JP4296762B2 - レーザ照射装置および半導体薄膜の処理方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はレーザ照射装置および半導体薄膜の処理方法に関し、特には半導体薄膜を結晶化する際の処理に好適に用いられるレーザ照射装置と、このレーザ照射装置を用いて行われる半導体薄膜の処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示装置のようなフラット型表示装置のスイッチング素子として広く用いられている薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor、略してTFT)には、多結晶シリコンを活性層に用いたTFT(多結晶シリコンTFT)と、非晶質シリコンを活性層に用いたTFT(非晶質シリコンTFT)とがある。このうち、多結晶シリコンTFTは、非晶質シリコンTFTと比べ駆動電流が高いことから、スイッチング素子の微細化が可能であり画素開口率を広げることが可能になる。また、多結晶シリコンTFTは、スイッチング素子の他にも周辺の駆動回路、例えばシフトレジスタやレベル変換器としても用いることが可能であり、これらの周辺回路をスイッチング素子の形成と同一工程で表示基板上に形成することができる。以上の理由により、多結晶シリコンTFTは、高精細な表示装置用の素子として使用されている。
【0003】
近年、多結晶シリコンTFTを600℃以下の低温プロセスで作製する技術(いわゆる低温ポリシリコンプロセス)が開発され、実用化されている。このような低温ポリシリコンプロセスをフラット型表示装置の製造に適用することにより、表示基板として石英、単結晶シリコンなどの高耐熱性だが高価な基板を用いる必要がなくなるため、高精細なフラット型表示装置の低コスト化及び大型化が可能となる。
【0004】
ここで、低温ポリシリコンプロセスとは、基板上に成膜したシリコン層(非晶質シリコン層)に対して、レーザ光あるいは電子ビームを照射することで、基板にダメージを与えることなくシリコンを急激に加熱して溶融状態とし、その後の冷却過程でシリコンを結晶化させることで多結晶シリコン層を得る方法である。
【0005】
このような低温ポリシリコンプロセスにおいて、より大きな粒径の多結晶シリコン層を得るためには、シリコン層に対するレーザ光や電子ビームの照射法が重要となる。そこで、現在の低温ポリシリコンプロセスでは、マルチショット照射法が広く用いられている。マルチショット照射法では、シリコン層に対してレーザビームをスキャンさせながら、同一箇所に2回以上、典型的には10〜20回のレーザ照射を行う。これにより、膜厚50nmのシリコン層を例にとると粒径0.1〜5μm、典型的には粒径0.3〜1μm程度の多結晶シリコン層が得られることが知られている。
【0006】
また上述したマルチショット照射法を適用した低温ポリシリコンプロセスの他にも、例えばApplied Physics Letters誌、第69巻、2,864〜2,866ページ (1996年)に報告されている、Sequential Lateral Solidification法(連続横方向固化法、以下SLS法)がある。図19には、このSLS法による半導体薄膜処理の概要を示す。この図に示す方法は、先ず、レーザ光発生手段1から発振されたレーザビームHを、レンズや反射ミラーなどの光学手段2〜5を用いて、周期的な明暗のパターンが描かれたマスク6に入射させ、このマスク6を通過させたレーザビームHを、結像レンズ7および反射ミラー8を介してステージ9上に載置した基板W表面のシリコン層に照射し、これによって数μm幅でシリコン層を完全融解し、冷却時に融解領域の外周部から内部に向かって横方向(ラテラル)に結晶を成長させ、ストライプ状の横方向成長領域を得る。次にマスク6または基板Wが載置されているステージ9を機械的に融解領域の幅以下の距離、典型的には0.75μm程度移動させた後、同様に横方向成長させる。このような方法により、広域にわたり均一で、かつスキャン方向に平行な粒界を持つ、細長い多結晶シリコン薄膜を得ることが可能であると報告されている。
【0007】
さらに、このSLS法を応用した例として、特開2000−150412号公報には、上述した周期的な明暗のパターンをレーザ光の干渉による干渉縞として形成する方法が開示されている。またこの公報には、レーザ光の光路上に配置された鏡や階段状透明板を機械的手法によって移動することにより、干渉縞の位置を変化させ、シリコン層の融解位置を変位させることが開示されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかし上述した低温ポリシリコンプロセスのうち、マルチショット照射法を適用した方法では、得られる多結晶シリコンの結晶サイズ(粒径0.1μm〜5μm)は、現状の薄膜トランジスタのサイズ(約5μm角〜50μm角)と比較して極めて小さい。このため、この多結晶シリコンを用いて形成された薄膜トランジスタの特性は、多結晶シリコン粒界でのキャリアトラップにより、例えば電子移動度が100cm2/Vsと低く、単結晶シリコンに形成されたトランジスタと比較して劣るものになる。
【0009】
ここで、薄膜トランジスタを用いた表示装置においては、表示エリア内における薄膜トランジスタ特性がばらついていると、それが表示特性のばらつきとして認識され、表示品質が低下する。薄膜トランジスタ特性のばらつきは第一には多結晶粒径のばらつきが原因であるが、これは多結晶化プロセスにおけるレーザエネルギーのばらつき、具体的には照射ショット毎のばらつきと照射面内での光強度分布に起因する。
【0010】
図20は、同一箇所に対して20回のレーザ照射を行った場合について、レーザエネルギーに対して多結晶シリコンの平均粒径がどのように変わるかを示したものである。この図からレーザエネルギーが±8%変動する可能性がある場合、20回の照射のうち1回でも粒径が最大となる照射エネルギー380mJ/cm2を超えると、粒径が急激に低下し、さらに部分的に微結晶化してしまうため、350mJ/cm2で照射する必要があることが分かる。また、粒径のエネルギー依存性が大きく、例えばたった±1%のエネルギーばらつきが概ね±10%もの粒径ばらつきをもたらすことが分かる。しかしレーザエネルギーのばらつきを例えば±0.5%以内に抑制することは、短時間内(例えばエキシマレーザの場合、パルス幅は20〜200ns)でのパルス発振という事情から現在のところ困難であり、結晶粒径もばらついたものになる。
【0011】
一方、SLS法では、広域にわたり均一な大粒径の結晶を得ることが可能であるものの、マスク6や結像光学系のレンズ5,7を介して半導体薄膜にレーザ光が照射されるため、光エネルギーの利用効率が下がり、結果として1基板あたりの処理時間やコストが増加する。また基板のうねりなどによる焦点ずれを補正する機構が必要であり、やはり1基板あたりの処理時間やコストが増加する。さらに基板を載置するステージには1μmオーダーの移動精度が必要なため、装置コストも高い。また結像光学系の製造コストおよび像歪みとの兼ね合いで、照射面積を大きくし難いため、処理時間がかかるという問題があった。
【0012】
また、SLS法の応用としてレーザ光の干渉を利用する方法では、光エネルギーの利用効率は良好であるものの、次のような課題がある。すなわち、この方法においては、干渉縞の位置を変化させるべく分割したレーザ光の光路長を変化させる際、レーザ光の光路上に配置された鏡や階段状透過板を、機械的手法によって移動させている。ここで、パルス発振されるレーザ光を用いる場合には、その発振周波数に干渉縞の変位を同期させる必要がある。ところが、上述したような機械的手法によって鏡や階段状透過板を移動させて干渉縞を変位させる方法では、鏡や階段状透過板の移動速度および移動精度の限界から、高周波数でパルス発振されるレーザ光に対して鏡や階段状透過板の移動を同期させることができない。したがって、レーザダイオード励起のパルス発振固体レーザから発振されるような、10kHzを越える高周波数のパルス発振レーザ光を適用した処理を行うことが困難であり、半導体薄膜の処理速度を高速化する際の妨げになる。
【0013】
そこで本発明は、レーザ光の干渉作用によって形成される光パターンを高周波で移動することが可能でこれにより処理速度の高速化を図ることができるレーザ照射装置、およびこの装置を用いて粒径均一性に優れた大粒径の多結晶シリコンを得るための処理を高速に行うことが可能な半導体薄膜の処理方法を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するための本発明のレーザ照射装置は、レーザ光発生手段、このレーザ光発生手段から発生させたレーザ光を複数の光束に分割する分割手段、この分割手段で分割された高速を干渉させて周期的な光パターンを形成する光干渉手段、および分割手段で分割された複数の光束の少なくとも一つを電気光学的に位相シフトさせる位相シフト手段を備えていることを特徴としている。
【0015】
このような構成のレーザ照射装置では、レーザ光発生手段から発生させたレーザ光が、分割手段で複数の光束に分割されて光干渉手段によって干渉し、これによって周期的な光パターンが形成される。このため、マスクを用いて光パターンを形成する場合と比較して、レーザ光エネルギーの利用効率が高く保たれた光パターンを発生させることができる。また、分割されたレーザ光の少なくとも一方を位相シフトさせる位相シフト手段が設けられていることから、干渉による光パターンを光学的に移動することができる。しかも、この位相シフト手段は、電気光学的に位相シフトさせるものであるため、光パターンの光学的な移動を高周波で行うことできる。
【0016】
また本発明の半導体薄膜の処理方法は、複数の光束に分割したレーザ光を互いに干渉させることによって生じさせた周期的な光パターンを半導体薄膜に照射し、これにより当該半導体薄膜を部分的に融解させた後、この光パターンをその周期の範囲内で光パターンの配列方向に移動させる半導体薄膜の処理方法において、光パターンの移動は、分割された光束の少なくとも1つを電気光学的に位相シフトさせることによってなされることを特徴としている。
【0017】
このような処理方法では、分割された光束を干渉させることによって形成される光パターンを光学的に移動させるために光束を位相シフトさせる際、電気光学的に光束を位相シフトさせるため、光パターンの光学的な移動が高周波で行われる。したがって、光パターンを高速で移動させた処理が行われ、処理速度が短縮化される。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、レーザ照射装置および半導体薄膜の処理方法の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。
【0019】
(第1実施形態)
レーザ照射装置
図1は、本発明のレーザ照射装置の一例を示す構成図である。この図に示すレーザ照射装置は、例えば半導体薄膜を結晶化させるための処理に用いられるものであることとする。
【0020】
この図に示すレーザ照射装置は、レーザダイオード励起のYAGレーザからなるレーザ光発生手段101を備えている。このレーザ光発生手段101は、レーザ光Hの繰り返しパルス発振周波数が1kHz〜100kHz程度になる。尚、レーザ光発生手段101としては、干渉性を向上するために、インジェクション・シーダー付きのものを用いることが好ましい。また、照射領域内で均一な光強度プロファイルが得られるようトップハット型のビームプロファイルを有するYAGレーザを用いることが好ましい。
【0021】
そして、レーザ光発生手段101で発生させたレーザ光Hの出射方向には、高調波発生器102が配置されている。この高調波発生器102は、LiB3O5(LBO)またはBaB2O4(BBO)結晶などからなり、レーザ光発生手段101から発生させたレーザ光Hの基本波(波長1064nm)を第3高調波(波長355nm)に波長変換する。尚これにより、波長変換後のレーザ光Hは、例えばパルス幅が約30ns、1パルスあたりのエネルギーが0.6mJ(10kHz発振時)となる。
【0022】
そして、高調波発生器102を通過したレーザ光Hの出射方向には、透過率可変の光減衰器(アッテネータ)103、レーザ光を分割する分割手段としてのビームスプリッタ104が順に配置されている。このビームスプリッタ104は、レーザ光Hを強度比で約1:1の2光束に分割し、分割された第1の光束h1を反射させる一方、分割された第2の光束h2を透過させる。
【0023】
そして、ビームスプリッタ104の透過方向には、位相シフト手段105が配置されている。この位相シフト手段105は、電気光学効果を利用してこれを通過する光の位相が変化自在であるものを用いることとする。このような位相シフト手段105としては、よく知られているようにKH2PO4(リン酸2水素カリウム:KDP)、NH4H2PO4(リン酸2水素アンモニウム:ADP)、LiTaO3、LiNbO3、Ba2NaNb5O15等の結晶を用いたものがある。これらの結晶は、印加される電圧に応じた位相遅れ(リターデーション)を、結晶を通過するレーザ光束にもたらすことができる。
【0024】
ここでは、このような位相シフト手段105を設けることによって、このレーザ照射装置から照射されるレーザ光の光強度プロファイルに乱れが生じることのないように、位相シフト手段105に用いる結晶を第2の光束h2が透過する際に波面歪がλ/10(35nm)以下となるように、高精度で研磨されたKDP結晶を用い、印加電圧1500Vで位相が360度遅れるものを用いることとする。
【0025】
また、位相シフト手段105を通過した第2の光束h2の光路上には、反射ミラー106が配置されている。この反射ミラー106は、ビームスプリッタ104で反射された第1の光束h1に対して、ビームスプリッタ104を透過した第2の光束h2が所定角度で交わるように当該第2の光束h2を反射し、これにより第1の光束h1と第2の光束h2とを重ね合わせて干渉させて周期的な光パターン(ここでは干渉縞)を発生させる光干渉手段として配置されている。
【0026】
ここで、第1の光束h1と第2の光束h2とが交わる際の所定角度θは、次のように設定される。すなわち、波長λのレーザ光束2本が挟角θ(ラジアン)で基板面に入射する際に生成される干渉縞の周期をPとすると、Pは次式(1)で与えられる。P=λ/{2sin(θ/2)}…(1)
【0027】
この式から、λ=355nmの場合において、周期4.0μmの干渉縞を基板W表面に照射したい場合には、θ=5.09度となる。そこで、反射ミラー106は、ビームスプリッタ104で反射された第1の光束h1に対して、第2の光束h2が狭角θ=5.09度で交わるべく、当該第2の光束h2を反射させるように設定されることとする。
【0028】
また、この反射ミラー106の反射方向、およびビームスプリッタ104の反射方向には、処理を行う基板Wを載置するためのステージ100が配置されている。そして、このステージ100に載置された基板Wの表面に、第1の光束h1と第2の光束h2とを重ね合わせて干渉させることよる周期的な光パターン(ここでは干渉縞)Hpが照射されるように設定されている。尚、このステージ100は、例えばステッピングモーター駆動のxy移動ステージであることとする。
【0029】
そして、第1の光束h1の光路上および第2の光束h2の光路上には、それぞれ透過率可変の光減衰器107が配置されている。これらの光減衰器107は、基板Wの表面に照射される光パターンHpのコントラスト比が最大となるように透過率を調整して用いられる。
【0030】
これらの光減衰器107の出射方向には、それぞれシリンドリカル凸および凹レンズからなる光学系108が配置され、さらにこれらを通過した第1の光束h1および第2の光束h2の光路上に、オリフィス(絞り板)109が配置され、このオリフィス109を通過した第1の光束h1および第2の光束h2による光パターンHpが基板Wに照射されるように構成されている。
【0031】
これらの光学系108およびオリフィス109は、基板Wの表面に対する光パターンHpの照射領域を成形するために設けられている。特にここでは、光強度変動が±20%の範囲に収まるように選択領域を選択形成することが好ましい。そこで、例えば、レーザ光発生手段101として、上述したLightwaveElectronics社の210−UVシリーズを用いた場合、発生されたレーザ光の中央部における0.21mm×0.21mmの領域が照射領域として選択される。
【0032】
以上のような構成のレーザ照射装置においては、レーザ光発生手段101と高調波発生器102で発生させたレーザ光Hが、ビームスプリッタ104で分割され、かつその一方の第2の光束h2が反射ミラー106で反射されて第1の光束h1と干渉し、これによって周期的な光パターン(干渉縞)Hpが形成され、これがステージ100上の基板W表面に照射される。このため、従来の技術において図19を用いて説明したようなマスクを用いて形成された同様の光パターンを基板Wに照射する場合と比較して、レーザ光エネルギーの利用効率が高く保たれた光パターンHpを発生させて基板Wに照射することが可能になる。
【0033】
また、第2の光束h2の位相シフトさせる位相シフト手段105が設けられていることから、干渉によって生じさせた光パターンHpをステージ100上において光学的に移動することができる。この移動は、干渉によって生じる光パターンHpの周期よりも短い高精度の範囲で行うことが可能である。これに対して、マスクを用いて形成された同様の光パターンをステージ上において同様に移動させる場合には、ステージ100の駆動による機械的な移動を行う必要があり、ステージ100に高精度の駆動系を設けることが要求されるため、装置コストが上昇する。したがって、本実施形態の装置においてはステッピングモーター駆動のxy移動ステージとして設けられたステージ100に高精度の移動が要求されることはなく、装置コストの低下を実現することが可能になる。
【0034】
また、マスクを用いる装置においては結像光学系を必要とするが、本装置においてはこれが不要であり、ビーム整形以外にはレンズが不要なため、YAGレーザの第4高調波(波長266nm)やXeClエキシマレーザ(波長308nm)、KrFエキシマレーザ(波長248nm)などの短波長レーザを光源とする場合も、特殊なレンズが不要であり、装置コストを低減可能な上、スケールアップも容易であるという利点が得られる。
【0035】
そして特に、本実施形態で用いた位相シフト手段105は、電気光学的に位相シフトさせるものであるため、位相シフトを高周波で行うことができる、つまり光パターンHpの光学的な移動を高周波で行うことができるのである。したがって、基板Wの表面に対して、光パターンHpの照射位置を光学的に移動させながら照射する場合、より高速で光パターンHpの照射位置を光学的に移動させることが可能になり、処理時間の短縮化を図ることが可能になる。
【0036】
また、このように高速で位相をシフトさせることが可能になるため、発振周波数の高いパルス発振のレーザ光に同期させて位相をシフトさせることが可能になる。したがって、レーザダイオード励起のYAGレーザのような発振周波数が高いレーザ光発生手段101を用いることができる。このレーザダイオード励起のYAGレーザは、連続使用時の寿命が1万時間(10kHz)以上である。これは、フラッシュランプ励起Qスイッチパルス発振固体レーザのランプ交換周期が500時間(10Hz)であることと比較して1桁以上長く、1年以上の連続稼働が可能な信頼性の高いレーザ照射装置を構築することが可能になる。
【0037】
尚、以上においては、電気光学的に光束の位相をシフトさせる位相シフト手段105を、ビームスプリッタ104と反射ミラー106との間の第2の光束h2の光路に配置した構成を説明した。しかし、この位相シフト手段105は、第1の光束h1の光路上または第2の光束h2の光路上であれば、特に限定されることはなく、同様の効果を得ることができる。
【0038】
また、光パターンHpを発生させる手段(光干渉手段)として、マイケルソン干渉計やフィゾー干渉計等の干渉計を用いても良い。この場合、これらの干渉計において、分割された光束の光路に、上述した電気光学的な位相シフト手段を設けてレーザ照射装置を構成することで、上述した図1に示すレーザ照射装置と同様に高速処理を行うことが可能になる。
【0039】
また、以上の説明においては、干渉によって生じさせた光パターンの照射領域を成形するために、シリンドリカル凸および凹レンズからなる光学系108とオリフィス109とを設けた構成にした。光学系108として、非球面レンズ系または非球面ミラー系の光学系を用いることで、ガウシアンプロファイルのレーザ光Hをある程度均一化し、レーザエネルギーの利用効率をさらに向上させることも可能である。
【0040】
尚、以上においては、光パターンHpを光学的に高周波で移動することを目的としたため、レーザ光発生手段101として、レーザダイオード励起のYAGレーザを用いた場合を説明した。しかし、レーザ光発生手段101としては、フラッシュランプ励起のQスイッチYAGレーザを用いることも可能である。
【0041】
半導体薄膜の処理方法
次に、本発明の半導体薄膜の処理方法として、図1を用いて説明したレーザ照射装置を用いて非晶質シリコン薄膜(半導体薄膜)を結晶化する場合の処理方法を説明する。
【0042】
先ず、ガラス基板S上に、非晶質シリコン薄膜Lを成膜した基板Wを用意する。この非晶質シリコン薄膜Lは、例えばこの半導体薄膜の処理方法が適用される薄膜トランジスタの構成にならい、ここでの図示を省略した窒化シリコン(SiNx)膜、酸化シリコン(SiO2)膜を介してガラス基板S上に形成されることとする。
【0043】
これらの膜の成膜は、例えば薄膜トランジスタの製造工程にならい、ガラス基板を収納した真空成膜室内に原料ガスを導入し、周波数13.56MHzのrf電力を印加した平行平板電極間でグロー放電を起こし混合ガスを分解し堆積させる、いわゆるプラズマCVD法(chemical vapor deposition)法や、他のCVD法によって行われることとする。
【0044】
ここではプラズマCVDによって成膜が行われることとした場合、先ず、真空成膜室内にガラス基板Sを収納し、ガラス基板Sを加熱(例えば400℃)しておく。そして、この真空処理室内に、原料ガスとしたシランガス(SiH4)とアンモニアガス(NH3)を圧力100Paで導入し、SiNx膜を100nmの厚みでガラス基板上に堆積成膜する。次いで、原料ガスとしてシランガスと酸素(O2)とを導入し、SiO2膜を200nmの厚みでSiNx膜上に堆積成膜する。その後、シランガスのみを圧力150Paで導入し、水素化された非晶質シリコン薄膜Lを厚さ30〜300nm、典型的には50nmの厚さでSiO2膜上に堆積成膜させる。尚、非晶質シリコン薄膜L中の水素量は原子数比で約2%とする。
【0045】
以上のようにして形成された非晶質シリコン薄膜Lを多結晶化する場合、図2の断面工程図を用いて説明する以下の手順で行う。
【0046】
先ず、図1のレーザ照射装置の各部を調整することによって、例えば1kHzの周波数でレーザ光Hをパルス発振させて干渉させる。そして、図2(a)に示すように、4μm周期で幅2μmの明部が現れる光強度プロファイルを有する光パターンHpを、基板W表面の非晶質シリコン薄膜Lの第1領域L1(0.2mm×0.2mm)に照射する。これにより、非晶質シリコン薄膜Lの第1領域L1における幅2μmの各照射部分(明部)を第1ショット201目の結晶化部分として選択的に融解させる。この際、幅2μmの各非照射部(暗部)は、非晶質シリコンの融点よりも100℃以上低い温度に保たれる。尚、第1ショット201の照射においては、レーザ照射装置の位相シフト手段(105)には、電圧が印加されていない状態であることとする。
【0047】
そして、この第1ショット201の照射終了後の降温時に、融解領域と未融解領域との境界部分から融解領域に向かってシリコン多結晶を横方向成長(ラテラル成長)させる。この際、融解領域の幅が、結晶が横方向成長し得る距離の2倍以下である場合、例えば厚さ50nmのシリコン薄膜では約0.1〜5μmの2倍以下である場合には、1回の照射で明部の全体にストライプ状に横方向成長領域が形成される。尚、横方向成長し得る距離はレーザのパルス幅やパルス波形に依存し、さらに半導体薄膜の膜厚の増加と基板温度の上昇に伴い増加する。この横方向成長に関しては、後に詳しく説明する。
【0048】
以上のような第1ショット201目のレーザ光照射を、1回または必要に応じて複数回行った後、レーザ照射装置のパルス発振に同期させて、位相シフト手段(105)に500Vの電圧を印加する。これにより図2(b)に示すように、光パターンHpをその配列方向に1.33μm移動させる、1回目の光学的な一次走査を行い、第1ショット201目に端縁を重ねた第2ショット202目の照射を行う。そして、第1領域L1の第2ショット202目の部分に、第1ショット201と同様に結晶を横方向成長させる。この第2ショット202の横方向成長においては、第1ショット201との境界には既に横方向成長した多結晶が存在し、これを種として、過冷却プロセス無しで横方向成長するため、第1ショット201よりは長い多結晶粒が得られる。
【0049】
以上の後、レーザ照射装置のパルス発振に同期させて、位相シフト手段(105)に印加する電圧を500Vから1000Vに切り換える。これにより図2(c)に示すように、光パターンHpをその配列方向にさらに1.33μm移動させる、2回目の光学的な一次走査を行い、第2ショット202と第1ショット201とに両側の端縁を重ねた第3ショット203目の照射を行い、第2ショット202目と同様に過冷却プロセス無しで結晶を横方向成長させる。
【0050】
以上の3ショット201〜203の照射により、非晶質シリコン薄膜Lの0.2mm×0.2mmの第1領域L1内を、均一な多結晶シリコンに結晶化させる。尚、これに要する時間は約3ms程度であり、結晶化速度は約0.133cm2/秒程度となる。
【0051】
図3は上記一次走査を伴う照射方法を平面図で示したものであり、このように、第1ショット201、第2ショット202、および第3ショット203を重ねて行うことにより、第1領域L1内を隈なく融解および多結晶化可能なことを示す。尚、図3では分かりやすくするために、各ショット201〜203を、光パターンの延設方向(図で横方向)にずらして示している。
【0052】
以上のようにして、非晶質シリコン薄膜Lの第1領域L1内を結晶化した後、図2(d)に示すように、ステッピングモーター駆動のxy移動ステージの駆動により、基板Wを0.2mm程度移動して、レーザ照射装置によるレーザ光の照射領域を非晶質シリコン薄膜Lの第1領域L1に隣接する第2領域L2に移動させる、機械的な二次走査を行う。
【0053】
そして、この第2領域L2に対して、図2(d)〜(f)に示す3ショット201〜203のレーザ光照射を図2(a)〜図2(c)を用いて説明したと同様に行う。これにより、第1領域L1に隣接する0.2mm×0.2mmの第2領域L2を結晶化させる。
【0054】
以降、ステージの駆動による機械的な二次走査と、位相シフト手段の駆動による電気光学的な一次走査とを繰り返し行い、非晶質シリコン薄膜Lの必要領域(例えば全面)に光パターンHpを照射する。
【0055】
以上のような処理方法により、非晶質シリコン薄膜Lの必要領域(例えば全面)が結晶化され、多結晶シリコン薄膜を得ることができる。
【0056】
図4には、上述した手法で非晶質シリコン薄膜Lに対して光パターン(干渉縞)を1回だけ照射した後のシリコン薄膜の各結晶粒40を、粒界を顕在化させるためのエッチング(Seccoエッチング)した後に走査電子顕微鏡(SEM)で観察した像を模式的に示したものである。尚、図中の各ブロックがそれぞれ各結晶粒40を示している。
【0057】
この図に示すように、幅2μmの各照射部分(明部)が完全融解したことで多結晶化されているが、暗部とのエッジA−A’、B−B’部分は融解端、すなわち融解部分と非融解部分の境界領域であるため、他の領域に先立って凝固する。そのため、多数の核(結晶粒40)が発生するが、その中でも相対的に成長速度が速い結晶粒40が優先的に成長し、エッジA−A’ とB−B’のそれぞれから成長してきた結晶がぶつかりあったところ、すなわち融解幅方向のほぼ中央で、結晶成長が完了することが分かる。
【0058】
横方向成長は原理的には、初期に結晶化した部分が凝固する際に融解潜熱(Siでは1.6×106 J/kg)を放出し、沖合の液相(未凝固)部分を加熱し、一方、液相部分の核発生率が温度に対する急峻な関数であり、凝固部分からの加熱により核発生が抑制される結果、凝固部分からの結晶成長が持続するために起こる。これは、液相シリコンの熱伝導率が110(W/m・K)と、下地のSiO2層、SiNX層およびガラス基板の熱伝導率1〜2(W/m・K)よりも圧倒的に大きいために起きる現象である。
【0059】
但し、融解幅が増加した場合、融解領域の中央付近は凝固部分からの加熱よりは、下地のSiO2/SiNX層およびガラス基板への熱の散逸の方が勝り、結晶が横方向成長して来る前に核が発生してしまうため、横方向成長し得る距離には限界があり、基板を特に加熱しない場合、厚さ50nmのシリコン薄膜では実験的には2〜5μmが限度となる。従って融解幅または融解直径は10μm以下、したがって干渉縞の周期は20μm以下にする必要がある。
【0060】
尚、融解幅は、上述したように光パターン(干渉縞)の周期のちょうど1/2である必要は必ずしもない。例えば、照射面内の平均レーザ光強度が減少すると、融解幅も干渉縞の周期の1/2未満になるが、同一基板位置でレーザ光の強度プロファイルを移動または変化させて照射する際に必要な照射回数が増加するだけで、原理的に格段の不都合が生じることはない。
【0061】
以上のように、このような半導体薄膜の処理方法によれば、光パターンにおけるレーザ光の照射部において、半導体薄膜を完全融解させているため、10〜20%程度のレーザエネルギーばらつきには依存せず、一定の多結晶化が可能なため、レーザエネルギー安定化のために特別な工夫やコストを必要としない。これにより薄膜トランジスタ特性の均一性が向上し、表示特性も改善される。
【0062】
さらに、粒界が一次走査方向と平行な多結晶粒が支配的になるため、以降に説明するように薄膜トランジスタの製造に適用した場合、チャネルを流れる電流の方向を粒界と平行にすれば、粒界におけるキャリアトラップの影響を低減でき、薄膜トランジスタ特性を向上できるという利点が得られる。このため、この処理方法を適用して形成された薄膜トランジスタを液晶表示パネルまたはEL表示パネルなどの駆動回路に用いることで、薄膜トランジスタサイズの縮小や高速化を達成することができる。
【0063】
そして特に、光パターンを光学的に移動させる一次走査を、電気光学的な位相シフトによって行っているため、高周波での位相シフトによる高速での光パターン移動が可能である。この結果、半導体薄膜の処理速度を短縮化することが可能になる。
【0064】
(第2実施形態)
レーザ照射装置
図5は、レーザ光の干渉を利用するレーザ照射装置の他の例を示す構成図である。この図に示すレーザ照射装置は、例えば半導体薄膜を結晶化させるための処理に用いられるものであり、特に高速での処理を必要としない場合に用いられるものである。
【0065】
図5に示すレーザ照射装置は、図1を用いて説明した本発明のレーザ照射装置に用いた電気光学的な位相シフト手段(105)に換えて、機械的な位相シフト手段205を備えている。
【0066】
すなわち、この位相シフト手段205は、例えば、第2の光束h2をステージ側に反射させるための反射ミラー106を機械的に移動させるピエゾ駆動マイクロメータからなる。この位相シフト手段205は、反射ミラー106を、第2の光束h2の入射方向に対して移動させることによって、第2の光束h2の光路長を変更する。また、この移動に追従させて、第1の光束h1と第2の光束h2とのなす角度(狭角)が所定角度(例えば5.09度)となるように、第2の光束h2の入射方向に対する反射ミラー106の角度も変更する。これによって、第1の光束h1と第2の光束h2とを重ね合わせて干渉させ、コントラストの良好な干渉縞の光パターンを生じさせる。
【0067】
このような位相シフト手段205が設けられたレーザ照射装置には、例えばフラッシュランプ励起のQスイッチYAGレーザのような、発振周波数10Hz程度のレーザ光発生手段206を用いることとする。このレーザ光発生手段206には、干渉性を向上させるために、インジェクション・シーダー付きのものを用いることが好ましい。尚、高調波発生器102を用いて第3高調波(波長355nm)に波長変換した後のレーザ光Hのパルス幅は、約10ns、1パルスあたりのエネルギーは500mJ、エネルギーばらつきは±7%以内となる。また、照射領域内で均一な光強度プロファイルが得られるようトップハット型のビームプロファイルを有するYAGレーザを用いることが好ましい。
【0068】
そして、シリンドリカル凸および凹レンズからなる光学系108とオリフィス109を使用し、基板上での光スポットが50mm×2mmとなるように整形する。これら照射光学系の損失のため、非晶質シリコン薄膜上での光強度は約400mJ/cm2になる。各光束は透過率可変の光減衰器107を通し、光透過率を調整し、これらの光束h1,h2の干渉によって生じる光パターンHpが、ステージ100に載置した基板W表面で最大のコントラストとなるように調整して用いられる。これにより、そのコントラスト比が約10:1程度と、非晶質シリコン薄膜に光パターンHp(干渉縞)に応じた融解パターンを形成するのに十分なコントラストを有する光パターンHpが形成される。
【0069】
このような構成のレーザ照射装置は、位相シフト手段205が機械的に反射ミラー106を移動させるものであるため、図1を用いて説明した第1実施形態のレーザ照射装置と比較して、第2の光束h2を位相シフトさせることによる光パターンHpの光学的な移動速度は劣るが、その他の効果は、第1実施形態の装置と同様に得ることができる。
【0070】
半導体薄膜の処理方法
以上のような図5を用いて説明したレーザ照射装置を用いた非晶質シリコン薄膜を結晶化する場合の処理方法は、第1実施形態の処理方法で説明したと同様の手順で行うことができる。ただし、ステッピングモーター駆動のxy移動ステージの駆動により基板Wを移動し、レーザ照射装置によるレーザ光の照射領域を移動させる機械的な二次走査を行う場合には、このレーザ照射装置の照射領域(50mm×2mm)に合わせて移動距離を設定し、各照射領域間に隙間ができることのないようにする。
【0071】
(第3実施形態)
レーザ照射装置
図6は、レーザ光の干渉を利用するレーザ照射装置の他の例を示す構成図である。この図に示すレーザ照射装置は、例えば半導体薄膜を結晶化させるための処理に用いられるものであり、図1を用いて説明した第1実施形態のレーザ照射装置との異なる点は、レーザ光発生手段101から発生させたレーザ光Hを、3光束に分割して干渉させる点にある。
【0072】
すなわちこのレーザ照射装置は、第1実施形態と同様のレーザ光発生手段101、高調波発生器102、および光減衰器103を備えている。そして、光減衰器103を通過したレーザ光の出射方向には、レーザ光を分割する分割手段としてのビームスプリッタ301が配置されている。このビームスプリッタ301は、レーザ光Hを2光束に分割し、分割された第1の光束h1を反射させる一方、残りのレーザ光H’を透過させる。ここでは、反射させる第1の光束h1と透過させるレーザ光H’とを1:2の割合で分割させることとする。
【0073】
そして、ビームスプリッタ301の透過方向には、もう一枚のビームスプリッタ302が配置されており、このビームスプリッタ302に入射したレーザ光H’の1/2を第2の光束h2として反射させる一方、残りの1/2を第3の光束h3として透過させる。ここでは、第2の光束h2と第3の光束h3とを1:1の割合で分割させる。つまり、レーザ光発生手段101から発生させたレーザ光は、ビームスプリッタ301,302によって1:1:1の割合で、第1の光束h1、第2の光束h2および第3の光束h3に分割されるように構成されている。
【0074】
そして特に、ビームスプリッタ302は、第1の光束h1に対して第2の光束h2が平面的に120度の角度で交わるように当該第2の光束h2を反射し、これにより第1の光束h1と第2の光束h2とを重ね合わせて干渉させる干渉手段としても用いられている。
【0075】
そして、ビームスプリッタ302を透過した第3の光束h3の光路上には、必要に応じた枚数(ここでは3枚)の反射ミラー反射303〜305が配置されている。これらの反射ミラー303〜305は、ビームスプリッタ302を透過した第3の光束h3を平面的に90度ずつ折り曲げるように配置され、これによって第1の光束h1および第2の光束h2に対して、第3の光束h3が平面的に120度の角度で平面的に交わるように当該第3の光束h3を反射する。すなわち、反射ミラー303〜305は、第1の光束h1、第2の光束h2、および第3の光束h3とを重ね合わせて干渉させる干渉手段として用いられているのである。
【0076】
尚、以上のように第1の光束h1、第2の光束h2、および第3の光束h3を平面的に120度の角度で交わるように反射させるため、図面平面上を光路とするレーザ光Hに対して、ビームスプリッタ301,302、および反射ミラー303〜305は、図面上に垂直に立設させた状態で、次のような角度で配置されていることとする。すなわち、ビームスプリッタ301は、その法線を、レーザ光Hの入射方向に対して75度に保って配置される。また、ビームスプリッタ302は、その法線を、レーザ光H’の入射方向に対して15度に保って配置される。さらに、反射ミラー303〜305は、第3の光束h3を入射方向に対して90度ずつ折り曲げるように配置されている。
【0077】
以上のように配置された、ビームスプリッタ301,302および反射ミラー305の反射方向には、それぞれ透過率可変の光減衰器306、位相シフト手段307を配置する。これらの光減衰器306および位相シフト手段307は、第1実施形態と同様のものであり、特に位相シフト手段307は電気光学的に各光速h1〜h3を位相シフトさせるものであることが好ましい。
【0078】
そしてさらに、各位相シフト手段307を透過した第1の光束h1、第2の光束h2、および第3の光束h3の光路上には、それぞれステアリングミラー308を配置する。これらのステアリングミラー308は、平面的に120度を保って交わるように入射される各光束h1〜h3を同一方向(例えば図面上における奥行き方向)に屈折させ、屈折方向に配置されたステージ上の基板(図示省略)の法線に対して、各光束h1〜h3を約3.5度の入射角度(垂直入射角度)で入射させ、この基板上において重ね合わせるように設けられることとする。
【0079】
これにより、ステージに載置された基板表面に、第1の光束h1、第2の光束h2、および第3の光束h3とを重ね合わせて干渉させることよる周期的な光パターンが照射されるように設定されている。このような3光束h1〜h3の重ね合わせによる干渉によって、図7に示すような周期的な光パターンが生じる。この光パターンは、例えばJournal of Applied Physics誌、第82巻、1497〜1499ページ(1997年)に報告されているように、垂直入射角度に応じた直径を有する円形の高光強度スポット401-1が照射面内で規則的に配列した光強度プロファイルとなる。
【0080】
また、図6に示したように、各ステアリングミラー308を通過した各光束h1〜h3の光路には、オリフィス(絞り板)309が配置され、このオリフィス309を通過した光束h1〜h3が、上述した所定角度を保って基板上において交わるように構成されていることとする。
【0081】
このオリフィス309は、基板の表面に対するレーザ光の照射領域を整形するために設けられており、ここでは基板上での光スポットが0.5mm×0.5mmとなるように整形されることとする。そして、これら照射光学系の損失のため、基板上での平均光強度は約160mJ/cm2程度になる。
【0082】
尚、ここでの図示を省略した基板を載置するためのステージは、オリフィス309の直下に近接して配置されるもので、第1実施形態のレーザ照射装置と同様のステッピングモーター駆動のxy移動ステージであることとする。
【0083】
以上のように構成されたレーザ照射装置では、光束h1〜h3の光路中に挿入された光減衰器306の透過率を調整することによって、ステージ上に配置した基板の表面に照射される光パターンの光強度プロファイルが、円形の明部とその他の暗部とのコントラスト比が最大となるように調整し、これによりその比を約8:1にすることができる。これは、基板表面に成膜された非晶質シリコン薄膜に、光パターンに応じた融解パターンを形成するのに十分なコントラストになる。
【0084】
また、この光パターンの移動は、各位相シフト手段307に直流電圧を印加することで達成される。またさらに、ステッピングモーター駆動のxy移動ステージにより、このステージ上に載置した基板を光パターンの照射位置に対して機械的に移動させることもできる。
【0085】
このような構成のレーザ照射装置であっても、第1実施形態のレーザ光照射手段と同様に、位相シフト手段307が、電気光学的に位相シフトさせるものであるため、位相シフトを高周波で行うことができる、つまり光パターンの光学的な移動を高周波で行うことできる。また、その他の効果も第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0086】
半導体薄膜の処理方法
以上のような図6を用いて説明したレーザ照射装置を用いた非晶質シリコン薄膜を結晶化する場合の処理方法は、第1実施形態の処理方法で説明したと同様の手順で行うことができる。ただし、同一の照射領域内における光パターンの光学的な移動(一次走査)は、第1実施形態では干渉縞の配列方向に向かう1方向であったのに対し、このレーザ照射装置を用いた場合には少なくとも2方向に移動させることが好ましい。
【0087】
具体的には、照射領域内でx方向に1.0μmステップで移動しながら(一次走査)4ショット(401-1〜401-4)照射し、次いでy方向に1.0μmステップで移動した位置でさらに−x方向に1.0μmステップで移動しながら(一次走査)次の4ショット(402-4〜402-1)照射し…と、x方向(または−x方向)への一次走査とy方向への一次走査を繰り返し、この照射面内に合計16ショットを照射する。尚、図7においては、上記一次走査を伴う照射方法を平面図で示したものであり、第1ショット401-1のみを6スポット分示し、第2〜第16ショットは1スポット分だけ示している。これにより、0.5mm×0.5mmの照射領域内を約0.02秒で均一に多結晶化する。
【0088】
その後、ステッピングモーター駆動のxy移動ステージにより、非晶質シリコン薄膜付き基板を機械的に0.5mm移動し(二次走査)、隣接する領域の多結晶化を行う。以降同様に、光パターンの光学的な移動(一次走査)と基板の機械的な移動(二次走査)を伴うレーザ照射を繰り返し、基板の全面を多結晶シリコン化する。
【0089】
このような第3実施形態の処理方法では、光パターンの照射部(明部)が円形であるため、多結晶の粒界が照射面内であらゆる方向にほぼ均一化される。これにより、次に説明するように、例えばこのような処理によって得られた多結晶シリコン薄膜を用いて薄膜トランジスタを形成した場合、薄膜トランジスタの形成方向による特性のバラツキを小さく抑えることが可能になる。つまり、粒界が一方向のみに向かっている場合には、薄膜トランジスタのチャネルを流れる電流方向と多結晶の粒界が平行な場合の方が、垂直な場合よりも粒界欠陥の影響が小さくなり薄膜トランジスタ特性が向上するという特性異方性が生じるが、このような異方性を解消することができる。この結果、以降に説明するように、この薄膜トランジスタを液晶表示パネルまたはEL表示パネルの駆動回路に適用する場合、チャネルの向きを自由にレイアウトできるという効果を得ることができる。
【0090】
(第4実施形態)
レーザ照射装置
図8は、レーザ光の干渉を利用するレーザ照射装置の他の例を示す構成図である。この図に示すレーザ照射装置は、例えば半導体薄膜を結晶化させるための処理に用いられるものであり、これまで述べてきた実施形態と同様に半導体薄膜、例えば非晶質シリコン薄膜の多結晶化処理に用いることができる。
【0091】
この図に示す本第4実施形態のレーザ照射装置と、図1を用いて説明した第1実施形態のレーザ照射装置との異なるところは、次の2点にあり、他の構成は同様であることとする。
【0092】
すなわち、第1の相違点は、図1の第1実施形態のレーザ照射装置においてレーザ光発生手段(101)として用いたレーザダイオード励起YAGレーザに換えて、本第4実施形態のレーザ照射装置ではレーザダイオード励起のYLF(LiYF4)レーザをレーザ発生手段101’として用いているところにある。
【0093】
また、第2の相違点は、図1の第1実施形態のレーザ照射装置で用いていたビームスプリッタ104を通過した後の光減衰器(107)と光学系(108)に換えて、本第4実施形態のレーザ照射装置ではオリフィス(絞り板)110を用いているところにある。
【0094】
そして、上述したレーザダイオード励起のYLF(LiYF4)レーザをレーザ発生手段101’として用いたことで、レーザ光発生手段101’で発生させたレーザ光Hの出射方向に配置された高調波発生器102では、レーザダイオード励起のYLFレーザからなるレーザ光発生手段101’から発生させたレーザ光Hの基本波(波長1053nm)を第2高調波(波長527nm)に波長変換させる。これにより、波長変換後のレーザ光Hは、例えばパルス幅が約100ns、1パルスあたりのエネルギーが20mJ(1kHz発振時)、すなわち20Wとなる。この値は、第1実施形態で用いたレーザダイオード励起のQスイッチYAGレーザと比較すると、数kHz以下の発振周波数において1パルスあたりのエネルギーが一桁以上高い値である。
【0095】
なお、前記第1実施形態における第3高調波に換えて、第2高調波を使うことに関しては、処理しようとする薄膜の光吸収係数が変わること以外、特に原理的な相違点はない。一例として非晶質シリコン薄膜の波長527nmでの光吸収係数は約105(cm-1)以上であり、厚さ40nmもあれば少なくとも部分的には光吸収し、加熱、融解可能である。また別の例として多結晶シリコン薄膜では室温での光吸収係数は約1×104(cm-1)であるが、パルス光照射中に昇温するとバンドギャップが小さくなり5〜30倍の光吸収係数増加があるため、やはり厚さが40nm以上あれば充分、加熱、融解可能である。
【0096】
また、光減衰器(107)と光学系(108)に換えて用いられるオリフィス110は、基板Wに対向して設けられているオリフィス(以下第3のオリフィスと記す)109に入射する第1の光束h1および第2の光束h2の光路上に設けられており、これらのオリフィス110を通過した第1の光束h1および第2の光束h2の干渉による光パターンHpが、第3のオリフィス109を通過後に基板Wに照射されるように構成されている。
【0097】
これらのオリフィス110は、例えば第3のオリフィス109と同様に金属薄板に2mm角の正方形の穴が開いたものが用いられ、第3のオリフィス109と共に基板Wの表面に対する光パターンHpの照射領域を成形するために設けられている。特にここでは、光強度変動が±20%の範囲に収まるような領域を用いて光パターンHpの照射領域が成形されることが好ましい。具体的には、レーザ光発生手段101’として用いるレーザダイオード励起のYLFレーザが、ビーム直径約3mmでトップハット型のビームプロファイルを有する場合、発生されたレーザ光の中央部における2mm×2mmの正方形領域が、各オリフィス110および第3のオリフィス109によって照射領域として選択されるようにする。
【0098】
また、上述した2点を変更したことにより、レーザ照射装置を構成する他の構成部材の設定を次のように適正化する。
【0099】
すなわち、ビームスプリッタ104を通過した後の光減衰器(107)と光学系(108)に換えてオリフィス110を用いたことで、ビームスプリッタ104を通過した後の光減衰を調節できなくなる。このため、位相シフト手段105での光強度損失(約5%)を考慮し、ビームスプリッタ104としては完全に1:1分割比ではなく、光透過率51.1%、光反射率48.5%のものを用いることが好ましい。こうすることで2つの光束h1,h2の干渉によって生じる光パターンHpが、ステージ100に載置した基板W表面で最大のコントラストとなるようにすることが可能であり、コントラスト比が約10:1程度と、非晶質シリコン薄膜に光パターンHp(干渉縞)に応じた融解パターンを形成するのに十分なコントラストを有する光パターンHpの形成が可能になる。
【0100】
さらに、ビームスプリッタ104の透過方向に設けられる位相シフト手段105は、第1実施形態に述べたと同様の電気光学効果を利用したものを用いることとする。また、位相シフト手段105を設けることによって、光パターンHpに乱れが生じることのないように、位相シフト手段105に用いる結晶を第2の光束h2が透過する際に波面歪がλ/10(52.7nm)以下となるように、高精度で研磨されたKDP結晶を用い、印加電圧1500Vで位相が360度遅れるものを用いることとする。
【0101】
また、光干渉手段として用いられている反射ミラー106は、波長λL=527nmのレーザ光Hを分割した第1の光束h1と第2の光束h2とを干渉させて周期的な光パターン(ここでは干渉縞)Hpが発生するように配置されていることとする。具体的には、周期6.0μmの干渉縞を基板W表面に照射する場合には、前記式(1)に従い、光束h1、h2の交差角度θは5.03度となる。そこで、反射ミラー106は、ビームスプリッタ104で反射された第1の光束h1に対して、第2の光束h2が狭角θ=5.03度で交わるべく、当該第2の光束h2を反射させるように設定されることとする。
【0102】
そして、このようなミラー106の設定により、オリフィス110は、上述した狭角θ=5.03度で交わるべく第3のオリフィス109に入射される第1の光束h1および第2の光束h2の光路上に配置されることになる。
【0103】
このような構成の第4実施形態のレーザ照射装置では、レーザダイオード励起のYLF(LiYF4)レーザをレーザ発生手段101’として用いたことで、レーザダイオード励起のYAGレーザを用いた第1実施形態と比較し、数kHz以下の発振周波数において1パルスあたりのエネルギーを一桁以上高い値にできる。このため、第1実施形態のレーザ照射装置と比較して、同一出力(ワット数)のレーザ光照射による処理を行う場合のレーザ照射領域の面積を2桁以上広くすることが可能になる。具体的には、第1実施形態においては、レーザ照射領域が0.2mm×0.2mm程度であったのに対して、本第4実施形態においては2mm×2mmとすることができる。
【0104】
この結果、レーザ光の光学的な走査によって照射スポット内を多結晶化する一次走査と、100Hz以下の送り周波数で2mmずつ基板を機械的に走査する二次走査を繰り返し、隣接する領域を多結晶化して行く、いわゆるステップ・アンド・リピート方式により基板全面を処理することが、ステッピングモーター駆動の通常のステージによって比較的容易に実現可能となる。
【0105】
また、上述したように、ビームスプリッタ104を通過した後の光減衰器(107)と光学系(108)に換えてオリフィス110を用いたことで、分割された光束h1,h2の波面乱れを最小限に抑え、照射スポット内の光パターンHpの乱れを抑制することが可能になる。したがって、光パターン精度の高いレーザ光照射による処理を行うことが可能になる。
【0106】
なお、本実施形態においては位相シフト手段として電気光学素子を用いた場合を説明した。しかし、位相シフト手段は、第2実施形態と同様の、第2の光束h2をステージ側に反射させるための反射ミラー106を機械的に移動させるピエゾ駆動マイクロメータからなるものであっても良く、同様の効果を得ることが可能である。
【0107】
半導体薄膜の処理方法(1)
次に、本発明の半導体薄膜の処理方法として、図8を用いて説明したレーザ照射装置を用いて非晶質シリコン薄膜(半導体薄膜)を結晶化する場合の処理方法の第1例を説明する。
【0108】
先ず、第1実施形態において説明したと同様に、ガラス基板S上にSiNx膜、SiO2膜、非晶質シリコン薄膜(半導体薄膜)Lを順次堆積成膜する。ただし、非晶質シリコンLの膜厚30〜300nmの最適値は、第1実施形態で説明した50nmよりも広く、典型的には40nm〜120nmであることとする。そして、非晶質シリコン薄膜L中の水素量は原子数比で約0.5〜2%とし、必要に応じて窒素または真空雰囲気中で数時間加熱し、薄膜中の水素濃度を低減する脱水素処理を行っても良い。
【0109】
以上のようにして形成された非晶質シリコン薄膜Lを多結晶化する場合、図9〜12の平面工程図を用いて説明する以下の手順で行う。
【0110】
先ず、図8のレーザ照射装置を調整することによって、例えば1kHzの周波数でレーザ光Hをパルス発振させて干渉させる。そして、図9に示すように、6μm周期の光強度プロファイルを有する光パターンHp(図8参照)を、基板W表面の非晶質シリコン薄膜Lの第1領域L1(2mm×2mm)に照射する。
【0111】
この際、光減衰器(103)で照射光強度を調整し、幅1.5μmの部分が光強度400mJ/cm2以上となり、非晶質シリコン薄膜Lが幅1.5μmで周期的かつ選択的に融解される融解領域aとなるようにする。また、このような各溶融領域aが周期的に生じる1ショット目のレーザ光照射は、1回または必要に応じて複数回行うこととする。なお、照射スポット(第1領域L1)内の光強度分布に起因する融解領域aの幅1.5μmのばらつきは±0.1μm以内程度となる。
【0112】
そして、この1ショット目の照射終了後の降温時に、融解領域aと未融解領域bとの境界部分から融解領域aに向かってシリコン多結晶を横方向成長(ラテラル成長)させる。なお、1ショット目の照射においては、レーザ照射装置の位相シフト手段(105)には、電圧が印加されていない状態であることとする。
【0113】
図10には、非晶質シリコン薄膜Lに対して図9に示した光パターン(干渉縞)を1回だけ照射した後のシリコン薄膜の各結晶粒40を、粒界を顕在化させるためのエッチング(Seccoエッチング)した後に走査電子顕微鏡(SEM)で観察した像を、幅1.5μmの融解領域aの一部(図9のa1部分)を拡大して模式的に示した。なお、図中の各ブロックがそれぞれ各結晶粒40を示している。
【0114】
この図10に示すように、幅1.5μmの融解領域aは、非晶質シリコンが完全融解したことで選択的に多結晶化されているが、未溶解領域b(図9参照)とのエッジA−A’、B−B’は融解端であるため、レーザパルス終息後の冷却速度が速く、他の領域に先立って凝固する。そのため、各融解端A−A’,B−B’から幅約0.15μmの領域a2では多数の核が発生し、小粒径の多結晶群(結晶粒40)が生成される。それらの中で融解領域a中央に向かう成長速度が相対的に速い結晶粒41が優先的に横方向成長して行き、融解端A−A’,B−B’のそれぞれから成長してきた結晶がぶつかりあったところ、すなわち融解幅方向のほぼ中央の接合部C−C’で結晶成長が完了する。このため、優先的に成長する結晶粒41は、融解端A−A’,B−B’から接合部C−C’に向って[(1.5μm/2)−0.15μm]=0.6μm程度横方向に成長したものとなる。
【0115】
尚、横方向成長し得る距離はレーザのパルス幅やパルス波形に依存し、さらに半導体薄膜の膜厚の増加と基板温度の上昇に伴い増加するため、プロセス毎に、横方向成長が融解幅方向のほぼ中央C−C’にまで十分に到達できるような融解領域aの幅、すなわち上述した干渉縞の周期とレーザ光強度を設定することが重要となる。これは、第1実施形態でも同様である。
【0116】
以上のような1ショット目のレーザ光照射を行った後、第1実施形態と同様に2ショット目以降のレーザ光照射を行うが、この第2ショット目以降のレーザ光の照射を、図11に基づいて説明する。
【0117】
図11は、各ショットにおいて、周期的な光パターン(干渉縞)を1回または必要に応じて複数回照射した後の横方向成長結晶の様子を模式的に示しており、図10における代表的な(横方向成長した)結晶粒41を4個抽出して、三角形にて単純化して表現したものである。また、干渉縞の周期である6μm毎に同様な横方向結晶が得られる様子も合わせて模式的に示している。
【0118】
先ず、図11(a)に示したように、1ショット目(第1ショット501)のレーザ光照射を、1回または必要に応じて複数回行い、第1ショット501目に0.6μm程度の長さで横方向成長させた結晶粒41を形成した後、図8に示したレーザ照射装置のパルス発振に同期させて、位相シフト手段(105)に162.5Vの電圧を印加し、第2の光束h2に39°の位相シフトを与える。
【0119】
これにより図11(b)に示すように、光パターン(干渉縞)をその配列方向(例えば第1ショット501目の融解端B−B’側)にのみ0.65μm移動させる1回目の光学的な一次走査を行い、第2ショット502目のレーザ光照射を行う。この際、第1ショット501目の融解領域aで横方向成長した結晶粒41を種にして、溶融端A−A’側からの結晶成長が始まるように、第1ショット501目の接合部C−C’付近を含んで、第2ショット502のレーザ光が照射されるようにする。このため、第1ショット501〜第2ショット502に掛けては、溶融領域aの幅(1.5μm)の1/2よりも、マージン分(0.1μm程度)だけ小さいずれ幅(0.65μm)で、レーザ光を光学的に一次走査させる。
【0120】
これにより、第2ショット502目の溶融領域aにおける各融解端A−A’,B−B’のうち、第1ショット501と重なる融解端A−A’側では、第1ショット501で結晶成長させた結晶粒41を種にして、過冷却プロセス無しで横方向成長が進められ、光パルス終息後、シリコンの温度が融点を下回ると同時に結晶成長が始まる。したがって、融解端B−B’側からの結晶成長よりも、A−A’側からの結晶成長が早く進み、接合部C−C’は、溶融領域aの幅(1.5μm)の1/2より融解端B−B’側に近くなる。
【0121】
そして、本実施形態の例では、溶融端A−A’側から平均約0.85μmの横方向成長が起きる。これにより、結晶粒41は、第1ショット501での成長分と合計して、(0.6μm+0.85μm−0.1μm)=約1.35μmの長さに成長する。一方、溶融端B−B’側からは、過冷却プロセスを経て平均約0.5μmの横方向成長が起きる。
【0122】
以上の後、レーザ照射装置のパルス発振に同期させて、位相シフト手段(105)に印加する電圧を162.5Vから350Vに切り換え、第2の光束h2に84°の位相シフトを与える。
【0123】
これにより図11(c)に示すように、光パターン(干渉縞)を、第1ショット501から第2ショット502への移動方向と同一方向に0.75μm移動させる2回目の光学的な一次走査/光照射を行い、第3ショット503目のレーザ照射を行う。この第3ショット503のレーザ光照射においても、第2ショット502目の融解領域aで横方向成長した結晶粒41が接合する接合部C−C’付近を含んで、レーザ光が照射されるようにする。このため、第2ショット502〜第3ショット503に掛けては、第2ショット502での溶解端A−A’側から接合部C−C’に掛けての結晶成長の幅0.85μmよりも、マージン分だけ小さいずれ幅(0.75μm)で、レーザ光を光学的に一次走査させることになる。これにより、結晶粒41がさらに0.85μm成長し、マージン分(0.1μm)を差し引いて0.75μmだけ延長される。この結果、結晶粒41は、合計して約2.1μmの長さに成長する。
【0124】
以降、図11(d)に示す第4ショット504以降を、第3ショット503と同様に行い、結晶粒41をさらに成長させる。そして、図12(e)に示す第(n−1)ショット(本実施形態では第8ショット508)まで行った時点で、第1ショット501で1周期離れた融解領域aから延設された結晶粒41同士が、第8ショット508の接合部C−C’で接合される。ただし、第8ショット508の接合部C−C’が、第1ショット501の接合部C−C’を通過していない場合、結晶粒41の融解端B−B’側の端部に、他の部分と比較して細い部分が残る。このため、図12(f)に示すように、さらにレーザ光の光学的な一次走査を行った後、第nショット(本実施形態では第9ショット509)のレーザ照射を行い、上述した細い部分を融解させて再結晶化する。
【0125】
以上により、端部においても十分な幅(概ね0.2〜0.5μm程度)を有すると共に、干渉縞の周期と同じ6μm長さで結晶化された横方向成長結晶42が得られる。
【0126】
ここまでを整理すると、第1ショット501の照射後に生成される横方向成長結晶41の成長終端部分を種として、少なくとも前回のショットでの接合部C−C’を含む領域を融解領域aとするレーザ光照射を複数回繰り返し、光パターンの一周期長さまで横方向成長を積み重ねることで、照射スポット内を光パターン(干渉縞)の周期と同等の長さの横方向成長結晶で埋め尽くすことが可能となる。
【0127】
以上のようにして、非晶質シリコン薄膜Lの第1領域L1内を結晶化し、2mm×2mmの全領域を長さ6μmの横方向成長結晶で埋めつくした後、位相シフト手段(105)への印加電圧を0Vに戻し、ステッピングモーター駆動のxy移動ステージ100の駆動により、基板Wを2mm程度移動して、レーザ照射装置によるレーザ光の照射領域を非晶質シリコン薄膜Lの第1領域L1に隣接する第2領域に移動させる、機械的な二次走査を行う。
【0128】
そして、この第2領域に対して、上述した9ショットのレーザ光照射を図11(a)〜図12(f)を用いて説明したと同様に行い、第1領域L1に隣接する2mm×2mmの第2領域を長さ6μmの横方向成長結晶で埋めつくす。
【0129】
以降、ステージの駆動による機械的な二次走査と、位相シフト手段の駆動による電気光学的な一次走査とを繰り返し行い、非晶質シリコン薄膜Lの必要領域(例えば全面)に光パターンHpを照射し、長さ6μmの横方向成長結晶で埋めつくす。
【0130】
以上のような処理方法により、非晶質シリコン薄膜Lの必要領域(例えば全面)が結晶化され、長さ6μmの横方向成長結晶42から成る多結晶シリコン薄膜を得ることができる。尚、9ショットの照射によって、2mm×2mmの全領域を横方向結晶化するのに要する時間はYLFレーザが1kHz発振の場合、約9ms程度であり、機械的な二次走査時間を含めても結晶化処理速度は約4cm2/秒程度に達する。これは出力20Wのレーザ光源を用いた結晶化装置としては十分に速い。
【0131】
しかも、得られた横方向成長結晶42は、結晶長さが6μm程度もあるため、例えばチャネル長さ5μmの薄膜トランジスタでは、チャネル内で電流方向と直交する平均粒界数が1個以下となり、電子移動度が300cm2/V・sに達する高性能薄膜トランジスタを作製できる。
【0132】
本発明によるレーザ照射装置の特徴として、光パターンHpを光学的に移動させる一次走査を、電気光学的な位相シフトによって行っているため、本質的に振動を伴わないことが挙げられる。従って本実施形態のようにサブミクロンオーダーの融解領域のシフトを1kHzあるいはそれを上回るレーザ発振周波数に同期して繰り返すのに、特に好都合である。
【0133】
これに対して、マスクを用いて形成された同様の光パターンをステージ上において同様に移動させる場合には、ステージ100の駆動による機械的な移動を行う必要があり、ステージ100に高精度の駆動系を設けることが要求されるため、精度的に困難な上、一次走査後に、ステージ移動に伴う振動が収まるまでの待ち時間も必要であり、本質的に低スループット、高コストの装置となってしまう。
【0134】
半導体薄膜の処理方法(2)
次に、図8を用いて説明したレーザ照射装置を用いて非晶質シリコン薄膜(半導体薄膜)を結晶化する場合の処理方法の第2例を、図13に基づいて説明する。
【0135】
先ず、上述した第1例で図11および図12を用いて説明したようにして、基板上の非晶質シリコン薄膜の全面に横方向成長結晶42を形成する。
【0136】
図13(a)は、このようにして横方向成長結晶42を形成した後の半導体薄膜において、結晶粒界を顕在化させるためのエッチング(Seccoエッチング)した後に走査電子顕微鏡(SEM)で観察した結晶像の一部(干渉縞の2周期分)を拡大して模式的に示した図であり、図12(f)の状態を90°回転させた図である。
【0137】
この図13(a)に示すように、第1例の処理を終了した状態においては、干渉縞の周期(6μm)方向にわたる長尺状の横方向成長結晶42が、その短手方向に配列形成された状態となっている。
【0138】
そこで、図13(b)に示すように、第1例での処理が終了した後、図8を用いて説明したレーザ光照射装置で生じる干渉縞の方向に対して、基板Wをその面内において90°回転させる。そして、この状態において、上述した第1例と同様に、周期6μm、融解幅1.5μmの光パターンHpを用いて、第1ショット511目の照射を行う。
【0139】
これにより、既に全面を覆っている横方向成長結晶42を種結晶として、その成長方向と90°をなす方向に結晶成長が進む。この際、第1ショット511目であっても、過冷却プロセスを伴わず、すなわち小粒径の多結晶群が生成されることがなく、融解部aの融解端A−A’およびB−B’を起点として融解部aの中央付近に向かって横方向成長する。
【0140】
そして、融解端A−A’およびB−B’のそれぞれから成長してきた結晶がぶつかりあったところ、すなわち融解幅方向のほぼ中央の接合部C−C’で横方向結晶成長が完了する。なお、第1ショット511の照射においては、レーザ照射装置の位相シフト手段(105)には、電圧が印加されていない状態であることとする。
【0141】
次に、図8に示したレーザ照射装置のパルス発振に同期させて、位相シフト手段(105)に162.5Vの電圧を印加し、第2の光束h2に39°の位相シフトを与える。
【0142】
これにより図12(c)に示すように、光パターン(干渉縞)をその配列方向(例えば第1ショット511目の融解端B−B’側)に移動させる。この際、マージンを見込んで、第1ショット511目の融解領域aで横方向成長した横方向成長結晶42が接合した接合部C−C’付近を含んで、第2ショット512のレーザ光が照射されるようにする。このため、第1ショット511〜第2ショット512に掛けては、溶融領域aの幅の1/2(0.75μm)よりも(0.1μm程度)小さいずれ幅(0.65μ)で、レーザ光を光学的に一次走査させることになる。
【0143】
これにより、第2ショット512目の溶融領域aにおける各融解端A−A’,B−B’側から、横方向成長結晶42を種にして、過冷却プロセス無しで横方向成長が進められる。これにより、横方向成長結晶42は、第1ショット511での成長分と合計して、(0.75μm+0.75μm−0.1μm)=約1.4μmの長さに成長する。
【0144】
以下、第1ショット511〜第2ショット512と同様に、第3ショット513以降のレーザ照射を繰り返し行うことで、幅、長さともに6μmの横方向成長結晶42からなる多結晶シリコン結晶群が得られる。
【0145】
この実施形態によれば、ほぼ正方格子状に結晶粒界が存在するため、これと平行にチャネルを配置する通常のデバイスレイアウトを用いる限り、薄膜トランジスタの性能に異方性が生じることがない。この結果、以降に説明するように、この薄膜トランジスタを液晶表示パネルまたはEL表示パネルの駆動回路に適用する場合、チャネルの向きを自由にレイアウトできるという効果を得ることができる。また、ほぼ6μm角のサイズの揃った多結晶薄膜なので、例えばチャネル長さ5μmの薄膜トランジスタでは、チャネル内の平均粒界数が1個以下となり、電子移動度が400cm2/V・sに達する高性能薄膜トランジスタを作製可能となる。
【0146】
尚、上述した第4実施形態の半導体薄膜の処理方法の第1例および第2例は、第1実施形態の半導体装置を用いた方法としても適用可能である。
【0147】
<薄膜トランジスタの製造方法−1>
次に、上述した半導体薄膜の処理方法を適用した薄膜トランジスタの製造方法の第1例を説明する。ここでは第1例として、ボトムゲート型の薄膜トランジスタの製造方法を、図14に基づいて説明する。尚、ここでは、Nチャネル型の薄膜トランジスタの製造方法を示すが、Pチャネル型でも不純物種(ドーパント種)を変えるだけで全く同様である。
【0148】
先ず、図14(a)に示すように、ガラスなどからなる絶縁基板600の上にAl、Ta、Mo、W、Cr、Cuまたはこれらの合金を30nm〜300nmの厚みで形成し、これをパターニングしてゲート電極601に加工する。
【0149】
次いで図14(b)に示す様に、ゲート電極601を覆う状態で、絶縁性基板600上にゲート絶縁膜602を形成し、さらにこのゲート絶縁膜602上に非晶質シリコン薄膜603を形成する。尚、ゲート絶縁膜602は、例えば下層のゲート窒化膜(SiNX)と上層のゲート酸化膜(SiO2)の二層構造であることとする。
【0150】
これらの各膜の成膜は、第1実施形態(または第4実施形態)における半導体薄膜の処理方法で述べた方法によって、真空成膜室内の真空状態を維持したまま連続的に行われ、例えばプラズマCVD法によって、ゲート窒化膜を50nmの厚みで堆積成膜し、次いでゲート酸化膜を約100〜200nmの厚みで堆積成膜してゲート絶縁膜602を形成した後、これに連続させて非晶質シリコン薄膜603を約30〜80nmの厚みで堆積成膜する。尚、以上の成膜をプラズマCVD法にて行った場合、成膜終了後に400〜450℃の温度で窒素雰囲気中において1時間程度加熱処理を行い、非晶質シリコン薄膜603に含有されていた水素を放出する。いわゆる脱水素アニールを行うこととする。
【0151】
以上のようにしてゲート絶縁膜602上に非晶質シリコン薄膜603を形成した後、この非晶質シリコン薄膜603に対して、上述した薄膜半導体基板の処理方法(例えば第1実施形態または第4実施形態の処理方法)を適用し、分割したレーザ光h1,h2を干渉させて発生した光パターンHpを照射することにより、非晶質シリコン薄膜603の結晶化を行い、多結晶シリコン薄膜603aを形成する。
【0152】
続いて図15(c)に示す様に、薄膜トランジスタの閾値電圧Vthを制御する目的で、多結晶シリコン薄膜603aに対してVthイオンインプランテーションを必要に応じて行うこととする。例えば、ここでは、B+イオン609を10keVの加速エネルギーでドーズ量5×1011〜4×1012/cm2 程度でイオン注入する。
【0153】
続いて、前工程で結晶化された多結晶シリコン薄膜603a上に、ゲート電極601に整合させて絶縁性のストッパー膜605を形成する。この際、先ず、プラズマCVD法でSiO2 膜を約100nm〜300nmの厚みで形成する。ここでは例えば、シランガスSiH4と酸素O2をプラズマ分解してSiO2膜を堆積する。次いで、このSiO2膜を所定の形状にパターニングしてストッパー膜605に加工する。この場合、裏面露光技術を用いてゲート電極601と自己整合する様にストッパー膜605をパターニングしている。尚、ストッパー膜605の直下に位置する多結晶シリコン薄膜603aの部分は、チャネル領域611として保護される。このチャネル領域611には、前述した様に、予めVthイオンインプランテーションによりB+イオンが比較的低ドーズ量で注入されている。
【0154】
続いて、ストッパー膜605をマスクとして、イオンドーピングにより不純物(例えばP+イオン)を多結晶シリコン薄膜603aに注入し、LDD領域612を形成する。この時のドーズ量は、例えば5×1012〜1×1013/cm2 であり、加速電圧は例えば10keVである。更にストッパー膜605及びその両側のLDD領域612を被覆する様にフォトレジスト(図示省略)をパターニング形成した後、これをマスクとして不純物(例えばP+イオン)を高濃度で多結晶シリコン薄膜603aに注入し、ソース領域及びドレイン領域613を形成する。不純物注入には、例えばイオンドーピング(イオンシャワー)を用いることができる。これは質量分離を掛けることなく電界加速で不純物を注入するものであり、例えば1×1015/cm2程度のドーズ量で不純物を注入し、ソース領域及びドレイン領域613を形成する。加速電圧は例えば10keVである。
【0155】
尚、ここでの図示は省略したが、同一の絶縁基板600上に、Pチャネルの薄膜トランジスタを形成してCMOS回路を構成する場合には、Nチャネル型薄膜トランジスタの領域をフォトレジストで被覆した後、不純物をP+イオンからB+イオンに切り換えドーズ量1×1015/cm2 程度でイオンドーピングすればよい。この際、質量分離型のイオンインプランテーション装置を用いて不純物を注入してもよい。
【0156】
以上の後、紫外線ランプを使ったRTA(急速熱アニール)により、多結晶シリコン薄膜603aに注入された不純物の活性化を行う。この際、場合によっては、エキシマレーザを用いたレーザ活性化アニールを行っても良い。この後、多結晶シリコン薄膜603aとゲート絶縁膜602の不要な部分を同時にパターニングし、薄膜トランジスタ615を形成すると共に、この薄膜トランジスタ615を素子領域毎に分離する。
【0157】
その後、図15(d)に示す様に、絶縁基板600上の薄膜トランジスタ615を覆う状態で、プラズマCVDによってSiO2を約100nm〜200nm、SiNXを約200nm〜400nmの厚みで連続して成膜し、層間絶縁膜617とする。この段階で窒素ガスまたはフォーミングガス中または真空中雰囲気下で350℃〜400℃程度の加熱処理を1時間行い、層間絶縁膜617に含まれる水素原子を多結晶シリコン薄膜603a中に拡散させる、いわゆる水素化アニールを行った。この後、層間絶縁膜617にコンタクトホールを開口し、Mo、Alなどを100nm〜1μmの厚みでスパッタした後、所定の形状にパターニングしてソース領域及びドレイン領域613に接続された配線電極618を形成する。更に、感光性のアクリル樹脂などからなる平坦化層620を1〜3μm程度の厚みで塗布した後、フォトリソグラフィによりソース領域及びドレイン領域613に達するコンタクトホールを開口する。そして、平坦化層620の上に酸化インジウム錫(In2O3+SnO2、以下ITO)などからなる透明導電膜またはAgまたはAlなどからなる反射電極膜をスパッタした後、所定の形状にパターニングしてソース領域及びドレイン領域613に接続された画素電極621を形成する。
【0158】
これにより作製された多結晶シリコン薄膜トランジスタ615の移動度は、Nチャネル型で250〜340cm2/Vs、Pチャネル型で120〜180cm2/Vsであり、従来に比べ2〜3倍以上と大幅に高移動度化が達成されている。
【0159】
<薄膜トランジスタの形成方法−2>
次に、上述した半導体薄膜の処理方法を適用した薄膜トランジスタの製造方法の第2例を説明する。ここでは第2例として、トップゲート型の薄膜トランジスタの製造方法を、図16および図17に基づいて説明する。尚、ここでは、Nチャネル型の薄膜トランジスタの製造方法を示すが、Pチャネル型でも不純物種(ドーパント種)を変えるだけで全く同様である。
【0160】
まず図16(a)に示す様に、絶縁基板800の上にバッファ層801となる二層構造の下地膜をプラズマCVD法により連続成膜する。一層目の下地膜はSiNxからなり、その膜厚は100nm〜200nmである。また、二層目の下地膜はSiO2からなり、その膜厚は同じく100nm〜200nmである。このバッファ層801の上に非晶質シリコン薄膜802を約30nm〜80nmの厚みでプラズマCVD法もしくはLP−CVD法により成膜する。非晶質シリコン薄膜802の成膜にプラズマCVD法を用いた場合には、膜中の水素を低減するために、窒素雰囲気中400℃〜450℃で1時間程度のアニールを行う。ここで必要ならば、前述した様にVthイオンインプランテーションを行い、B+イオンを例えばドーズ量5×1011〜4×1012/cm2 程度で非晶質シリコン薄膜802に注入する。この場合の加速電圧は10keV程度である。
【0161】
次いで、この非晶質シリコン薄膜802に対して、上述した薄膜半導体基板の処理方法(例えば第1実施形態または第4実施形態の処理方法)を適用し、分割したレーザ光h1,h2を干渉させて発生した光パターンHpを照射することにより、非晶質シリコン薄膜802の結晶化を行い、多結晶シリコン薄膜802aを形成する。
【0162】
続いて図16(b)に示す様に多結晶シリコン薄膜802aをアイランド状にパターニングする。この上に、プラズマCVD法、常圧CVD法、減圧CVD法、ECR−CVD法、またはスパッタ法などでSiO2を10nm〜400nm(ここでは例えば100nm)成長させ、ゲート絶縁膜803を形成する。
【0163】
次いでゲート絶縁膜803の上にAl、Ti、Mo、W、Ta、ドープト多結晶シリコンなど、あるいはこれらの合金を100nm〜800nmの厚みで成膜し、所定の形状にパターニングしてゲート電極804に加工する。ゲート電極804の直下に位置する多結晶シリコン薄膜802aの部分は、チャネル領域811として保護される。このチャネル領域811には、前述した様に、予めVthイオンインプランテーションによりB+イオンが比較的低ドーズ量で注入されている。
【0164】
次いで質量分離を用いたイオン注入法によって、多結晶シリコン薄膜802aにP+イオンを注入し、LDD領域812を設ける。このイオン注入はゲート電極804をマスクとして多結晶シリコン薄膜802aの全面に対して行う。ドーズ量は6×1012〜5×1013/cm2である。加速電圧は例えば90keVである。その後、ゲート電極804とその周囲を被覆する様にレジストパターン(図示省略)を形成し、P+イオン809を質量非分離型のイオンシャワードーピング法で高濃度に注入し、ソース領域及びドレイン領域813を形成する。この場合のドーズ量は例えば1×1015/cm2程度である。加速電圧は例えば90keVである。ドーピングガスには水素希釈の20%PH3ガスが用いられる。
【0165】
尚、ここでの図示は省略したが、同一の絶縁基板800上に、Pチャネルの薄膜トランジスタを形成してCMOS回路を構成する場合には、Nチャネル型薄膜トランジスタの領域をフォトレジストで被覆した後、ドーピングガスを5%〜20%のB2H6/H2ガス系に切り換え、ドーズ量1×1015〜3×1015/cm2程度、加速電圧は例えば90keVでイオン注入すればよい。尚、ソース領域及びドレイン領域813の形成は質量分離型のイオン注入装置を用いてもよい。
【0166】
この後、多結晶シリコン薄膜802aに注入されたドーパントの活性化処理となる。この活性化処理はボトムゲート型の薄膜トランジスタの形成と同様に、紫外線ランプを使ったRTA(急速熱アニール)を用いることができる。しかる後、ゲート絶縁膜803とバッファ層801の不要な部分を同時にパターニングし、薄膜トランジスタ815を素子領域毎に分離する。
【0167】
その後、図17(c)に示す様に、絶縁基板800上の薄膜トランジスタ815を覆う状態で、プラズマCVDによってSiO2を約100nm〜200nm、SiNXを約200nm〜400nmの厚みで連続して成膜し、層間絶縁膜817とした。この段階で窒素ガスまたはフォーミングガス中または真空中雰囲気下で350℃〜400℃程度の加熱処理を1時間行い、層間絶縁膜817に含まれる水素原子を多結晶シリコン薄膜802a中に拡散させる、いわゆる水素化アニールを行った。この後、層間絶縁膜817およびゲート絶縁膜803にコンタクトホールを開口し、Al−Siなどをスパッタした後、所定の形状にパターニングしてソース領域及びドレイン領域813に接続された配線電極818を形成する。更に、感光性のアクリル樹脂などからなる平坦化層820を1〜3μm程度の厚みで塗布した後、フォトリソグラフィによりソース領域及びドレイン領域813に達するコンタクトホールを開口する。平坦化層820の上にITOなどからなる透明導電膜またはAgまたはAlなどからなる反射電極膜をスパッタした後、所定の形状にパターニングしてソース領域及びドレイン領域813に接続された画素電極821を形成する。
【0168】
このようにして作製された多結晶シリコン薄膜トランジスタ815の移動度は、Nチャネル型で310〜420cm2/Vs、Pチャネル型で150〜210cm2/Vsと従来に比し大きくなっている。
【0169】
<表示装置>
図18は、上述のようにして形成したボトムゲート型薄膜トランジスタまたはトップゲート型薄膜トランジスタを用いて構成されたアクティブマトリクス反射型液晶表示パネル(表示装置)の表示部(画素部)の断面構造図である。
【0170】
この図に示す表示装置は、一対の絶縁基板901、902を直径2〜5μmのスペーサ903を介して重ね合わせ、両者の間に電気光学物質904が保持されたパネル構造を有する。電気光学物質904としては、ねじれネマティック(TN)型液晶材料が広く用いられている。
【0171】
このうち下側の絶縁基板901上(電気光学物質904側)は、薄膜トランジスタ905、1〜2μmの凹凸を有する樹脂層からなる光散乱層906、厚さ100〜300nmの銀薄膜より成り薄膜トランジスタ905に接続された画素電極907、厚さ50〜150nmのポリイミド配向膜908を順次積層した構造となっている。そして特に、薄膜トランジスタ905が、上述した方法で得られたボトムゲート型薄膜トランジスタまたはトップゲート型薄膜トランジスタであることとする。
【0172】
一方、上側の絶縁基板902上(電気光学物質904側)は、スパッタ成膜したクロム薄膜をフォトリソグラフィーとウエットエッチングでパターンニングして形成された画素間遮光用のブラックマトリクス909と、ブラックマトリクス909間に設けられた赤、緑、青の各カラーフィルターパターン910、さらにはこれらを覆う厚さ1〜3μmのオーバーコート層911、厚さ100〜200nmのITO共通電極912、および厚さ50〜150nmのポリイミド配向膜913を順次積層した構造となっている。
【0173】
このように構成された表示装置は、画素電極907のスイッチング素子となる薄膜トランジスタ905が、本発明に従って作製されたものであり、従来に比較して移動度および特性均一性が高くなっている。その結果、表示均一性も改善され、通常の従来の多結晶化プロセスで作製した場合に、稀に発現することがある中間階調での表示斑や輝点が発生しなくなるという利点が得られる。
【0174】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のレーザ照射装置によれば、レーザ光の干渉作用によって発生させたエネルギーの利用効率の高い光パターンを光学的に移動させて処理を行う装置において、電気光学的な位相シフトによって光パターンの光学的な移動を行うようにしたことで、光パターンの移動を高周波で行うことが可能になり、処理速度の高速化を図ることが可能になる。したがって、半導体薄膜をレーザ光を用いて処理する際の処理時間の短縮化を図ることが可能になる。さらに、高周波数でパルス発振されるレーザ光発生手段に同期させた高周波で位相をシフトさせることが可能になるため、例えばレーザダイオード励起のパルス発振固体レーザのように、励起光源の寿命が長いが繰り返しパルス発振周波数の高いレーザ光発生手段を用いることが可能になる。このため、上述した光パターンを光学的に移動させた処理を行うレーザ照射装置において、長期間の連続稼働が可能で信頼性の装置を構築することが可能になる。
【0175】
また本発明の半導体薄膜の処理方法によれば、分割された光束を干渉させることによって形成される光パターンを半導体薄膜に照射することで、粒径均一性に優れた大粒径の多結晶シリコンを得る際、この光パターンを光学的に移動させるために光束を位相シフトさせる場合に、電気光学的に光束を位相シフトさせる構成としたことで、光パターンの光学的な移動を高周波で行い、光パターンを高速で移動させた処理を行うことが可能になる。したがって、粒径均一性に優れた大粒径の多結晶シリコンを得るための半導体薄膜の処理時間を、より短縮化することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態のレーザ照射装置の構成図である。
【図2】第1実施形態の半導体薄膜の処理方法を説明する図である。
【図3】第1実施形態の半導体薄膜の処理方法を説明する平面図である。
【図4】シリコン結晶の横方向成長を説明する図である。
【図5】第2実施形態のレーザ照射装置の構成図である。
【図6】第3実施形態のレーザ照射装置の構成図である。
【図7】第3実施形態の半導体薄膜の処理方法を説明する図である。
【図8】第4実施形態のレーザ照射装置の構成図である。
【図9】第4実施形態の半導体薄膜の処理方法を説明する平面図である。
【図10】シリコン結晶の横方向成長を説明する図である。
【図11】第4実施形態の半導体薄膜の処理方法の第1例を説明する平面工程図(その1)である。
【図12】第4実施形態の半導体薄膜の処理方法の第1例を説明する平面工程図(その2)である。
【図13】第4実施形態の半導体薄膜の処理方法の第2例を説明する平面工程図である。
【図14】本発明の半導体薄膜の処理方法を適用した薄膜トランジスタの製造方法の第1例を説明する断面工程図(その1)である。
【図15】本発明の半導体薄膜の処理方法を適用した薄膜トランジスタの製造方法の第1例を説明する断面工程図(その2)である。
【図16】本発明の半導体薄膜の処理方法を適用した薄膜トランジスタの製造方法の第2例を説明する断面工程図(その1)である。
【図17】本発明の半導体薄膜の処理方法を適用した薄膜トランジスタの製造方法の第2例を説明する断面工程図(その2)である。
【図18】本発明の半導体薄膜の処理方法を適用して得られた薄膜トランジスタを用いて構成される表示装置の要部断面図である。
【図19】従来のSLS法による半導体薄膜処理の概要を示す構成図である。
【図20】レーザエネルギーと多結晶シリコンの平均粒径との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
101…レーザダイオード励起YAGレーザ(レーザ光発生手段)、101’…レーザダイオード励起YLFレーザ(レーザ光発生手段)、105,307…位相シフト手段、603,802…非晶質シリコン薄膜(半導体薄膜)、H…レーザ光、h1…第1の光束、h2…第2の光束、h3…第3の光束、Hp…光パターン、L…半導体薄膜(非晶質シリコン薄膜)
Claims (4)
- レーザ光発生手段と、
前記レーザ光発生手段から発生させたレーザ光を複数の光束に分割する分割手段と、
前記分割手段で分割された複数の光束を干渉させて周期的な光パターンを形成する光干渉手段と、
前記分割手段で分割された複数の光束の少なくとも一つを電気光学的に位相シフトさせることで前記パターンをその周期の範囲内で当該光パターンの配列方向に移動させる位相シフト手段が備えられた
ことを特徴とするレーザ照射装置。 - 請求項1記載のレーザ照射装置において、
前記レーザ光発生手段は、レーザダイオード励起によるパルス発振レーザである
ことを特徴とするレーザ照射装置。 - 複数の光束に分割したレーザ光を互いに干渉させることによって生じさせた周期的な光パターンを半導体薄膜に照射し、これにより当該半導体薄膜を部分的に融解させた後、前記光パターンをその周期の範囲内で当該光パターンの配列方向に移動させる半導体薄膜の処理方法において、
前記光パターンの移動は、前記光束の少なくとも1つを、光束を電気光学的に位相シフトさせる位相シフト手段に通過させることによってなされる
ことを特徴とする半導体薄膜の処理方法。 - 請求項3記載の半導体薄膜の処理方法において、
前記レーザ光は、レーザダイオード励起によってパルス発振されたレーザ光である
ことを特徴とする半導体薄膜の処理方法。
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