JP4194211B2 - 保護シート剥離方法および装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハに貼付された保護シートを剥離する方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程において、半導体チップを薄くするために半導体ウェハ(以下単にウェハという)の裏面を研磨して薄くする工程があり、その工程においてはウェハの表面(回路が形成された面)を、フィルム基材の片面に粘着剤層を設けた粘着フィルム等から成る保護シートを貼り付けて保護する。研磨後は保護シートをウェハから剥離する。
【0003】
そして、保護シートをウェハから剥離する方法として、例えば、ウェハに貼付された保護シートを、所定長の接着テープを用いて、前記接着テープを前記保護シートの端部に接着し、前記接着テープを引っ張って前記保護シートを剥離する方法が知られている(特開平11−16862号公報参照)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来の剥離方法にあっては、保護シートを剥がしたときに、保護シートに付いていた粘着剤がウェハ上に残ることがあった。そこで、本発明は、保護シートを剥がしてもウェハ上に粘着剤が残ることがないようにすることを課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく、本発明者らは、鋭意研究、実験を重ねたところ、保護シートを剥がす方向を変えるとウェハ上の粘着剤の残り量が変化することを見出した。そして、鋭意研究の結果、ウェハに形成された回路パターンの角部から保護シートを剥がすと、ウェハ上に粘着剤が残りにくいことがわかった。
【0006】
例えば、図5に示すように、ウェハWにおいて半導体チップの回路パターン51が形成されているとき、矢印52に示すように、回路パターン51の辺51aの部分から剥がして行くと回路パターン51の辺51aの部分に保護シートの粘着剤が残ることがある。一方、矢印55で示すように、回路パターン51の角部51bから保護シートを剥離すると、辺51aに粘着剤が残ることが少なく、きれいに保護シートを剥離することが可能となる。
【0007】
すなわち、本発明は、回路パターンの角部から剥がれるように、保護シートを剥離するようにしたものである。
【0008】
さらに、本発明の保護シート剥離装置においては、半導体ウェハを載置する回転自在のテーブルを設け、回路パターンの角部から保護シートが剥がれるように前記テーブルの回転位置を制御するように構成した。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の保護シート剥離方法を実施するための保護シート剥離装置1を示し、保護シート剥離装置1は、基台3と、矢印4方向に移動可能なウェハ保持回転機構5と、テープ繰出し部7と、剥がしヘッド部9と、ヒーターカッター部11とから構成され、ウェハ保持回転機構5はウェハWを載置するテーブル23を備えている。
【0010】
はじめに、この装置1の概要を説明すると、保護シートSが貼付されたウェハWは、テーブル23上に載置され、図1の右方へ搬送される。一方、接着テープTは、テープ繰出し部7から繰出され、図2(A)に示すように剥がしヘッド部9によって引き出される。接着テープTは、図2(B)に示すようにヒーターカッター部11によって保護シートSの端部に熱圧着され、所定の短い長さに切断される。次いで、剥がしヘッド部9は、図2(C)に示すように接着テープTを保持して引っ張って保護シートSをウェハWから引き剥がす(テープ繰出し部7およびヒーターカッター部11は上方へ退避)。このときテーブル23は図2の左方へ移動し、剥がしヘッド部9は図2の右方へ移動し、剥がした保護シートSは廃棄ボックス12へ廃棄される。この装置1の詳細は上記公報(特開平11−16862号)に記載されている。
【0011】
ウェハ保持回転機構5は、図3に示すように、ウェハWを載置するテーブル23と、テーブル23を回転自在に支持する移動板25と、移動板25をウェハWの搬送方向(図1の矢印4方向)に案内するレール27とを備えている。移動板25はモーター26によって移動される。
【0012】
テーブル23の中央部には凹部23aが形成されその凹部23aに多孔質板29がはめ込まれている。テーブル23には円筒軸31が取り付けられ、円筒軸31は、移動板25に固定された円筒軸受33に回転自在に取り付けられている。移動板25にはモーター35が取り付けられ、モーター35に取り付けられたプーリー37と円筒軸31に取り付けられたプーリー39とがタイミングベルト41で連結され、モーター35によってテーブル23が回転駆動される。
【0013】
円筒軸受33の中空部にはジョイント軸43が配置され、このジョイント軸43からパイプ45、通気口47を介して、負圧がテーブル凹部23aに与えられ、多孔質板29上に載置されたウェハWは、その裏面が吸着され、テーブル23上に吸着保持固定される。
【0014】
ウェハWには、ウェハW上の位置の基準となるオリエンテーションフラット53(オリフラ)やVノッチ等の基準部が形成されているが、この基準部を検出するため、テーブル23を挟んだ上下に光センサ49,49が配置されている。
【0015】
次に上記装置の動作について説明する。
まず、保護シートSが貼付されたウェハWが、手動または自動搬送装置により、テーブル23上に載置される。次に始動スイッチ(図示せず)を入れると、ウェハWがテーブル23に吸着固定され、モーター35が駆動されてテーブル23が回転し、光センサ49によりウェハWのオリフラ部53が検出される。オリフラ部53が検出されるとその位置を基準にして、ウェハWに形成された回路パターン53の角部51bから保護シートSが剥がれるようにテーブル23を回転させウェハWの回転角度を決定する。
【0016】
例えば、図5に示すように、一般にウェハW上に形成された半導体チップの回路パターン51は、ウェハWのオリフラ部53と回路パターン51の辺51aが平行に配列されている。いま保護シートの剥離方向を図5の矢印55で示す方向とすると、矢印55に対してオリフラ部53が傾斜(例えば45゜)するようにウェハWの回転角度を定める。この回転角度は、ウェハWに形成される回路パターン51の形状に応じて適宜変更して設定することができる。
【0017】
次いで、移動板25が移動されてウェハWがヒーターカッター部11の下に搬送されるとともに、接着テープTは、剥がしヘッド部9によって引き出され、ヒーターカッター部11によって保護シートSの端部に熱圧着され、所定の短い長さに切断される。そして、剥がしヘッド部9は、接着テープTを保持して図1の右方へ引っ張って保護シートSをウェハWから引き剥がす。このときテーブル23は、保護シートSの剥離方向と逆の方向(図1の左方)に移動する。
【0018】
以上のように、保護シートSを回路パターン51の角部51bのほうから剥離して行くので、保護シートの粘着剤がウェハ上に残ることは少なく、保護シートSをきれいに剥離することができる。
【0019】
以上は、所定長の接着テープを用いて保護シートを剥離する方法に本発明を適用した例であるが、それに限らず、例えば保護シートにその全長にわたって粘着テープを圧着し、前記粘着テープを剥がすことにより保護シートも共に剥がす方法にも本発明を適用することができる。また、上記実施例では、ウェハ保持回転機構を用いてウェハを回転させ保護シートの剥離方向の位置決めを行ったが、前工程で適宜位置決めを行った後、保護シートを剥離する装置にウェハを載置し、保護シートを回路パターンの角部から剥がすようにしてもよい。
【0020】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、半導体ウェハに形成された回路パターンの角部から保護シートを剥がすようにしたので、回路パターン上に粘着剤が残ることなく保護シートをきれいに剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した保護シート剥離装置の一例の側面図。
【図2】保護シート剥離装置の剥離動作を示す図。
【図3】テーブル回転機構の断面図。
【図4】テーブル回転機構の平面図。
【図5】保護シートの剥離方向を説明する平面図。
【符号の説明】
1 保護シート剥離装置
5 ウェハ保持回転機構
23 テーブル
35 モーター
51 回路パターン
51a 辺部
51b 角部
52,55 保護シート剥離方向
W 半導体ウェハ
S 保護シート
Claims (4)
- 回路パターンが形成された半導体ウェハに貼付された保護シートを剥離する方法において、前記保護シートが前記回路パターンの各辺の部分から剥がされることがないように、前記回路パターンの各角部から剥がれる方向から前記保護シートを剥がすことを特徴とする保護シート剥離方法。
- 前記角部から前記保護シートを剥がすために前記半導体ウェハを回転させ、前記回転における回転角度を前記回路パターンの形状に応じて変更することを特徴とする請求項1に記載の保護シート剥離方法。
- 回路パターンが形成された半導体ウェハに貼付された保護シートを剥離する装置において、前記半導体ウェハを載置する回転自在のテーブルを設け、前記回路パターンの各辺の部分から前記保護シートが剥がされることがないように、前記回路パターンの各角部から前記保護シートが剥がれるように前記テーブルの回転位置を制御する回転位置制御手段を備えることを特徴とする保護シート剥離装置。
- 前記テーブルの回転において前記半導体ウェハの位置の基準部を検出するセンサと、前記基準部に対する前記回路パターンの形状に応じた前記テーブル上の前記半導体ウェハの回転角を設定する回転角設定手段とを備え、前記回転位置制御手段が前記基準部の検出および前記回転角に基づいて前記回転位置を制御することを特徴とする請求項3に記載の保護シート剥離装置。
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- 2000-04-07 JP JP2000106827A patent/JP4194211B2/ja not_active Expired - Lifetime
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