JP4193844B2 - 高周波増幅器及び高周波無線通信装置 - Google Patents
高周波増幅器及び高周波無線通信装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4193844B2 JP4193844B2 JP2005515892A JP2005515892A JP4193844B2 JP 4193844 B2 JP4193844 B2 JP 4193844B2 JP 2005515892 A JP2005515892 A JP 2005515892A JP 2005515892 A JP2005515892 A JP 2005515892A JP 4193844 B2 JP4193844 B2 JP 4193844B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- line
- input
- slot line
- output
- transistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03F—AMPLIFIERS
- H03F3/00—Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
- H03F3/189—High frequency amplifiers, e.g. radio frequency amplifiers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/12—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
- H01L23/14—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the material or its electrical properties
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/58—Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for, e.g. in combination with batteries
- H01L23/64—Impedance arrangements
- H01L23/66—High-frequency adaptations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L24/10, H01L24/18, H01L24/26, H01L24/34, H01L24/42, H01L24/50, H01L24/63, H01L24/71
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03F—AMPLIFIERS
- H03F3/00—Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
- H03F3/20—Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers
- H03F3/24—Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers of transmitter output stages
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03F—AMPLIFIERS
- H03F3/00—Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
- H03F3/60—Amplifiers in which coupling networks have distributed constants, e.g. with waveguide resonators
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03F—AMPLIFIERS
- H03F3/00—Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
- H03F3/60—Amplifiers in which coupling networks have distributed constants, e.g. with waveguide resonators
- H03F3/601—Amplifiers in which coupling networks have distributed constants, e.g. with waveguide resonators using FET's, e.g. GaAs FET's
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/0556—Disposition
- H01L2224/05568—Disposition the whole external layer protruding from the surface
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/05573—Single external layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1306—Field-effect transistor [FET]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1306—Field-effect transistor [FET]
- H01L2924/13091—Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03F—AMPLIFIERS
- H03F2200/00—Indexing scheme relating to amplifiers
- H03F2200/451—Indexing scheme relating to amplifiers the amplifier being a radio frequency amplifier
Description
図21は、特許文献1に開示の増幅器を示す概略平面図である。
この増幅器は、基板100上の導体101,102で入力スロット200を画成すると共に、導体103,104で出力スロット201を画成し、略直線状に形成された入,出力スロット200,201の間に導体105を配置している。そして、チップ300内のFET301,302のゲート電極Gを導体101,102に接続すると共にドレイン電極Dを導体103,104に接続し、ソース電極Sを導体105に接続している。すなわち、各FET301(302)のゲート電極Gとドレイン電極Dの並び方向を入,出力スロット200,201と平行に設定して、入力スロット200からのマイクロ波信号をFET301,302で増幅して、出力スロット201に出力する。
また、この増幅器に適用される各FET301(302)では、ゲート電極G,ドレイン電極D及びソース電極Sが散点状に設けられているため、各FET301(302)の単体測定に際して、プローブで各電極を一つずつ測定して特性を評価しなければならい。このため、各FET301(302)を実装した場合の特性と測定特性とが異なってしまうおそれがある。さらに、実装時において入,出力スロット200,201を伝搬するマイクロ波信号の磁界の向きと、各FET301(302)の磁界の向きとが異なることから、各FET301(302)単体での測定時に各FET301(302)に入力される電磁界モードと実装時に各FET301(302)に入力される電磁界モードとが異なり、測定結果に基づいた回路設計が困難である。
かかる問題は、上記特許文献2及び特許文献3の技術においても同様に生じる。
かかる構成により、入力された信号は、入力用スロットラインを伝搬してトランジスタに入力する。すると、信号が、トランジスタで処理されて出力用スロットラインに至り、出力用スロットラインを伝搬して出力される。かかるトランジスタにおいては、ゲート電極,ドレイン電極及び両にソース電極がコプレーナ形状をなしているので、プローブで全ての電極を一度に測定することができる。そして、実装されたトランジスタにはコプレーナの電磁界モードが誘起されるので、実装後のトランジスタに入力される電磁界モードが、トランジスタを単体で測定したときの電磁界モードと同じとなる。また、入力側ライン部の入力用スロットラインに入力する信号が、磁界が入力用スロットラインの方向と平行な電磁界モードの信号であり、且つトランジスタのゲート電極及びドレイン電極の並び方向が入力用スロットライン及び出力用スロットラインに対して直角に設定されているので、入力用スロットラインとトランジスタと出力用スロットラインとを伝搬するマイクロ波信号の磁界の向きが全て同一方向を向く。
かかる構成により、トランジスタのゲート電極を入力側ライン部の第1のDCカットラインと第2のDCカットラインで分離された第1のDC電極に接続すると共に、ドレイン電極を出力側ライン部の第3のDCカットラインと第4のDCカットラインで分離された第2のDC電極に接続するので、コプレーナのホットであるゲート電極及びドレイン電極からバイアス用のDCを直接供給することができる。
かかる構成により、トランジスタのゲート電極とドレイン電極の配設位置に対応した入力用スロットライン及び出力用スロットラインの位置がオープンになる。
かかる構成により、第1及び第2のDCカットラインと入力用スロットラインの分岐点と、第3及び第4のDCカットラインと出力スロットラインの分岐点とがショートになる。
かかる構成により、トランジスタの両ソース電極の電位が同電位となる。
かかる構成により、第1及び第2のDC電極の両パッド部が向き合って突出した状態になるので、第1のDC電極のパッド部とゲート電極との接続点をグランド電極とソース電極との接続部に近づけることができると共に、第2のDC電極のパッド部とドレイン電極との接続点をグランド電極とソース電極との接続部に近づけることができる。
かかる構成により、ソース電極の基板接続点とゲート電極及びドレイン電極の基板接続点との距離を短くすることができる。
かかる構成により、一方のソース電極とグランド電極との接続点と他方のソース電極とグランド電極との接続点との距離が短くなり、トランジスタ上の両ソース電極がほぼ同電位になる。
かかる構成により、スルーホールを通じた接続構造なので、第1のDC電極のパッド部とゲート電極との接続点をグランド電極とソース電極との接続部に近づけることができると共に、第2のDC電極のパッド部とドレイン電極との接続点をグランド電極とソース電極との接続部に近づけることができる。
