JP4237866B2 - 半導体製品の歩留り予測方法およびその装置 - Google Patents
半導体製品の歩留り予測方法およびその装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4237866B2 JP4237866B2 JP12047499A JP12047499A JP4237866B2 JP 4237866 B2 JP4237866 B2 JP 4237866B2 JP 12047499 A JP12047499 A JP 12047499A JP 12047499 A JP12047499 A JP 12047499A JP 4237866 B2 JP4237866 B2 JP 4237866B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- yield
- defect
- failure
- semiconductor chip
- cause
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/20—Sequence of activities consisting of a plurality of measurements, corrections, marking or sorting steps
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製品の歩留り予測方法およびその装置に係わり、特に、半導体製品の製造歩留りを向上させるための歩留り予測方法およびその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製品における歩留りの予測方法として、特開平9−74056号公報のものが知られているが、この方法によれば、半導体製造装置内で発生する異物によって、半導体チップ上の配線等のパターン要素同士が短絡する数をシミュレーションし、半導体製品の歩留り予測を行っている。この方法では製品製造前に製品単位での歩留り予測が可能であり、採算性の検討や、異物除去の管理等を重点的に行うべき半導体製造装置を特定するのに有効である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の歩留り予測方法は、実際の製造工程中に発生している種々の複数の不良を対象とするものでなく、また、不良対策によって歩留りがどの程度向上するものかを予測することは意図されていない。通常、半導体デバイスの製造工程数は多く、発生する不良の種類も多い。それらの不良対策は、製造工程数が多く、一度に全ての不良対策を実施することはできないため、優先順位をつけて不良対策を行う必要がある。この優先順位を判断するためにも、採用された不良対策による歩留りがどの程度向上するものであるかを予測し、定量的な判断材料を提供する必要がある。
【0004】
本発明の目的は、歩留りをより早期に向上させる不良対策の優先順位付けを可能にした半導体製品の歩留り予測方法を提供することにある。また、本発明の他の目的は、前記歩留り予測手法を用いた半導体製品の歩留り予測装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を解決するために、次のような手段を採用した。
【0006】
半導体製品の歩留り予測方法において、半導体チップ上に存在する不良を検査する工程と、検出された不良に基づいて不良原因を特定する工程と、前記不良原因のうち所定の不良原因が除去されたことが仮想された半導体チップ情報に基づいて歩留りを算出する工程とからなることを特徴とする。
【0007】
また、半導体製品の歩留り予測方法において、半導体チップ上に存在する不良を検査する工程と、検出された不良を所定の不良モードに分類し、分類された不良モードから不良原因を特定する工程と、前記不良原因のうち所定の不良原因が除去されたことが仮想された半導体チップ情報を生成する工程と、前記仮想された半導体チップ情報に基づいて歩留りを算出する工程と、前記算出された予測歩留りを表示する工程と、前記表示された予測歩留りを参照して除去すべき不良原因を選択する工程とからなることを特徴とする。
【0008】
また、請求項1ないしは請求項2のいずれか1つの請求項に記載の半導体製品の歩留り予測方法において、前記歩留りを算出する工程は、前記仮想された半導体チップ情報とともに、半導体製品の良品化への救済処置情報とに基づいて歩留りを算出することを特徴とする。
【0009】
また、半導体製品の歩留り予測装置において、半導体チップ上に存在する不良を検査する検査手段と、検出された不良に基づいて特定された不良原因のうち、所定の不良原因が除去されたことが仮想された半導体チップ情報に基づいて歩留りを予測する歩留り算出手段とからなることを特徴とする。
【0010】
また、請求項4に記載の半導体製品の歩留り予測装置において、前記歩留り算出手段は、検出された不良を所定の不良モードに分類する不良モード分類手段と、分類された不良モードから不良原因を特定する不良原因判定手段と、前記特定された不良原因のうち所定の不良原因を除去して仮想される半導体チップ情報を生成する仮想半導体チップ情報生成手段と、前記仮想された半導体チップ情報に基づいて歩留りを予測する算出手段と、前記予測された歩留りを表示する表示手段と、からなることを特徴とする。
【0011】
また、請求項5に記載の半導体製品の歩留り予測装置において、前記算出手段は、前記仮想された半導体チップ情報および半導体製品の良品化への救済処置情報とに基づいて歩留りを算出することを特徴とする。
