JP4311453B2 - レーザ光源装置及びこれを用いた画像生成装置 - Google Patents
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Description
図16及び図17に示すように、波面を分割する波面分割部77は1対のシリンドリカルレンズアレイ72a及び72bで構成される。これらシリンドリカルレンズアレイ72a及び72bは互いの焦点の位置に配置されている。また波面を合成する波面合成部78は、図16に示すように凸レンズ等の1つの集光レンズ73や、図17に示すように、平凸レンズなどの2つの光学レンズ75及び76の組み合わせを用いることができる。光源71から出射されたレーザ光Loは、波面分割部77でx軸方向に分割され、波面合成部78で重ね合わされると共に集光されて、被照射体74の所定の位置に照射される。
これに対し、レーザの空間コヒーレンス距離よりも長い距離で波面を分割することにより干渉を抑制することが考えられるが、実際のレーザではコヒーレンス距離がレーザ直径に対してあまり小さくないため、波面の分割数が十分にとれず、重ね合わせたときに十分な強度の均一性が確保されない。また、空間コヒーレンス距離よりも長い距離で波面を分割した場合でも空間コヒーレンスがゼロになっているわけではないので干渉性が残ってしまうという問題がある。
上記特許文献1及び2において提案されている手法では、光源から出射されたレーザ光の波面を分割し、その一部の光を、時間コヒーレンス距離よりも長い光路差を生じさせる光路差生成部材を通過させた後重ね合わせる構成とするものである。
特に、光源としてレーザ素子を1次元状に配列して1次元状の光源装置を構成し、これを利用して1次元状の光変調装置に所望の強度分布をもって照明して1次元状の変調光(すなわち画像光)を生成し、スクリーン等への走査投影を行う画像生成装置に利用する場合に、上述した迷光や光の利用効率の低下により、画像を良好に表示できない恐れがある。
しかしながら、空間コヒーレンス距離を超えた範囲でもわずかな干渉性が残っていることから、このようにレーザ光を分割するピッチを空間コヒーレンス距離の2分の1程度とした場合でも、1つおきの光束間でわずかに干渉し、数%程度の干渉縞が発生する可能性がある。
隣接する光束による干渉縞は、光を分割する基本周期(例えばシリンドリカルレンズアレイを用いる場合はレンズセルのピッチ)の光束の干渉による干渉縞であるのに対し、1つおきの光束間の干渉による干渉縞は、光を分割する基本周期に対し2倍の周期をもって分割した光束同士の干渉による干渉縞となり、被照射体上においてはより細かいピッチとなって現われる。
したがって、光を分割する基本周期の光束同士の干渉を抑えるとともに、この基本周期に対し2倍以上の周期の光束同士の干渉をも抑制することが求められている。
また、本発明によるレーザ光源装置は、光源と、この光源から出射される光の波面を分割する波面分割部と、波面分割部からの光を被照射体に導くと共に分割された波面を重ね合わせる波面合成部と、波面分割部において分割された光束のうち、一部の光束の偏光面を回転させる偏光変換部と、を備える。そして偏光変換部は、波面分割部により分割される分割領域の2つおきに、光学軸の方位が異なる第1及び第2の波長板が隣接して配置される領域と、前記第1及び第2の波長板が配置されない領域と、を有し、第1の波長板は、光の偏光面を一の方向に略90度回転させる作用を備え、第2の波長板は、光の偏光面を他の方向に略90度回転させる作用を備えて成り、第1及び第2の波長板を通過する光路で生じる干渉縞の位相が、これら第1及び第2の波長板を通過しない光路で生じる干渉縞の位相と略180度異なる構成とする。
更に、本発明は上述のレーザ光源装置において、隣接する前記第1及び第2の波長板の配列順を一定とする。
或いは、隣接する前記第1及び第2の波長板の配列順が交互に入れ替わって配置されて成る構成とする。
また、偏光変換部の波長板として第1及び第2の波長板を設け、第1の波長板が光の偏光面を一の方向に略90度回転させ、第2の波長板は光の偏光面を他の方向に略90度回転させる作用を備える構成とする場合は、第1及び第2の波長板を通過する光束同士の干渉光の位相を、これら波長板を通過しない光束同士の干渉光の位相に対し略逆の位相とすることができるので、結果的に干渉縞を解消して、その発生を抑制することが可能となる。
特に、第1又は第2の波長板を波面分割部の光を分割する分割領域のうち1つおきの分割領域、例えばシリンドリカルレンズアレイを用いる場合はその1つおきのレンズセルに対応して配置して、かつ、これら第1及び第2の波長板を交互に配置して構成することにより、1つおきの分割領域に対応して配置される一対の第1及び第2の波長板を通過した光束の干渉光と、これらの間もしくは外側を通過し、すなわち波長板を通過しない光束同士の干渉光とを、略逆の位相とすることができるので、効果的に干渉縞の発生を抑制することが可能となる。
本発明の画像生成装置によれば、本発明構成のレーザ光源装置を用いることから、光を分割する基本周期の光束同士の干渉を抑えると共に、基本周期の少なくとも2倍の周期の光束間の干渉を抑制することができるので、干渉縞の発生により画像の均一性を損なうことを抑制することができる。
(1)第1の実施形態例
図1に、本発明の実施形態例に係るレーザ光源装置の一例の概略構成図を示す。図1においては、波面を分割する方向を矢印xで示すx軸方向とし、波面の進行方向(光軸)を矢印zで示すz軸方向とし、x軸及びz軸と直交する方向を矢印yで示すy軸方向とする。光源1から出射される光Lは、x軸方向を長手方向とする横マルチモードである。光源1には、例えば複数の半導体レーザ素子が1次元状に配列されたアレイレーザや、各レーザ素子が一体型に形成されたバーレーザ等が用いられる。また、1次元横マルチモード発振した固体レーザ発振光、またはその出力を共振器内部乃至外部に配置した非線形光学素子により波長変換して得られた1次元状のレーザ光を出力する光源を用いてもよい。図1においてはこのレーザ光源装置10から出力されるレーザ光が照射される被照射体11も便宜的に示す。
このレーザ光源装置10には、波面分割部21として一対のシリンドリカルレンズアレイ2A及び2B、波面合成部22として凸レンズ等よりなる集光レンズ6が配置される例を示す。図1においてはy軸方向のレンズは省略して示す。
2組のシリンドリカルレンズアレイ2A及び2Bを使用し、各シリンドリカルレンズアレイ2A及び2Bを互いの焦点の位置に配置することで、x軸方向、この場合1次元方向(長手方向)に波面を分割し、その波面を所望した場所にそれぞれの分割された波面の照明が重なる構成とすることができる。
また、通常偏光面を回転させる光学素子である波長板は薄いものなので、波長板が配置されず、波長板を通過しないレンズセルの光路とも光学的な距離が殆ど変わらない。したがって、被照射体11上の集光位置での、倍率のずれや位置ずれはほとんど発生しない。
このとき、シリンドリカルレンズアレイ2A及び2Bのレンズセルのピッチを、使用するレーザの空間コヒーレント距離のおよそ1/2になるように構成すると、隣接する光束同士の干渉を抑制できる。すなわち、図1に示すように偏光変換部5を挿入して偏光面の回転を行うことによって、波面分割部21において分割された隣り合う光束LA1及びLB1、LA2及びLB2の波面を重ね合わせても、効果的に干渉縞の発生を抑えることができる。そして更に本実施形態例によれば、レンズセル1つおきの光束LA1及びLA2、LB1及びLB2の波面の重ね合わせによる干渉をも低減することが可能である。以下この干渉低減効果について説明する。
m=R(θ)×C(φ)×R(−θ)
であるから、下記の数3に示す入射偏光に対して、偏光行列mと出射偏光E1’及びE2’は、θ=45°の場合は下記数4及び数5に示す式で表される。
|E+E’|2=|E|2+|E’|2+2E×E’
となり、干渉項はE×E’として表されるから、同符合同士の干渉項と位相が180度反転した干渉項は、干渉縞の位相が180度反転することがわかる。
図4に示すように、波長板を通過しない同符号同士の干渉項Bの位相に対して、第1及び第2の波長板5A1及び5A2を通過する異符号同士の干渉項Aの位相は反転しており、重ね合わせ平均で干渉縞が解消されることがわかる。つまりこの場合は、図2に示す領域A1−A2を通過する光束の干渉縞と、領域B1−B2を通過する光束の干渉縞との相互作用によって、全体的な干渉縞の発生を抑制することができることとなる。
したがって、図2に示す波長板の配置構成とした偏光変換部を用いる本実施形態例においては、光源の空間コヒーレンス距離が比較的長くても効果が得られるといえる。例えば、波面分割部の各分割領域の2つおきの領域(3つ分離れた領域)まで空間コヒーレンスが広がっていて、この領域間の干渉が無視できない場合においても、干渉縞を十分抑制できることが分かる。
図7A〜Cにおいては、波面分割部21として設ける例えばシリンドリカルレンズアレイ2Bの各分割領域21aに対して、基本周期、2倍周期、3倍周期による光束の干渉する様子を示す。またその干渉縞の被照射体上の位置を、図7D〜Fにそれぞれ示す。図7D〜Fにおいては横軸を被照射体上の位置y、縦軸を干渉光の強度として示す。図7Dで示す基本周期の場合の干渉縞に対して、2倍周期の場合は図7Eに示すように空間周波数が2倍、3倍周期の場合は図7Fに示すように空間周波数が3倍となる。このように、2倍周期、3倍周期の光束同士の干渉は、基本周期に比べると空間周波数が高く、すなわち細かい干渉縞となる。
次に、このような2倍周期及び3倍周期の光束による干渉を抑える実施形態例について説明する。
第2の実施形態例におけるレーザ光源装置に用いる偏光変換部の一例の概略平面構成図を図8に示す。図8において、図2と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。この例においては、偏光変換部5の波長板として第1及び第2の波長板5A1及び5A2を設け、第1の波長板5A1は入射光の偏光方向を略90度回転する1/2波長板とされ、第2の波長板5A2は入射光の偏光方向を逆方向に略90度、すなわち略270度回転する1/2波長板とされる。すなわちこの場合それぞれの光学軸のx軸方向からの方位を例えば45°、135°とする。そして更にこの例においては、一対の第1及び第2の波長板5A1及び5A2が、波面分割部の光を分割する分割領域、例えばシリンドリカルレンズアレイのレンズセルのうち隣接するレンズセルに対応して配置されると共に、レンズセル2つおきに配置される。そしてこれら一対の第1及び第2の波長板5A1及び5A2の配列順が一定である例を示す。すなわちこの場合、分割領域例えばレンズセルに対応して、第1の波長板5A1、第2の波長板5A2、無偏光変換領域(波長板なし)、無偏光変換領域(波長板なし)、・・の配列順をx軸方向に繰り返す配置とする。または、第2の波長板5A2、第1の波長板5A1、無偏光変換領域、無偏光変換領域、・・の配列順をx軸方向に繰り返す配置としてもよい。
また、上述の第1の実施形態例と同様に、隣接する領域を通過する光束の干渉項が逆位相となるので、干渉縞が打ち消される。すなわちこの場合、第1及び第2の波長板5A1及び5A2を通過する光束、すなわち矢印AA’で示す領域を通過する光束による干渉項は異符号であり、波長板5A1及び5A2を通過しない矢印BB’で示す領域を通過する光束による干渉項は同符号である。したがって、隣接する光路を通過する光束同士の干渉は位相反転により解消される。
上述したようにこの場合は、波面分割部21の分割領域21aの基本周期となる光束LA1とLA2との干渉、2倍周期となる光束LA1とLB1との干渉、3倍周期となる光束LA1とLB2との干渉を抑制することができる。
第1及び第2の実施形態例では、波面分割部の分割領域の基本周期、2倍周期、3倍周期までの光束同士の干渉を抑制することが可能であるが、4倍周期、すなわち分割領域4つおきの領域を通過する光同士の干渉は解消できない。第3の実施形態例においては、4倍周期の領域を通過する光の干渉を優先的に解消する例について説明する。
この例における偏光変換部の一例の概略平面構成図を図10に示す。図10において、図5及び図8と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。この場合においても、偏光変換部5の波長板として第1及び第2の波長板5A1及び5A2を設け、第1の波長板5A1を入射光の偏光を一の方向に略90度回転する1/2波長板とし、第2の波長板5A2を入射光の偏光を他の方向に略90度、1/2波長板とする。すなわちそれぞれの光学軸のx軸方向からの方位を例えば45°、135°とする。一対の第1及び第2の波長板5A1及び5A2が、波面分割部の光を分割する分割領域のうち隣接する分割領域、例えばシリンドリカルレンズアレイのレンズセルのうち隣接するレンズセルに対応して配置されると共に、これら第1及び第2の波長板5A1及び5A2は、2つおきの分割領域に対応して配置される。更に、これら一対の第1及び第2の波長板5A1及び5A2の配列順を交互に入れ替わる配置構成とする。すなわちこの場合、分割領域例えばレンズセルに対応して、第1の波長板5A1、第2の波長板5A2、無偏光変換領域(波長板なし)、無偏光変換領域(波長板なし)、第2の波長板5A2、第1の波長板5A1、無偏光変換領域、無偏光変換領域、の配列順をx軸方向に繰り返す配置とする。
図11にこの偏光変換部5を用いた本発明の第3の実施形態例に係るレーザ光源装置の一例の概略断面構成図を示す。図11において、図1及び図9と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
また同様に、隣接する領域を通過する光束の干渉項が逆位相となるので、干渉縞が打ち消される。すなわちこの場合、第1及び第2の波長板5A1及び5A2を通過する光束、すなわち矢印AA’で示す領域を通過する光束による干渉項は異符号であり、波長板5A1及び5A2を通過しない矢印BB’で示す領域を通過する光束による干渉項は同符号である。したがって、隣接する光路の干渉は位相反転により解消される。
なおこの場合は、3倍周期に関しては、例えば図10中2つおきに配置される波長板5A1同士を通過する光束の干渉、すなわち矢印EE’で示す領域を通過する光束同士の干渉項と矢印FF’で示す無偏光領域(波長板なし)通過する光束同士の干渉項とは同符号となる。一方、波長板のない無偏光領域を通過する光束と、これとは分割領域の2つおきに配置される第1の波長板5A1(又は第2の波長板5A2)を通過する光束の干渉、すなわち矢印GG’及びHH’で示す領域を通過する光束同士の干渉は、互いに偏光方向が直交しているので抑制することができる。つまりこの第3の実施形態例においては、3倍周期の領域を通過する光の干渉を半減することができることとなる。
したがって、この第3の実施形態例においては、基本周期、2倍周期、4倍周期の領域を通過する光の干渉を解消することが可能であり、また、3倍周期の領域を通過する光の干渉を半減することとなる。したがって、4倍周期の高い周波数、すなわち細かい干渉縞が問題となる光学装置の光源として適用する場合に、特に有利である。
従来は、光源から出射されるレーザ光の空間コヒーレンス距離を、波面分割部の隣接する分割領域の範囲、すなわちシリンドリカルレンズアレイを設ける場合はそのレンズセルのピッチの2倍以下に制御する場合においても、わずかなコヒーレンス長の広がりから2倍周期以上の周波数で10%以下程度の干渉縞が生じていた。これに対し本発明によれば、2倍周期以上の領域を通過する光束による干渉縞を大幅に低減することができるので、従来に比してより均一な分布のレーザ光を出力することが可能となる。
また、レーザ光源の発振状態の変動等により空間コヒーレンス特性がわずかに変動しても干渉縞が生じない、或いは生じにくいレーザ光源装置を提供することができる。
すなわち本発明においては、偏光変換部に設ける波長板の配置や光学軸の方位を変えることによって、レーザ光源の空間コヒーレンス距離と波面分割部の分割ピッチを調整しても残留する干渉縞の空間周波数成分の制御を可能とするものであり、本発明のレーザ光源装置を適用する各種の光学装置の用途によって波長板の配置や構成を適宜変更すればよい。
次に、第4の実施形態例として、上述の本発明構成のレーザ光源装置を用いた画像生成装置の一実施形態例について図12〜図16を参照して説明する。
図12に示すように、この画像生成装置50は光源1及び上述した波面分割部及び波面合成部を含む照明光学系20とより構成されるレーザ光源装置10と、例えば回折格子型の1次元光変調装置51、光選択部52を含む光変調部55、投射光学部53、走査素子54を有する走査光学部56から構成される。光源1には、例えば複数の半導体レーザ素子が1次元状に配列されたアレイレーザや、各レーザ素子が一体型に形成されたバーレーザ等が用いられる。また、1次元横マルチモード発振した固体レーザ発振光、またはその出力を共振器内部乃至外部に配置した非線形光学素子により波長変換して得られた1次元状のレーザ光を出力する光源を用いてもよい。
本発明構成のレーザ光源装置10の光源1から射出された光Loは、図示しない波面分割部及び波面合成部を含む照明光学系20において、干渉縞を低減されたレーザ光として所定のビーム形状、この場合例えば1次元状(線状)の光ビームとして出力され、回折格子型構成の1次元型光変調装置51に1次元状(線状)の光ビームとして照射される。
回折格子型の光変調装置51は外部演算部150において生成された画像信号をもとに、図示しない駆動回路からの信号Spを受けて動作する。光変調装置51を回折格子型構成とする場合、その回折光が光選択部52に入射される。なお、例えば三原色の光を用いる場合は、各色の光源からそれぞれ各色用1次元照明装置、各色用光変調装置を経てL字型プリズム等の色合成部により光束を重ね合わせて光選択部に出射される構成とすることができる。
光選択部52はオフナーリレー光学系等より成り、シュリーレンフィルター等の空間フィルター(図示せず)を有し、ここにおいて例えば+1次光が選択されて1次元画像光Lmとして出射される。更に投射光学部53によって拡大等を行い、走査光学部56における走査素子54の矢印rで示す回転によりL1、L2、・・・Ln−1、Lnで示すように走査され、スクリーン等の画像生成面100上に2次元像57が生成される。画像生成面100上において走査位置は矢印sで示すように走査される。走査素子54としては、例えばガルバノミラー、ポリゴンミラーの他、例えば電磁石等によって共振して走査を行ういわゆるレゾナントスキャナを用いることも可能である。
なお、この光変調素子60は、光変調装置内の1つの画素(ピクセル)に対応して第2の電極62a〜62cを1画素分の画素信号に対応して変調させるものであるが、この光変調素子に設ける第1の電極及び第2の電極の数は図13に示す例のように6本とする以外に、2本、4本等とすることができ、適宜変更可能である。また、この光変調素子60を各電極の長手方向と直交する方向に画素数分並置配列して、所望の画素数に対応する光変調装置が構成される。すなわち光変調装置内に設ける電極の総数は、1画素あたりの電極の本数及び目的とする表示画像の画素数に対応して適宜選定される。
実用化されつつある1080画素を表示する1次元光変調装置においては、図13の第1及び第2の電極の幅方向に沿って、1080画素分の電極が多数並置配列される。
なお、本発明の画像生成装置は上述の第4の実施形態例に限定されるものではなく、レーザ光源装置において本発明構成とする他は、光変調部、投射光学部、走査光学部とにおいて種々の変形、変更が可能である。また投射型表示に限定されることなく、描画により文字情報や画像などを生成するレーザプリンタ等にも適用可能である。
Claims (14)
- 光源と、
前記光源から出射される光の波面を分割する波面分割部と、
前記波面分割部からの光を被照射体に導くと共に分割された波面を重ね合わせる波面合成部と、
前記波面分割部において分割された光束のうち、一部の光束の偏光面を回転させる偏光変換部と、を備え、
前記偏光変換部は、前記波面分割部により分割される分割領域の1つおきに、光学軸の方位が異なる第1又は第2の波長板が配置される領域と、前記第1又は第2の波長板が配置されない領域と、を有し、
前記第1の波長板は、光の偏光面を一の方向に略90度回転させる作用を備え、
前記第2の波長板は、光の偏光面を他の方向に略90度回転させる作用を備え、
前記第1及び第2の波長板が、交互に配置されて成り、
前記第1及び第2の波長板を通過する光路で生じる干渉縞の位相が、前記第1及び第2の波長板を通過しない光路で生じる干渉縞の位相と略180度異なる
レーザ光源装置。 - 光源と、
前記光源から出射される光の波面を分割する波面分割部と、
前記波面分割部からの光を被照射体に導くと共に分割された波面を重ね合わせる波面合成部と、
前記波面分割部において分割された光束のうち、一部の光束の偏光面を回転させる偏光変換部と、を備え、
前記偏光変換部は、前記波面分割部により分割される分割領域の2つおきに、光学軸の方位が異なる第1及び第2の波長板が隣接して配置される領域と、前記第1及び第2の波長板が配置されない領域と、を有し、
前記第1の波長板は、光の偏光面を一の方向に略90度回転させる作用を備え、
前記第2の波長板は、光の偏光面を他の方向に略90度回転させる作用を備え、
前記第1及び第2の波長板を通過する光路で生じる干渉縞の位相が、前記第1及び第2の波長板を通過しない光路で生じる干渉縞の位相と略180度異なる
レーザ光源装置。 - 隣接する前記第1及び第2の波長板の配列順が一定である請求項2に記載のレーザ光源装置。
- 隣接する前記第1及び第2の波長板の配列順が交互に入れ替わって配置されて成る請求項2に記載のレーザ光源装置。
- 前記波面分割部が、1以上のシリンドリカルレンズアレイより構成され、前記分割領域が、1つのレンズセルとされる請求項1〜4のいずれかに記載のレーザ光源装置。
- 前記偏光変換部が、前記波面分割部のうち、前記光源からのレーザ光が最後に通過する光学素子の直前又は直後に配置される請求項1〜5のいずれかに記載のレーザ光源装置。
- 前記光源が、複数のレーザ素子が1次元状に配列された構成とされて1次元状のレーザ光を出力する光源とされて成る請求項1〜6のいずれかに記載のレーザ光源装置。
- 前記第1又は第2の波長板が配置されない領域に、偏光変換機能を有さない光透過性基板が配置される請求項1〜7のいずれかに記載のレーザ光源装置。
- レーザ光源装置と、光変調装置と、投射光学部と、走査光学部とを備え、
前記レーザ光源装置は、
光源と、
前記光源から出射される光の波面を分割する波面分割部と、
前記波面分割部からの光を前記光変調装置に導くと共に分割された波面を重ね合わせる波面合成部と、
前記波面分割部において分割された光束のうち、一部の光束の偏光面を回転させる偏光変換部と、を備え、
前記偏光変換部は、前記波面分割部により分割される分割領域の1つおきに、光学軸の方位が異なる第1又は第2の波長板が配置される領域と、前記第1又は第2の波長板が配置されない領域と、を有し、
前記第1の波長板は、光の偏光面を一の方向に略90度回転させる作用を備え、
前記第2の波長板は、光の偏光面を他の方向に略90度回転させる作用を備え、
前記第1及び第2の波長板が、交互に配置されて成り、
前記第1及び第2の波長板を通過する光路で生じる干渉縞の位相が、前記第1及び第2の波長板を通過しない光路で生じる干渉縞の位相と略180度異なる
画像生成装置。 - レーザ光源装置と、光変調装置と、投射光学部と、走査光学部とを備え、
前記レーザ光源装置は、
光源と、
前記光源から出射される光の波面を分割する波面分割部と、
前記波面分割部からの光を被照射体に導くと共に分割された波面を重ね合わせる波面合成部と、
前記波面分割部において分割された光束のうち、一部の光束の偏光面を回転させる偏光変換部と、を備え、
前記偏光変換部は、前記波面分割部により分割される分割領域の2つおきに、光学軸の方位が異なる第1及び第2の波長板が隣接して配置される領域と、前記第1及び第2の波長板が配置されない領域と、を有し、
前記第1の波長板は、光の偏光面を一の方向に略90度回転させる作用を備え、
前記第2の波長板は、光の偏光面を他の方向に略90度回転させる作用を備えて成り、
前記第1及び第2の波長板を通過する光路で生じる干渉縞の位相が、前記第1及び第2の波長板を通過しない光路で生じる干渉縞の位相と略180度異なる
画像生成装置。 - 隣接する前記第1及び第2の波長板の配列順が一定である請求項10に記載の画像生成装置。
- 隣接する前記第1及び第2の波長板の配列順が交互に入れ替わって配置されて成る請求項10に記載の画像生成装置。
- 前記レーザ光源装置の光源が、複数のレーザ素子が1次元状に配列された構成とされて1次元状のレーザ光を出力する光源とされ、
前記光変調装置が、1次元光変調装置とされて成る請求項9〜12のいずれかに記載の画像生成装置。 - 前記レーザ光源装置の光源が、1次元横マルチモード発振した固体レーザ発振光またはその出力を非線形光学素子により波長変換して得られた1次元状のレーザ光を出力する光源とされ、
前記光変調装置が、1次元光変調装置とされて成る請求項9〜13のいずれかに記載の画像生成装置。
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