かかる構成により、トランジスタで発生した熱が放熱用スルーホールを通じて放出される。
図1に示すように、この実施例の高周波増幅器は、基板1とチップ状のトランジスタ2とを備えてなる。
また、DCカットライン32は、DCカットライン31よりも手前で入力用スロットライン30から略垂直に分岐し、基板1の端で開口してる。このDCカットライン32もλ/4の長さのショートスタブ34をその途中に有しており、ショートスタブ34も入力用スロットライン30との分岐点S2からλ/4の位置に形成されている。
また、DCカットライン42は、DCカットライン41よりも後方で出力用スロットライン40からDCカットライン32と逆方向に略垂直に分岐して基板1の端で開口してる。このDCカットライン42もλ/4の長さのショートスタブ44をその途中に有しており、ショートスタブ44も分岐点S4からλ/4の位置に形成されている。
トランジスタ2は、図1に示すように、DC電極10,11及びグランド電極12に接続される。
トランジスタ2は、図3に示すように、その一面に接続部20を有している。
接続部20は、コプレーナ形状に配設されたゲート電極G,ドレイン電極D,ソース電極Sを有している。具体的には、ゲート電極Gとドレイン電極Dとが接続部20の中央に直線状に並設され、これらゲート電極G及びドレイン電極Dの両側に一対のソース電極Sが平行に配設されている。そして、エアブリッジ21が両ソース電極S間に架けられ、両ソース電極Sが電気的に接続されている。
これにより、トランジスタ2のゲート電極Gとドレイン電極Dの並び方向が入力用スロットライン30及び出力用スロットライン40に対して直角に設定され、しかも、ゲート電極Gとドレイン電極Dが、入力用スロットライン30及び出力用スロットライン40の先端30b,40aからλ/4の距離だけ手前に配されることとなる。
図6は、トランジスタの電極を伝搬する電磁界分布を示す断面図であり、図7は、トランジスタの実装時における図2の矢視B−B断面図である。
上記の如き接続状態で、バイアス用の直流電圧を図1に示すDC電極10,11に印加すると共に、電磁界モードがTEモードのマイクロ波信号M1を入力側ライン部3の入力用スロットライン30に入力すると、マイクロ波信号M1は、電界Eを進行方向と垂直にし、磁界Hを進行方向と平行にした状態で、入力用スロットライン30内を伝搬する。すなわち、マイクロ波信号M1の磁界Hは入力用スロットライン30の方向と平行に進行する。
このマイクロ波信号M1は、入力用スロットライン30内をトランジスタ2側に向かい、DCカットライン32の分岐点S2(図2参照)に至る。このとき、DCカットライン32のショートスタブ34の長さがλ/4で先端がショートであり、且つショートスタブ34が分岐点S2からλ/4の距離にあるので、入力用スロットライン30側からは、ショートスタブ34の分岐点S5がオープン(開放)で、分岐点S2がショートとして見える。このため、マイクロ波信号M1は、DCカットライン32側への伝搬を阻止されるので、損失することなく、入力用スロットライン30内をトランジスタ2側に向かう。
そして、マイクロ波信号M1がゲート電極Gのバンプ22の接続位置P10に至ると、入力用スロットライン30の先端30bはショートであり、ゲート電極Gの接続位置P10が先端30bよりλ/4の位置に設定されているので、入力用スロットライン30は、接続位置P10に対応する位置でオープンとなる。このため、マイクロ波信号M1は、それ以上入力用スロットライン30内を伝搬することなく、バンプ22を介してゲート電極G及び両ソース電極S側に伝搬する。
そして、ゲート電極G側から入力したマイクロ波信号M1がトランジスタ2で増幅されて、その増幅されたマイクロ波信号M2がドレイン電極D側から出力されることとなる。このとき、ゲート電極G,ドレイン電極D,両ソース電極Sがコプレーナ形状に配されているので、ゲート電極G及びドレイン電極Dがいわゆるホットとして機能する。このため、これらの電極を介して伝搬するマイクロ波信号M1(M2)の電磁界分布は、図6に示すようになり、マイクロ波信号M1(M2)の電界E及び磁界Hが共に伝搬方向に対し垂直方向になる。すなわち、マイクロ波信号は、接続部20においてコプレーナモード(TEMモード)で出力側ライン部4の出力用スロットライン40側に伝搬することとなる。
トランジスタ2で増幅された出力マイクロ波信号M2は、ドレイン電極Dのバンプ22を介して図1及び図2に示す出力用スロットライン40内に至るが、このバンプ22の接続位置P11が出力用スロットライン40の先端40aからλ/4の位置にあるので、出力用スロットライン40は、開口端40b側から見ると接続位置P11に対応する位置でオープンとなる。このため、マイクロ波信号M2は、先端40a側に伝搬せず、出力用スロットライン40内を開口端40bに向かって伝搬することとなる。そして、マイクロ波信号M2は、出力用スロットライン40内を開口端40b側に向かい、DCカットライン42の分岐点S4(図2参照)に至る。このときも、DCカットライン31の場合と同様にして、出力用スロットライン40側から見て、分岐点S4がショートとなるので、マイクロ波信号M2は、DCカットライン42側への伝搬を阻止され、損失することなく、出力用スロットライン40内を開口端40b側に向かうこととなる。
なお、DCカットライン31,41の分岐点S1,S3においても、スロットライン側からはショートとして見えるので、漏れたマイクロ波信号M1,M2がDCカットライン31,41内に侵入することはない。
かかる伝搬状態において、図6に示したように、マイクロ波信号は、接続部20においてコプレーナモードで入力側ライン部3側から出力用スロットライン40側に伝搬する。しかも、ゲート電極G及びドレイン電極Dの並び方向が入力用スロットライン30及び出力用スロットライン40に対して直角に設定されているので、図7に示すように、入力用スロットライン30とトランジスタ2と出力用スロットライン40とを伝搬するマイクロ波信号の磁界Hの向きは全て同一方向を向く。この結果、マイクロ波信号M1がトランジスタ2に入り込む際の損失やトランジスタ2から出る際の損失、すなわち、トランジスタ2の挿入損失は極めて少なくなると考えられる。
図8は、シミュレーションに用いた高周波増幅器の概略平面図であり、図8(a)はゲート電極とドレイン電極の並び方向を入力用スロットライン及び出力用スロットラインと平行にしてトランジスタを接続した状態を示し、図8(b)はゲート電極とドレイン電極の並び方向を入力用スロットライン及び出力用スロットラインと直角にしてトランジスタを接続した状態を示す。また、図9は、周波数と挿入損失との関係を示す特性線図である。
まず、図8(a)に示すように、ゲート電極Gとドレイン電極Dの並び方向を入力用スロットライン30及び出力用スロットライン40と平行にした状態で、トランジスタ2を基板に接続し、かかる状態で、50〜80GHzの帯域のマイクロ波信号を入力してトランジスタ2による挿入損失をシミュレーションしたところ、図9に示す特性曲線B1を得た。そして、図8(b)に示すように、ゲート電極Gとドレイン電極Dの並び方向を入力用スロットライン30及び出力用スロットライン40と直角にした状態で、トランジスタ2を基板に接続し、同帯域のマイクロ波信号を入力して挿入損失をシミュレーションしたところ、図9に示す特性曲線B2を得た。なお、このシミュレーションでは、トランジスタ2としてのFETは、GaAs(ガリウム砒素)上に上記の如きコプレーナ線路を形成したものを想定している。
これら特性曲線B1,B2が示すように、ゲート電極とドレイン電極をスロットラインに対して直角に配した場合の挿入損失の方が、平行に配した場合の挿入損失に比べて極めて小さいことが判明した。
そして、上記したように、実装されたトランジスタ2にはコプレーナの電磁界モードが誘起されるので、実装後のトランジスタ2に入力される電磁界モードが、トランジスタ2を単体で測定したときの電磁界モードと同じである。したがって、トランジスタ2が実装された際も、実装時の特性が、実装前にトランジスタ2単体で測定された特性と一致する。この結果、測定結果に基づいて、高周波増幅器を正確に回路設計することができる。
また、DC電極10,11をDCカットライン31,32,41,42によってグランド電極12からDC的に分離しているため、バイアス供給用のリード等の特別な素子を実装したり基板を多層化することなく、実装後のトランジスタ2において、コプレーナのホットであるゲート電極G及びドレイン電極DからDCを供給することができる。
また、トランジスタ2の両ソース電極Sがエアブリッジ21によって電気的に接続されているので、両ソース電極Sの電位が同電位となり、接続部20を伝搬するマイクロ波信号のコプレーナモードが強化される。この結果、コプレーナ以外のモードの信号が接続部20に発生することを抑圧することができる。
また、トランジスタ2をバンプ22を用いて基板1にフリップチップ接続する構成としている。このため、ソース電極Sの基板接続点とゲート電極G及びドレイン電極Dの基板接続点との間の距離を、ダイポンド実装の如く、ソース電極S,ゲート電極G及びドレイン電極Dをワイヤを用いてそれぞれ基板1に接続した場合における各基板接続点間の距離よりも短くすることができる。この結果、実装されたトランジスタ2にコプレーナモードが誘起され易くなり、高周波帯域においても低損失を維持する。
図10は、この発明の第2実施例に係る高周波増幅器を示す概略平面図であり、図11は、図10の矢視C−C断面図である。
この実施例の高周波増幅器は、基板上のライン形状とトランジスタの取付状態が上記第1実施例と異なる。
図10に示すように、この実施例では、トランジスタ2が、入力用スロットライン30と出力用スロットライン40との間に逆向きに実装されている。
具体的には、図10及び図11に示すように、トランジスタ2の接続部20が基板1と逆側に向けられた状態で、トランジスタ2がグランド電極12上に載置され、導体ペーストでダイボンドされている。そして、ゲート電極G及びドレイン電極Dの位置が、入力用スロットライン30及び出力用スロットライン40の先端30a,40aよりλ/4だけ手前に設定され、ゲート電極Gとドレイン電極Dとがワイヤ5,5によってDC電極10,11にそれぞれ接続されている。さらに、両ソース電極Sは、トランジスタ2内に穿設したスルーホール23を通じてグランド電極12に接続されている。
その他の構成,作用及び効果は上記第1実施例と同様であるので、その記載は省略する。
図12は、この発明の第3実施例に係る高周波増幅器を示す概略平面図であり、図13は、図12の矢視D−D断面図である。
この実施例の高周波増幅器は、トランジスタ2接続用のパッド部10a,11aをDC電極10,11に形成した点が、上記第2実施例と異なる。
すなわち、図12及び図13に示すように、入力用スロットライン30は、部分的に湾曲部30cを有している。具体的には、DCカットライン31とDCカットライン32との間の線路が出力側ライン部4側に向かって湾曲して、DC電極10の先端部にパッド部10aを形成している。さらに、このパッド部10aの中心は、入力用スロットライン30の先端30bからλ/4の距離だけ手前に位置されている。
また、出力用スロットライン40も、部分的に湾曲部40cを有している。すなわち、DCカットライン41とDCカットライン42との間の線路が入力用スロットライン30側に向かって湾曲して、DC電極11の先端部にパッド部11aを形成している。そして、このパッド部11aの中心の位置も、λ/4の距離だけ先端40aの位置から離してある。
トランジスタ2は、ゲート電極Gのバンプ22をDC電極10のパッド部10aの中心に、ドレイン電極Dのバンプ22をDC電極11のパッド部11aの中心に、両ソース電極Sのバンプ22をグランド電極12にそれぞれ位置させた状態でフリップチップ接続されている。
その他の構成,作用及び効果は上記第1及び第2実施例と同様であるので、その記載は省略する。
図14は、この発明の第4実施例に係る高周波増幅器を示す概略平面図であり、図15は、図14の矢視E−E断面図である。
この実施例の高周波増幅器は、トランジスタ2を基板1上にダイボンド実装し、スルーホールを通じて全ての電極を接続した点が上記実施例と異なる。
具体的には、トランジスタ2の接続部20が基板1と逆側に向けられた状態で、トランジスタ2が、DC電極10,11及びグランド電極12に渡って載置され、導体ペーストでダイボンドされている。そして、ゲート電極G,ドレイン電極D及び両ソース電極Sに対応する位置にそれぞれスルーホール23が穿設され、これらのスルーホール23を通じて、ゲート電極G,ドレイン電極D,及び両ソース電極Sが、DC電極10,11及びグランド電極12に電気的に接続されている。
その他の構成,作用及び効果は上記第1〜第3実施例と同様であるので、その記載は省略する。
図16は、この発明の第5実施例に係る高周波増幅器を示す概略平面図であり、図17は、図16の矢視F−F断面図である。
この実施例の高周波増幅器は、基板にトランジスタ放熱用のスルーホールを設けた点が上記第1〜4実施例と異なる。
すなわち、図16及び図17に示すように、第1実施例の高周波増幅器において、トランジスタ2の接続部位に対応した基板1の部分に、一の放熱用スルーホール13が設けられている。具体的には、入力用スロットライン30と出力用スロットライン40との間のグランド電極12の部位であって、トランジスタ2の実装位置の真下に平面視矩形状の放熱用スルーホール13が設けられている。この放熱用スルーホール13は、高熱伝導性部材を充填したサーマルビアホールであり、トランジスタ2が発した熱を基板1の下側に伝えてトランジスタ2を冷却する機能を有する。
かかる構成により、トランジスタ2の発熱を効率よく放出し、トランジスタ2の熱的アイソレーションを向上させることができる。
その他の構成,作用及び効果は上記第1〜第4実施例と同様であるので、その記載は省略する。
図18は、この発明の第6実施例に係る高周波無線通信装置のブロック図である。
この高周波無線通信装置は、送信部6と受信部7とスロットアンテナ8と送,受信信号を分離する分離器9とを備えている。
具体的には、ミキサ60が中間周波信号IFと局部発振器50からの局部発振信号Loとをスロットライン90を介して入力し、中間周波信号IFを高周波信号RFに変換してバンドパスフィルタ61に出力する。すると、バンドパスフィルタ61が高周波信号RFを濾波して高周波増幅器62に出力し、高周波増幅器62が高周波信号RFを入力側ライン部3の入力用スロットライン30から入力して増幅する。そして、高周波増幅器62が増幅した高周波信号RFを分離器9を介してスロットアンテナ8に送り、高周波信号RFをスロットアンテナ8から送信する。
具体的には、スロットアンテナ8が高周波信号RFを受信すると、高周波信号RFが分離器9を介して高周波増幅器70の入力用スロットライン30に入力される。すると、高周波増幅器70が、高周波信号RFを増幅して出力用スロットライン40から出力し、バンドパスフィルタ71が高周波信号RFを濾波してミキサ72に出力する。そして、ミキサ72に対し、この高周波信号RFと局部発振器50からの局部発振信号Loとがスロットライン90を介して入力し、ミキサ72が高周波信号RFを中間周波信号IFに変換して出力する。
その他の構成,作用及び効果は上記第1〜第5実施例と同様であるので、その記載は省略する。
例えば、図19に示すように、上記第3実施例の高周波増幅器において、トランジスタ2をスルーホール23を通じてこの基板1に接続することもできる。すなわち、トランジスタ2の接続部20が基板1と逆側に向けられた状態で、トランジスタ2を基板1に載置し、ゲート電極G,ドレイン電極D及び両ソース電極Sに対応する位置にそれぞれ穿設したスルーホール23を通じて、ゲート電極G,ドレイン電極D,及び両ソース電極Sを、DC電極10のパッド部10a,DC電極11のパッド部11a及びグランド電極12に電気的に接続しても良い。
また、上記実施例では、基板の片面にスロットラインが形成された線路についてのみ説明したが、PDTL(Planer Dielectoric Transmission Line、平面誘導体線路)の線路を用いても上記実施例と同様の作用効果を奏することは勿論である。
