JP4281198B2

JP4281198B2 - 圧力センサの組付け方法

Info

Publication number: JP4281198B2
Application number: JP2000045143A
Authority: JP
Inventors: 昌樹高桑; 正人今井; 広伸馬場; 道孝林
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 1999-04-26
Filing date: 2000-02-17
Publication date: 2009-06-17
Anticipated expiration: 2020-02-17
Also published as: JP2001013027A; US6575038B1

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力検出用のセンサ素子部と該センサ素子部への圧力導入用の導入路を有する圧力導入部とを備え、該圧力導入部にて被検出体である相手側部材と組み付けられる圧力センサの組付方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の、この種の圧力センサの概略断面構成を図１１に示す。この圧力センサは例えば自動車の燃料タンク（被検出体）内の圧力を検出する燃料圧センサとして適用される。シリコンよりなる圧力検出用のセンサチップＪ１がガラス台座Ｊ２に接着されて、センサ素子部Ｊ３を構成し、このセンサ素子部Ｊ３は、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等にて型成形されたハウジングＪ４の凹部に収納固定されている。
【０００３】
ハウジングＪ４には、センサ素子部Ｊ３へ圧力を導入するための導入路Ｊ５を有する圧力導入部（圧力ポート）Ｊ６が形成されており、圧力導入部Ｊ６の外周にはＯリング溝Ｊ７が形成され、このＯリング溝Ｊ７にＯリングＪ８が設けられている。圧力導入部Ｊ６は、上記燃料タンク内と連通するホース等の相手側部材に挿入されて接続可能となっており、ＯリングＪ８によって接続部分がシールされる。
【０００４】
一般に、この圧力センサは、型成形されＯリングＪ８が取り付けられたハウジングＪ４に対して、センサ素子部Ｊ３を取り付けた後、センサの圧力特性を検査する等の工程を行ったものを製品とし、この製品は、ハウジングＪ４の圧力導入部Ｊ６にてＯリングＪ８を介してシールするように上記相手側部材に接続され、組み付けられる。
【０００５】
このように、圧力センサの生産工程においては、ハウジングＪ４の圧力導入部Ｊ６にＯリングＪ８を取り付けた後、種々の工程を経て相手側部材に組み付けられるため、従来では、図１１に示す様に、相手側部材との接続直前まで圧力導入部Ｊ６にゴム製のキャップＪ９をはめ込んでＯリング固定部（シール部位）を被覆保護することにより、生産工程中におけるＯリング固定部の異物かみこみを防止していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のゴム製のキャップＪ９によるＯリング固定部の保護方法では、圧力導入部Ｊ６にキャップＪ９をはめた後、生産工程内で例えば圧力特性検査をする際に、圧力導入部Ｊ６と検査治具とを接続し、導入路Ｊ５からセンサ素子部Ｊ３へ検査用の圧力を導入させることが必要であるため、いったん、キャップＪ９を外す必要がある。
【０００７】
このように生産工程内でキャップＪ９をつけたり外したりするのは煩わしく、時間のロスでもある。また、キャップＪ９を外して作業しているときにＯリング固定部に異物がかみ込まれてしまう可能性が出てくる。そして、相手側部材との接続直前までの間にＯリング固定部に異物がかみ込まれると、相手側部材と組み付けた際、Ｏリング固定部から圧力媒体が漏洩する等、シール不良が発生する。
【０００８】
なお、このような問題は、相手側部材との接続における圧力導入部のシールがＯリングによるものに限らず、パッキング部材や、更には、相手側部材と圧力導入部とのネジ結合によりシールがなされるもの等においても同様に生じ得る。
【０００９】
本発明は上記問題に鑑み、センサ素子部へ圧力を導入するための圧力導入部を被検出体である相手側部材とシール固定するように組み付ける圧力センサにおいて、該相手側部材との接続直前までの間に、圧力導入部のシールされる部位に異物が付着するのを防止することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、圧力検出用のセンサ素子部（４）とこのセンサ素子部へ圧力を導入するための導入路（１ｂ）を有する圧力導入部（１ａ）とを備える圧力センサにおいて、該圧力導入部を被検出体である相手側部材とシールするように接続する接続工程を有する圧力センサの組付方法に関してなされたものである。
【００１１】
即ち、請求項１の発明では、開口部（１５ａ、１６ａ）を有する保護部材（１５、１６）を用意し、上記接続工程に移行するまで、該開口部によって該導入路を外部と連通させつつ該圧力導入部のシールされる部位を被覆する状態が継続するように、該保護部材を該圧力導入部に取り付けておくようにし、該圧力導入部（１ａ）として、相手側部材との接続においてシールを行うためのシール部（１４）が、該圧力導入部のシールされる部位に別体に形成されているものを用いることを特徴としている。
【００１２】
本組付方法によれば、接続工程に移行するまで、保護部材によって圧力導入部のシールされる部位は被覆保護されるため、異物の付着を好適に防止できる。また、保護部材の開口部から導入路が開放されているから、導入路に圧力導入が可能であり、シールされる部位を保護したまま、センサ特性を検査することが可能である。
【００１３】
ここで、上記圧力導入部としては、シール部（１ｄ、１４）が、圧力導入部のシールされる部位に別体に形成されているものを用いるが、具体的には、圧力導入部のシールされる部位に別体に取り付けられたＯリング（１４）またはパッキング材等、を採用できる。
【００１４】
また、請求項３ないし請求項５に記載の発明は、上記したセンサ素子部（４）と該センサ素子部への圧力導入用の導入路（１ｂ）を有する圧力導入部（１ａ）とを備える圧力センサにおいて、該圧力導入部を被検出体である相手側部材にシール用のＯリング（１４）を介して接続する圧力センサの組付方法に関してなされたものである。
【００１５】
即ち、本発明の組付方法では、該圧力導入部に該Ｏリング（１４）を取り付けた後、開口部（１５ａ、１６ａ）を有する保護部材（１５、１６）を、該圧力導入部に対して、該開口部によって該導入路を外部と連通させつつ該Ｏリングを被覆するように取り付け、次に、該圧力導入部に対して該センサ素子部を取り付ける。
【００１６】
しかる後、該センサ素子部に対して該保護部材の該開口部から圧力を導入することにより、圧力検出特性を検査し、この後、該保護部材を取り外し、続いて、該圧力導入部と該相手側部材とを該Ｏリングを介して接続する。
【００１７】
このような組付方法によっても、相手側部材との接続工程直前まで、圧力導入部のシールされる部位に設けられたＯリングは、保護部材によって被覆保護されるため、異物の付着を好適に防止でき、Ｏリングに異物がかみ込む等の不具合を防止できる。また、保護部材の開口部から導入路が開放されているから、導入路に圧力導入可能であり、シールされる部位を保護したまま、センサ特性を検査することが可能である。
【００１８】
ここで、請求項３の発明におけるＯリングの取り付け形態、及び、用いる保護部材の構成としては、請求項４及び請求項５の発明のような具体的手段を採用することが可能である。
【００２７】
ところで、上記各発明において、相手側部材とは、被検出体そのものでなくとも、被検出体に発生する圧力と同等の圧力を維持したまま、その圧力を圧力センサまで移送するもの（例えばホースやパイプ等）も含むものである。
【００２８】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。図１は、本発明の実施形態に係る圧力センサ１００の全体構成を示す概略断面図であり、図２は、図１中のセンサ素子部の拡大図である。圧力センサ１００は上記した被検出体としての燃料タンクの圧力を検出する燃料圧センサに適用されるタイプのものである。
【００３０】
１はハウジング（本発明の圧力導入部材に相当）であり、例えば、ＰＢＴやＰＰＳ等の樹脂を型成形することにより形成されたものである。ハウジング１の中央部には凹部が形成されており、この凹部内の空間は、大気圧が導入される基準圧力室２と、ガソリンベーパ等の測定対象圧力が導入される測定圧力室３とに区画されている。両室２、３の区画は上記凹部内に固定されたセンサ素子部４にてなされている。
【００３１】
また、図１に示す様に、ハウジング１における上記凹部と反対側の部位には、柱状に突出する圧力導入部１ａがハウジング１の一部として形成されている。圧力導入部１ａ内には、センサ素子部４へ上記測定対象圧力を導入するための通路である導入路１ｂが、測定圧力室３とハウジング１の外部とを連通するように形成されている。
【００３２】
ハウジング１の圧力導入部１ａの外壁には、Ｏリング溝１ｃが形成され、このＯリング溝１ｃ内に収納されるように、ゴム等よりなるＯリング（本発明のシール部に相当）１４が設けられている。圧力導入部１ａは、上記燃料タンク内と連通するように、燃料タンク（相手側部材）自身または燃料タンクから延設されたホースやパイプ等の相手側部材と接続可能となっており、Ｏリング１４は接続部分をシールして、相手側部材から導入路１ｂへ伝わる圧力の漏れを防止するためのものである。
【００３３】
また、圧力導入部１ａの外周には、開口部１５ａを有するキャップ状の保護キャップ（本発明の保護部材、キャップ部材に相当）１５が圧入気味に挿入固定されており、この保護キャップ１５によって圧力導入部１ａにおけるシールされる部位（Ｏリング１４及びＯリング溝１ｃ）が被覆されると共に、開口部１５ａによって導入路１ｂは外部と連通している。
【００３４】
詳細は後述するが、この保護キャップ１５はＰＢＴ等の樹脂等（ナイロン、ゴム等）よりなり、少なくとも相手側部材との接続作業に移行するまで、好ましくは接続直前まで圧力導入部１ａに取り付けられたままとする（取り付けられた状態を継続する）ことで、生産工程中におけるＯリング固定部の異物かみこみを好適に防止するものである。
【００３５】
センサ素子部４は、図２に示す様に、シリコン等よりなる感圧素子４ａと、この感圧素子４ａを支持固定するガラス台座４ｂとから構成されている。感圧素子４ａは、例えばシリコン等の基板にダイヤフラムが形成されたものであり、この感圧素子４ａと熱膨張係数が近似したガラス台座４ｂに接合されている。
【００３６】
ガラス台座４ｂには貫通穴が空いており、基準圧力室２から導入される大気圧と測定圧力室３から導入される測定圧力の差圧を、感圧素子４ａによって検出するようになっている。
【００３７】
センサ素子部４は、貫通穴を有する中空形状のステム５を介してハウジング１に固定されている。ステム５はガラス台座４ｂと熱膨張係数が近似した材料である４２−アロイ（Ｆｅ：Ｎｉ＝５８：４２）を採用しており、センサ素子部４とステム５とは熱硬化性樹脂等の接着剤で固定されている。
【００３８】
また、ステム５とハウジング１も熱硬化性樹脂等の接着剤で固定されている。センサ素子部４とステム５が、ハウジング１に固定されることにより、測定圧力室３から導入される測定圧力が感圧素子４ａの裏面（ガラス台座４ｂ接合側の面）に伝わることが可能になる。
【００３９】
また、ハウジング１の凹部には、センサ素子部４とステム５の固定部及びステム５とハウジング１の固定部の気密性をより一層高めるために、例えば熱硬化性樹脂等の接着剤６が充填されており、さらに、センサ素子部４の耐湿性向上のために、シリコンゲル７が充填されている。
【００４０】
基準圧力室２の上面は、例えばＰＢＴ等の樹脂よりなるリッド（蓋）８により閉鎖されている。このリッド８は接着剤９により気密固定されている。そして、基準圧力室２はハウジング１に形成された大気圧導入口１０により、大気中に開放されている。
【００４１】
この大気圧導入口１０の奥には、樹脂等よりなる撥水フィルタ１１が超音波溶着等によりハウジング１に固定されている。撥水フィルタ１１により、空気の流れを許容しつつ、基準圧力室２内への塵埃や水などの通過を阻止するようにしている。
【００４２】
また、ステム５を介してハウジング１に固定されている感圧素子４ａにおける検出信号出力用の出力端子は、ターミナル１２にボンディングワイヤ１３を介して接続されており、感圧素子４ａが検出した信号を、外部（例えば自動車のＥＣＵ等）に取り出すことが可能になっている。
【００４３】
かかる圧力センサ１００は、保護キャップ１５を取り外した後、圧力導入部１ａをＯリング１４を介してシールするように上記相手側部材に接続される。そして、被検出体（燃料タンク）からの測定圧力が、導入路１ｂから測定圧力室３に導入され、ステム５の中空部を通り、ガラス台座４ｂの貫通穴から感圧素子４ａの裏面に伝達される。感圧素子４ａに伝達された測定圧力は、上述のように、感圧素子４ａにおいて基準圧力室２から導入される大気圧との差圧として検出され、ボンディングワイヤ１３、ターミナル１２を介して外部に取り出される。
【００４４】
次に、圧力センサ１００の製造及び相手側部材への接続を含めた組付方法について、より具体的に説明する。図３はこの組付方法を工程順に示す流れ図である。まず、ケース作製工程Ｓ１では、ＰＢＴやＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂を型成形することによりハウジング１を作製する。このとき、ターミナル１２は同時にインサート成形される。また、作製されたハウジング１に対して、撥水フィルタ１１を超音波溶着等により固定する。
【００４５】
次に、Ｏリング挿入工程（Ｏリング取付工程）Ｓ２では、ハウジング１の圧力導入部１ａにＯリング１４を挿入し、Ｏリング溝１ｃ内に配設する。
【００４６】
次に、保護部材挿入工程（保護部材取付工程）Ｓ３では、用意された保護キャップ１５を、圧力導入部１ａに対して、開口部１５ａによって導入路１ｂを外部と連通させつつＯリング１４及びＯリング溝１ｃ（つまりシールされる部位）を被覆するように取り付ける。具体的には、図４（ａ）に示す様に、人手等により保護キャップ１５をやや圧入気味に圧力導入部１ａに挿入することで、保護キャップ１５と圧力導入部１ａとは固定される。
【００４７】
この保護キャップ１５が取り付けられたハウジング１は、圧力センサを製造する製造メーカへ入庫され、保護キャップ１５が取り付けられた状態で生産工程内を流動する。
【００４８】
次に、チップ・ステム接着固定工程Ｓ４では、感圧素子４ａをガラス台座４ｂに接着してセンサ素子部４を形成し、このセンサ素子部４のガラス台座４ｂをステム５に接着する。次に、ステム・ケース接着固定工程Ｓ５では、センサ素子部４が固定されたステム５をハウジング１の上記凹部に接着する。これにより、ハウジング１の凹部内において、基準圧力室２と測定圧力室３とが区画形成される。これら工程Ｓ４及びＳ５が素子部取付工程に相当する。
【００４９】
次に、ワイヤボンディング工程Ｓ６では、センサ素子部４の感圧素子４ａにおける出力端子とターミナル１２とをワイヤボンディングし、それによって形成されたボンディングワイヤ１３にて結線する。
【００５０】
次に、接着剤注入硬化工程Ｓ７では、ハウジング１の凹部における基準圧力室２側に接着剤６を注入、充填し、加熱処理等により硬化する。次に、ゲル注入硬化工程Ｓ８では、センサ素子部４及びワイヤボンディング部分を被覆するようにシリコーンゲル７を注入、充填し、硬化する。
【００５１】
次に、蓋接着固定工程Ｓ９では、基準圧力室２の上面にリッド８を接着剤９で固定し、基準圧力室２を気密封止する。こうして、図１に示す圧力センサ１００が出来上がる。
【００５２】
