JP4273156B2 - 赤外線検知器の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は実施形態に係る封止前の赤外線検知器の斜視図であり、図2は実施形態に係る赤外線検知器の断面図であり、図3は図2中のa部拡大図である。図1〜図3に示すように、赤外線検知器1は、赤外線検知素子2と、略円筒状のキャビティ3(内部空間)が形成され、そこに赤外線検知素子2を収容する角型のセラミック容器4(第1収容部材)と、セラミック容器4のキャビティ3を気密封止する円形平板状の赤外線透過窓材5(第2収容部材)とから構成されている。
次に図4を参照して実施形態に係る赤外線検知器1の製造手順について説明する。(a)は溶着金属予備配置工程における赤外線検知器1の断面拡大図を示し、(b)は溶着金属移動工程における赤外線検知器1の断面拡大図を示し、(c)は収容部材封止工程における赤外線検知器1の断面拡大図を示している。なお、図5〜図8においても(a),(b),(c)はそれぞれ図4と同じ工程を示す断面拡大図を示している。
このように、セラミック容器4に形成した容器側メタライズ層6を同心状に分割し、容器外側メタライズ層6bを溶着金属8留め用として利用し、容器内側メタライズ層6aを溶着金属8による封止用として利用することにより、溶着金属予備配置工程を真空雰囲気で行う必要がなくなる。配置した溶着金属の表面に酸化膜が形成されても、酸化膜および余盛り部分の切削工程、切削面のスクラブ工程を行う必要もない。また、真空雰囲気で溶着金属移動工程を行うことにより、封止用の容器内側メタライズ層6aとその上方部分の窓側メタライズ層7とが、不純物を含まない純粋な溶着金属8によって溶着され、当該封止部の気密性が確保される。
次に図5を参照して第1変形実施形態に係る赤外線検知器21の構成および製造手順について説明する。なお説明にあたっては、上記実施形態と重複する部分についての説明は省略し、上記実施形態を異なる構成について説明する。また、符号については、上記実施形態のものと機能および構成が同一の要素には同一の符号を使用する。以下の変形実施形態についても同様とする。
図6を参照して第2変形実施形態に係る赤外線検知器41の構成および製造手順について説明する。本変形実施形態では、上記実施形態および上記第1変形実施形態と異なり、赤外線透過窓材5(第2収容部材)が下側に、セラミック容器4(第1収容部材)が上側に配置されて製造工程が行われる。赤外線透過窓材5の溶着金属8が溶着される接合部には、同心状に配置された2つの環状のメタライズ層、すなわち、窓内側メタライズ層47a(分割第2メタライズ層)と窓外側メタライズ層47b(分割第2メタライズ層)とが形成されている。一方、セラミック容器4の接合部には、環状の容器側メタライズ層46(第1メタライズ層)が形成されている。平面視において容器側メタライズ層46は、窓内側メタライズ層47aの略全面と重複し、窓外側メタライズ層47bの一部と全周に渡って重複した状態で溶着金属8に溶着される。窓内側メタライズ層47aは溶着金属8留め用として、窓外側メタライズ層47bは溶着金属8による封止用として利用される。
図7を参照して第3変形実施形態に係る赤外線検知器61の構成および製造手順について説明する。本変形実施形態では、上記各実施形態と異なり、セラミック容器64(第1収容部材)に形成されたキャビティ3の開口周縁の上面に、一定高さの環状の凸条69がセラミック容器64と一体形成されている。凸条69の外周面に対する段差は、0.1mm以上且つ5mm以下とするのが望ましく、本実施形態では0.5mmである。凸条69は、その周囲の容器上面と平行平面をなす上面と、当該上面に直角な両側面とから構成されている。凸条69の上面には、容器内側メタライズ層66a(分割第1メタライズ層)が形成されており、凸条69の外周には、容器内側メタライズ層66aの外径と同一寸法の内径を有する容器外側メタライズ層66b(分割第1メタライズ層)が形成され、赤外線透過窓材5との接合部として使用される。一方、赤外線透過窓材5の接合部には、窓側メタライズ層67(第2メタライズ層)が形成されている。窓側メタライズ層67は、容器内側メタライズ層66aの内径と略同一の内径を有し、容器外側メタライズ層66bの内径よりも大きく容器外側メタライズ層66bの外径よりも小さな外径を有している。高さの低い方の容器外側メタライズ層66bが溶着金属8留め用として利用され、高い方の容器内側メタライズ層66aが溶着金属8による封止用として利用される。
≪第4変形実施形態≫
2 赤外線検知素子
3 キャビティ
4,64,84 セラミック容器(第1収容部材)
5 赤外線透過窓材(第2収容部材)
6a,26a,66a,86a 容器内側メタライズ層(分割第1メタライズ層)
6b,26b,66b,86b 容器外側メタライズ層(分割第1メタライズ層)
46 容器側メタライズ層(第1メタライズ層)
7,27,67,87 窓側メタライズ層(第2メタライズ層)
47a 窓内側メタライズ層(分割第2メタライズ層)
47b 窓外側メタライズ層(分割第2メタライズ層)
8 溶着金属
Claims (4)
- 第1収容部材と赤外線透過性を有する第2収容部材とによって真空封止された内部空間に赤外線検知素子を収容した赤外線検知器の製造方法であって、
前記第1収容部材の前記第2収容部材が接合される接合部に、環状且つ同心状に分割された複数の分割第1メタライズ層を形成する分割第1メタライズ層形成工程と、
前記第2収容部材の前記第1収容部材が接合される接合部に、環状の第2メタライズ層を形成する第2メタライズ層形成工程と、
前記分割第1メタライズ層の一方に、溶融した溶着金属を配置する溶着金属予備配置工程と、
真空雰囲気で前記第1収容部材と前記第2収容部材とを加熱状態で押圧することで、前記分割第1メタライズ層の他方に前記溶着金属を移動させる溶着金属移動工程と、
真空雰囲気で前記溶着金属を冷却して前記第1収容部材と前記第2収容部材とを気密接合する収容部材封止工程と
を含むことを特徴とする赤外線検知器の製造方法。 - 前記分割第1メタライズ層形成工程では、前記複数の分割第1メタライズ層は、互いに高さの異なる平行平面上に形成され、
前記溶着金属予備配置工程では、前記溶着金属は、高さの低い方の分割第1メタライズ層に配置されることを特徴とする請求項1に記載の赤外線検知器の製造方法。 - 第1収容部材と赤外線透過性を有する第2収容部材とによって真空封止された内部空間に赤外線検知素子を収容した赤外線検知器の製造方法であって、
前記第1収容部材の前記第2収容部材が接合される接合部に、環状の第1メタライズ層を形成する第1メタライズ層形成工程と、
前記第2収容部材の前記第1収容部材が接合される接合部に、環状且つ同心状に分割された複数の分割第2メタライズ層を形成する分割第2メタライズ層形成工程と、
前記分割第2メタライズ層の一方に、溶融した溶着金属を配置する溶着金属予備配置工程と、
真空雰囲気で前記第1収容部材と前記第2収容部材とを加熱状態で押圧し、前記分割第2メタライズ層の他方に前記溶着金属を移動させる溶着金属移動工程と、
真空雰囲気で前記溶着金属を冷却して前記第1収容部材と前記第2収容部材とを気密接合する収容部材封止工程と
を含むことを特徴とする赤外線検知器の製造方法。 - 前記分割第2メタライズ層形成工程では、前記複数の分割第2メタライズ層は、互いに高さの異なる平行平面上に形成され、
前記溶着金属予備配置工程では、前記溶着金属は、高さの低い方の分割第2メタライズ層に配置されることを特徴とする請求項3に記載の赤外線検知器の製造方法。
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