また、上記実施形態では、トランジスタとしてFETを用いたが、これに限定されるものではなく、ゲート電極、ドレイン電極、ソース電極を有するMOSトランジスタであるならば、どのようなトランジスタでも良い。
Claims (12)
- 基板に形成され、その先端がショートした入力用スロットラインを有し、磁界が入力用スロットラインの方向と平行な電磁界モードの信号をこの入力用スロットラインに入力するための入力側ライン部と、
上記入力用スロットラインと略平行に形成され且つその先端がショートの出力用スロットラインを有する出力側ライン部と、
直線状に並設されたゲート電極及びドレイン電極の両側にソース電極が配設されてなるコプレーナ形状の接続部を有し、上記ゲート電極が入力用スロットライン側に位置すると共に上記ドレイン電極が上記出力用スロットライン側に位置した状態で、上記ゲート電極及びドレイン電極の並び方向が上記入力用スロットライン及び出力用スロットラインに対して直角になるように上記基板に実装されたトランジスタと
を具備することを特徴とする高周波増幅器。 - 上記入力側ライン部は、上記入力用スロットライン,この入力用スロットラインから略垂直に分岐して上記基板の端に至り且つ途中に所定長さのショートスタブを有した第1のDCカットライン,及びこの第1のDCカットラインよりも入力用スロットラインの先端から離れた位置で分岐して上記基板の端に至り且つ途中に所定長さのショートスタブを有した第2のDCカットラインを備え、
上記出力側ライン部は、上記出力用スロットライン,この出力用スロットラインから上記第1のDCカットラインとは逆方向に分岐して上記基板の端に至り且つ途中に所定長さのショートスタブを有した第3のDCカットライン,及びこの第3のDCカットラインよりも出力用スロットラインの先端から離れた位置で上記第2のDCカットラインと逆方向に分岐して上記基板の端に至り且つ途中に所定長さのショートスタブを有した第4のDCカットラインを備え、
上記トランジスタは、上記接続部のゲート電極を上記入力側ライン部の第1のDCカットラインと第2のDCカットラインで分離された第1のDC電極に接続すると共に、上記ドレイン電極を上記出力側ライン部の第3のDCカットラインと第4のDCカットラインで分離された第2のDC電極に接続することで、これらゲート電極及びドレイン電極の並び方向を上記入力用スロットライン及び出力用スロットラインに対して直角に設定し、且つ上記両ソース電極を上記入力用スロットライン及び第1のDCカットラインと出力用スロットライン及び第3のDCカットラインとで分離されたグランド電極に接続することで、上記基板に実装されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の高周波増幅器。 - 上記トランジスタのゲート電極とドレイン電極を、上記入力用スロットライン及び出力用スロットラインの先端から1/4波長の距離だけ手前に配した、
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の高周波増幅器。 - 上記第1及び第2のDCカットラインのショートスタブの形成位置を、上記入力用スロットラインの分岐点から1/4波長の位置に設定し、
上記第3及び第4のDCカットラインのショートスタブの形成位置を、上記出力スロットラインの分岐点から1/4波長の位置に設定した、
ことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の高周波増幅器。 - 上記トランジスタの接続部に、上記両ソース電極間を電気的に接続するエアブリッジを設けた、
ことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の高周波増幅器。 - 上記入力用スロットラインの部分であって、上記第1のDCカットラインと第2のDCカットラインとの間の部分を上記出力用スロットライン側に湾曲させると共に、上記出力用スロットラインの部分であって、上記第3のDCカットラインと第4のDCカットラインとの間の部分を上記入力用スロットライン側に湾曲させることで、上記第1及び第2のDC電極にパッド部をそれぞれ突設し、上記ゲート電極,ドレイン電極をこれら第1,第2のDC電極のパッド部に接続した、
ことを特徴とする請求項2ないし請求項5のいずれかに記載の高周波増幅器。 - 上記トランジスタの接続部を上記基板側に向け、上記ゲート電極,ドレイン電極,及び両ソース電極を、バンプによって上記第1,第2のDC電極,及びグランド電極にフリップチップ接続した、
ことを特徴とする請求項2ないし請求項6のいずれかに記載の高周波増幅器。 - 上記トランジスタの接続部を上記基板と逆側に向け、上記ゲート電極,ドレイン電極をワイヤによって第1,第2のDC電極に接続すると共に、両ソース電極を、トランジスタに穿設したスルーホールを通じてグランド電極に接続した、
ことを特徴とする請求項2ないし請求項6のいずれかに記載の高周波増幅器高周波増幅器。 - 上記トランジスタの接続部を上記基板と逆側に向け、上記ゲート電極,ドレイン電極,及び両ソース電極を、トランジスタに穿設したスルーホールを通じて上記第1,第2のDC電極のパッド部,及びグランド電極に接続した、
ことを特徴とする請求項6に記載の高周波増幅器。 - 上記基板の部位であって、トランジスタの接続部位に、一以上の放熱用スルーホールを設けた、
ことを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の高周波増幅器。 - 中間周波数の信号と局部発振器からの局部発振信号とをスロットラインを介して入力し、上記中間周波数の信号を高周波の信号に変換してスロットラインから出力するミキサと、
このミキサからの高周波信号を入力側ライン部の入力用スロットラインから入力して増幅する請求項1ないし請求項10のいずれかに記載の高周波増幅器と、
この高周波増幅器の出力側ライン部の出力用スロットラインから出力された高周波信号を送信するスロットアンテナと
を具備することを特徴とする高周波無線通信装置。 - 上記スロットアンテナで受信した高周波信号を入力側ライン部の入力用スロットラインから入力して増幅する請求項1ないし請求項10のいずれかに記載の高周波増幅器と、
この高周波増幅器の出力側ライン部の出力用スロットラインから出力された高周波信号と局部発振器からの局部発振信号とをスロットラインを介して入力し、この高周波信号を中間周波数の信号に変換してスロットラインから出力するミキサと
を設けたことを特徴とする請求項11に記載の高周波無線通信装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003407399 | 2003-12-05 | ||
JP2003407399 | 2003-12-05 | ||
PCT/JP2004/016664 WO2005055418A1 (ja) | 2003-12-05 | 2004-11-10 | 高周波増幅器及び高周波無線通信装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2005055418A1 JPWO2005055418A1 (ja) | 2007-12-06 |
JP4193844B2 true JP4193844B2 (ja) | 2008-12-10 |
Family
ID=34650308
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005515892A Expired - Fee Related JP4193844B2 (ja) | 2003-12-05 | 2004-11-10 | 高周波増幅器及び高周波無線通信装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070115066A1 (ja) |
JP (1) | JP4193844B2 (ja) |
CN (1) | CN1890875A (ja) |
GB (1) | GB2423417B (ja) |
WO (1) | WO2005055418A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6473296B2 (ja) * | 2014-04-18 | 2019-02-20 | 日本電波工業株式会社 | 高周波回路及び発振器 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2609634B2 (ja) * | 1987-10-08 | 1997-05-14 | 日本電気株式会社 | チップ化モジュール |
JPH0219008A (ja) * | 1988-07-07 | 1990-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | マイクロ波トランジスタ |
US5978666A (en) * | 1994-09-26 | 1999-11-02 | Endgate Corporation | Slotline-mounted flip chip structures |
JP3426842B2 (ja) * | 1996-04-16 | 2003-07-14 | 京セラ株式会社 | 高周波用電力増幅器 |
JP3067675B2 (ja) * | 1997-02-27 | 2000-07-17 | 株式会社村田製作所 | 平面誘電体集積回路 |
JP3440909B2 (ja) * | 1999-02-23 | 2003-08-25 | 株式会社村田製作所 | 誘電体共振器、インダクタ、キャパシタ、誘電体フィルタ、発振器、誘電体デュプレクサおよび通信装置 |
JP3539391B2 (ja) * | 2001-03-15 | 2004-07-07 | 株式会社村田製作所 | 高周波増幅器、高周波モジュール、および通信装置 |
JP2003017651A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Toshiba Corp | 高周波半導体装置 |
JP2003152476A (ja) * | 2001-11-16 | 2003-05-23 | Fujitsu Ltd | 分布増幅器 |
JP3622732B2 (ja) * | 2002-02-27 | 2005-02-23 | 株式会社村田製作所 | 電界効果トランジスタ素子 |
JP2003338577A (ja) * | 2002-05-21 | 2003-11-28 | Murata Mfg Co Ltd | 回路基板装置 |
-
2004
- 2004-11-10 CN CNA2004800361790A patent/CN1890875A/zh active Pending
