JPH0658810A - 位相格子型光学式ローパスフィルタの実装方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡易な位相格子型光学式ローパスフィルタの
実装方法を採用することによって量産性を向上させると
共に、簡易な構造のパッケージを採用できるようにす
る。 【構成】 位相格子型光学式ローパスフィルタ付きガラ
スチップ１４における位相格子型光学式ローパスフィル
タ１４ａが形成されていない領域又は固体撮像素子１０
における有効撮像領域以外の領域に、ガラスチップ１４
と固体撮像素子１０との間の間隔に相当する粒径の球状
の無機質スペーサ１８が混入された熱硬化型又は光硬化
型の接着剤１９を塗布した後、ガラスチップ１４と固体
撮像素子１０との位置合わせを行なう。その後、熱硬化
型接着剤を加熱したり或いは光硬化型接着剤に光を照射
することによりガラスチップ１４を固体撮像素子１０に
固定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、位相格子型光学式ロー
パスフィルターの実装方法に関し、詳しくは、固体撮像
素子を用いたビデオカメラ等において使用される位相格
子型光学式ローパスフィルタを固体撮像素子のパッケー
ジの内部に実装する方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ビデオカメラにおいては、固体撮
像素子において発生する偽信号を除去するために、カメ
ラ光学系中に水晶光学式ローパスフィルタが用いられて
きたがビデオカメラの小型軽量化の要請から、近年、水
晶光学式ローパスフィルタに代えて位相格子型光学式ロ
ーパスフィルタを固体撮像素子パッケージ内に実装する
方法が提案されている。

【０００３】しかしながら、位相格子型光学式ローパス
フィルタを用いて所望の性能を得るためには、位相格子
型光学式ローパスフィルターと固体撮像素子との間の微
小な間隔及び位相格子型光学式ローパスフィルターの固
体撮像素子に対する傾きを高精度にコントロールする必
要がある。

【０００４】そこで、位相格子型光学式ローパスフィル
タを固体撮像素子のパッケージ内に実装する方法として
は、一般的に、位相格子型光学式ローパスフィルタ付き
ガラスチップを固体撮像素子上に所定の厚さを有する樹
脂性スペーサを介して位置合わせした後、位相格子型光
学式ローパスフィルタ付きガラスチップを接着剤によっ
て固体撮像素子のパッケージに固定する方法が採用され
ている。

【０００５】以下、図３〜図５に基づき、従来から行わ
れている位相格子型光学式ローパスフィルタ付きガラス
チップを固体撮像素子パッケージ内に実装する方法につ
いて説明する。

【０００６】図３は固体撮像素子１０の平面構造を示し
ており、固体撮像素子１０は有効撮像領域１１とワイヤ
ーボンディングを施すためのボンディングパッド部１２
とからなる。

【０００７】図４は固体撮像素子１０をパッケージ１３
に組み込んだ状態を示す斜視図であり、図５は位相格子
型光学式ローパスフィルタ付きガラスチップ１４を従来
の方法によりパッケージ１３に実装した状態を示す断面
図である。尚、図４及び図５においては、図示の都合
上、パッケージ１３の表面に設けられる封止ガラスを省
略して示している。

【０００８】同図において、１４ａは位相格子型光学式
ローパスフィルタ付きガラスチップ１４の表面に形成さ
れた位相格子型光学式ローパスフィルタ、１５は固体撮
像素子１０と位相格子型光学式ローパスフィルタ付きガ
ラスチップ１４との間の間隔を保持するための樹脂製ス
ペーサであって、該スペーサ１５は数１０μｍから数１
００μｍの厚さを有し、固体撮像素子１０の表面におけ
る有効撮像領域１１及びボンディングパッド部１２以外
の領域に設けられている。また、同図において、１６は
位相格子型光学式ローパスフィルタ付きガラスチップ１
４をパッケージ１３に固定するための接着剤であり、１
７はワイヤボンドある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
にして位相格子型光学式ローパスフィルタを固体撮像素
子のパッケージ内に実装する方法は、スペーサの位置合
わせが困難であると共に、位相格子型光学式ローパスフ
ィルタ付きガラスをパッケージに接着剤で固定しなけれ
ばならないので量産性に適しないという問題、及び接着
剤がはみ出さないようにするために複雑な構造のパッケ
ージが必要になるという問題がある。

【００１０】上記に鑑み、本発明は、簡易な位相格子型
光学式ローパスフィルタの実装方法を提供することによ
って、量産性を向上させると共に簡易な構造のパッケー
ジを採用できるようにすることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１の発明は、位相格子型光学式ローパスフィ
ルタが形成されたガラスチップを固体撮像素子に両者の
間の間隔に相当する粒径を有する球状のスペーサが混入
された接着剤によって接着するものであって、具体的に
は、位相格子型光学式ローパスフィルタが形成されたガ
ラスチップを固体撮像素子に固定する位相格子型光学式
ローパスフィルタの実装方法を対象とし、上記ガラスチ
ップを上記固体撮像素子に、上記ガラスチップにおける
上記位相格子型光学式ローパスフィルタが形成されてい
ない領域と上記固体撮像素子における有効撮像領域以外
の領域との間に介在し、上記ガラスチップと上記固体撮
像素子との間の間隔に相当する粒径を有する球状の無機
質スペーサが混入された接着剤によって接着する構成と
するものである。

【００１２】請求項２の発明は、位相格子型光学式ロー
パスフィルタが形成されたガラスチップを固体撮像素子
に両者の間の間隔に相当する粒径を有する球状のスペー
サが混入された接着剤によって接着すると共に、接着剤
として熱硬化型のものを用い、ガラスチップと固体撮像
素子との位置合わせを行なった後に接着剤を加熱して硬
化させるものであって、具体的には、位相格子型光学式
ローパスフィルタが形成されたガラスチップを固体撮像
素子に固定する位相格子型光学式ローパスフィルタの実
装方法を対象とし、上記ガラスチップにおける上記位相
格子型光学式ローパスフィルタが形成されていない領域
又は上記固体撮像素子における有効撮像領域以外の領域
における少なくとも３か所に、上記ガラスチップと上記
固体撮像素子との間の間隔に相当する粒径を有する球状
の無機質スペーサが混入された熱硬化型の接着剤を塗布
した後、上記ガラスチップと上記固体撮像素子との位置
合わせを行ない、その後、上記接着剤を加熱することに
より上記ガラスチップを上記固体撮像素子に固定する構
成とするものである。

【００１３】請求項３の発明は、熱硬化型の接着剤を印
刷法により塗布するものであって、具体的には、請求項
２の構成に、上記ガラスチップにおける上記位相格子型
光学式ローパスフィルタが形成されていない領域又は上
記固体撮像素子における有効撮像領域以外の領域におけ
る少なくとも３か所に、上記ガラスチップと上記固体撮
像素子との間の間隔に相当する粒径を有する球状の無機
質スペーサが混入された熱硬化型の接着剤を塗布する工
程は、上記熱硬化型の接着剤を印刷法により塗布する工
程であるという構成を付加するものである。

【００１４】請求項４の発明は、熱硬化型の接着剤をフ
ォトリソグラフィ法により塗布するものであって、具体
的には、請求項２の構成に、上記ガラスチップにおける
上記位相格子型光学式ローパスフィルタが形成されてい
ない領域又は上記固体撮像素子における有効撮像領域以
外の領域における少なくとも３か所に、上記ガラスチッ
プと上記固体撮像素子との間の間隔に相当する粒径を有
する球状の無機質スペーサが混入された熱硬化型の接着
剤を塗布する工程は、上記熱硬化型の接着剤をフォトリ
ソグラフィ法により塗布する工程であるという構成を付
加するものである。

【００１５】請求項５の発明は、位相格子型光学式ロー
パスフィルタが形成されたガラスチップを固体撮像素子
に両者の間隔に相当する粒径を有する球状のスペーサが
混入された接着剤によって接着すると共に、接着剤とし
て光硬化型のものを用い、ガラスチップと固体撮像素子
との位置合わせを行なった後に接着剤に光を照射して該
接着剤を硬化させるものであって、具体的には、位相格
子型光学式ローパスフィルタが形成されたガラスチップ
を固体撮像素子に固定する位相格子型光学式ローパスフ
ィルタの実装方法を対象とし、上記ガラスチップにおけ
る上記位相格子型光学式ローパスフィルタが形成されて
いない領域又は上記固体撮像素子における有効撮像領域
以外の領域における少なくとも３か所に、上記ガラスチ
ップと上記固体撮像素子との間の間隔に相当する粒径を
有する球状の無機質スペーサが混入された光硬化型の接
着剤を塗布した後、上記ガラスチップと上記固体撮像素
子との位置合わせを行ない、その後、上記接着剤に光を
照射することにより上記ガラスチップを上記固体撮像素
子に固定する構成とするものである。

【００１６】請求項６の発明は、光硬化型の接着剤を印
刷法により塗布するものであって、具体的には、請求項
５の構成に、上記ガラスチップにおける上記位相格子型
光学式ローパスフィルタが形成されていない領域又は上
記固体撮像素子における有効撮像領域以外の領域におけ
る少なくとも３か所に、上記ガラスチップと上記固体撮
像素子との間の間隔に相当する粒径を有する球状の無機
質スペーサが混入された光硬化型の接着剤を塗布する工
程は、上記光硬化型の接着剤を印刷法により塗布する工
程であるという構成を付加するものである。

【００１７】請求項７の発明は、光硬化型の接着剤をフ
ォトリソグラフィ法により塗布するものであって、具体
的には、請求項５の構成に、上記ガラスチップにおける
上記位相格子型光学式ローパスフィルタが形成されてい
ない領域又は上記固体撮像素子における有効撮像領域以
外の領域における少なくとも３か所に、上記ガラスチッ
プと上記固体撮像素子との間の間隔に相当する粒径を有
する球状の無機質スペーサが混入された光硬化型の接着
剤を塗布する工程は、上記光硬化型の接着剤をフォトリ
ソグラフィ法により塗布する工程であるという構成を付
加するものである。

【００１８】

【作用】請求項１の構成により、位相格子型光学式ロー
パスフィルタ付きガラスチップと固体撮像素子との間の
間隔は、接着剤に混入された無機質球状のスペーサによ
って規定されるので、無機質球状のスペーサの粒径を所
望の大きさに設定することにより、位相格子型光学式ロ
ーパスフィルタ付きガラスチップと固体撮像素子との間
隔を所望寸法に規定するができる。

【００１９】また、位相格子型光学式ローパスフィルタ
付きガラスチップを接着剤により固体撮像素子に接着す
るため、パッケージを接着剤が食み出さないような構造
にする必要がないので、パッケージの構造は簡単にな
る。

【００２０】請求項２の構成により、位相格子型光学式
ローパスフィルタ付きガラスチップと固体撮像素子との
間における少なくとも３か所に熱硬化型接着剤を介在せ
しめて両者を仮付けした状態でガラスチップと固体撮像
素子との位置合わせを行ない、その後、接着剤を加熱す
ることによりガラスチップを固体撮像素子に固定するた
め、ガラスチップと固体撮像素子との位置合わせが正確
になる。

【００２１】請求項３の構成により、熱硬化型の接着剤
を印刷法により塗布するため、熱硬化型接着剤を位相格
子型光学式ローパスフィルタ付きガラスチップと固体撮
像素子との間の所定位置に正確に塗布することができ
る。

【００２２】請求項４の構成により、熱硬化型の接着剤
をフォトリソグラフィ法により塗布ため、熱硬化型接着
剤を位相格子型光学式ローパスフィルタ付きガラスチッ
プと固体撮像素子との間の所定位置に正確に塗布するこ
とができる。

【００２３】請求項５の構成により、位相格子型光学式
ローパスフィルタ付きガラスチップと固体撮像素子との
間における少なくとも３か所に光硬化型接着剤を介在せ
しめて両者を仮付けした状態でガラスチップと固体撮像
素子との位置合わせを行ない、その後、接着剤に光を照
射することによりガラスチップを固体撮像素子に固定す
るため、ガラスチップと固体撮像素子との位置合わせが
正確になる。

【００２４】請求項６の構成により、光硬化型の接着剤
を印刷法により塗布するため、光硬化型接着剤を位相格
子型光学式ローパスフィルタ付きガラスチップと固体撮
像素子との間の所定位置に正確に塗布することができ
る。

【００２５】請求項７の構成により、光硬化型の接着剤
をフォトリソグラフィ法により塗布するため、光硬化型
接着剤を位相格子型光学式ローパスフィルタ付きガラス
チップと固体撮像素子との間の所定位置に正確に塗布す
ることができる。

【００２６】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。

【００２７】図１（ａ）は本発明の一実施例に係る位相
格子型光学式ローパスフィルタの実装方法によりパッケ
ージに実装された位相格子型光学式ローパスフィルタの
断面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）における一点鎖
線部分の拡大図である。

【００２８】同図において、１８はアルミナ、セラミッ
ク、ガラスビーズ等よりなり所定の粒径を有する無機質
球状のスペーサ、１９は上記無機質球状のスペーサ１８
が混入された熱硬化型又は光硬化型の接着剤であり、該
接着剤１９を固体撮像素子１０の表面における有効撮像
領域１１及びボンディングパッド１２以外の領域である
接着領域２０に該接着領域２０から食み出さないように
塗布する。

【００２９】次に、固体撮像素子１０及び接着剤１６の
上に位相格子型光学式ローパスフィルタ付きガラスチッ
プ１４をセットした後、該位相格子型光学式ローパスフ
ィルタ付きガラスチップ１４を固体撮像素子１０に対し
て押圧しながら、位相格子型光学式ローパスフィルタ付
きガラスチップ１４に対して接着剤１９が熱硬化型であ
るときには接着剤１９を加熱し接着剤１９が光硬化型で
あるときには接着剤１９に光例えば紫外線を照射するこ
とにより位相格子型光学式ローパスフィルタ付きガラス
チップ１４を固体撮像素子１０に固定する。この場合、
固体撮像素子１０と位相格子型光学式ローパスフィルタ
付きガラスチップ１４との接着強度が十分となる加熱条
件或いは光照射条件を設定する必要がある。

【００３０】上記のようにすると、位相格子型光学式ロ
ーパスフィルタ付きガラスチップ１４と固体撮像素子１
０との間の間隔は、接着剤に混入された無機質球状のス
ペーサ１８によって規定される。従って、無機質球状の
スペーサ１８の粒径を所望の大きさに設定することによ
り、位相格子型光学式ローパスフィルタ付きガラスチッ
プ１４と固体撮像素子１０との間隔を所望寸法に決定す
ることができる。また、位相格子型光学式ローパスフィ
ルタ付きガラスチップ１４と固体撮像素子１０との間隔
のバラツキの防止については、スペーサ１８の粒径分布
を抑制することにより実現される。

【００３１】図２（ａ）及び（ｂ）は、接着剤１９を位
相格子型光学式ローパスフィルタ付きガラスチップ１４
の表面に塗布する方法を示しており、図２に示すよう
に、多数の位相格子型光学式ローパスフィルタ１４ａが
形成されたガラス基板２１における有効領域２２以外の
領域である接着領域２３に接着剤１９を塗布する。

【００３２】接着領域２３に接着剤１９を塗布する方法
としては、多数の位相格子型光学式ローパスフィルタ１
４ａが形成されたガラス基板２１に接着剤１９を印刷法
により所定のパターンに形成した後、該接着剤１９を仮
硬化する方法、多数の位相格子型光学式ローパスフィル
タ１４ａが形成されたガラス基板２１に接着剤１９を塗
布した後、フォトリソグラフィ法により所定のパターン
に形成する方法、多数の位相格子型光学式ローパスフィ
ルタ１４ａが形成されたガラス基板２１を切断して得た
位相格子型光学式ローパスフィルタ付きガラスチップ１
４をパッケージ１３に組み込んだ後であって固体撮像素
子１０に実装する直前に接着剤をノズルによって滴下す
る方法等がある。

【００３３】尚、接着剤１９を固体撮像素子１０に上記
の印刷法やフォトリソグラフィ法等によって塗布するこ
とも可能である。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
係る位相格子型光学式ローパスフィルタの実装方法によ
ると、ガラスチップを固体撮像素子に、両者間に介在し
ガラスチップと固体撮像素子との間の間隔に相当する粒
径を有する球状の無機質スペーサが混入された接着剤に
よって接着するため、位相格子型光学式ローパスフィル
タ付きガラスチップと固体撮像素子との間の間隔は接着
剤に混入された無機質球状のスペーサによって規定され
るので位相格子型光学式ローパスフィルタ付きガラスチ
ップと固体撮像素子との間の間隔を所望寸法に規定する
ができ、またパッケージを接着剤が食み出さないような
構造にする必要がないのでパッケージの構造が簡単にな
る。このため、請求項１の発明によると量産性が向上す
る。

【００３５】請求項２の発明に係る位相格子型光学式ロ
ーパスフィルタの実装方法によると、位相格子型光学式
ローパスフィルタ付きガラスチップと固体撮像素子との
間における少なくとも３か所に熱硬化型接着剤を介在せ
しめて両者を仮付けした状態でガラスチップと固体撮像
素子との位置合わせを行ない、その後、接着剤を加熱す
ることによりガラスチップを固体撮像素子に固定するた
め、正確にガラスチップと固体撮像素子との位置合わせ
をすることができる。

【００３６】請求項３の発明に係る位相格子型光学式ロ
ーパスフィルタの実装方法によると、熱硬化型の接着剤
を印刷法により塗布するため、熱硬化型接着剤を位相格
子型光学式ローパスフィルタ付きガラスチップと固体撮
像素子との間の所定位置に正確に塗布することができ、
生産性が一層向上する。

【００３７】請求項４の発明に係る位相格子型光学式ロ
ーパスフィルタの実装方法によると、熱硬化型の接着剤
をフォトリソグラフィ法により塗布ため、熱硬化型接着
剤を位相格子型光学式ローパスフィルタ付きガラスチッ
プと固体撮像素子との間の所定位置に正確に塗布するこ
とができ、生産性が一層向上する。

【００３８】請求項５の発明に係る位相格子型光学式ロ
ーパスフィルタの実装方法によると、位相格子型光学式
ローパスフィルタ付きガラスチップと固体撮像素子との
間における少なくとも３か所に光硬化型接着剤を介在せ
しめて両者を仮付けした状態でガラスチップと固体撮像
素子との位置合わせを行ない、その後、接着剤に光を照
射することによりガラスチップを固体撮像素子に固定す
るため、正確にガラスチップと固体撮像素子との位置合
わせをすることができる。

【００３９】請求項６の発明に係る位相格子型光学式ロ
ーパスフィルタの実装方法によると、光硬化型の接着剤
を印刷法により塗布するため、請求項３の発明と同様
に、生産性が一層向上する。

【００４０】請求項７の発明に係る位相格子型光学式ロ
ーパスフィルタの実装方法によると、光硬化型の接着剤
をフォトリソグラフィ法により塗布ため、請求項４の発
明と同様に、生産性が一層向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明の一実施例に係る位相格子型光
学式ローパスフィルタの実装方法によりパッケージに実
装された位相格子型光学式ローパスフィルタの断面図で
あり、（ｂ）は（ａ）における一点鎖線部分の拡大図で
ある。

【図２】（ａ）は、上記位相格子型光学式ローパスフィ
ルタの実装方法において多数の位相格子型光学式ローパ
スフィルタが形成されたガラス基板の表面に接着剤を塗
布する工程を示す平面図であり、（ｂ）は上記ガラス基
板の斜視図である。

【図３】従来或いは本発明に係る位相格子型光学式ロー
パスフィルタの実装方法によりパッケージに実装される
位相格子型光学式ローパスフィルタの平面図である。

【図４】従来の位相格子型光学式ローパスフィルタの実
装方法によりパッケージに実装された位相格子型光学式
ローパスフィルタを示す斜視図である。

【図５】従来の位相格子型光学式ローパスフィルタの実
装方法によりパッケージに実装された位相格子型光学式
ローパスフィルタを示す断面図である。

【符号の説明】

１０ 固体撮像素子 １１ 有効撮像領域 １２ ボンディングパッド部 １３ パッケージ １４ 位相格子型光学式ローパスフィルタ付きガラスチ
ップ １４ａ 位相格子型光学式ローパスフィルタ １５ スペーサ １６ 接着剤 １７ ワイヤボンド １８ 無機質球状のスペーサ １９ 無機質球状のスペーサが混入された接着剤 ２０ 接着領域 ２１ ガラス基板 ２２ 有効領域 ２３ 接着領域

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西 嘉昭 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電子 工業株式会社内 (72)発明者 木寺 昭人 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電子 工業株式会社内 (72)発明者 北村 則久 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電子 工業株式会社内 (72)発明者 冨谷 克巳 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電子 工業株式会社内 (72)発明者 青木 正 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電子 工業株式会社内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 位相格子型光学式ローパスフィルタが形
   成されたガラスチップを固体撮像素子に固定する位相格
   子型光学式ローパスフィルタの実装方法であって、上記
   ガラスチップを上記固体撮像素子に、上記ガラスチップ
   における上記位相格子型光学式ローパスフィルタが形成
   されていない領域と上記固体撮像素子における有効撮像
   領域以外の領域との間に介在し、上記ガラスチップと上
   記固体撮像素子との間の間隔に相当する粒径を有する球
   状の無機質スペーサが混入された接着剤によって接着す
   ることを特徴とする位相格子型光学式ローパスフィルタ
   の実装方法。
2. 【請求項２】 位相格子型光学式ローパスフィルタが形
   成されたガラスチップを固体撮像素子に固定する位相格
   子型光学式ローパスフィルタの実装方法であって、上記
   ガラスチップにおける上記位相格子型光学式ローパスフ
   ィルタが形成されていない領域又は上記固体撮像素子に
   おける有効撮像領域以外の領域における少なくとも３か
   所に、上記ガラスチップと上記固体撮像素子との間の間
   隔に相当する粒径を有する球状の無機質スペーサが混入
   された熱硬化型の接着剤を塗布した後、上記ガラスチッ
   プと上記固体撮像素子との位置合わせを行ない、その
   後、上記接着剤を加熱することにより上記ガラスチップ
   を上記固体撮像素子に固定することを特徴とする位相格
   子型光学式ローパスフィルタの実装方法。
3. 【請求項３】 請求項２において、上記ガラスチップに
   おける上記位相格子型光学式ローパスフィルタが形成さ
   れていない領域又は上記固体撮像素子における有効撮像
   領域以外の領域における少なくとも３か所に、上記ガラ
   スチップと上記固体撮像素子との間の間隔に相当する粒
   径を有する球状の無機質スペーサが混入された熱硬化型
   の接着剤を塗布する工程は、上記熱硬化型の接着剤を印
   刷法により塗布する工程であることを特徴とする位相格
   子型光学式ローパスフィルタの実装方法。
4. 【請求項４】 請求項２において、上記ガラスチップに
   おける上記位相格子型光学式ローパスフィルタが形成さ
   れていない領域又は上記固体撮像素子における有効撮像
   領域以外の領域における少なくとも３か所に、上記ガラ
   スチップと上記固体撮像素子との間の間隔に相当する粒
   径を有する球状の無機質スペーサが混入された熱硬化型
   の接着剤を塗布する工程は、上記熱硬化型の接着剤をフ
   ォトリソグラフィ法により塗布する工程であることを特
   徴とする位相格子型光学式ローパスフィルタの実装方
   法。
5. 【請求項５】 位相格子型光学式ローパスフィルタが形
   成されたガラスチップを固体撮像素子に固定する位相格
   子型光学式ローパスフィルタの実装方法であって、上記
   ガラスチップにおける上記位相格子型光学式ローパスフ
   ィルタが形成されていない領域又は上記固体撮像素子に
   おける有効撮像領域以外の領域における少なくとも３か
   所に、上記ガラスチップと上記固体撮像素子との間の間
   隔に相当する粒径を有する球状の無機質スペーサが混入
   された光硬化型の接着剤を塗布した後、上記ガラスチッ
   プと上記固体撮像素子との位置合わせを行ない、その
   後、上記接着剤に光を照射することにより上記ガラスチ
   ップを上記固体撮像素子に固定することを特徴とする位
   相格子型光学式ローパスフィルタの実装方法。
6. 【請求項６】 請求項５において、上記ガラスチップに
   おける上記位相格子型光学式ローパスフィルタが形成さ
   れていない領域又は上記固体撮像素子における有効撮像
   領域以外の領域における少なくとも３か所に、上記ガラ
   スチップと上記固体撮像素子との間の間隔に相当する粒
   径を有する球状の無機質スペーサが混入された光硬化型
   の接着剤を塗布する工程は、上記光硬化型の接着剤を印
   刷法により塗布する工程であることを特徴とする位相格
   子型光学式ローパスフィルタの実装方法。
7. 【請求項７】 請求項５において、上記ガラスチップに
   おける上記位相格子型光学式ローパスフィルタが形成さ
   れていない領域又は上記固体撮像素子における有効撮像
   領域以外の領域における少なくとも３か所に、上記ガラ
   スチップと上記固体撮像素子との間の間隔に相当する粒
   径を有する球状の無機質スペーサが混入された光硬化型
   の接着剤を塗布する工程は、上記光硬化型の接着剤をフ
   ォトリソグラフィ法により塗布する工程であることを特
   徴とする位相格子型光学式ローパスフィルタの実装方
   法。