次に、温度・圧力測定検査工程（特性検査工程）Ｓ１０では、圧力センサとして正しく機能するかどうかセンサの特性を検査する。具体的には、図５に示す様に、保護キャップ１５と検査治具Ｋとを検査用シール部材Ｃを介して接続し、検査用の圧力を、保護キャップ１５の開口部１５ａから導入路１ｂを介してセンサ素子部４へ導入することにより、センサ素子部４から正しい出力（検出信号）がされるかどうかを、温度を変えて検査する。
【００５３】
このとき、検査治具Ｋとの圧力導入部１ａとのシールは、保護キャップ１５に形成されたシール面１５ｂによりなされる。このシール面１５ｂは例えば面粗度が６．３Ｚ以上の平滑化された面であり、それによって、圧力導入部１ａと検査治具Ｋとの気密性が確保でき、測定圧力が漏れることなく確実に検査することが可能となる。次に、外観検査工程Ｓ１１では、例えば、圧力センサ１００に外観上の傷がないかどうかを調べる、外観検査等を行う。
【００５４】
以上の各工程Ｓ１〜Ｓ１１を経て、圧力センサ１００は、使用者である納入先へ納入される。そして、センサ１００は、相手側部材（燃料タンクやホース等）に接続される直前に、保護部材取り外し工程Ｓ１２に供される。この工程Ｓ１２では、図４（ｂ）に示す様に、人手等でもって、保護キャップ１５を圧力センサ１００におけるハウジング１の圧力導入部１ａから取り外す。
【００５５】
次に、センサ取付工程（本発明の接続工程に相当）Ｓ１３では、保護キャップ１５が取り外された圧力センサ１００を相手側部材に接続し、組み付ける。具体的には、ハウジング１の圧力導入部１ａを相手側部材である管部材（図示せず）に挿入すると、両者はＯリング１４を介してシールするように接続される。こうして、圧力センサ１００は、相手側部材に組み付けられ（実装され）、センサとして使用可能な状態となる。
【００５６】
ところで、上記組付方法によれば、少なくとも接続工程であるセンサ取付工程Ｓ１３に移行するまで、圧力導入部１ａのシールされる部位（Ｏリング１４及びＯリング溝１ｃ）は、保護キャップ１５によって予め被覆され保護されるため、工程Ｓ３の後から工程Ｓ１２の直前までにおける異物の付着を好適に防止できる。即ち、Ｏリング固定部に異物が侵入してＯリング１４に異物がかみ込む等の不具合を防ぐことでき、相手側部材とのシール固定が良好になる。
【００５７】
また、保護キャップ１５の開口部１５ａから導入路１ｂが開放されているから、導入路１ｂに測定圧力の導入が可能であり、シールされる部位を保護したまま、センサ特性（圧力特性）を検査することが可能である。
【００５８】
また、保護キャップ１５は、ハウジング１の圧力導入部１ａに圧入気味に手で挿入されるから、保護部材取り外し工程Ｓ１２以外の生産工程内では外れにくく、シールされる部位の適切な保護が可能である。
【００５９】
なお、保護部材としては、上記のような圧力導入部１ａの外形に対応した形状を有する保護キャップ（キャップ部材）１５以外にも、図６に示すようなＯリング１４を導入路１ｂの内壁に取り付けるものとした圧力センサ１００の場合、挿入部材１６を用いることも可能である。なお、図６中、１７はＯリング１４が導入路１ｂから抜けないようにするためのスペ−サである。
【００６０】
この挿入部材１６は、保護キャップ１５と同様の材質とでき、導入路１ｂ内に圧入気味に挿入可能な外形を有し、且つ、内部に貫通穴（本発明の開口部に相当）１６ａを有する。この貫通穴１６ａにより導入路１ｂは外部と連通可能となっている。また、１６ｂは上記のシール面１５ｂと同様のシール面である。そして、挿入部材１６は、導入路１ｂの内壁との間にＯリング１４を介在させるように圧力導入部１ａに対して取り付けられている。
【００６１】
この挿入部材１６を保護部材として用いた場合、保護部材挿入工程Ｓ３において、図７（ａ）に示す様に、人手等により圧入気味に挿入部材１６を導入路１ｂに挿入し、保護部材取り外し工程Ｓ１２において、図７（ｂ）に示す様に、人手等による取り外しを行う。それにより、導入路１ｂ内壁のＯリング１４が挿入部材１６により被覆保護され、保護キャップ１５の場合と同様の効果が得られる。
【００６２】
このように、図１及び図６に示す圧力センサ１００は、相手側部材と接続される圧力導入部１ａに、該接続においてシールを行う為のＯリング（シール部）１４を設け、且つ、導入路１ｂを外部と連通させた状態でＯリング１４を被覆保護する取り外し可能な保護部材１５、１６を取り付けたことを特徴としている。
【００６３】
そして、このような構成とすることで、圧力導入部１ａから保護部材１５、１６を外すことなくセンサ特性の検査が可能であるため、相手側部材との接続直前まで保護部材１５、１６を取り付けたままにでき、Ｏリング１４に異物が付着するのを防止することができる。
【００６４】
また、本実施形態において、圧力センサ１００の構成部材として適用されるハウジング１は、相手側部材に接続されるとともに検出用の圧力をセンサ素子部４へ導入するための導入路１ｂを有する圧力導入部材に相当する。そして、ハウジング１は、シール用のＯリング１４と、導入路１ｂを外部と連通させた状態でＯリング１４を被覆保護する取り外し可能な保護部材１５、１６とを備えたものとなっている。
【００６５】
そして、このようなハウジング（圧力導入部材）１を用いれば、センサ素子部４と組み付けて圧力センサ１００を構成した場合、保護部材１５、１６を外すことなくセンサ特性の検査が可能であるため、少なくとも相手側部材との接続作業に移行するまで、好ましくは接続直前まで保護部材１５、１６を取り付けたまま（取り付けた状態を継続させたまま）にでき、Ｏリング１４に異物が付着するのを好適に防止することができる。
（他の実施形態）
なお、上記実施形態では、圧力導入部１ａにおいて、相手側部材との接続においてシールを行うためのシール部がＯリング１４であったが、このＯリングのように、該シール部が圧力導入部１ａのシールされる部位に別体に形成されたものとしては、樹脂のパッキング材等であってもよい。
【００６７】
また、図９及び図１０は、それぞれ、上記図１及び図６に示す保護部材１５、１６において、導入路１ｂを外部と連通させるための通路である開口部１５ａ、１６ａの一部に、異物侵入防止部１５ｃ、１６ｃを形成した例を示す概略断面図である。なお、これら図９及び図１０は本発明の参考例である。
【００６８】
図９に示す例では、保護キャップ１５の開口部１５ａにおける導入路１ｂとの連通部側に、異物侵入防止部１５ｃが形成されており、この異物侵入防止部１５ｃは、開口部１５ａの外部開口側に比べて、外部からの異物が通過しにくいように開口面積（通路面積）が小さくなっている。
【００６９】
一方、図１０に示す例では、挿入部材１６の貫通穴（開口部）１６ａにおける導入路１ｂとの連通部側に、異物侵入防止部１６ｃが形成されており、この異物侵入防止部１６ｃは、貫通穴１６ａの外部開口側に比べて、外部からの異物が通過しにくいように通路面積（開口面積）が小さくなっている。
【００７０】
そして、これら図９及び図１０に示す保護部材１５、１６によれば、相手側部材との接続直前までの間に、圧力導入部１ａのシールされる部位に異物が付着するのを防止することができるとともに、圧力導入部１ａ内へ異物が侵入するのを防止することができ、より信頼性の高い圧力センサを実現することができる。
【００７１】
また、本発明の要部は圧力導入部のシール部位を被覆保護する保護部材にあるから、他の部分は適宜変更してよいことは勿論である。更に、本発明は、上記の燃料圧センサに限定されるものではなく、自動車エンジンの噴射圧センサ、吸気圧センサ、ガスや液体の輸送等に用いられる配管内の圧力検出用のセンサ等、圧力検出用のセンサ素子部と該センサ素子部への圧力導入用の導入路を有する圧力導入部とを備え、該圧力導入部にて被検出体である相手側部材とシール固定される圧力センサに適用可能なものである。
【００７２】
また、保護部材１５、１６の着脱は、人手によらず、装置（図示せず）を用いた自動着脱構成としてもよい。また、保護部材１５、１６としては、ＰＢＴ等の樹脂以外に、本発明のシール効果が得られるような材料（例えば、金属、シリコン、ガラス等）が適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る圧力センサの全体構成を示す概略断面図である。
【図２】図１中のセンサ素子部の拡大図である。
【図３】上記実施形態に係る圧力センサの組付方法を工程順に示す流れ図である。
【図４】保護キャップの取り外しを説明する説明図である。
【図５】図１に示す圧力センサと検査治具との接続構成図である。
【図６】上記実施形態に係る保護部材の他の例としての挿入部材を示す図である。
【図７】図６に示す挿入部材の取り外しを説明する説明図である。
【図８】圧力導入部の外壁に形成されたネジ部を示す図である。
【図９】図１に示す保護部材に異物侵入防止部を形成した例を示す概略断面図である。
【図１０】図６に示す保護部材に異物侵入防止部を形成した例を示す概略断面図である。
【図１１】従来の圧力センサの構成を示す概略断面図である。
【符号の説明】
１…ハウジング、１ａ…圧力導入部、１ｂ…導入路、１ｄ…ネジ部、
４…センサ素子部、１４…Ｏリング、１５…保護キャップ、１５ａ…開口部、
１５ｃ、１６ｃ…異物侵入防止部、１６…挿入部材、１６ａ…貫通穴。

Claims

圧力検出用のセンサ素子部（４）とこのセンサ素子部へ圧力を導入するための導入路（１ｂ）を有する圧力導入部（１ａ）とを備える圧力センサにおいて、前記圧力導入部を被検出体である相手側部材とシールするように接続する接続工程を有する圧力センサの組付方法であって、
開口部（１５ａ、１６ａ）を有する保護部材（１５、１６）を用意し、
少なくとも前記接続工程に移行するまで、前記開口部によって前記導入路を外部と連通させつつ前記圧力導入部のシールされる部位を被覆する状態が継続するように、前記保護部材を前記圧力導入部に取り付けておくようにし、
前記圧力導入部（１ａ）として、前記相手側部材との接続においてシールを行うためのシール部（１４）が、前記圧力導入部のシールされる部位に別体に形成されているものを用いることを特徴とする圧力センサの組付方法。
前記シール部は、前記圧力導入部（１ａ）のシールされる部位に取り付けられたＯリング（１４）またはパッキング材であることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサの組付方法。
圧力検出用のセンサ素子部（４）とこのセンサ素子部へ圧力を導入するための導入路（１ｂ）を有する圧力導入部（１ａ）とを備える圧力センサにおいて、前記圧力導入部を被検出体である相手側部材に接続する圧力センサの組付方法であって、
前記圧力導入部に、前記相手側部材との接続においてシールを行うためのＯリング（１４）を取り付けるＯリング取付工程と、
この工程の後、開口部（１５ａ、１６ａ）を有する保護部材（１５、１６）を、前記圧力導入部に対して、前記開口部によって前記導入路を外部と連通させつつ前記Ｏリングを被覆するように取り付ける保護部材取付工程と、
前記保護部材が取り付けられた前記圧力導入部に対して前記センサ素子部を取り付ける素子部取付工程と、
この工程の後、前記センサ素子部に対して前記保護部材の前記開口部から圧力を導入することにより、圧力検出特性を検査する特性検査工程と、
この工程の後、前記保護部材を取り外し、続いて、前記圧力導入部と前記相手側部材とを前記Ｏリングを介して接続する接続工程と、を備えることを特徴とする圧力センサの組付方法。
前記Ｏリング（１４）は前記圧力導入部（１ａ）の外壁に取り付けるものであり、
前記保護部材として、前記圧力導入部の外形に対応した形状を有するキャップ部材（１５）を、用いることを特徴とする請求項３に記載の圧力センサの組付方法。
前記Ｏリング（１４）は前記導入路（１ｂ）の内壁に取り付けるものであり、
前記保護部材として、内部を貫通する貫通穴（１６ａ）を前記開口部として有し且つ前記導入路内に挿入可能な挿入部材（１６）を用い、
前記挿入部材と前記導入路の内壁との間に前記Ｏリングを介在させるように、前記挿入部材を前記圧力導入部に対して取り付けることを特徴とする請求項３に記載の圧力センサの組付方法。