JP4312145B2 - 基板位置補正装置および基板位置補正方法 - Google Patents
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Description
図1は、この発明にかかる基板位置補正装置の第1実施形態を示す図である。また、図2は、図1の基板位置補正装置の側面図である。この基板位置補正装置は、回転軸1が、モータを含む回転駆動機構2の回転軸に連結されており、この回転駆動機構2の駆動により回転中心A0回りに回転可能となっている。この回転軸1の上端部には、スピンベース3が一体的にネジなどの締結部品によって連結されている。したがって、回転駆動機構2の駆動によりスピンベース3が回転中心A0回りに回転可能となっている。このように、この実施形態では、回転駆動機構2が本発明の「回転手段」に、スピンベース3が本発明の「回転部材」に相当している。
図7は、この発明にかかる基板位置補正装置の第2実施形態を示す図である。この第2実施形態が第1実施形態と大きく相違する点は、検出センサ74を設けることなく、基板Wの位置補正の方法を第1実施形態と変えて基板Wの位置補正をしている点であり、その他の構成は基本的に第1実施形態と同様である。したがって、同一構成については同一符号を付して説明を省略し、以下においては相違点を中心に本実施形態の特徴について説明する。
3…スピンベース(回転部材)
5…(複数の)支持ピン(支持手段)
71,77…押圧ブロック(押圧部材)
71a…(押圧ブロックの)側面(当接部位)
73…ブロック移動機構(駆動手段)
74…検出センサ(検出手段)
75…回転駆動部
77a…(基板の端面と線接触する)接触面
710…ローラ(押圧部材)
L…(切欠部によって基板の円周が切り取られる)弧の長さ
NT…ノッチ(切欠部)
P1…既定位置
P2…離間位置
W…基板
Claims (9)
- 所定の回転中心回りに回転自在に設けられた回転部材と、
前記回転部材を回転させる回転手段と、
前記回転部材から上方に向けて突設され、基板の下面に当接して該基板を水平方向に滑動自在に支持しながらも前記基板の下面との間で発生する摩擦力で前記基板を前記回転部材に保持可能な支持手段と、
前記回転手段により回転される前記基板の端面のうち前記回転部材の回転中心から最も離れた端面位置を検出する検出手段と、
前記基板の端面に当接部位を当接させて該基板を水平方向に押圧する押圧部材と、
前記押圧部材を駆動することで前記当接部位を前記回転部材の回転中心から水平方向に前記基板の半径の距離だけ離れた既定位置と、前記回転部材の回転中心から前記既定位置よりもさらに離間した離間位置とに位置決めする駆動手段と
を備え、
前記回転手段は、前記当接部位が前記離間位置に位置決めされた状態で前記端面位置が前記既定位置と前記離間位置の間にくるように前記基板を回転させて位置決めし、
前記駆動手段は前記回転手段による前記基板の位置決め後に前記押圧部材を駆動させて前記当接部位を前記既定位置に位置決めすることで、前記検出手段により検出された前記端面位置が前記既定位置に一致するまで前記回転部材の回転中心側に向けて前記押圧部材により前記基板を押動することを特徴とする基板位置補正装置。 - 所定の回転中心回りに回転自在に設けられた回転部材と、
前記回転部材を回転させる回転手段と、
前記回転部材から上方に向けて突設され、基板の下面に当接して該基板を水平方向に滑動自在に支持しながらも前記基板の下面との間で発生する摩擦力で前記基板を前記回転部材に保持可能な支持手段と、
前記回転手段により回転される前記基板の端面のうち前記回転部材の回転中心から最も離れた端面位置を検出する検出手段と、
前記基板の端面に当接部位を当接させて該基板を水平方向に押圧する押圧部材と、
前記押圧部材を駆動することで前記当接部位を前記回転部材の回転中心から水平方向に前記基板の半径の距離だけ離れた既定位置と、前記回転部材の回転中心から前記既定位置よりもさらに離間した離間位置とに位置決めする駆動手段と
を備え、
前記駆動手段は前記押圧部材を駆動させて前記当接部位を前記既定位置に位置決めし、
前記回転手段は前記基板を回転させて前記基板の端面のうち該既定位置よりも径方向外側の端面位置を前記既定位置に位置決めされた前記押圧部材の前記当接部位に当接させつつ押圧することで前記基板の位置を前記回転部材の回転中心側に向けて矯正させることを特徴とする基板位置補正装置。 - 前記押圧部材は前記基板の端面に当接可能に構成され前記回転部材の回転軸方向に伸びる回動軸回りに回動自在なローラを備える請求項1または2記載の基板位置補正装置。
- 前記押圧部材は前記基板の端面に当接可能に構成され前記回転部材の回転軸方向に伸びる回動軸回りに回動自在なローラと、該ローラを回転させる回転駆動部とを備え、
前記回転駆動部は前記基板の回転方向と反対方向に、しかも前記基板の周速と同一となるように前記ローラを回転させる請求項2記載の基板位置補正装置。 - 前記基板の周縁部には切欠部が形成されており、
前記ローラの直径は前記切欠部によって前記基板の円周が切り取られる弧の長さよりも大きい請求項3または4記載の基板位置補正装置。 - 前記基板の周縁部には切欠部が形成されており、
前記押圧部材は前記切欠部によって前記基板の円周が切り取られる弧の長さよりも大きな幅を有する、前記基板の端面と線接触する接触面を備える請求項1または2記載の基板位置補正装置。 - 回転部材から上方に向けて突設された支持手段により滑動自在に支持された、基板の端面に当接部位を当接させながら該基板を水平方向に押圧する押圧部材を用いて前記基板の位置を補正する基板位置補正方法であって、
前記回転部材の回転中心から水平方向に前記基板の半径の距離だけ離れた既定位置よりもさらに離間した離間位置に前記当接部材を位置決めした状態で前記基板の下面と前記支持手段との間に発生する摩擦力で前記基板を保持して回転させる回転工程と、
前記回転工程の間に前記回転部材の回転中心から最も離れた前記基板の端面位置を検出する検出工程と、
前記当接部位が前記離間位置に位置決めされた状態で前記検出工程で検出された前記端面位置が前記既定位置と前記離間位置の間にくるように前記基板を回転させて前記基板を位置決めする位置決め工程と、
前記位置決め工程後に前記当接部位を前記既定位置に位置決めすることで前記基板の前記端面位置が前記既定位置に達するまで前記押圧部材により前記基板を前記回転部材の回転中心側に向けて押動する押動工程と
を備えたことを特徴とする基板位置補正方法。 - 回転部材から上方に向けて突設された支持手段により滑動自在に支持された、基板の端面に当接部位を当接させながら該基板を水平方向に押圧する押圧部材を用いて前記基板の位置を補正する基板位置補正方法であって、
前記基板の下面と前記支持手段との間に発生する摩擦力で前記基板を保持して回転させる回転工程と、
前記回転工程の前あるいは前記回転工程の間に、前記当接部位を前記回転部材の回転中心から水平方向に前記基板の半径の距離だけ離れた既定位置に位置決めする配置工程と、
前記回転工程の間、回転する前記基板の端面のうち前記既定位置よりも径方向外側の端面位置が前記当接部位に当接して前記押圧部材に押圧されることで前記基板の位置が前記回転部材の回転中心側に向けて矯正される矯正工程と
を備えたことを特徴とする基板位置補正方法。 - 前記矯正工程は、前記押圧部材が回転する前記基板の端面に対して離当接しながら前記基板の位置を矯正する請求項8記載の基板位置補正方法。
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