【0012】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製品の歩留り予測方法およびその装置に係わり、特に、半導体製品の製造歩留りを向上させるための歩留り予測方法およびその装置に関する。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の一実施形態を図面を用いて説明する。
【0014】
図1は、本実施形態に係る半導体製品の製造装置および歩留り予測装置の概要を示す図である。
【0015】
同図において、101は半導体製品の製造装置、102は製造装置101によって製造された半導体チップの電気特性を検査する電気特性検査装置、103は電気特性検査装置から送られてきたデータに基づいて、半導体製品の歩留りを予測する予測歩留り算出装置、104は予測歩留り算出部、105は予測歩留り算出部105で予測された歩留りをディスプレイ等に表示またはプリンタ等に出力する予測歩留り表示・出力部である。
【0016】
同図に示すように、半導体製品は複数の製造装置101を経て、製造工程の最後において電気特性検査装置102によって電気特性が検査される。電気特性検査では、半導体ウェーハ上に出現する不良ビットが検出され、不良ビットの分布が明らかにされる。この検査から得られたデータはネットワーク等を介して、予測歩留り算出装置103に送出され、蓄積ないしは表示される。蓄積されたデータは予測歩留り算出部104において、半導体ウェーハ上の複数の種々の不良ビットから複数の不良原因を特定し、特定された不良原因の中から所定の不良原因が取り除かれ対策されたと仮想された仮想ウェーハについて予測歩留りが算出される。算出された予測歩留りは予測歩留り表示・出力部105に表示・出力される。
【0017】
図2は、図1に示す予測歩留り算出部104の詳細な構成を示す図である。
【0018】
同図において、予測歩留り算出部104は、電気特性検査装置102から送られた不良ビット分布を、不良パターン管理部202に登録されている不良モードに従って分類して不良モードの出現数および出現場所を算出すると共に、分類された不良モードの組み合わせから不良原因を特定する不良パターン認識部201と、各種の不良モードおよび不良モードの組み合わせから特定される複数種類の不良原因が登録されている不良パターン管理部202と、提示された不良原因の中から所定の不良原因を選択して対策処理し、特定の不良原因が取り除かれた時に仮想される仮想不良パターンを生成する仮想不良パターン生成部203と、仮想された仮想不良パターンに基づいて歩留りを予測する歩留り予測部204とから構成され、さらに予測歩留り表示・出力部105は表示部205および出力部206から構成されている。
【0019】
図3は、図2に示す不良パターン管理部202に登録され、不良パターン認識部201に入力された不良パターンを分類する不良モードの一覧表を示す図である。
【0020】
同図に示すように、不良モード301は半導体製品の構造から予想される不良ビットの出現パターンが種類分けされており、あらかじめ複数の不良モードとして定義され、それぞれに名称302を有する。例えば、十字型に不良ビット303が出現するものや、孤立した不良ビット304が出現するもの等が分類されている。
【0021】
図4は、同じく、不良パターン管理部202に登録され、不良パターン認識部201において、分類分けされた不良モードの組み合わせから不良原因を特定するための不良原因の一覧表を示す図である。
【0022】
同図に示すように、不良原因は、その不良原因を特徴付ける不良モードの1種類ないし2種類以上の組み合わせによって定義されており、不良原因名称401が図3に示す不良モード名称302の組み合わせ402によって表わされる。この不良原因には、製品毎にその出現が予想される不良モードに応じて登録されており、具体的な不良原因としては、製造装置101における電源部の不良、アンプ部の不良、電荷容量不良等がある。これらの不良原因はそれぞれ半導体製品の種類、製品の種類によって不良ビットの出現パターンが異なる。
【0023】
図5は予測歩留り算出部104の各処理過程における半導体ウェーハの1チップ上の不良ビット分布の模式図である。
【0024】
図5(a)は電気特性検査装置102で検出され不良パターン認識部201に入力されたフェイルビット発生分布501を示す図であり、図5(b)は不良パターン認識部201に登録されている不良モードによって分類され不良原因が特定されたフェイルビット分布502を示す図であり、図5(c)は不良対策処理が施されたと仮想されたフェイルビット分布503を示す図で、これは解析スタッフによって指定された不良原因にあたる不良モードをすべてフェイルビット分布502から取り除いたものである。
【0025】
図6は予測歩留り算出部104の各処理過程における各種の判定結果を示す図である。
【0026】
図6(a)は不良パターン認識部201において、電気特性検査装置102から入力された不良パターンについて各不良モード毎に分類し集計した表であり、図6(b)は不良パターン認識部201において、分類された不良モードの組み合わせから判定された不良原因の出現数を集計した表であり、図6(c)は歩留り予測部205において、各種の不良原因に対して各種の対策が施された時に予測される予測歩留りを算出した表である。
【0027】
次に、予測歩留り算出部104における処理について図2から図6を用いて説明する。
【0028】
はじめに、電気検査装置102から入力され不良パターン認識部201に入力された図5(a)に示すような不良パターンは、不良パターン管理部202に格納されている図3に示す不良モードに従って分類分けされる。次いで、図4に示す不良原因表に従って、分類分けされた不良モードの組み合わせから図5(b)に示すように複数の不良原因が特定される。
【0029】
次に、仮想不良パターン生成部203において、不良解析スタッフによって、提示された複数種類の不良原因のうち、いずれの不良原因を除去した場合に、早期に歩留りの向上が期待されるか等を考慮して、除去すべき不良原因を選定し、選定された不良原因が解決し対策されたものと仮想された図5(c)に示すような仮想不良パターンを生成する。
【0030】
ここで、不良対策は、図6(b)で示されるA不良、B不良単独での対策、あるいはA不良とB不良同時に対策等、複数の不良原因の組み合わせでも構わない。また、選択すべき不良原因の選択方法をあらかじめ数種登録しておくことにより、ユーザが不良原因をウェーハ毎に選択する必要がなく、表の作成が可能となる。
【0031】
次いで、歩留り予測部204では、生成された仮想不良パターンについて歩留りを予測する。歩留り予測の結果、ウェーハ上の各チップ上にまったく不良ビットがなければ、良品、1箇所でも不良ビットが残ってしまった場合は不良品と判定し、ウェーハ全体での歩留りを計算する。予測された歩留りは表示部205に表示し、または出力部206にプリントアウトして予測歩留りを比較する。比較することによりより歩留り向上に寄与する対策を選択することができる。
【0032】
上記のごとく、本実施形態によれば、不良原因を取り除く対策処理の種類を任意に変更することにより、各不良対策毎の歩留り向上度を算出することができる。また、算出された予測歩留りを参照することにより、不良原因対策の優先順位付けが容易となり、歩留り向上効果の高いものから対策を実行し、半導体製品の歩留りを早期に向上させることができる。
【0033】
また、不良ビットの不良モードの設定は、製品ごと、品種ごとに行うことにより、新製品など新しい構造の半導体デバイスにも対応が可能である。
【0034】
また、半導体製品においては、製造工程が終了し回路パターンが完成した状態で、各素子が不良と判断されても冗長回路へ切り替えることにより良品化することが可能な場合がある。従って、歩留り予測部においてこのような救済処置を対策に含めることにより、半導体製品の歩留り予測をより正確にすることが可能になる。
【0035】
【発明の効果】
上記のごとく、本発明によれば、不良原因を取り除く対策処理の種類を変更することにより、各不良対策毎の歩留り向上度を定量的に算出することができる。また、算出された予測歩留りを参照することにより、不良原因対策の優先順位付けが容易となり、歩留り向上効果の高いものから対策を実行し、半導体製品の歩留りの早期向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態に係る半導体製品の製造装置および歩留まり予測装置の概要を示す図である。
【図2】図1に示す予測歩留り算出部104の詳細な構成を示す図である。
【図3】図2に示す不良パターン管理部202に登録される、不良パターン認識部201に入力された不良パターンを分類する不良モードの一覧表を示す図である。
【図4】図2に示す不良パターン管理部202に登録される、不良パターン認識部201において分類分けされた不良モードの組み合わせから不良原因を特定するための不良原因の一覧表を示す図である。
【図5】図1に示す予測歩留り算出部104における各処理過程における半導体ウェーハ上の1チップの不良ビット分布の模式図である。
【図6】図1に示す予測歩留り算出部104における各処理過程における各種の判定結果を示す図である。
【符号の説明】
101 製造装置
102 電気特性検査装置
103 予測歩留り算出装置
104 予測歩留り算出部
105 予測歩留り表示・出力部
201 不良パターン認識部
202 不良パターン管理部
203 仮想不良パターン生成部
204 歩留り予測部
205 予測歩留り表示部
206 予測歩留り出力部
Claims (6)
- 半導体チップ上に存在する不良を検査する工程と、検出された不良に基づいて不良原因を特定する工程と、前記不良原因のうち所定の不良原因が除去されたことが仮想された半導体チップ情報に基づいて歩留りを算出する工程とからなることを特徴とする半導体製品の歩留り予測方法。
- 半導体チップ上に存在する不良を検査する工程と、検出された不良を所定の不良モードに分類し、分類された不良モードから不良原因を特定する工程と、前記不良原因のうち所定の不良原因が除去されたことが仮想された半導体チップ情報を生成する工程と、前記仮想された半導体チップ情報に基づいて歩留りを算出する工程と、前記算出された予測歩留りを表示する工程と、前記表示された予測歩留りを参照して除去すべき不良原因を選択する工程とからなることを特徴とする半導体製品の歩留り予測方法。
- 請求項1ないしは請求項2のいずれか1つの請求項において、前記歩留りを算出する工程は、前記仮想された半導体チップ情報とともに、半導体製品の良品化への救済処置情報とに基づいて歩留りを算出することを特徴とする半導体製品の歩留り算出方法。
- 半導体チップ上に存在する不良を検査する検査手段と、検出された不良に基づいて特定された不良原因のうち、所定の不良原因が除去されたことが仮想された半導体チップ情報に基づいて歩留りを予測する歩留り算出手段とからなることを特徴とする半導体製品の歩留り予測装置。
- 請求項4において、前記歩留り算出手段は、検出された不良を所定の不良モードに分類する不良モード分類手段と、分類された不良モードから不良原因を特定する不良原因判定手段と、前記特定された不良原因のうち所定の不良原因を除去して仮想される半導体チップ情報を生成する仮想半導体チップ情報生成手段と、前記仮想された半導体チップ情報に基づいて歩留りを予測する算出手段と、前記予測された歩留りを表示する表示手段と、からなることを特徴とする半導体製品の歩留り予測装置。
- 請求項5において、前記算出手段は、前記仮想された半導体チップ情報および半導体製品の良品化への救済処置情報とに基づいて歩留りを算出することを特徴とする半導体製品の歩留り予測装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12047499A JP4237866B2 (ja) | 1999-04-27 | 1999-04-27 | 半導体製品の歩留り予測方法およびその装置 |
PCT/JP2000/002657 WO2000065638A1 (fr) | 1999-04-27 | 2000-04-24 | Procede pour prevoir le rendement d'un corps a semiconducteur, et appareil prevu a cet effet |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12047499A JP4237866B2 (ja) | 1999-04-27 | 1999-04-27 | 半導体製品の歩留り予測方法およびその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000311842A JP2000311842A (ja) | 2000-11-07 |
JP4237866B2 true JP4237866B2 (ja) | 2009-03-11 |
Family
ID=14787081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12047499A Expired - Fee Related JP4237866B2 (ja) | 1999-04-27 | 1999-04-27 | 半導体製品の歩留り予測方法およびその装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4237866B2 (ja) |
WO (1) | WO2000065638A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101696668B (zh) * | 2005-06-23 | 2012-06-06 | 本田技研工业株式会社 | 发动机的燃料供给装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7024338B2 (en) * | 2003-01-31 | 2006-04-04 | Yieldboost Tech, Inc. | System and method for improving TFT-array manufacturing yields |
US7136776B2 (en) | 2004-10-29 | 2006-11-14 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for evaluating processes for manufacturing components |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3741647A (en) * | 1970-12-18 | 1973-06-26 | Microcopy Inc | Microfilm copier |
JP3208807B2 (ja) * | 1991-11-15 | 2001-09-17 | 株式会社日立製作所 | 電子デバイス検査システムおよび電子デバイスの製造方法 |
JPH06232018A (ja) * | 1993-02-03 | 1994-08-19 | Hitachi Ltd | 製造ライン監視システム並びに製造ライン |
JPH098085A (ja) * | 1995-06-16 | 1997-01-10 | Casio Comput Co Ltd | 基板の歩留まり予測演算方法 |
JPH0974056A (ja) * | 1995-09-06 | 1997-03-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の歩留り予測方法およびその装置 |
JP3751680B2 (ja) * | 1996-06-10 | 2006-03-01 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体素子の製造方法 |
JP3364109B2 (ja) * | 1997-04-18 | 2003-01-08 | 松下電器産業株式会社 | 集積回路装置の歩留まり推定方法 |
-
1999
- 1999-04-27 JP JP12047499A patent/JP4237866B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-04-24 WO PCT/JP2000/002657 patent/WO2000065638A1/ja active Application Filing