- 2004-11-10 US US10/580,461 patent/US20070115066A1/en not_active Abandoned
- 2004-11-10 WO PCT/JP2004/016664 patent/WO2005055418A1/ja active Application Filing
- 2004-11-10 JP JP2005515892A patent/JP4193844B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-11-10 GB GB0605901A patent/GB2423417B/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2423417A (en) | 2006-08-23 |
CN1890875A (zh) | 2007-01-03 |
GB2423417B (en) | 2007-10-10 |
US20070115066A1 (en) | 2007-05-24 |
GB0605901D0 (en) | 2006-05-03 |
JPWO2005055418A1 (ja) | 2007-12-06 |
WO2005055418A1 (ja) | 2005-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108604722B (zh) | 包括siw与波导或天线之间的非接触过渡或连接的过渡装置 | |
US9178260B2 (en) | Dual-tapered microstrip-to-waveguide transition | |
Ahmadi et al. | Substrateless amplifier module realized by ridge gap waveguide technology for millimeter-wave applications | |
JP5765174B2 (ja) | 電子装置 | |
US10199335B2 (en) | Electronic device including coupling structure along with waveguide, and electronic equipment | |
JP2007174656A (ja) | 伝送構造の変換装置 | |
JP5850271B2 (ja) | 信号処理装置 | |
JP2012213146A (ja) | 高周波変換回路 | |
JP4193844B2 (ja) | 高周波増幅器及び高周波無線通信装置 | |
US6204815B1 (en) | Increased propagation speed across integrated circuits | |
US6094114A (en) | Slotline-to-slotline mounted flip chip | |
JP3119191B2 (ja) | 平面誘電体集積回路 | |
JPH08250911A (ja) | 高周波気密モジュール | |
JP2011172173A (ja) | ミリ波回路モジュール及びそれを用いたミリ波送受信機 | |
KR100687020B1 (ko) | 동축선로-마이크로스트립선로의 결합장치 | |
JP2013190230A (ja) | レーダ装置 | |
US11688916B2 (en) | Impedance converter and electronic device | |
JP3913937B2 (ja) | 半導体装置 | |
Song et al. | RF modeling and design of flip-chip configurations of microwave devices on PCBs | |
JP3042063B2 (ja) | マイクロ波回路 | |
JP6536283B2 (ja) | 高周波モジュール及び高周波モジュールの製造方法 | |
JP2003249534A (ja) | 高周波回路、高周波回路装置 | |
JP2023170889A (ja) | 高周波モジュール | |
JPH0262064A (ja) | セラミックパッケージ | |
EP1555712A1 (en) | High frequency mode converter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080714 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080808 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080902 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080915 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111003 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121003 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131003 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |