JP4195266B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体記憶装置に関し、特に、リファレンスセルを用いてコアセルのデータを読み出す半導体記憶装置に関する。
【0002】
従来、コアセルの領域内にコアセルとデータ劣化特性が同じリファレンスセルを設け、このリファレンスセルを使用してコアセルのデータを読み出すものが提案されている。しかしながら、コアセル領域内にリファレンスセルを設けると、半導体記憶装置の製造工程のバラツキやコアセル領域におけるセルの物理的な位置等に起因して、リファレンスセルの閾値も分布を有することになり、大きなマージンでコアセルのデータを正しく読み出すことが難しくなる。そこで、大きなマージンでコアセルのデータを正しく読み出すことのできる半導体記憶装置の提供が要望されている。
【0003】
【従来の技術】
一般的に、コアセルのデータは、書き換えを行うにつれて劣化するため、その対策が必要とされている。従来、例えば、コアセルの領域内にコアセルとデータ劣化特性が同じリファレンスセルを設け、このリファレンスセルを使用してコアセルのデータを読み出すものが提案されている。
【0004】
従来、メモリセルの列ブロック毎にリファレンスセルを設け、各列ブロックをその列ブロックに近いリファレンスセルと比較し、各列ブロック毎にデータを確定することでノイズ発生を分散させ、大きなノイズの発生を抑えてアクセスタイムを速くするようにした不揮発性半導体記憶装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0005】
図1は従来の半導体記憶装置の一例を概略的に示すブロック図であり、コアセルの領域内に2つのリファレンスセルを設けた不揮発性の半導体記憶装置(例えば、ゲート絶縁膜に電荷トラップ層を有するフラッシュメモリ。ただし、不揮発性半導体記憶装置としては、これに限定されず、例えば、ポリシリコン電極等のフローティングゲートを電荷記憶領域として利用するタイプの不揮発性半導体記憶装置にも適用可能である。)の例を示すものである。図1において、参照符号100はコアセル領域、101はコアセル、102は第1のリファレンスセル、103は第2のリファレンスセル、201〜203はカスコード回路、そして、300はセンスアンプを示している。
【0006】
図1に示す半導体記憶装置において、コアセル101(コアセル101内の任意のメモリセル)に格納されているデータを読み出す場合、まず、コアセル領域100内に設けられた第1および第2のリファレンスセル(2つのダイナミックリファレンスセル)102および103に対してそれぞれデータ『0』および『1』を書き込む。
【0007】
『0』データの第1リファレンスセル102の出力(電流)および『1』データの第2のリファレンスセル103の出力は短絡(結合)され、さらに、それぞれカスコード回路202および203により電流−電圧変換された後に短絡され、基準電圧(中間電位)Vrefが生成される。
【0008】
基準電圧Vrefは、センスアンプ300に印加され、コアセル101からのデータ出力(電流)をカスコード回路201で電流−電圧変換した信号(コアセル101内の任意のメモリセルから読み出されたデータ電圧:データを読み出すメモリセルの閾値によって決まる電位)と比較することで、コアセル101からの読み出しデータ出力が『0』であるか、或いは、『1』であるかが判別される。
【0009】
これによって、データの書き換えを繰り返し行った後でも、リファレンスセル102,103の劣化特性をコアセル101の劣化特性に追従させることができ、データを正しく読み出すことが可能になる。
【0010】
なお、2つのダイナミックリファレンスセル(第1および第2のリファレンスセル102,103)をコアセル領域100内に設け、コアセル101に格納されたデータを読み出す時に、2つのダイナミックリファレンスセルを併用するものが提案されている(例えば、特許文献2参照)。
【0011】
【特許文献1】
特開平4−11392号
【特許文献2】
特願2001−53994号
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来、コアセル領域100内にコアセル101とデータ劣化特性が同じリファレンスセル102,103を設け、このリファレンスセルを使用してコアセルのデータを読み出すものが提案されている。
【0013】
ところで、コアセル領域100内のメモリセル(コアセル101およびリファレンスセル102,103)のデータにはバラツキがあり、同じデータを記憶している場合でも、その閾値に分布を有している。
【0014】
すなわち、コアセル101のデータ『0』およびデータ『1』に対してそれぞれ分布を有しており、これは、コアセル領域100内に設けられたリファレンスセル102,103に対しても同様である。
【0015】
例えば、データが『0』および『1』でそれぞれ高い閾値のリファレンスセルから生成された基準電圧(Vref)と、データが『0』および『1』でそれぞれ低い閾値のリファレンスセルから生成された基準電圧とは異なった電位となり、コアセル101と同様に基準電圧も分布を有することになる。
【0016】
そのため、メモリセル(コアセル101)のデータ読み出しにおいて、データ『0』(或いは、データ『1』)に最も近い基準電圧(中間電位)と、基準電圧に最も近いデータ『0』(或いは、データ『1』)の閾値によって決まる電位との差をデータ『0』(或いは、データ『1』)の読み出しにおけるマージンとすると、リファレンスセルから生成された基準電圧に分布があるため、読み出しにおけるマージンがデータ『0』に対しても、データ『1』に対しても小さくなってしまうという問題があった。
【0017】
本発明は、上述した従来の半導体記憶装置が有する課題に鑑み、大きなマージンでコアセルのデータを正しく読み出すことのできる半導体記憶装置の提供を目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、コアセルと、該コアセルの領域内に設けられた少なくとも1つの内部リファレンスセルと、前記コアセルの領域外に設けられた少なくとも1つの外部リファレンスセルと、前記内部リファレンスセルの少なくとも1つおよび前記外部リファレンスセルの少なくとも1つを併用し、該内部リファレンスセルの閾値と該外部リファレンスセルの閾値を等価的に平均化し、仮想的なリファレンスセルの閾値分布を小さくした基準電圧を生成する基準電圧生成回路とを備え、該基準電圧生成回路は、該内部リファレンスセルおよび該外部リファレンスセルの接続を制御するスイッチ回路と、該スイッチ回路を制御する制御回路とを備え、該基準電圧生成回路の出力を用いて前記コアセルに格納されたデータを読み出すことを特徴とする半導体記憶装置が提供される。
【0019】
前述したように、コアセル領域内に設けたリファレンスセルには分布が存在するため、読み出しにおけるマージンが小さくなってしまう。これに対処するために、本発明の半導体記憶装置では、分布の無い(或いは、分布の小さい)コアセル領域外に設けたリファレンスセルを併用してコアセルのデータを読み出す時の中間基準電位を生成する。これにより、中間基準電位の分布を小さく抑えることができ、結果として、読み出しにおけるマージンをかせぐことが可能になる。
【0020】
すなわち、本発明の半導体記憶装置によれば、コアセル領域外のリファレンスセルをコアセル領域内のリファレンスセルと併用することで基準電圧の分布を小さくすることができるが、これは、基準電圧を生成する仮想的なリファレンスセルの閾値分布が小さくできるためである。従って、基準電圧を生成する仮想的なリファレンスセルの閾値分布が小さくなれば、読み出しのマージンが改善することになる。
【0021】
図2は従来および本発明の半導体記憶装置において基準電圧を生成する仮想的なリファレンスセルの閾値分布を示す図であり、図2(a)は前述した従来の半導体記憶装置において基準電圧を生成する仮想的なリファレンスセルの閾値分布を示すものであり、図2(b)は後述する本発明の第1および第2実施例の半導体記憶装置において基準電圧を生成する仮想的なリファレンスセルの閾値分布を示すものであり、そして、図2(c)は後述する本発明の第3実施例の半導体記憶装置において基準電圧を生成する仮想的なリファレンスセルの閾値分布を示すものである。
【0022】
図2(a)〜図2(c)を参照して、基準電圧を生成する仮想的なリファレンスセルの閾値分布が小さくなることを説明する。ここで、コアセル領域内のリファレンスセルにおいて、データ『1』およびデータ『0』閾値分布がそれぞれΔVEおよびΔVPであり、コアセル領域外のリファレンスセルの閾値分布がΔVextとする。
【0023】
まず、図2(a)に示されるように、従来のダイナミックリファレンス方式(すなわち、コアセル領域内のリファレンスセル2つを使用する方式)では、仮想的なリファレンスセルの閾値分布ΔVdrefは、
ΔVdref=(ΔVE+ΔVP)/2
となる。
【0024】
これに対して、図2(b)に示されるように、3セル方式(本発明の第1および第2実施例:コアセル領域外のリファレンスセルを追加した場合)の仮想的なリファレンスセルの閾値分布ΔV1/3は、
ΔV1/3=(ΔVE+ΔVP+ΔVext)/3
となる。ここで、説明を簡略化するために、ΔVE=ΔVP=ΔV、ΔVext=0とすると、ΔVdrefおよびΔV1/3はそれぞれ、
ΔVdref=ΔV
ΔV1/3=2ΔV/3
となる。従って、コアセル領域外のリファレンスセルを導入することで仮想的なリファレンスセルの閾値分布が小さくなることが分かる。
【0025】
一方、図2(c)に示されるように、2セル方式(本発明の第3実施例:コアセル領域内のリファレンスセルを1つとコアセル領域外のリファレンスセルを1つ組にして用いる場合)の仮想的なリファレンスセルの閾値分布ΔV1/2は、
ΔV1/2=(ΔV+ΔVext)/2=ΔV/2
となる。従って、さらに仮想的なリファレンスセルの閾値分布が小さくなることが分かる。
【0026】
このように、本発明によれば、大きなマージンでコアセルのデータを正しく読み出すことのできる半導体記憶装置を提供することができる。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る半導体記憶装置の実施例を、添付図面を参照して詳述する。
【0028】
図3は本発明に係る半導体記憶装置の第1実施例を概略的に示すブロック図であり、コアセルの領域内に2つのリファレンスセルを設けると共に、コアセルの領域外に1つのリファレンスセルを設けた不揮発性の半導体記憶装置(例えば、ゲート絶縁膜に電荷トラップ層を有するフラッシュメモリ:すなわち、メモリセルが、電荷記憶領域として、ONO膜(酸化膜/窒化膜/酸化膜)等のトラップ準位を利用するタイプのフラッシュメモリ)の例を示すものである。ただし、本発明が適用される半導体記憶装置としては、ゲート絶縁膜に電荷トラップ層を有するフラッシュメモリに限定されず、例えば、ポリシリコン電極等のフローティングゲートを電荷記憶領域として利用するタイプの不揮発性半導体記憶装置でもよく、さらには、リファレンスセルを用いてコアセルのデータを読み出す半導体記憶装置に対して幅広く適用可能である。
【0029】
図3において、参照符号1はコアセル領域、11はコアセル、12は第1の内部リファレンスセル、13は第2の内部リファレンスセル、21〜24はカスコード回路、30はセンスアンプ、40は基準電圧発生回路、41,42は選択回路、43は制御回路、そして、50は外部リファレンスセルを示している。ここで、制御回路43は、例えば、外部アドレス信号により選択回路41におけるスイッチSWAX,SWAB,SWBXおよび選択回路42におけるスイッチSWAR,SWBR,SWXRのオン/オフ制御を行うものである。
【0030】
図3に示す本第1実施例の半導体記憶装置において、コアセル1(コアセル1内の任意のメモリセル)に格納されているデータを読み出す場合、制御回路43の出力により選択回路41におけるスイッチSWAX,SWAB,SWBXをオンすると共に、選択回路42におけるスイッチSWAR,SWBR,SWXRをオンする。
【0031】
すなわち、選択回路41におけるスイッチSWAX,SWAB,SWBXをオンすることで3つのリファレンスセル(コアセル領域1の内部に設けられた第1の内部リファレンスセル12および第2の内部リファレンスセル13、並びに、コアセル領域1の外部に設けられた外部リファレンスセル50)の出力(電流)が短絡されると共に、選択回路42におけるスイッチSWAR,SWBR,SWXRをオンすることで上記3つのリファレンスセルの短絡された出力がカスコード回路22〜24で電流−電圧変換された後に短絡され、基準電圧(中間電位)Vrefが生成される。
【0032】
基準電圧Vrefは、センスアンプ30に印加され、コアセル11からのデータ出力(電流)をカスコード回路21で電流−電圧変換した信号(コアセル11内の任意のメモリセルから読み出されたデータ電圧:データを読み出すメモリセルの閾値によって決まる電位)と比較することで、コアセル11からの読み出しデータ出力が『0』であるか、或いは、『1』であるかが判別される。
【0033】
これによって、データの書き換えを繰り返し行った後でも、リファレンスセル102,103の劣化特性をコアセル101の劣化特性に追従させることができ、データを正しく読み出すことが可能になる。
【0034】
このように、本第1実施例の半導体記憶装置によれば、第1の内部リファレンスセル12、第2の内部リファレンスセル13および外部リファレンスセル50の3つのリファレンスセルを併用し、これら3つのリファレンスセルの閾値を等価的に平均化して基準電圧(中間電位)Vrefを生成するようになっている。すなわち、基準電圧Vrefの分布がリファレンスセルの閾値の平均化によって小さく抑えられるので、読み出しのマージンを大きくすることができ、コアセルのデータを正しく読み出すことが可能になる。
【0035】
図4は本発明に係る半導体記憶装置の第2実施例を概略的に示すブロック図である。
【0036】
図4と図3との比較から明らかなように、本第2実施例の半導体記憶装置は、上述した第1実施例の半導体記憶装置における選択回路41,42、および、制御回路43を取り除いたものに相当する。
【0037】
すなわち、本第2実施例においては、コアセル領域1の内部に設けられた第1の内部リファレンスセル12および第2の内部リファレンスセル13、並びに、コアセル領域1の外部に設けられた外部リファレンスセル50の出力(電流)は短絡され、さらに、それぞれカスコード回路22〜24で電流−電圧変換された後に短絡されて基準電圧Vrefが生成される。
【0038】
本第2実施例の半導体記憶装置も、上述した第1実施例の半導体記憶装置と同様に、第1の内部リファレンスセル12、第2の内部リファレンスセル13および外部リファレンスセル50の3つのリファレンスセルを併用し、これら3つのリファレンスセルの閾値を等価的に平均化して基準電圧Vrefを生成することにより、基準電圧Vrefの分布を小さく抑えて読み出しのマージンを大きくすることができる。すなわち、大きなマージンでコアセルのデータを正しく読み出すことが可能になる。
【0039】
以上において、コアセル領域1の内部に設けた内部リファレンスセルは2つ(各センスアンプ30に対してそれぞれ第1および第2の内部リファレンスセル12,13の2つ)に限定されるものではなく、また、コアセル領域1の外部に設けた外部リファレンスセルも1つに限定されるものではない。すなわち、図5を参照して後述するように、コアセル領域1の内部に1つの内部リファレンスセルを設けてもよく、或いは、3つまたはそれ以上設けることもできる。
【0040】
図5は本発明に係る半導体記憶装置の第3実施例を概略的に示すブロック図である。
【0041】
図5と図3との比較から明らかなように、本第3実施例の半導体記憶装置は、前述した第1実施例の半導体記憶装置における2つの内部リファレンスセル(第1および第2の内部リファレンスセル12,13)を1つの内部リファレンスセル14としたものに相当する。
【0042】
図5に示す本第3実施例の半導体記憶装置において、コアセル1(コアセル1内の任意のメモリセル)に格納されているデータを読み出す場合、制御回路43の出力により選択回路41におけるスイッチSWXをオンすると共に、選択回路42におけるスイッチSWR,SWXRをオンする。
【0043】
すなわち、選択回路41におけるスイッチSWXをオンすることで2つのリファレンスセル(コアセル領域1の内部に設けられた内部リファレンスセル14およびコアセル領域1の外部に設けられた外部リファレンスセル50)の出力(電流)が短絡されると共に、選択回路42におけるスイッチSWR,SWXRをオンすることで上記2つのリファレンスセルの短絡された出力がカスコード回路25,24で電流−電圧変換された後に短絡され、基準電圧(中間電位)Vrefが生成される。
【0044】
なお、本第3実施例の半導体記憶装置は、例えば、2つの内部リファレンスセル(第1および第2の内部リファレンスセル12,13)を有する図3の第1実施例の半導体記憶装置において、制御回路43による選択回路41,42の各スイッチの制御を調整することにより同様の構成となる。すなわち、図3に示す第1実施例の半導体記憶装置において、コアセル1に格納されているデータを読み出す場合、外部アドレス信号による制御回路43の出力で選択回路41におけるスイッチSWAXをオンすると共に、選択回路42におけるスイッチSWAR,SWXRをオンすることで、第1の内部リファレンスセル12を用いた状態で図5に示す第3実施例の半導体記憶装置を構成することができる。
【0045】
さらに、本第3実施例の半導体記憶装置は、例えば、2つの内部リファレンスセル(第1および第2の内部リファレンスセル12,13)を有する図3に示す第1実施例の半導体記憶装置において、制御回路43による選択回路41,42の各スイッチの制御を調整することにより、第2の内部リファレンスセル13を用いた状態で同様の構成を実現することができる。すなわち、図3に示す第1実施例の半導体記憶装置において、コアセル1に格納されているデータを読み出す場合、外部アドレス信号による制御回路43の出力で選択回路41におけるスイッチSWBXをオンすると共に、制御回路42におけるスイッチSWBR,SWXRをオンすることで、図5に示す第3実施例の半導体記憶装置を構成することができる。
【0046】
なお、制御回路43に外部アドレスを入力し、外部アドレスによって制御の仕方を変更することもできる。すなわち、外部アドレスによって制御回路43の出力を制御し、選択回路41,42のスイッチをオン/オフすることで、例えば、図3の第1実施例の半導体記憶装置における第1の内部リファレンスセル12を使用するか、或いは、第2の内部リファレンスセル13を使用するかを変更することも可能である。
【0047】
本第3実施例の半導体記憶装置も、内部リファレンスセル14および外部リファレンスセル50の2つのリファレンスセルを併用し、これら2つのリファレンスセルの閾値を等価的に平均化して基準電圧Vrefを生成することにより、基準電圧Vrefの分布を小さく抑えて読み出しのマージンを大きくすることができ、コアセルのデータを正しく読み出すことが可能になる。
【0048】
図6は本発明に係る半導体記憶装置の第4実施例を概略的に示すブロック図であり、前述した図4に示す第2実施例と同様に、図5に示す第3実施例の半導体記憶装置における選択回路41,42、および、制御回路43を取り除いたものに相当する。
【0049】
すなわち、本第4実施例においては、コアセル領域1の内部に設けられた内部リファレンスセル14およびコアセル領域1の外部に設けられた外部リファレンスセル50の出力(電流)は短絡され、さらに、それぞれカスコード回路25および24電流−電圧変換された後に短絡されて基準電圧Vrefが生成される。
【0050】
本第4実施例の半導体記憶装置も、上述した第3実施例の半導体記憶装置と同様に、内部リファレンスセル14および外部リファレンスセル50の2つのリファレンスセルを併用し、これら2つのリファレンスセルの閾値を等価的に平均化して基準電圧Vrefを生成することにより、基準電圧Vrefの分布を小さく抑えて読み出しのマージンを大きくすることがで、コアセルのデータを正しく読み出すことが可能になる。
【0051】
このように、本発明に係る半導体記憶装置の各実施例によれば、コアセルのデータ読み出しにおいて、コアセル領域内の内部リファレンスセルに加えて、コアセル領域外の外部リファレンスセルを併用することによって、基準電圧の有する分布を小さく抑えることができ、読み出しのマージンを大きくしてデータの読み出し精度を向上させることができる。
【0052】
以上において、本発明が適用される半導体記憶装置としては、ゲート絶縁膜に電荷トラップ層を有するフラッシュメモリ、或いは、不揮発性半導体記憶装置に限定されるものではなく、本発明は、リファレンスセルを用いてコアセルのデータを読み出す様々な半導体記憶装置に対して幅広く適用することができる。
【0053】
(付記1) コアセルと、
該コアセルの領域内に設けられた少なくとも1つの内部リファレンスセルと、前記コアセルの領域外に設けられた少なくとも1つの外部リファレンスセルと、
前記内部リファレンスセルの少なくとも1つおよび前記外部リファレンスセルの少なくとも1つを併用して基準電圧を生成する基準電圧生成回路とを備え、該基準電圧生成回路の出力を用いて前記コアセルに格納されたデータを読み出すことを特徴とする半導体記憶装置。
【0054】
(付記2) 付記1に記載の半導体記憶装置において、
前記基準電圧生成回路は、2つの内部リファレンスセルおよび1つの外部リファレンスセルを併用して基準電圧を生成することを特徴とする半導体記憶装置。
【0055】
(付記3) 付記1に記載の半導体記憶装置において、
前記基準電圧生成回路は、1つの内部リファレンスセルおよび1つの外部リファレンスセルを併用して基準電圧を生成することを特徴とする半導体記憶装置。
【0056】
(付記4) 付記2または3に記載の半導体記憶装置において、
前記内部リファレンスセルは、外部アドレス信号により選択されることを特徴とする半導体記憶装置。
【0057】
(付記5) 付記1〜4のいずれか1項に記載の半導体記憶装置において、
前記基準電圧生成回路は、前記内部リファレンスセルおよび前記外部リファレンスセルの接続を制御するスイッチ回路と、該スイッチ回路を制御する制御回路とを備えることを特徴とする半導体記憶装置。
【0058】
(付記6) 付記1〜5のいずれか1項に記載の半導体記憶装置において、さらに、
前記コアセルからの出力と、前記基準電圧生成回路の出力とを比較して該コアセルに格納されたデータを読み出すセンスアンプを備えることを特徴とする半導体記憶装置。
【0059】
(付記7) コアセル領域内にリファレンスセルを設けた半導体記憶装置の読み出し方法であって、
前記コアセル領域外に新たに少なくとも1つのリファレンスセルを設け、前記コアセル領域内のリファレンスセルの少なくとも1つと、該コアセル領域外のリファレンスセルの少なくとも1つとを併用して基準電圧を生成し、該基準電圧を用いて前記コアセルに格納されたデータを読み出すことを特徴とする半導体記憶装置の読み出し方法。
【0060】
(付記8) 付記7に記載の半導体記憶装置の読み出し方法において、前記基準電圧の生成を、前記コアセル領域内の2つのリファレンスセルと、前記コアセル領域外の1つのリファレンスセルとを併用して行うことを特徴とする半導体記憶装置の読み出し方法。
【0061】
(付記9) 付記7に記載の半導体記憶装置の読み出し方法において、前記基準電圧の生成を、外部アドレスによって選択された前記コアセル領域内の1つのリファレンスセルと、前記コアセル領域外の1つのリファレンスセルとを併用して行うことを特徴とする半導体記憶装置の読み出し方法。
【0062】
(付記10) 付記8または9に記載の半導体記憶装置の読み出し方法において、
前記内部リファレンスセルは、外部アドレス信号により選択されることを特徴とする半導体記憶装置の読み出し方法。
【0063】
【発明の効果】
以上、詳述したように、本発明によれば、大きなマージンでコアセルのデータを正しく読み出すことのできる半導体記憶装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の半導体記憶装置の一例を概略的に示すブロック図である。
【図2】従来および本発明の半導体記憶装置において基準電圧を生成する仮想的なリファレンスセルの閾値分布を示す図である。
【図3】本発明に係る半導体記憶装置の第1実施例を概略的に示すブロック図である。
【図4】本発明に係る半導体記憶装置の第2実施例を概略的に示すブロック図である。
【図5】本発明に係る半導体記憶装置の第3実施例を概略的に示すブロック図である。
【図6】本発明に係る半導体記憶装置の第4実施例を概略的に示すブロック図である。
【符号の説明】
1…コアセル領域
11…コアセル
12…第1の内部リファレンスセル
13…第2の内部リファレンスセル
14…内部リファレンスセル
21〜25…カスコード回路
30…センスアンプ
40…基準電圧発生回
41,42…選択回路
43…制御回路
50…外部リファレンスセル
Claims (5)
- コアセルと、
該コアセルの領域内に設けられた少なくとも1つの内部リファレンスセルと、
前記コアセルの領域外に設けられた少なくとも1つの外部リファレンスセルと、
前記内部リファレンスセルの少なくとも1つおよび前記外部リファレンスセルの少なくとも1つを併用し、該内部リファレンスセルの閾値と該外部リファレンスセルの閾値を等価的に平均化し、仮想的なリファレンスセルの閾値分布を小さくした基準電圧を生成する基準電圧生成回路とを備え、該基準電圧生成回路は、該内部リファレンスセルおよび該外部リファレンスセルの接続を制御するスイッチ回路と、該スイッチ回路を制御する制御回路とを備え、該基準電圧生成回路の出力を用いて前記コアセルに格納されたデータを読み出すことを特徴とする半導体記憶装置。 - 請求項1に記載の半導体記憶装置において、
前記基準電圧生成回路は、2つの内部リファレンスセルおよび1つの外部リファレンスセルを併用して基準電圧を生成することを特徴とする半導体記憶装置。 - 請求項1に記載の半導体記憶装置において、
前記基準電圧生成回路は、1つの内部リファレンスセルおよび1つの外部リファレンスセルを併用して基準電圧を生成することを特徴とする半導体記憶装置。 - 請求項2または3に記載の半導体記憶装置において、
前記内部リファレンスセルは、外部アドレス信号により選択されることを特徴とする半導体記憶装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体記憶装置において、さらに、
前記コアセルからの出力と、前記基準電圧生成回路の出力とを比較して該コアセルに格納されたデータを読み出すセンスアンプを備えることを特徴とする半導体記憶装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002268606A JP4195266B2 (ja) | 2002-09-13 | 2002-09-13 | 半導体記憶装置 |
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