JP4271190B2 - 均一性補正装置 - Google Patents
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Description
これまで本発明の様々な実施形態について説明してきたが、それらは例示にすぎず、限定を意味するものではないと解釈すべきである。形態や詳細について本発明の範囲を逸脱することなく種々の変更を行えることは、当業者にとって自明である。したがって本発明の範囲は上述の実施形態によって制限されるものではなく、以下の特許請求の範囲によってのみ規定される。
120 均一性補正装置
130 コントラスト装置
150 投影光学系
160 基板ステージ
165 基板
180 結像面
220,222 補正部材
250 光学的補償プレート
Claims (20)
- 照射均一性補正装置において、
複数の補正部材が設けられており、各補正部材は隣り合う補正部材とギャップによって分離されており、
該複数の補正部材に対し平行に光学的補償プレートが設けられており、
該光学的補償プレートは所定の減衰度をもつパターンを有しており、該パターンには複数のギャップ補償セグメントが含まれており、各ギャップ補償セグメントは隣り合う補正部材間のギャップの1つに対応しており、
前記光学的補償プレートにおける該ギャップ補償セグメントの位置は、照射スロット内の隣り合う補正部材間の相応のギャップの位置に対応していることを特徴とする、
照射均一性補正装置。 - 請求項1記載の照射均一性補正装置において、
各ギャップ補償セグメントの幅は、該照射均一性補正装置に入射する光の角度に依存することを特徴とする照射均一性補正装置。 - 請求項1記載の照射均一性補正装置において、
各ギャップ補償セグメントの幅は、前記ギャップ補償セグメントに対応するギャップの幅よりも大きいことを特徴とする照射均一性補正装置。 - 請求項1記載の照射均一性補正装置において、
各ギャップ補償セグメントは、前記光学的補償プレートの第1の側から該光学的補償プレートの第2の側まで延在していることを特徴とする照射均一性補正装置。 - 請求項1記載の照射均一性補正装置において、
前記パターンの減衰度は前記光学的補償プレートの減衰度よりも大きいことを特徴とする照射均一性補正装置。 - 請求項1記載の照射均一性補正装置において、
前記光学的補償プレートは第1の面と第2の面を有しており、前記パターンは第1の面に設けられていることを特徴とする照射均一性補正装置。 - 請求項1記載の照射均一性補正装置において、
前記光学的補償プレートは第1の面と第2の面を有しており、前記パターンは第2の面に設けられていることを特徴とする照射均一性補正装置。 - 請求項1記載の照射均一性補正装置において、
前記光学的補償プレートは前記複数の補正部材の下方に配置されていることを特徴とする照射均一性補正装置。 - 請求項1記載の照射均一性補正装置において、
前記光学的補償プレートは前記複数の補正部材の上方に配置されていることを特徴とする照射均一性補正装置。 - 請求項1記載の照射均一性補正装置において、
第1の複数の補正部材は第1の面の第1の側に配置されており、第2の複数の補正部材は前記第1の面の第2の側に配置されており、
前記照射スロットは第1の方向軸と第2の方向軸により定義され、
前記第1の複数の補正部材は前記第1の方向軸に対し第1の角度で挿入されており、前記第2の複数の補正部材は前記第2の方向軸に対し第2の角度で挿入されていることを特徴とする照射均一性補正装置。 - 請求項10記載の照射均一性補正装置において、
前記光学的補償プレートは第3の方向軸と第4の方向軸を有しており、前記第3の方向軸は前記照射スロットの第1の方向軸と等しく、前記第4の方向軸は前記照射スロットの第2の方向軸と等しく、
第1の複数のギャップ補償セグメントは前記第3の方向軸に対し第1の角度を成しており、第2の複数のギャップ補償セグメントは前記第4の方向軸に対し第2の角度を成していることを特徴とする照射均一性補正装置。 - 照射均一性補正装置において、
補正スロット内で可動である複数の補正部材が設けられており、各補正部材は隣り合う補正部材とギャップによって分離されており、各補正部材は第2の平面に第1の表面を有しており、
該第2の平面に平行に光学的補償プレートが設けられており、
該光学的補償プレートは所定の減衰度をもつパターンを有しており、該パターンには複数のギャップ補償セグメントが含まれており、各ギャップ補償セグメントは隣り合う補正部材間のギャップの1つに対応しており、
隣り合う補正部材間の各ギャップについて、ギャップの中心軸は第1の平面と前記第2の平面との交点により規定され、ギャップに対応するギャップ補償セグメントの中心軸は、前記第1の平面と前記光学的補償プレートとの交点により定義される線とほぼ一致していることを特徴とする、
照射均一性補正装置。 - 請求項12記載の照射均一性補正装置において、
各ギャップ補償セグメントの幅は、該照射均一性補正装置に入射する光の角度に依存することを特徴とする照射均一性補正装置。 - 請求項12記載の照射均一性補正装置において、
各ギャップ補償セグメントの幅は、前記ギャップ補償セグメントに対応するギャップの幅よりも大きいことを特徴とする照射均一性補正装置。 - 請求項12記載の照射均一性補正装置において、
各ギャップ補償セグメントは、前記光学的補償プレートの第1の側から該光学的補償プレートの第2の側まで延在していることを特徴とする照射均一性補正装置。 - 請求項12記載の照射均一性補正装置において、
前記パターンの減衰度は前記光学的補償プレートの減衰度よりも大きいことを特徴とする照射均一性補正装置。 - 照射均一性補正装置において、
照射スロット内で可動である複数の補正部材が設けられており、各補正部材は隣り合う補正部材とギャップによって分離されており、
光学的補償プレートが設けられており、
該光学的補償プレートは所定の減衰度をもつパターンを有しており、該パターンは複数のパターンセグメントを有しており、
前記光学的補償プレートにおける該パターンの配置は、各補正部材が前記照射スロットに最大深さまで挿入されたときの隣り合う補正部材間のギャップの配置に対応することを特徴とする、
照射均一性補正装置。 - 請求項17記載の照射均一性補正装置において、
前記パターンの減衰度は前記光学的補償プレートの減衰度よりも大きいことを特徴とする照射均一性補正装置。 - 請求項17記載の照射均一性補正装置において、
前記光学的補償プレートは前記複数の補正部材の下方に配置されていることを特徴とする照射均一性補正装置。 - 請求項17記載の照射均一性補正装置において、
前記光学的補償プレートは前記複数の補正部材の上方に配置されていることを特徴とする照射均一性補正装置。
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