JP4242330B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
半導体装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4242330B2 JP4242330B2 JP2004256771A JP2004256771A JP4242330B2 JP 4242330 B2 JP4242330 B2 JP 4242330B2 JP 2004256771 A JP2004256771 A JP 2004256771A JP 2004256771 A JP2004256771 A JP 2004256771A JP 4242330 B2 JP4242330 B2 JP 4242330B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- silicon oxide
- oxide film
- etching
- bit line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Memories (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
Description
2 ONO膜(上部酸化シリコン膜/窒化シリコン膜/下部酸化シリコン膜)
3 マスク
4 不純物拡散層
5 サイドエッチ領域
6 上部酸化シリコン膜薄膜化領域
7 バーズビーク端
8 ビットライン酸化膜
Claims (7)
- 半導体基板上に下方より順に形成された下部酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、上部酸化シリコン膜からなるゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜に隣接して前記半導体基板中に形成された不純物拡散層と、
前記不純物拡散層上に形成され、前記ゲート絶縁膜に隣接する絶縁膜とを備え、
前記ゲート絶縁膜とこれに隣接する前記絶縁膜との境界領域において、前記窒化シリコン膜の端部が前記上部酸化シリコン膜の端部よりも後退して形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 半導体基板上に下方より順に下部酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、上部酸化シリコン膜からなるゲート絶縁膜を構成するONO膜を形成する工程と、
前記ONO膜上におけるビットライン不純物拡散層上のビットライン絶縁膜形成領域を開口したマスクパターンを形成し、少なくとも前記上部酸化シリコン膜を除去するように前記マスクパターンの開口部をエッチングする工程と、
前記開口部において露出した前記窒化シリコン膜を選択的にエッチングしてサイドエッチを入れる工程と、
前記窒化シリコン膜にサイドエッチを入れた半導体基板を熱酸化して前記開口部に前記ビットライン絶縁膜を形成する工程とを含む半導体装置の製造方法。 - 前記開口部をエッチングする工程では、前記上部酸化シリコン膜と、前記窒化シリコン膜の少なくとも一部を除去する請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記開口部をエッチングする工程では、前記上部酸化シリコン膜と、前記窒化シリコン膜と、前記下部酸化シリコン膜の少なくとも一部を除去する請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記窒化シリコン膜にサイドエッチを入れる工程では、100℃〜200℃のりん酸を用いてサイドエッチを入れる請求項2,3または4記載の半導体装置の製造方法。
- 前記窒化シリコン膜にサイドエッチを入れる工程では、等方性プラズマエッチングを用いてサイドエッチを入れる請求項2,3または4記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ONO膜上にビットライン不純物拡散層上のビットライン絶縁膜形成領域を開口したマスクパターンを形成後、前記開口部に前記ビットライン絶縁膜を形成するまでの間に、前記開口部から不純物を導入し、前記半導体基板中に不純物拡散層を形成する工程を含む請求項2,3,4,5または6記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004256771A JP4242330B2 (ja) | 2004-09-03 | 2004-09-03 | 半導体装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004256771A JP4242330B2 (ja) | 2004-09-03 | 2004-09-03 | 半導体装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006073858A JP2006073858A (ja) | 2006-03-16 |
JP4242330B2 true JP4242330B2 (ja) | 2009-03-25 |
Family
ID=36154130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004256771A Expired - Fee Related JP4242330B2 (ja) | 2004-09-03 | 2004-09-03 | 半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4242330B2 (ja) |
-
2004
- 2004-09-03 JP JP2004256771A patent/JP4242330B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006073858A (ja) | 2006-03-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7132349B2 (en) | Methods of forming integrated circuits structures including epitaxial silicon layers in active regions | |
JP2002208629A (ja) | 半導体装置、及び、半導体装置の製造方法 | |
JP2013089859A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2006019661A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2007019468A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2004039734A (ja) | 素子分離膜の形成方法 | |
JP5274878B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US6974999B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
JPH10233392A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4836730B2 (ja) | 半導体装置、およびその製造方法 | |
JP4242330B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP4672197B2 (ja) | 半導体記憶装置の製造方法 | |
JP4391354B2 (ja) | 側壁方式を用いたフラッシュメモリの形成方法 | |
JP2007109888A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4191203B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2005012104A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2005317736A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US7585736B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device with regard to film thickness of gate oxide film | |
JP2005166714A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010027688A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2006024605A (ja) | 半導体集積回路装置の製造方法 | |
TWI635599B (zh) | 記憶元件的製造方法 | |
JP2001102570A (ja) | 半導体トランジスタ及びその製造方法 | |
JP5458547B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4631863B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060727 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080729 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080911 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081021 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081024 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081202 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081224 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |