JP2005203796A - 放射線検出器および放射線検出器を備えたセンサモジュール並びに放射線検出器を製作する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】当該放射線検出器に、ダイアフラム4と、該ダイアフラムの下側に形成されたキャビティ5と、ダイアフラム上に形成されたサーモパイル構造体6と、該サーモパイル構造体に被着された吸収体層9とを備えたサーモパイルチップ2が設けられており、下面15に第2のキャビティ16を有していてサーモパイルチップ上に固定されているキャップチップ14が設けられており、この結果、サーモパイル構造体と吸収体層とを備えたダイアフラムが、第1のキャビティと第2のキャビティとの間に配置されており、規定された層厚さdの接着材料層20を介してキャップチップ上に固定された、規定された波長領域の赤外放射線Sを透過するためのフィルタ小プレート23が設けられている。
【選択図】図2
Description
サーモパイルチップが設けられており、該サーモパイルチップが、ダイアフラムと、該ダイアフラムの下側に形成されたキャビティと、ダイアフラム上に形成されたサーモパイル構造体と、該サーモパイル構造体に被着された吸収体層とを備えており、
キャップチップが設けられており、該キャップチップがその下面に、第2のキャビティを有していて、サーモパイルチップ上に固定されており、この結果、サーモパイル構造体と吸収体層とを備えたダイアフラムが、第1のキャビティと第2のキャビティとの間に配置されており、
規定された層厚さの接着材料層を介してキャップチップ上に固定されたフィルタ小プレートが設けられており、該フィルタ小プレートが、規定された波長領域の赤外放射線を透過するためのものである。
プレモールドケーシングが設けられており、
該プレモールドケーシング内に射出成形によって埋設されたリードフレームが設けられており、
プレモールドケーシングの内室内に被着された基座が設けられており、
該基座に被着された前記放射線検出器が設けられており、該放射線検出器のサーモパイルチップが、ワイヤボンドを介してリードフレームに接触接続されており、プレモールドケーシング内にかまたはプレモールドケーシング上に固定されたキャップが設けられており、該キャップが、放射線検出器への赤外放射線を通すための開口を備えている。
(イ) ダイアフラムと、該ダイアフラムの下側にエッチング加工されたキャビティと、ダイアフラム上に形成されたサーモパイル構造体と、吸収体層とを備えたサーモパイルチップを、第1のウェーハから製作する;
(ロ) キャビティを備えたキャップチップを、第2のウェーハから製作する;
(ハ) 予め設定された波長領域の赤外放射線を透過させるためのフィルタ構造体を備えたフィルタ小プレートを製作する;
(ニ) それぞれ1つのキャップチップをサーモパイルチップ上に、真空密なボンディング手段で固定し、この結果、ダイアフラムとサーモパイル構造体と吸収体層とが、第1のキャビティと第2のキャビティとの間に配置されているようにする;
(ホ) フィルタ小プレートを、規定された層厚さの接着材料層を介して、キャップチップ(14)上に固定する、
以上(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)、(ホ)のステップが実施される。
Claims (15)
- 放射線検出器において、
サーモパイルチップ(2)が設けられており、該サーモパイルチップ(2)が、ダイアフラム(4)と、該ダイアフラム(4)の下側に形成されたキャビティ(5)と、ダイアフラム(4)上に形成されたサーモパイル構造体(6)と、該サーモパイル構造体(6)に被着された吸収体層(9)とを備えており、
キャップチップ(14)が設けられており、該キャップチップ(14)がその下面(15)に、第2のキャビティ(16)を有していて、サーモパイルチップ(2)上に固定されており、この結果、サーモパイル構造体(6)と吸収体層(9)とを備えたダイアフラム(4)が、第1のキャビティ(5)と第2のキャビティ(16)との間に配置されており、
規定された層厚さ(d)の接着材料層(20)を介してキャップチップ(14)上に固定されたフィルタ小プレート(23)が設けられており、該フィルタ小プレート(23)が、規定された波長領域の赤外放射線(S)を透過するためのものであることを特徴とする放射線検出器。 - フィルタ小プレート(23)が、フィルタ構造体(24,25)を備えたチップ(23)である、請求項1記載の放射線検出器。
- キャップチップ(14)がサーモパイルチップ(2)上に、真空密なボンディング結合部(12)を介して固定されている、請求項1または2記載の放射線検出器。
- ボンディング結合部が、シールガラス結合部(12)、例えば酸化鉛から成るシールガラス結合部である、請求項3記載の放射線検出器。
- キャップチップ(14)とフィルタ小プレート(23)との間に、接着材料層(20)の規定された層厚さ(d)を形成するためのスペーサ手段(29,32)が設けられている、請求項1から4までのいずれか1項記載の放射線検出器。
- スペーサ手段が、接着材料層(20)内に収容されたスペーサ(29)である、請求項5記載の放射線検出器。
- スペーサ手段が、キャップチップ(14)の上面(19)において、側方でサーモパイル構造体(6)をめぐる領域に構造化によって形成された間隔保持部(32)である、請求項5記載の放射線検出器。
- センサモジュールにおいて、
プレモールドケーシング(41)が設けられており、
該プレモールドケーシング(41)内に射出成形によって埋設されたリードフレーム(42)が設けられており、
プレモールドケーシング(41)の内室(46)内に被着された基座(50)が設けられており、
該基座(50)に被着された、請求項1から7までのいずれか1項記載の放射線検出器(1,26,31)が設けられており、該放射線検出器(1,26,31)のサーモパイルチップ(2)が、ワイヤボンド(54)を介してリードフレームに接触接続されており、プレモールドケーシング(41)内にかまたはプレモールドケーシング(41)上に固定されたキャップ(56)が設けられており、該キャップ(56)が、放射線検出器(1,26,31)への赤外放射線(S)を通すための開口(59)を備えていることを特徴とするセンサモジュール。 - 内室(46)が停止縁部(60)まで、パシベーション手段、例えばゲルで充填されている、請求項8記載のセンサモジュール。
- 前記少なくとも1つのフィルタ小プレートの表面(24)が、パシベーション手段を備えていない、請求項9記載のセンサモジュール。
- 請求項1から7までのいずれか1項記載の放射線検出器を製作する方法において、少なくとも以下のステップ、すなわち、
(イ) ダイアフラム(4)と、該ダイアフラム(4)の下側にエッチング加工されたキャビティ(5)と、ダイアフラム(4)上に形成されたサーモパイル構造体(6)と、吸収体層(9)とを備えたサーモパイルチップ(2)を、第1のウェーハから製作する;
(ロ) キャビティ(16)を備えたキャップチップ(14)を、第2のウェーハから製作する;
(ハ) 予め設定された波長領域の赤外放射線(S)を透過させるためのフィルタ構造体(24,25)を備えたフィルタ小プレート(23)を製作する;
(ニ) それぞれ1つのキャップチップ(14)をサーモパイルチップ(2)上に、真空密なボンディング手段(12)で固定し、この結果、ダイアフラム(4)とサーモパイル構造体(6)と吸収体層(9)とが、第1のキャビティ(5)と第2のキャビティ(16)との間に配置されているようにする;
(ホ) フィルタ小プレート(23)を、規定された層厚さ(d)の接着材料層(20)を介して、キャップチップ(14)上に固定する、
以上(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)、(ホ)のステップを特徴とする、放射線検出器を製作する方法。 - キャビティ(5,16)を、チップ(2,14)のエッチングによって形成する、請求項11記載の方法。
- フィルタ小プレート(23)としてフィルタチップ(23)を、その上面および/または下面にフィルタ構造体(24,25)を備えて製作する、請求項12記載の方法。
- 接着材料層(20)のために、層厚さ(d)に相当する直径を備えたスペーサ(29)を有している接着材料を使用し、接着材料層(20)をキャップチップ(14)に被着し、フィルタ小プレート(23)を、予め設定された圧入力で接着材料に押し付け、この結果、スペーサ(29)が接着材料層(20)内で互いに並んで分配されるようにする、請求項11から13までのいずれか1項記載の方法。
- キャップチップ(14)の上面(19)に間隔保持部(32)を構造化する、請求項11から14までのいずれか1項記載の方法。
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