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101696668B (zh) * | 2005-06-23 | 2012-06-06 | 本田技研工业株式会社 | 发动机的燃料供给装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2000065638A1 (fr) | 2000-11-02 |
JP2000311842A (ja) | 2000-11-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101600209B1 (ko) | 영역 결정 장치, 검사 장치, 영역 결정 방법 및 영역 결정 방법을 사용한 검사 방법 | |
JP4014379B2 (ja) | 欠陥レビュー装置及び方法 | |
US7386418B2 (en) | Yield analysis method | |
US6334097B1 (en) | Method of determining lethality of defects in circuit pattern inspection method of selecting defects to be reviewed and inspection system of circuit patterns involved with the methods | |
JP4357134B2 (ja) | 検査システムと検査装置と半導体デバイスの製造方法及び検査プログラム | |
JP2009010405A (ja) | 局所的外れ値の検出のための方法および装置 | |
JP2004012422A (ja) | パターン検査装置、パターン検査方法およびプログラム | |
JP7460775B2 (ja) | 高度なインライン部品平均試験 | |
KR20030051064A (ko) | 순수 디펙트에 의한 페일 발생 확률 측정방법, 순수디펙트에서 추출한 패턴 파라미터의 분류를 이용한 디펙트제한 수율 측정 방법 및 순수 디펙트에 의한 페일 발생확률 및 디펙트 제한 수율을 측정하기 위한 시스템 | |
JP2009188418A (ja) | データ解析のための方法および装置 | |
JP3920003B2 (ja) | 検査データ処理方法およびその装置 | |
JP4080087B2 (ja) | 分析方法,分析システム及び分析装置 | |
JP4237866B2 (ja) | 半導体製品の歩留り予測方法およびその装置 | |
JP2003023056A (ja) | 半導体デバイスの欠陥分類方法および半導体デバイスの歩留まり予測方法および半導体デバイスの製造方法および半導体デバイスの欠陥分類システムおよび半導体デバイス分類装置およびそれらに用いるプログラムおよび記録媒体 | |
JP3267580B2 (ja) | データ処理方法および装置、情報記憶媒体 | |
JP2002134377A (ja) | 半導体製品の歩留り予測方法およびその装置 | |
JPH09330970A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP2003332189A (ja) | 半導体試験システム | |
JP4276503B2 (ja) | 半導体不良原因絞込み方法 | |
JP2004287609A (ja) | 製品検査内容設定方法、製品検査内容変更方法、製品検査内容設定システム及び製品検査内容変更システム | |
JP4538205B2 (ja) | 検査データの解析プログラム、検査データ解析装置 | |
JP2003045922A (ja) | デバイス不良解析装置 | |
JP2956597B2 (ja) | 半導体検査装置 | |
JP2002368056A (ja) | 歩留まり条件の提供方法、製造条件の決定方法、半導体装置の製造方法、および記録媒体 | |
JPH10326816A (ja) | 歩留阻害要因推定方法および歩留阻害要因推定システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080916 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081209 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111226 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111226 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111226 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111226 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121226 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121226 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131226 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |