JP4282504B2 - 真空パッケージセンサ素子 - Google Patents
真空パッケージセンサ素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4282504B2 JP4282504B2 JP2004030980A JP2004030980A JP4282504B2 JP 4282504 B2 JP4282504 B2 JP 4282504B2 JP 2004030980 A JP2004030980 A JP 2004030980A JP 2004030980 A JP2004030980 A JP 2004030980A JP 4282504 B2 JP4282504 B2 JP 4282504B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spacer
- vacuum package
- sensor
- getter
- sensor element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 108
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 83
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 43
- 239000011104 metalized film Substances 0.000 claims description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 95
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 7
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009461 vacuum packaging Methods 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Description
(構成)
図1から図5を参照して、本発明に基づく実施の形態1における真空パッケージセンサ素子、ウエハレベル真空パッケージおよびウエハレベル真空パッケージの製造方法について説明する。なお、本明細書および特許請求の範囲においては、1枚のウエハの表面に、複数の真空パッケージセンサ素子が形成されたものを「ウエハレベル真空パッケージ」といい、単一のセンサ素子を「真空パッケージセンサ素子」という。
図1に示す真空パッケージセンサ素子30おいて、検知する赤外線は、対向基板23の側から真空パッケージセンサ素子の内部に進入して、赤外線センサ20で検知される。赤外線センサ20は、真空中に配置されているため、断熱性を有する。また、周りの部材から真空空間に放出される気体は、ゲッター4で吸収される。
(構成)
図6および図7を参照して、本発明に基づく実施の形態2における真空パッケージセンサ素子、ウエハレベル真空パッケージおよびウエハレベル真空パッケージの製造方法について説明する。
本実施の形態における真空パッケージセンサ素子のスペーサは、対向基板に対向する面に窪み部が形成され、この窪み部にゲッターが配置されて固定されている。この構成を採用することにより、容易にゲッターをスペーサに固定することができる。
Claims (4)
- センサ側基板と、
前記センサ側基板に対して主表面が略平行になるように配置された対向基板と、
前記センサ側基板および前記対向基板の間に介在するように配置されたスペーサと
を備え、
前記スペーサは、枠形に形成され、
前記スペーサは、一の面が前記センサ側基板に接合材料を介して固定され、前記一の面と反対側の面が前記対向基板に接合材料を介して固定され、
前記センサ側基板、前記対向基板および前記スペーサによって囲まれる空間が真空になるように形成され、
前記空間に配置されたゲッターを備え、
前記ゲッターは、前記スペーサに固定されている、真空パッケージセンサ素子。 - 前記スペーサは、前記枠形の内側の面に形成された溝部を含み、
前記ゲッターは、前記溝部に挿入されて固定されている、請求項1に記載の真空パッケージセンサ素子。 - 前記スペーサは、前記対向基板または前記センサ側基板に対向する面に形成された窪み部を含み、
前記ゲッターは、前記窪み部に配置されて固定されている、請求項1に記載の真空パッケージセンサ素子。 - 前記スペーサの表面にメタライズ膜が形成され、
前記対向基板および前記センサ側基板の主表面にメタライズパターンが形成され、
前記メタライズ膜と前記メタライズパターンとが半田によって互いに結合され、
前記ゲッターは、前記半田によって前記スペーサに固定されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の真空パッケージセンサ素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004030980A JP4282504B2 (ja) | 2004-02-06 | 2004-02-06 | 真空パッケージセンサ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004030980A JP4282504B2 (ja) | 2004-02-06 | 2004-02-06 | 真空パッケージセンサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005223209A JP2005223209A (ja) | 2005-08-18 |
JP4282504B2 true JP4282504B2 (ja) | 2009-06-24 |
Family
ID=34998587
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004030980A Expired - Lifetime JP4282504B2 (ja) | 2004-02-06 | 2004-02-06 | 真空パッケージセンサ素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4282504B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4862325B2 (ja) * | 2005-09-07 | 2012-01-25 | 日産自動車株式会社 | 真空パッケージおよびその製造方法 |
JP2010278236A (ja) * | 2009-05-28 | 2010-12-09 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の製造方法 |
US8393526B2 (en) * | 2010-10-21 | 2013-03-12 | Raytheon Company | System and method for packaging electronic devices |
JP2013219237A (ja) * | 2012-04-10 | 2013-10-24 | Mitsubishi Electric Corp | 真空パッケージおよびその製造方法 |
CN105762120A (zh) * | 2016-04-01 | 2016-07-13 | 宁波赛福特电子有限公司 | 一种红外管贴片封装结构 |
-
2004
- 2004-02-06 JP JP2004030980A patent/JP4282504B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005223209A (ja) | 2005-08-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4475976B2 (ja) | 気密封止パッケージ | |
JP3447062B2 (ja) | センサおよびその製造方法 | |
US7164199B2 (en) | Device packages with low stress assembly process | |
CN101893483B (zh) | 一种非制冷红外焦平面阵列器件的封装工艺及封装装置 | |
US20080164413A1 (en) | Infrared Sensor | |
US7735368B2 (en) | Acceleration sensor | |
JP6236929B2 (ja) | 気密封止パッケージ及びその製造方法 | |
JP4385062B2 (ja) | 赤外線検知器の製造方法 | |
JP4273156B2 (ja) | 赤外線検知器の製造方法 | |
JP4282504B2 (ja) | 真空パッケージセンサ素子 | |
JP2020017717A (ja) | パッケージ素子の製造方法およびパッケージ素子 | |
JP5237733B2 (ja) | Memsセンサ | |
JP2005077349A (ja) | 加速度センサ | |
JP2005203796A (ja) | 放射線検出器および放射線検出器を備えたセンサモジュール並びに放射線検出器を製作する方法 | |
JPH09113352A (ja) | マイクロレンズ付赤外線検出素子およびその製造方法 | |
JP6469327B1 (ja) | センサデバイス及びその製造方法 | |
US20200385264A1 (en) | Generating a mems device with glass cover and mems device | |
JP2015176874A (ja) | 電子部品装置 | |
JP2006010405A (ja) | 赤外線センサ用真空パッケージ | |
JPH11326366A (ja) | 半導体電子部品装置及びその製造方法 | |
JPS62580B2 (ja) | ||
JP3086305B2 (ja) | センサー及びその製造方法 | |
JPS62581B2 (ja) | ||
JP2013219237A (ja) | 真空パッケージおよびその製造方法 | |
JP2016054195A (ja) | パッケージの製造方法、及びパッケージ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061013 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081209 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090310 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090317 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120327 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120327 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130327 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130327 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140327 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |