JP7331761B2

JP7331761B2 - 蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサ

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Publication number: JP7331761B2
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Inventors: 遼佑岸; 康夫加藤; 智啓伊藤
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Description

本発明は、蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサに関する。

内燃機関を有する車両においては、内燃機関に用いられる液状の燃料としてのガソリン、ハイオク、軽油等の炭化水素燃料が燃料タンクに貯留される。燃料タンク内には、蒸発燃料が発生する。この蒸発燃料を外部へ放出しないために、蒸発燃料を吸着可能なキャニスタを有する蒸発燃料処理装置を用いる。

蒸発燃料処理装置においては、燃料タンク及びキャニスタの気密チェックを行うための蒸発燃料漏れ検査装置が用いられる。蒸発燃料漏れ検査装置は、燃料タンクの内部及びキャニスタの内部を減圧状態にするための減圧ポンプと、キャニスタの気相を大気に接続するか減圧ポンプに接続するかの切り換えが可能な電磁弁と、減圧ポンプと電磁弁との間の第１配管に配置され、減圧ポンプによって減圧された配管内の圧力を検出する圧力センサとを備える。

また、第１配管と、キャニスタと電磁弁との間の第２配管とに、電磁弁をバイパスしてバイパス配管が接続され、バイパス配管に設けられたオリフィスによって、所定の漏洩状態を形成している。そして、漏洩状態を基準にし、燃料タンク及びキャニスタに漏洩が生じていないかを判定している。このような蒸発燃料漏れ検査装置としては、例えば、特許文献１に記載されたものがある。

特開２０１５－１６９１２９号公報

特許文献１等に示される圧力センサは、受圧部を有するセンサユニットと、第１配管の流体流路及びセンサユニットを収容する収容凹部が形成されたケースと、センサユニットが収容された収容凹部の隙間に配置された封止樹脂とを有する。そして、封止樹脂によって、センサユニットが収容凹部に固着されるとともにセンサユニットの周囲が封止され、流体流路からセンサユニットの受圧部の受圧面に加わる圧力が検出される。センサユニットの受圧部は、受圧面に加わる圧力を歪に換算し、歪によって生じる電圧変化を検出する。

収容凹部に配置された封止樹脂は、センサユニットをケースに固着できればよいと考えられているため、センサユニットの、受圧部の受圧面の反対側に位置する裏側までは配置されていない。また、センサユニットの周辺においては、ケースと封止樹脂との界面が外部に露出する。センサユニットの周辺において熱応力が発生したときには、ケースと封止樹脂との界面に剥離が生じるおそれがある。この剥離が生じた場合には、ケースの収容凹部を形成する環状の内壁面の形状に特別な工夫がなされていないと、剥離が伸展するおそれがある。この場合には、圧力センサの気密性を十分に確保できないおそれがある。

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたもので、気密性を十分に確保することができる蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサを提供しようとして得られたものである。

本発明の一態様は、
燃料タンク（６１）と、前記燃料タンクから排出される蒸発燃料を吸着するキャニスタ（６２）とを備える蒸発燃料処理装置（６）における前記蒸発燃料の漏れを検査する蒸発燃料漏れ検査装置を構成する圧力センサ（１）であって、
受圧面（２１０）に加わる流体（Ｒ）の圧力を検出するための受圧部（２１）、前記受圧部に設けられるとともに導電性材料によって構成された複数の導通端子（２１３）、及び前記受圧部における、前記受圧面を除く表面を覆うモールド樹脂部（２２）を有するセンサユニット（２）と、
前記受圧面に前記流体を導入するための流体流路（３１）、及び前記流体流路に繋がって前記センサユニットが収容された収容凹部（３２）が形成されたケース（３）と、
前記センサユニットが収容された前記収容凹部内に充填され、前記モールド樹脂部における、前記収容凹部内に配置される表面部位を覆う封止樹脂（４）と、を備え、
前記モールド樹脂部の側面（２２２）を囲んで前記収容凹部を形成する環状の内壁面（３２３）には、前記受圧面に垂直な方向に沿った断面を見たとき、前記受圧面に対して平行な平行段差面（３２６）、又は前記受圧面に対して傾斜する９０°未満の内角（θ）を有する傾斜段差面（３２６Ｘ）が形成されており、
前記平行段差面又は前記傾斜段差面は、環状の前記内壁面のうち、複数の前記導通端子が配置された側に位置する導通端子側内壁面（３２３Ａ）を除く残りの残内壁面（３２３Ｂ）に形成されている、蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサにある。

前記一態様の蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサにおいては、収容凹部内に充填された封止樹脂は、モールド樹脂部における、収容凹部内に配置される表面部位を覆っている。この構成により、センサユニットの周辺においては、センサユニットのモールド樹脂部と封止樹脂との界面は外部に露出せず、ケースと封止樹脂との界面のみが外部に露出する。

そして、センサユニットのモールド樹脂部の側面を囲んで収容凹部を形成する、導通端子側内壁面を除く残内壁面には、受圧面に垂直な方向に沿った断面を見たとき、平行段差面又は傾斜段差面が形成されている。この構成により、仮に、ケースと封止樹脂との界面に剥離が発生したときであっても、この剥離の伸展を、平行段差面又は傾斜段差面によって阻害することができる。

それ故、前記一態様の蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサによれば、その気密性を十分に確保することができる。

なお、本発明の一態様において示す各構成要素のカッコ書きの符号は、実施形態における図中の符号との対応関係を示すが、各構成要素を実施形態の内容のみに限定するものではない。

図１は、実施形態１にかかる、圧力センサが用いられた減圧リークチェックモジュール、及び蒸発燃料処理装置の構成を示す説明図である。図２は、実施形態１にかかる、圧力センサを、図４のII－II断面によって示す説明図である。図３は、実施形態１にかかる、圧力センサを、図４のIII－III断面によって示す説明図である。図４は、実施形態１にかかる、封止樹脂が充填されていない状態の圧力センサを平面によって示す説明図である。図５は、実施形態２にかかる、圧力センサを、図７のV－V断面によって示す説明図である。図６は、実施形態２にかかる、圧力センサを、図７のVI－VI断面によって示す説明図である。図７は、実施形態２にかかる、封止樹脂が充填されていない状態の圧力センサを平面によって示す説明図である。図８は、実施形態２にかかる、図５の一部を拡大して示す説明図である。図９は、実施形態２にかかる、他の圧力センサを拡大して示す説明図である。図１０は、実施形態２にかかる、他の圧力センサを拡大して示す説明図である。図１１は、実施形態３にかかる、圧力センサを、図１３のXI－XI断面によって示す説明図である。図１２は、実施形態３にかかる、圧力センサを、図１３のXII－XII断面によって示す説明図である。図１３は、実施形態３にかかる、封止樹脂が充填されていない状態の圧力センサを平面によって示す説明図である。図１４は、実施形態３にかかる、図１１の一部を拡大して示す説明図である。図１５は、実施形態４にかかる、圧力センサを、図１７のXV－XV断面によって示す説明図である。図１６は、実施形態４にかかる、圧力センサを、図１７のXVI－XVI断面によって示す説明図である。図１７は、実施形態４にかかる、封止樹脂が充填されていない状態の圧力センサを平面によって示す説明図である。図１８は、実施形態４にかかる、センサユニット及び封止樹脂が配置されていない状態の圧力センサを平面によって示す説明図である。

前述した蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサにかかる好ましい実施形態について、図面を参照して説明する。
＜実施形態１＞
本形態の蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサ１（以下、単に圧力センサ１という。）は、図１に示すように、燃料タンク６１と、燃料タンク６１から排出される蒸発燃料を吸着するキャニスタ６２とを備える蒸発燃料処理装置６において用いられる。蒸発燃料漏れ検査装置は、リークチェックによって、燃料タンク６１及びキャニスタ６２を含む装置系内における蒸発燃料の漏れを検査するものである。換言すれば、蒸発燃料漏れ検査装置は、リークチェックによって、蒸発燃料の漏れが生じる可能性がないかを判定するものである。

図２～図４に示すように、圧力センサ１は、センサユニット２、ケース３及び封止樹脂４を備える。センサユニット２は、受圧面２１０に加わる流体Ｒの圧力を検出するための受圧部２１と、受圧部２１における、受圧面２１０を除く表面を覆うモールド樹脂部２２とを有する。ケース３は、受圧面２１０に流体Ｒを導入するための流体流路３１と、流体流路３１に繋がる収容凹部３２とを有する。収容凹部３２には、センサユニット２が収容されている。封止樹脂４は、収容凹部３２内に配置されており、モールド樹脂部２２における、受圧面２１０の反対側に位置する裏面２２３を少なくとも覆っている。

以下に、本形態の圧力センサ１について詳説する。
（減圧リークチェックモジュール１０）
図１に示すように、圧力センサ１は、燃料タンク６１及びキャニスタ６２を有する車両の蒸発燃料処理装置６に付随して、燃料タンク６１及びキャニスタ６２にリークがないかをチェックする、蒸発燃料漏れ検査装置としての減圧リークチェックモジュール（ＥＬＣＭ）１０を構成する。減圧リークチェックモジュール１０は、燃料タンク６１の内部及びキャニスタ６２の内部を減圧状態にするための減圧ポンプ５１と、キャニスタ６２を、大気に開放された大気配管５５に接続するか減圧ポンプ５１に接続するかの切り換えが可能な電磁弁５２と、減圧ポンプ５１によって減圧された配管（第１配管）５３Ａ内の圧力を検出する圧力センサ１とを備える。

減圧ポンプ５１、電磁弁５２、圧力センサ１等は、制御装置８に電気接続されている。圧力センサ１は、減圧ポンプ５１と電磁弁５２とを接続する第１配管５３Ａに配置されている。キャニスタ６２と電磁弁５２とは第２配管５３Ｂによって接続されている。第１配管５３Ａと第２配管５３Ｂとには、電磁弁５２をバイパスするバイパス配管５４が接続されている。バイパス配管５４には、オリフィス５４１が配置されている。

燃料タンク６１とキャニスタ６２とは、蒸発燃料が排出されるベーパ配管６３によって接続されている。ベーパ配管６３には、燃料タンク６１内の蒸発燃料をキャニスタ６２へ排出するときに、ベーパ配管６３を開口する密閉弁６３１が配置されていてもよい。キャニスタ６２とエンジン（内燃機関）７の吸気管７１とは、パージ配管６４によって接続されている。パージ配管６４には、キャニスタ６２から吸気管７１へ燃料成分を排出するときにパージ配管６４を開口するパージ弁６４１が配置されている。

減圧ポンプ５１は、真空ポンプとも呼ばれ、キャニスタ６２、燃料タンク６１、第１配管５３Ａ、第２配管５３Ｂ、バイパス配管５４の真空引きが可能である。減圧ポンプ５１によって燃料タンク６１、キャニスタ６２等の真空引きを行うときには、パージ配管６４のパージ弁６４１を閉じておく。

電磁弁５２は、ソレノイドバルブによって構成されている。電磁弁５２は、キャニスタ６２内を大気に開放する開放位置５２１と、キャニスタ６２内を減圧ポンプ５１に接続する減圧位置５２２とに切り換えが可能である。電磁弁５２が減圧位置５２２に切り換えられると、電磁弁５２を介して第１配管５３Ａと第２配管５３Ｂとが連通され、第１配管５３Ａ、第２配管５３Ｂ及びバイパス配管５４が連通される。

バイパス配管５４に設けられたオリフィス５４１は、減圧ポンプ５１によって真空引きを行う経路内に、漏洩が許容される上限値を示す所定の漏洩状態を模擬的に形成するために用いる。本形態のオリフィス５４１は、φ０．５ｍｍの穴が真空引きを行う経路内に形成された状態を模擬的に形成する。オリフィス５４１による疑似的な漏洩状態を形成するときには、電磁弁５２が開放位置５２１になり、減圧ポンプ５１から、第１配管５３Ａ、電磁弁５２、及びオリフィス５４１を通るバイパス配管５４を循環する経路内の真空引きが行われ、圧力センサ１によって圧力が検出される。この圧力センサ１による圧力が、漏洩許容基準値の圧力となる。

一方、漏洩検査を行うときには、電磁弁５２が減圧位置５２２になり、減圧ポンプ５１によって燃料タンク６１内、キャニスタ６２内等の真空引きが行われる。このときに圧力センサ１によって検出される圧力が、漏洩許容基準値以下になれば、漏洩はないと判定し、漏洩許容基準値を超えていると、漏洩があると判定する。

なお、電磁弁５２は、通常は開放位置５２１にあり、キャニスタ６２内を大気圧の状態にしておくことができる。

（蒸発燃料処理装置６）
図１に示すように、蒸発燃料処理装置６は、車両において、燃料タンク６１内の気相ガスを構成する蒸発燃料を大気へ放出しないようにするために用いられる。燃料タンク６１内の蒸発燃料は、キャニスタ６２に蓄えられた後にエンジン７の吸気管７１に放出され、又はキャニスタ６２をバイパスしてエンジン７の吸気管７１に放出される。そして、蒸発燃料の燃料成分は、エンジン７における燃焼に使用される。

吸気管７１からエンジン７に供給される燃焼用空気Ａの流量は、吸気管７１内に配置されたスロットルバルブ７２の操作を受けて調整される。エンジン７には、燃料タンク６１から供給される燃料Ｆを噴射する燃料噴射装置（図示略）が配置されている。

（燃料タンク６１）
図１に示すように、燃料タンク６１は、エンジン７の燃焼運転に使用される燃料Ｆを貯留するものである。燃料タンク６１には、外部から燃料Ｆが給油されるときに使用される給油口６１１と、ベーパ配管６３が繋がるベーパ口６１２と、エンジン７の燃料噴射装置へ燃料Ｆを供給するときに使用される燃料ポンプ（図示略）とが設けられている。燃料ポンプは、燃料タンク６１の液相を構成する燃料Ｆを燃料噴射装置へ供給するものである。

燃料タンク６１の給油口６１１には、通常時に給油口６１１を閉口するとともに、給油時に取り外して、給油口６１１を開口するフューエルキャップ６１３が配置されている。また、車両には、通常時にフューエルキャップ６１３を覆い、給油時に移動して、フューエルキャップ６１３の取り外し・取り付けの操作を可能にするフューエルリッド（図示略）が設けられている。

（キャニスタ６２）
図１に示すように、キャニスタ６２は、キャニスタケース６２１と、キャニスタケース６２１内に配置されて、蒸発燃料（気化燃料）を吸着する活性炭等の吸着材６２２とを有する。キャニスタ６２のキャニスタケース６２１には、ベーパ配管６３に繋がれた、気相ガスの入口６２３と、パージ配管６４に繋がれた、燃料成分の出口６２４と、第２配管５３Ｂ及び電磁弁５２に繋がれた、大気に開放可能な圧抜き口６２５とが設けられている。燃料タンク６１の気相からキャニスタ６２へ蒸発燃料（気相ガス）が排出されるときには、電磁弁５２が開放位置５２１になり、圧抜き口６２５が大気配管５５によって大気に開放される。そして、キャニスタ６２においては、吸着材６２２に蒸発燃料中の燃料成分が吸着され、キャニスタ６２内の圧力は大気圧と同等になる。

また、キャニスタ６２の吸着材６２２に吸着された燃料成分は、パージ配管６４を通過してエンジン７の吸気管７１に放出される。このときには、電磁弁５２が開放位置５２１になり、キャニスタ６２の圧抜き口６２５が大気に開放されるとともに、パージ弁６４１によってパージ配管６４が開けられる。そして、圧抜き口６２５からキャニスタ６２内に入る大気の圧力と、吸気管７１に生じる負圧力との差圧を利用した空気の流れによって、吸着材６２２に吸着された燃料成分がエンジン７の吸気管７１に放出される。

（圧力センサ１のセンサユニット２）
図２及び図３に示すように、センサユニット２の受圧部２１は、ピエゾ抵抗式半導体を用いて構成されている。ピエゾ抵抗式半導体は、物質に応力が加わったときに電気抵抗が変化する現象であるピエゾ抵抗効果を利用したものである。受圧部２１は、ホイートストンブリッジ等の検出回路が形成された回路部２１１が、絶縁性のゲル２１２によって囲まれて形成されている。センサ端子は、回路部２１１からゲル２１２及びモールド樹脂の外部にまで引き出されている。

本形態においては、ケース３の軸方向Ｌにおいて、受圧部２１の受圧面２１０が位置する側を受圧側Ｌ１といい、受圧面２１０と反対側を裏側Ｌ２という。また、換言すれば、収容凹部３２における、受圧部２１の受圧面２１０が配置される側を受圧側Ｌ１といい、収容凹部３２における、受圧側Ｌ１の反対側を裏側Ｌ２という。

センサユニット２のモールド樹脂部２２は、耐熱性に優れた熱可塑性樹脂等によって構成されている。受圧部２１の受圧面２１０は、モールド樹脂部２２によって覆われていない、受圧部２１における、表側の表面として形成されている。受圧面２１０は、モールド樹脂部２２の表面から裏側Ｌ２に陥没した位置にある。モールド樹脂部２２は、受圧部２１における、受圧面２１０が位置する表側の表面を除く部位を覆っている。

図２及び図３に示すように、本形態のモールド樹脂部２２には、センサユニット２による圧力の検出に影響を及ぼすノイズ（電磁ノイズ）を除去するノイズ除去用のコンデンサ２３が内蔵されている。コンデンサ２３は、電極と誘電体とが複数積層された積層セラミックコンデンサ等によって構成されている。コンデンサ２３は、直流電流を遮断する一方、交流電流を通過させる性質を有する。コンデンサ２３は、受圧部２１の回路部２１１等をグラウンドに接続することによって、回路部２１１に重畳する交流成分を除去するよう構成されている。回路部２１１、コンデンサ２３等の配線は、複数の導通端子２１３に電気接続されている。

（圧力センサ１のケース３）
図２及び図３に示すように、圧力センサ１のケース３は、センサユニット２を収容し、センサユニット２の受圧部２１に流体Ｒを導入するためのものである。ケース３は、減圧ポンプ５１、電磁弁５２等とともに減圧リークチェックモジュール１０に配置されている。ケース３の流体流路３１は、ケース３の軸方向Ｌに沿って形成されている。ケース３の軸方向Ｌは、センサユニット２の受圧部２１の受圧面２１０に対して垂直な方向である。流体流路３１を流れる流体Ｒの圧力は、流体流路３１から垂直に受圧部２１の受圧面２１０に作用する。

ケース３の収容凹部３２は、センサユニット２が収容される大きさに形成されている。収容凹部３２は、センサユニット２のモールド樹脂部２２の受圧側部位２２２Ａが嵌入される嵌入部３２１と、嵌入部３２１に繋がって封止樹脂４が充填されるための充填部３２２とを有する。また、嵌入部３２１と流体流路３１との間には、流体流路３１から受圧部２１の受圧面２１０へ流れる流体Ｒの流れが拡大する拡大流路部３１１が形成されている。

モールド樹脂部２２の側面２２２における、受圧面２１０が位置する側の受圧側部位２２２Ａは、収容凹部３２の嵌入部３２１内に嵌入されている。センサユニット２のモールド樹脂部２２が嵌入部３２１内に嵌入されることにより、収容凹部３２の充填部３２２内に封止樹脂４が充填されるときに、封止樹脂４が流体流路３１へ流出することが防止される。

図３及び図４に示すように、収容凹部３２の充填部３２２を形成する内壁面３２３は、収容凹部３２における、受圧部２１の受圧面２１０に平行な平面内の一方向側に配置された導通端子側内壁面３２３Ａと、平面内の残りの三方向側に配置された残内壁面３２３Ｂとによって構成されている。導通端子側内壁面３２３Ａの受圧側Ｌ１の端部には、受圧面２１０に垂直な軸方向Ｌに沿った断面において、受圧面２１０に対して平行な底面３２４が形成されている。底面３２４は、センサユニット２のモールド樹脂部２２の側面２２２と導通端子側内壁面３２３Ａとの間に位置している。

ケース３には、複数の導通端子２１３に接触して導通される複数のケース側端子３３が設けられている。センサユニット２の受圧部２１の複数の導通端子２１３は、複数のケース側端子３３を介して、減圧リークチェックモジュール１０の外部に配置された電源、制御装置８等に電気接続される。

図４に示すように、センサユニット２のモールド樹脂部２２における、受圧部２１の受圧面２１０に平行な平面内の４つの角部には、面取り部２２５又は曲面部２２６が形成されている。そして、ケース３の収容凹部３２の内壁面３２３は、センサユニット２の、受圧面２１０に平行な平面内の形状に沿った形状に形成されている。そして、内壁面３２３における３つの残内壁面３２３Ｂの、受圧面２１０に平行な平面内の角部には、面取り部３２３Ｃ又は曲面部３２３Ｄが形成されている。残内壁面３２３Ｂには、面取り部３２３Ｃ及び曲面部３２３Ｄも含まれることとする。

（封止樹脂４）
図２及び図３に示すように、封止樹脂４は、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂によって構成されている。封止樹脂４は、センサユニット２をケース３に固着するとともにセンサユニット２の周囲を封止するために用いられる。封止樹脂４は、ケース３の収容凹部３２の嵌入部３２１内にセンサユニット２が嵌入された後、収容凹部３２の充填部３２２内に充填される。センサユニット２の全体は、収容凹部３２の充填部３２２内に充填された封止樹脂４によって覆われる。換言すれば、収容凹部３２内にセンサユニット２が配置されたときには、収容凹部３２の充填部３２２内にセンサユニット２のモールド樹脂部２２が露出され、その後、モールド樹脂部２２の表面が封止樹脂４によって覆われる。

封止樹脂４は、センサユニット２のモールド樹脂部２２の側面２２２における、受圧側部位２２２Ａを除く裏側部位２２２Ｂと、裏面２２３との全体を覆うよう、収容凹部３２の充填部３２２内に充填されている。この構成により、圧力センサ１の周囲に配置された機器から生じる電磁ノイズ、熱等がセンサユニット２の受圧部２１に到達しにくくすることができる。

（圧力センサ１の材質）
従来の圧力センサのセンサユニットの周辺においては、センサユニットの裏面が、封止樹脂によって覆われずに、外部に露出している。そして、従来の圧力センサにおいては、気密が確保できなくなる要因として、センサユニットのモールド樹脂部と封止樹脂との界面における剥離、及びケースと封止樹脂との界面における剥離の２つがある。この２種類の界面が存在することにより、剥離が発生する懸念が増加している。

図２及び図３に示すように、本形態の圧力センサ１のセンサユニット２の周辺においては、封止樹脂４がモールド樹脂部２２の全体を覆っていることにより、モールド樹脂部２２と封止樹脂４との界面が、センサユニット２の周辺の外部に露出しない。そして、センサユニット２の周辺の外部には、ケース３と封止樹脂４との界面のみが露出する。これにより、剥離によって圧力センサ１の気密性が確保できなくなる要因は、ケース３と封止樹脂４との界面についてのみ考慮すればよい。

本形態のモールド樹脂部２２には、コンデンサ２３を内蔵することを考慮して、コンデンサ２３の線膨張係数に近づけるために意図的に線膨張係数が小さな樹脂材料を用いる。また、本形態の封止樹脂４は、線膨張係数を意図的に低くするために、硬化性の樹脂材料に無機材料としてのフィラー（充填剤）が添加されて構成されている。換言すれば、本形態の封止樹脂４は、硬化性の樹脂材料と、樹脂材料に添加された無機材料としてのフィラーとを含有する。そして、封止樹脂４におけるフィラーの含有率は、４０～９０％の範囲内にある。

封止樹脂４におけるフィラーの含有比率を高くすると、線膨張係数が低くなる。そして、封止樹脂４におけるフィラーの含有量が４０質量％以上であることにより、線膨張係数を低くすることができる。一方、封止樹脂４におけるフィラーの含有量が９０質量％超過であると、フィラーの含有量が多くなり過ぎて封止樹脂４の接着性が悪化するおそれがある。

（作用効果）
本形態の蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサ１は、減圧リークチェックモジュール１０に用いられる。圧力センサ１においては、収容凹部３２内に配置された封止樹脂４は、センサユニット２のモールド樹脂部２２の側面２２２における裏側部位２２２Ｂ、及びモールド樹脂部２２の裏面２２３を覆っている。この構成により、圧力センサ１の周囲に配置された、減圧リークチェックモジュール１０を構成する減圧ポンプ５１のモータ、電磁弁５２のソレノイド等から生じる電磁ノイズが、センサユニット２の裏側Ｌ２からセンサユニット２に到達しにくくすることができる。また、この構成により、減圧ポンプ５１のモータ、電磁弁５２のソレノイド等から生じる熱が、センサユニット２の裏側Ｌ２からセンサユニット２に到達しにくくすることができる。そのため、圧力センサ１が電磁ノイズ及び熱の影響を受けにくくなり、圧力センサ１に検出誤差を生じる要因が少なくなる。

それ故、本形態の蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサ１によれば、圧力の検出精度を高めることができる。

＜実施形態２＞
本形態は、特にケース３の形状が実施形態１の場合と異なる圧力センサ１について示す。本形態の圧力センサ１も、図５～図７に示すように、センサユニット２、ケース３及び封止樹脂４を備える。センサユニット２は、受圧面２１０に加わる流体Ｒの圧力を検出するための受圧部２１と、受圧部２１に設けられるとともに導電性材料によって構成された複数の導通端子２１３と、受圧部２１における、受圧面２１０を除く表面を覆うモールド樹脂部２２とを有する。ケース３及び封止樹脂４の構成は実施形態１の場合と同様である。

モールド樹脂部２２の側面２２２を囲んで収容凹部３２を形成する環状の内壁面３２３は、実施形態１の場合と同様に、導通端子側内壁面３２３Ａと残内壁面３２３Ｂとによって構成されている。残内壁面３２３Ｂを受圧面２１０に垂直な軸方向Ｌに沿った断面によって見たとき、残内壁面３２３Ｂには、受圧面２１０に対して平行な平行段差面３２６が形成されている。

図８に示すように、平行段差面３２６は、収容凹部３２の残内壁面３２３Ｂと封止樹脂４との界面の裏側Ｌ２の露出位置に生じる剥離が、受圧側Ｌ１へ伸展することを防止するためのものである。図７に示すように、平行段差面３２６は、収容凹部３２の内壁面３２３のうち、受圧面２１０に平行な平面内の三方向側に配置された残内壁面３２３Ｂに形成されている。各残内壁面３２３Ｂにおける平行段差面３２６は、受圧面２１０に対して平行に形成されている。

図５及び図６に示すように、各残内壁面３２３Ｂにおける平行段差面３２６、換言すれば平行段差面３２６の全体は、モールド樹脂部２２における裏側Ｌ２に位置する裏面２２３の先端よりも裏側Ｌ２に位置している。また、封止樹脂４は、収容凹部３２内における、各残内壁面３２３Ｂの平行段差面３２６よりも裏側Ｌ２の位置まで充填されている。換言すれば、封止樹脂４の裏側Ｌ２の表面４１は、各残内壁面３２３Ｂの平行段差面３２６よりも裏側Ｌ２に位置する。

封止樹脂４が、平行段差面３２６よりも裏側Ｌ２の位置まで充填されることにより、モールド樹脂部２２の裏側Ｌ２に配置される封止樹脂４の厚みを、一定の厚み以上にすることができる。換言すれば、平行段差面３２６を封止樹脂４の充填位置の目印とし、平行段差面３２６の全体が封止樹脂４の中に埋まれば、封止樹脂４の厚みを一定の厚み以上に確保することができる。

図８に示すように、本形態の残内壁面３２３Ｂは、受圧面２１０に垂直な軸方向Ｌに沿った断面を見たとき、軸方向Ｌの裏側Ｌ２としての収容凹部３２の開口側から順に、第１垂直面３２５、平行段差面３２６、傾斜面３２７及び第２垂直面３２８を有する。第１垂直面３２５は、各残内壁面３２３Ｂの最も裏側Ｌ２に位置するとともに受圧面２１０に対して垂直に形成されている。平行段差面３２６は、各残内壁面３２３Ｂにおける、第１垂直面３２５の受圧側Ｌ１に隣接して形成されている。

傾斜面３２７は、各残内壁面３２３Ｂにおける、平行段差面３２６の受圧側Ｌ１に隣接して受圧側Ｌ１に行くに連れて内側に絞られて形成されている。内側とは、収容凹部３２における、受圧面２１０の平面内の中心側のことをいう。傾斜面３２７は、収容凹部３２の嵌入部３２１内にセンサユニット２を嵌入する際の案内面となる。傾斜面３２７は、図８に示すように、ほとんど形成されていなくてもよく、図９に示すように、センサユニット２の嵌入の案内を適切に行う大きさで形成されていてもよい。

図８及び図９に示すように、第２垂直面３２８は、各残内壁面３２３Ｂにおける、傾斜面３２７の受圧側Ｌ１に隣接して受圧面２１０に対して垂直に形成されている。第２垂直面３２８は、第２垂直面３２８とモールド樹脂部２２の側面２２２との間に封止樹脂４が充填された充填隙間３４を形成する。換言すれば、第２垂直面３２８とモールド樹脂部２２の側面２２２との間には、封止樹脂４が充填された充填隙間３４が形成されている。また、図６に示すように、導通端子側内壁面３２３Ａは、受圧面２１０に対して垂直に形成されている。

（作用効果）
本形態の蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサ１においては、収容凹部３２内に充填された封止樹脂４は、モールド樹脂部２２における、収容凹部３２内に配置される表面部位、換言すれば、モールド樹脂部２２の側面２２２の裏側部位２２２Ｂ及びモールド樹脂部２２の裏面２２３の全体を覆っている。この構成により、センサユニット２の周辺においては、センサユニット２のモールド樹脂部２２と封止樹脂４との界面は外部に露出せず、ケース３と封止樹脂４との界面のみが外部に露出する。

そして、センサユニット２のモールド樹脂部２２の側面２２２を囲んで収容凹部３２を形成する、導通端子側内壁面３２３Ａを除く３つの残内壁面３２３Ｂには、平行段差面３２６が形成されている。この構成により、仮に、ケース３の残内壁面３２３Ｂの第１垂直面３２５と、第１垂直面３２５に対向する封止樹脂４との界面に剥離が発生したときであっても、この剥離の伸展を、平行段差面３２６によって阻害することができる。

図８においては、第１垂直面３２５と封止樹脂４との界面に剥離が発生した場合を二点鎖線Ｘによって示す。この場合には、剥離によって封止樹脂４が第１垂直面３２５から離れるものの、第１垂直面３２５から封止樹脂４が離れる量は、受圧側Ｌ１に行くに連れて小さくなる。そして、封止樹脂４が、第１垂直面３２５に対して受圧部２１の受圧面２１０に平行な方向（軸方向Ｌに垂直な方向）に離れようとするときには、平行段差面３２６に対向する封止樹脂４が、平行段差面３２６から離れにくい状態が形成される。これにより、仮に、第１垂直面３２５と封止樹脂４との間に剥離が発生したとしても、この剥離の伸展が阻止される。

それ故、本形態の蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサ１によれば、第１垂直面３２５と封止樹脂４との界面に生じる剥離の伸展を防止して、圧力センサ１における気密性を十分に確保することができる。

（傾斜段差面３２６Ｘ）
図１０に示すように、各残内壁面３２３Ｂには、平行段差面３２６が形成される代わりに、受圧面２１０に対して傾斜する９０°未満の内角θを有する傾斜段差面３２６Ｘが形成されていてもよい。内角θとは、第１垂直面３２５と傾斜段差面３２６Ｘとの間の角度のことをいう。第１垂直面３２５と傾斜段差面３２６Ｘとの間に鋭角状の内角θが形成されることにより、平行段差面３２６の場合と同様に、第１垂直面３２５と封止樹脂４との間に生じた剥離が受圧側Ｌ１に向けて進展することが防止される。

なお、収容凹部３２の各残内壁面３２３Ｂにおいて、第１垂直面３２５と平行段差面３２６との間には、傾斜面３２７が形成されていなくてもよい。そして、収容凹部３２の裏側Ｌ２から順に、第１垂直面３２５、平行段差面３２６及び第２垂直面３２８が形成されていてもよい。この場合には、傾斜面３２７によるセンサユニット２の嵌入部３２１への案内はできないものの、平行段差面３２６による剥離の伸展を防止する効果を得ることができる。この場合にも、平行段差面３２６の代わりに傾斜段差面３２６Ｘが形成されていてもよい。

また、平行段差面３２６又は傾斜段差面３２６Ｘは、導通端子側内壁面３２３Ａに形成されていてもよい。この場合には、導通端子側内壁面３２３Ａと封止樹脂４との界面に剥離が発生したときであっても、この剥離の伸展を平行段差面３２６又は傾斜段差面３２６Ｘによって阻害することができる。また、平行段差面３２６又は傾斜段差面３２６Ｘは、残内壁面３２３Ｂの一部のみに形成されていてもよい。

本形態の圧力センサ１における、その他の構成、作用効果等については、実施形態１の場合と同様である。また、本形態においても、実施形態１に示した符号と同一の符号が示す構成要素は、実施形態１の場合と同様である。

＜実施形態３＞
本形態は、特にケース３の形状が実施形態１，２の場合と異なる圧力センサ１について示す。本形態の圧力センサ１も、図１１～図１３に示すように、センサユニット２、ケース３及び封止樹脂４を備える。本形態の収容凹部３２の各残内壁面３２３Ｂは、受圧面２１０に垂直な軸方向Ｌに沿った断面を見たとき、受圧側Ｌ１に行くに連れて内側に絞られる傾斜面３２７と、傾斜面３２７の受圧側Ｌ１に隣接してモールド樹脂部２２の側面２２２との間に封止樹脂４が充填された充填隙間３４を形成する第２垂直面３２８とを有する。傾斜面３２７及び第２垂直面３２８は、互いに交差する複数の残内壁面３２３Ｂに形成されている。

充填隙間３４は、受圧側Ｌ１と裏側Ｌ２との軸方向Ｌにおいて、厚みの変化量が例えば０．５ｍｍの範囲内になるよう、均一な厚みに形成されていてもよい。また、充填隙間３４は、例えば、０．５～２ｍｍの厚みの範囲内で形成されていてもよい。

本形態においては、図１４に示すように、受圧面２１０に垂直な軸方向Ｌに沿った断面を見たとき、傾斜面３２７の受圧側Ｌ１の端部３２７Ａは、モールド樹脂部２２の受圧面２１０に平行な平面内の外縁部２２４よりも裏側Ｌ２に位置している。端部３２９と外縁部２２４との軸方向Ｌの位置の差を符号Ｓによって示す。これにより、センサユニット２のモールド樹脂部２２は、収容凹部３２の嵌入部３２１内に嵌入されるときに、傾斜面３２７によって正規の嵌入位置に案内を受けた後に、嵌入部３２１内に嵌入される。

封止樹脂４は、各残内壁面３２３Ｂの傾斜面３２７の裏側Ｌ２の端部３２７Ｂよりも裏側Ｌ２にまで充填されている。換言すれば、封止樹脂４の裏側Ｌ２の表面４１は、傾斜面３２７の裏側Ｌ２の端部３２７Ｂよりも裏側Ｌ２に位置する。そして、各残内壁面３２３Ｂの傾斜面３２７の全体は、封止樹脂４内に埋設されている。

また、図１１及び図１２に示すように、封止樹脂４は、モールド樹脂部２２の側面２２２における、受圧側部位２２２Ａを除く裏側部位２２２Ｂと、モールド樹脂部２２の裏面２２３との全体を覆っている。封止樹脂４が、傾斜面３２７の全体よりも裏側Ｌ２の位置まで充填されることにより、モールド樹脂部２２の裏側Ｌ２に配置される封止樹脂４の厚みを、一定の厚み以上にすることができる。

図１４に示すように、本形態の収容凹部３２の残内壁面３２３Ｂは、受圧面２１０に垂直な軸方向Ｌに沿った断面を見たとき、収容凹部３２の裏側Ｌ２から順に、第１垂直面３２５、傾斜面３２７及び第２垂直面３２８を有する。第１垂直面３２５、傾斜面３２７及び第２垂直面３２８の構成は、実施形態２の場合と同様である。なお、第１垂直面３２５と傾斜面３２７との間には、図８～図１０に示すように、平行段差面３２６又は傾斜段差面３２６Ｘが形成されていてもよい。

（作用効果）
本形態の蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサ１においては、収容凹部３２内に充填された封止樹脂４は、モールド樹脂部２２における、収容凹部３２内に配置される表面部位としての、側面２２２の裏側部位２２２Ｂ及び裏面２２３を覆っている。この構成により、圧力センサ１の周囲に配置された、減圧リークチェックモジュール１０を構成する減圧ポンプ５１のモータ、電磁弁５２のソレノイド等から生じる電磁ノイズ、熱等が、センサユニット２の裏側Ｌ２からセンサユニット２に到達しにくくすることができる。

また、センサユニット２のモールド樹脂部２２の側面２２２を囲んで収容凹部３２を形成する、導通端子側内壁面３２３Ａを除く残内壁面３２３Ｂは、受圧面２１０に垂直な軸方向Ｌに沿った断面を見たとき、受圧側Ｌ１に行くに連れて内側に絞られる傾斜面３２７と、封止樹脂４が充填された充填隙間３４を形成する第２垂直面３２８とを有する。この構成により、モールド樹脂部２２の側面２２２と第２垂直面３２８との充填隙間３４に充填された封止樹脂４の厚みは、受圧側Ｌ１と裏側Ｌ２との軸方向Ｌにおいてほぼ均一にすることができる。

図１４においては、充填隙間３４に充填された封止樹脂４の厚みは、モールド樹脂部２２の側面２２２の裏側部位２２２Ｂにおける軸方向Ｌのテーパ形状を受けて若干変化している。ただし、充填隙間３４に充填された封止樹脂４の厚みの変化量は、傾斜面３２７の傾斜角度による封止樹脂４の幅の変化量に比べると小さい。

充填隙間３４に充填された封止樹脂４の厚みがほぼ均一である構成により、圧力センサ１が加熱・冷却されたときに、封止樹脂４からセンサユニット２に、軸方向Ｌに直交する方向に加わる熱応力が、軸方向Ｌの各部位においてほぼ均一になる。

本形態においては、封止樹脂４の線膨張係数は、センサユニット２のモールド樹脂部２２の線膨張係数よりも大きい。そして、圧力センサ１が加熱されたときには、モールド樹脂部２２の膨張量に比べて封止樹脂４の膨張量が大きくなり、充填隙間３４に充填された封止樹脂４から、受圧部２１及びモールド樹脂部２２を含むセンサユニット２に熱応力が作用する。このとき、熱応力は、この封止樹脂４の厚みに比例することになる。そのため、充填隙間３４に充填された封止樹脂４の厚みをほぼ均一にすることにより、この封止樹脂４からセンサユニット２に作用する熱応力をほぼ均一にすることができる。こうして、センサユニット２に加わる熱応力がほぼ均一となり、センサユニット２に生じる不均一な変形を防ぐことができる。

それ故、本形態の蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサ１によれば、センサユニット２の変形に伴って受圧部２１に作用する応力を低減することができ、受圧部２１による圧力の検出に誤差が生じにくくすることができる。

また、傾斜面３２７によってセンサユニット２を収容凹部３２の嵌入部３２１内に案内するためには、傾斜面３２７及び垂直面３２８は、互いに直交する２つの残内壁面３２３Ｂに少なくとも形成されていればよい。互いに直交する２つの残内壁面３２３Ｂの傾斜面３２７があれば、嵌入部３２１に対する、センサユニット２の、受圧面２１０に平行な平面内の位置を調整することができる。

本形態の圧力センサ１における、その他の構成、作用効果等については、実施形態１，２の場合と同様である。また、本形態においても、実施形態１，２に示した符号と同一の符号が示す構成要素は、実施形態１，２の場合と同様である。

＜実施形態４＞
本形態は、特にケース３の形状が実施形態１～３の場合と異なる圧力センサ１について示す。本形態の圧力センサ１も、図１５～図１８に示すように、センサユニット２、ケース３及び封止樹脂４を備える。本形態の収容凹部３２の受圧側Ｌ１の底部には、受圧面２１０の外形よりも大きな外形を有するバッファ凹部３５が形成されている。バッファ凹部３５は、収容凹部３２の受圧側Ｌ１に連続して形成されており、収容凹部３２の嵌入部３２１内にセンサユニット２が嵌入された状態において、センサユニット２よりも受圧側Ｌ１に配置される。

図１５、図１６及び図１８に示すように、流体流路３１の裏側Ｌ２の開口端部の外縁には、裏側Ｌ２に向けてバッファ凹部３５内に突出する突出筒部３６が形成されている。バッファ凹部３５は、突出筒部３６の周りに環状に形成されている。バッファ凹部３５は、流体流路３１の裏側Ｌ２の開口端部の外縁に突出筒部３６を形成するために、収容凹部３２を受圧側Ｌ１に深く形成したものということができる。突出筒部３６は、筒形状を有しており、突出筒部３６が形成された分だけ、流体流路３１が裏側Ｌ２に長く形成されている。

図１５及び図１８に示すように、収容凹部３２の受圧側Ｌ１の底部であってバッファ凹部３５が形成されていない部位には、センサユニット２のモールド樹脂部２２と対向する底面３５１が形成されている。バッファ凹部３５は、突出筒部３６の周りを囲む種々の形状に形成することができる。

図１５及び図１６に示すように、センサユニット２の受圧部２１の受圧面２１０は、モールド樹脂部２２の受圧側Ｌ１の端面２２１よりも裏側Ｌ２に位置している。そして、受圧部２１の受圧面２１０は、裏側Ｌ２に向けてモールド樹脂部２２の内部に引き込まれた状態にある。また、受圧部２１は、モールド樹脂部２２に囲まれて保護される。

突出筒部３６の裏側Ｌ２の端部と、センサユニット２の受圧側Ｌ１の端面との間には、流体Ｒが通過する流体通過用隙間３７が形成されている。この流体通過用隙間３７の軸方向Ｌの幅は、突出筒部３６の形成によって、モールド樹脂部２２の受圧側Ｌ１の端面２２１からバッファ凹部３５の受圧側Ｌ１の底面までの深さに比べて小さい。

図１５～図１７に示すように、本形態のモールド樹脂部２２における受圧側Ｌ１の端部の周囲と、収容凹部３２の三方向側の残内壁面３２３Ｂとの間には嵌入用隙間３９が形成されている。モールド樹脂部２２の受圧側部位２２２Ａは、収容凹部３２の嵌入部３２１に形成された凸部３８に案内されて収容凹部３２の嵌入部３２１内に嵌入されている。ケース３を成形する成形型の調整によって、凸部３８の形状を変更することは容易である。そのため、嵌入用隙間３９の大きさの管理が容易となる。

（作用効果）
本形態の蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサ１においては、収容凹部３２の受圧側Ｌ１の底部であって収容凹部３２と流体流路３１との間に、バッファ凹部３５が形成されている。また、流体流路３１の裏側Ｌ２の開口端部の外縁には、裏側Ｌ２に向けてバッファ凹部３５内に突出する突出筒部３６が形成されている。

そして、センサユニット２が配置された収容凹部３２内に封止樹脂４が充填されるときに、封止樹脂４の一部が、収容凹部３２から嵌入用隙間３９を通って流体流路３１の側へ流出することがあったとしても、この封止樹脂４の一部の流れが突出筒部３６によって堰止めされ、この封止樹脂４の一部をバッファ凹部３５に溜めることができる。これにより、封止樹脂４の一部が流体流路３１まで流出することが防止される。

仮に、封止樹脂４の一部が流体流路３１まで流出した場合には、流体流路３１の通気抵抗が増大し、圧力センサ１による検出の応答性の低下が懸念される。また、この場合には、封止樹脂４の一部によってオリフィス５４１が閉塞されることも懸念される。そして、減圧リークチェックモジュール１０によるリークチェックの検出精度の低下が懸念される。

これらの懸念は、封止樹脂４がバッファ凹部３５に溜められることによって払拭される。そして、収容凹部３２から流体流路３１の側に流出した封止樹脂４が、オリフィス５４１を閉塞すること、及び受圧部２１の受圧面２１０に付着すること等が防止される。これにより、圧力センサ１による応答性の低下、検出誤差の発生等が抑制される。そのため、減圧リークチェックモジュール１０によるリークチェックの検出精度が確保される。また、封止樹脂４をバッファ凹部３５によって溜めることができるため、収容凹部３２から流体流路３１の側への封止樹脂４の一定量の流出を許容することができる。

また、モールド樹脂部２２の側面２２２における受圧側部位２２２Ａが収容凹部３２内に嵌入された構成により、従来の圧力センサに用いられる、モールド樹脂部２２と収容凹部３２との凹凸の嵌め合い構造を採用しなくてもよい。これにより、モールド樹脂部２２を欠損等から保護することができる。

それ故、本形態の蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサ１によれば、センサユニット２のモールド樹脂部２２を保護して、収容凹部３２から封止樹脂４が流出した場合であっても、圧力の検出に影響を与えないようにすることができる。

本形態の圧力センサ１における、その他の構成、作用効果等については、実施形態１～３の場合と同様である。また、本形態においても、実施形態１～３に示した符号と同一の符号が示す構成要素は、実施形態１～３の場合と同様である。

実施形態１～４においては、減圧リークチェックモジュール１０を用いる場合について示した。圧力センサ１は、これ以外にも、加圧状態においてリークチェックを行う正圧リークチェックモジュールに適用してもよい。

本発明は、各実施形態のみに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲においてさらに異なる実施形態を構成することが可能である。また、本発明は、様々な変形例、均等範囲内の変形例等を含む。さらに、本発明から想定される様々な構成要素の組み合わせ、形態等も本発明の技術思想に含まれる。

１圧力センサ
２センサユニット
２１受圧部
２１０受圧面
２２モールド樹脂部
３ケース
３１流体流路
３２収容凹部
４封止樹脂

Claims

燃料タンク（６１）と、前記燃料タンクから排出される蒸発燃料を吸着するキャニスタ（６２）とを備える蒸発燃料処理装置（６）における前記蒸発燃料の漏れを検査する蒸発燃料漏れ検査装置を構成する圧力センサ（１）であって、
受圧面（２１０）に加わる流体（Ｒ）の圧力を検出するための受圧部（２１）、前記受圧部に設けられるとともに導電性材料によって構成された複数の導通端子（２１３）、及び前記受圧部における、前記受圧面を除く表面を覆うモールド樹脂部（２２）を有するセンサユニット（２）と、
前記受圧面に前記流体を導入するための流体流路（３１）、及び前記流体流路に繋がって前記センサユニットが収容された収容凹部（３２）が形成されたケース（３）と、
前記センサユニットが収容された前記収容凹部内に充填され、前記モールド樹脂部における、前記収容凹部内に配置される表面部位を覆う封止樹脂（４）と、を備え、
前記モールド樹脂部の側面（２２２）を囲んで前記収容凹部を形成する環状の内壁面（３２３）には、前記受圧面に垂直な方向に沿った断面を見たとき、前記受圧面に対して平行な平行段差面（３２６）、又は前記受圧面に対して傾斜する９０°未満の内角（θ）を有する傾斜段差面（３２６Ｘ）が形成されており、
前記平行段差面又は前記傾斜段差面は、環状の前記内壁面のうち、複数の前記導通端子が配置された側に位置する導通端子側内壁面（３２３Ａ）を除く残りの残内壁面（３２３Ｂ）に形成されている、蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサ。
前記収容凹部における、前記受圧面が配置される側を受圧側（Ｌ１）とし、前記収容凹部における、前記受圧側の反対側を裏側（Ｌ２）としたとき、
前記平行段差面又は前記傾斜段差面は、前記モールド樹脂部における、前記裏側の先端（２２３Ａ）よりも前記裏側に位置しており、
前記封止樹脂は、前記収容凹部内における、前記平行段差面又は前記傾斜段差面よりも前記裏側の位置まで充填されている、請求項１に記載の蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサ。
前記残内壁面は、前記受圧面に垂直な方向に沿った断面を見たとき、
最も前記裏側に位置するとともに前記受圧面に対して垂直な第１垂直面（３２５）と、
前記第１垂直面の前記受圧側に隣接する前記平行段差面又は前記傾斜段差面と、
前記平行段差面又は前記傾斜段差面の前記受圧側に隣接して前記受圧側に行くに連れて内側に絞られる傾斜面（３２７）と、
前記傾斜面の前記受圧側に隣接して前記モールド樹脂部の側面との間に前記封止樹脂が充填された隙間（３４）を形成する、前記受圧面に対して垂直な第２垂直面（３２８）とを有する、請求項２に記載の蒸発燃料漏れ検査装置の圧力センサ。