かくなるように、光学ユニット1を構成するのが望ましい。言い換えると、できるだけ、細いパターンを形成できる光学ユニット1…を用意するのが望ましい。この理由を以下に説明する。
【0117】
感光材料上に露光されるパターンの幅を広げたい場合、光学ユニット1をデフォーカスさせることによって容易に実現できる。逆に、上記パターンの幅を狭めたい場合、光学ユニット1のデフォーカス量を0に近づければよい。つまり、フォーカス状態(デフォーカス量が0)における光学ユニット1の露光するパターン幅が、露光可能な最小幅となる。ここで、フォーカス状態で目標最小パターンを露光する構成とすると、半導体レーザ2のばらつきや、光学部品の調整誤差により集光性能が劣化した場合、目標最小パターンを露光できない不都合が生じる。
【0118】
したがって、フォーカス状態の光学ユニット1によって露光されるパターンの幅が、目標最小パターンの幅より細かくなるように、光学ユニット1を構成すると、上記不都合を回避できる。
【0119】
また、仮に半導体レーザ2の出力するレーザ光の強度を小さくして、感光材料上に形成されるパターンの幅を細くしたとしても、図12に示すように、パターン壁面の角度が緩くなるだけで、実用的なパターンの形状が得られない。また、この場合、形成されるパターン幅は、それほど小さくならない。
【0120】
このように半導体レーザ2のばらつきや、光学部品の調整誤差により集光性能が劣化した場合でも、目標最小パターンを露光できるように集光性能に余裕を持たせておく、すなわちフォーカス状態(合焦状態)の光学ユニット1…によって露光されるパターンの幅が、目標最小パターンの幅より細かくなるように、光学ユニット1を構成するのが望ましい。
【0121】
本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、さらに異なる実施形態に開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【0122】
【発明の効果】
本発明のパターン露光装置は、以上のように、走査露光用のレーザ光を出射する光源と、上記レーザ光をパネル基板に塗布された感光材料に集光する集光レンズとを有する光学ユニットが複数備えられていると共に、目標露光パターンに関するパターンデータに基づいて、露光するパターン幅を制御するための制御信号を各光学ユニットに送る制御手段が備えられて、上記感光材料に対して、各光学ユニットが上記制御信号に基づいてパターンを走査露光するパターン露光装置であって、上記制御手段より夫々の光学ユニットに送られる制御信号を、夫々の光学ユニットの特性に基づいて補正する補正手段が備えられていることを特徴とする。
【0123】
これにより、各光学ユニットは、各光学ユニットの特性を補償した制御信号に基づいて、露光するパターンの幅を調整できるので、上記各光学ユニットの特性に関係なく、上記パターンデータに忠実なパターンをパネル基板上に露光できるという効果を奏する。
【0124】
本発明のパターン露光装置は、上記構成に加えて、各光学ユニットには、上記制御信号に基づいて上記集光レンズの焦点位置を光軸方向に調整するフォーカスサーボ制御手段が備えられていることを特徴とする。
【0125】
これにより、上記フォーカスサーボ制御手段が、光学ユニットに送られた制御信号に基づいて上記集光レンズの焦点位置を光軸方向に調整するように構成すれば、上記制御信号に基づいてパターン幅を制御できるという効果を奏する。
【0126】
本発明のパターン露光装置は、上記構成に加えて、各光学ユニットには、上記レーザ光源から出射するレーザ光の強度を上記制御信号に基づいて調整する強度可変手段が備えられていることを特徴とする。
【0127】
これにより、上記レーザ光源から出射するレーザ光の強度を上記制御信号に基づいて調整すれば、上記制御信号に基づいてパターン幅を制御できるという効果を奏する。
【0128】
本発明のパターン露光方法は、以上のように、走査露光用のレーザ光を出射する光源と、上記レーザ光をパネル基板に塗布された感光材料に集光する集光レンズとを有する光学ユニットが複数備えられているパターン露光装置を用いて、上記感光材料に対してパターンを走査露光するパターン露光方法であって、目標露光パターンに関するパターンデータに基づいて、露光するパターン幅を制御するための制御信号を各光学ユニットに送るステップと、上記制御手段より夫々の光学ユニットに送られる制御信号を、夫々の光学ユニットの特性に基づいて補正するステップとを含むことを特徴とする。
【0129】
これにより、各光学ユニットは、各光学ユニットの特性を補償した制御信号に基づいて、露光するパターンの幅を調整できるので、上記各光学ユニットの特性に関係なく、上記パターンデータに忠実なパターンをパネル基板上に露光できるという効果を奏する。
【0130】
本発明のパターン露光方法は、上記手順に加えて、上記制御信号に基づいて上記集光レンズの焦点位置を光軸方向に調整することにより、各光学ユニットが露光するパターン幅を制御することを特徴とする。
【0131】
これにより、光学ユニットに送られた制御信号に基づいて上記集光レンズの焦点位置を光軸方向に調整すれば、上記制御信号に基づいてパターン幅を制御できるという効果を奏する。
【0132】
本発明のパターン露光方法は、上記手順に加えて、上記レーザ光源から出射するレーザ光の強度を上記制御信号に基づいて調整することにより、各光学ユニットが露光するパターン幅を制御することを特徴とする。
【0133】
これにより、上記レーザ光源から出射するレーザ光の強度を上記制御信号に基づいて調整すれば、上記制御信号に基づいてパターン幅を制御できるという効果を奏する。
【0134】
本発明のパターン露光方法は、上記手順に加えて、上記集光レンズの光軸と感光材料上の露光位置とが交わった場合、感光材料を感光可能な強度に、上記レーザ光の強度を調整するステップと、上記集光レンズの光軸と感光材料上の非露光位置とが交わった場合、感光材料を感光可能な強度未満に、上記レーザ光の強度を調整するステップとを含むことを特徴とする。
【0135】
このようにすれば、光源をオフすることなく、レーザ光の強度調整だけで、パターンの露光/非露光を制御できる。したがって、光源をオン/オフすることによって、パターンの露光/非露光を制御する必要がないため、走査露光の間、常にフォーカシングを行うことが可能になるという効果を奏する。
【0136】
本発明のパターン露光方法は、上記手順に加えて、上記集光レンズが合焦状態の際に上記光学ユニットの露光するパターンの幅を、目標とする最小パターンの幅以下にすることを特徴とする。
【0137】
これにより、各光学ユニットの集光性能が、上記光学ユニットの特性のばらつきにより劣化した場合に、目標最小パターンが露光できないという不都合を回避できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の一形態に係るパターン露光装置の概略構成を示す斜視図である。
【図2】図1のパターン露光装置に備えられている光学ユニットの内部構成を示した図である。
【図3】図2の光学ユニットに備えられている第2受光素子であって、フォーカシング状態のビームを受光している状態を示した図である。
【図4】図2の光学ユニットに備えられている第2受光素子であって、デフォーカス状態のビームを受光している状態を示した図である。
【図5】図5の上図は、互いにデフォーカス量を異ならせている、感光材料上の2つのビーム形状を示した図であって、図5の下図は、該2つのビーム形状によって形成される感光材料上のパターン(レジスト)形状を示した図である。
【図6】デフォーカス量とFESの電圧との関係を示したグラフである。
【図7】オフセット電圧V´を加えた場合のFESの電圧と、デフォーカス量との関係を示したグラフである。
【図8】パネル基板からの反射光量が変化したときのFESの波形の変化を示す図である。
【図9】図9の上図は、互いにデフォーカス量を異ならせている、感光材料上の2つのビーム形状を示した図であって、図9の下図は、該2つのビーム形状によって形成される感光材料上のパターン(レジスト)形状を示した図である。
【図10】任意の露光パターンの露光方法を示す説明図である。
【図11】感光材料上において感光しない露光量である光ビームの形状を示した図である。
【図12】レーザ光の出力強度が少ないときの、感光材料上のビーム形状とレジスト形状を示す図である。
【図13】本発明の他の実施形態に係る光学ユニットの内部構成を示した図である。
【符号の説明】
1 光学ユニット
2 半導体レーザ(光源)
3 コリメータレンズ
4 ビームスプリッタ(BS)
5 第1受光素子
6 偏光ビームスプリッタ(PBS)
7 1/4波長板
8 第1集光レンズ(集光レンズ)
9 アクチュエータ
10 パネル基板
11 XYZステージ
12 第2集光レンズ
13 シリンドリカルレンズ
14 第2受光素子
15 誤差信号検出系
16 フォーカスサーボ制御手段
22 データ転送手段
23 制御手段
24 補正演算用メモリ(補正手段)
25 レーザドライバ(強度可変手段)
30 パターン露光装置
Claims (4)
- 走査露光用のレーザ光を出射する光源と、上記レーザ光をパネル基板に塗布された感光材料に集光する集光レンズとを有する光学ユニットが複数備えられていると共に、
目標露光パターンに関するパターンデータに基づいて、露光するパターン幅を制御するための制御信号を各光学ユニットに送る制御手段が備えられて、
上記感光材料に対して、各光学ユニットが上記制御信号に基づいてパターンを走査露光するパターン露光装置であって、
上記制御手段より夫々の光学ユニットに送られる制御信号を、夫々の光学ユニットの特性に基づいて補正する補正手段が備えられ、
各光学ユニットは、
受光領域が4分割されることで4つの受光面が形成されており且つ受光した光に応じた電気信号を受光面毎に出力する4分割受光素子と、上記パネル基板から反射した光を上記4分割受光素子へ導くシリンドリカルレンズとを有し、非点収差法にて上記電気信号からフォーカスエラー信号を生成する誤差信号検出系と、
上記制御信号に応じて調整されたオフセット値を上記フォーカスエラー信号の信号値に加算し、この加算後のフォーカスエラー信号に応じて上記集光レンズの焦点位置を光軸方向に調整するフォーカスサーボ制御手段とを有し、
上記フォーカスサーボ制御手段は、上記4分割受光素子全体の受光量を示す値で上記フォーカスエラー信号の値を除算した後、上記オフセット値を上記フォーカスエラー信号の値に加算することを特徴とするパターン露光装置。 - 走査露光用のレーザ光を出射する光源と、上記レーザ光をパネル基板上に塗布された感光材料に集光する集光レンズとを有する光学ユニットが複数備えられていると共に、
目標露光パターンに関するパターンデータに基づいて、露光するパターン幅を制御するための制御信号を各光学ユニットに送る制御手段が備えられて、
上記感光材料に対して、各光学ユニットが上記制御信号に基づいてパターンを走査露光するパターン露光装置であって、
上記制御手段より夫々の光学ユニットに送られる制御信号を、夫々の光学ユニットの特性に基づいて補正する補正手段が備えられ、
各光学ユニットは、
受光領域が4分割されることで4つの受光面が形成されており且つ受光した光に応じた電気信号を受光面毎に出力する4分割受光素子と、上記パネル基板から反射された光を上記4分割受光素子へ導くシリンドリカルレンズとを有し、非点収差法にて上記電気信号からフォーカスエラー信号を生成する誤差信号検出系と、
オフセット値を設定し、この設定後に上記制御信号に応じて上記オフセット値を調整し、この調整後に上記オフセット値を上記フォーカスエラー信号の信号値に加算し、この加算後のフォーカスエラー信号に応じて上記集光レンズの焦点位置を光軸方向に調整するフォーカスサーボ制御手段とを有し、
上記フォーカスサーボ制御手段は、上記4分割受光素子全体の受光量に所定の係数を積算して得られる値を上記オフセット値として設定することを特徴とするパターン露光装置。 - 上記集光レンズの光軸と感光材料上の露光位置とが交わった場合、感光材料を感光可能な強度に、上記レーザ光の強度を調整し、
上記集光レンズの光軸と感光材料上の非露光位置とが交わった場合、感光材料を感光可能な強度未満に、上記レーザ光の強度を調整することを特徴とする請求項1または2に記載のパターン露光装置。 - 上記集光レンズが合焦状態の際に上記光学ユニットの露光するパターンの幅を、目標とする最小パターンの幅以下にすることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のパターン露光装置。
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