JP2010278236A - 電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 その一方の面に第1の封止金属膜11を有するベース基板10と、その一方の面に第2の封止金属膜21を有する蓋20と、開口部34を有し、第1の封止金属膜11および第2の封止金属膜21と対向する箇所にそれぞれ第3の封止金属膜31および第4の封止金属膜32を備え、第3の封止金属膜31および前記第4の封止金属膜32上にそれぞれ接合材33が付着された板材30とを準備し、第1の封止金属膜11と第3の封止金属膜31、および第2の封止金属膜21と第4の封止金属膜32がそれぞれ接合材33を介して当接するようにベース基板10の上に蓋20と板材30を載置し、ベース基板10と蓋20と板材30を同時に一体化させる。
【選択図】 図5
Description
11 第1の封止金属膜
12 素子搭載用の電極
20,90 蓋
21 第2の封止金属膜
30,100 板材
31 第3の封止金属膜
32 第4の封止金属膜
33,82,92 接合材
34,101 開口部
40,110 素子
41,111 バンプ
50,51 加圧ツール
60 金属間化合物
70 電子部品
81 封止金属膜
83 配線パターン
Claims (5)
- その一方の面に第1の封止金属膜を有するベース基板と、
その一方の面に第2の封止金属膜を有する蓋と、
開口部を有し、前記第1の封止金属膜および第2の封止金属膜と対向する箇所にそれぞれ第3の封止金属膜および第4の封止金属膜を備え、前記第3の封止金属膜および前記第4の封止金属膜上にそれぞれ接合材が付着された板材とを準備する工程と、
前記第1の封止金属膜と前記第3の封止金属膜、および前記第2の封止金属膜と前記第4の封止金属膜がそれぞれ前記接合材を介して当接するように前記ベース基板の上に前記蓋と前記板材を載置し、前記ベース基板と前記蓋と前記板材を同時に一体化させる工程とを有することを特徴とする電子部品の製造方法。 - 前記接合材の付着がめっきにて行われることを特徴とする請求項1に記載の電子部品の製造方法。
- 前記第3の封止金属膜および前記第4の封止金属膜がNiを含有し、前記接合材がBiを含有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の電子部品の製造方法。
- 前記一体化させる工程の前に、前記ベース基板に素子を固定する工程を更に備えることを特徴とする請求項1乃至3の内いずれか1項に記載の電子部品の製造方法。
- 前記ベース基板と前記蓋と前記板材のうち少なくとも1つは集合基板であり、前記一体化させる工程の後に前記集合基板を分割することで電子部品を個片化する工程を有することを特徴とする請求項1乃至4の内いずれか1項に記載の電子部品の製造方法。
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JP2009129321A JP2010278236A (ja) | 2009-05-28 | 2009-05-28 | 電子部品の製造方法 |
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2009
- 2009-05-28 JP JP2009129321A patent/JP2010278236A/ja active Pending
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A521 | Written amendment |
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