JP4170357B2 - 単一フォールド光学システムにおけるビームスプリッタならびに光学可変倍率方法およびシステム - Google Patents
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Description
本発明は、投影光学システムに関し、特に、x方向およびy方向のそれぞれにおける光学システムの倍率および歪曲を選択的かつ独立して変更するための新規な方法および装置、ならびにビームスプリッタを有する単一フォールド光学システムであって、このように配備されたシステムの通常の動作時に常に使用される位置合わせ顕微鏡の導入を可能にするためのビームスプリッタを有する単一フォールド光学システムに関する。
典型的な光学システムにおいては、簡単に言うと、物体、物体の像をフォーカスするレンズ、および物体の像がレンズから投影されるイメージ面がある。このようなシステムにおける投影像の倍率は、レンズからの物体のスペーシングによって決定され、レンズは良好なフォーカスが得られるようにイメージ面から間隔を置いて配置され得る。このようなシステムにおいては、倍率は、単に、レンズに対して物体を移動させ、レンズと物体との間の距離を増減させることによって変更され得る。
本発明の好ましい実施態様によると、本発明は、照明された物体からの像を選択された倍率または歪曲でイメージ面に投影する光学システムに関する。この光学システムは、レンズシステムと光学的に適合する少なくとも1つの平坦なプレートを有し、一定の倍率および歪曲を有するレンズシステムを有し、平坦なプレートは、変形すると、レンズシステムの一定の倍率および歪曲に対して可変倍率または歪曲を加える。この可変倍率および歪曲技術は、Wynne Dyson型投影システムを含むレンズシステムの全タイプに適用可能である。
本発明をより理解するために、従来技術を示す図面についてまず説明する。
ΔM = ________ (1)
nR
ここで、t = プレートの厚さ
n = プレートのガラスの屈折率、および
R = 屈曲したプレートの曲率半径
従って、1.5の屈折率を有する1mm厚のプレートを用いたときの10ppmの倍率変化に対して、必要な半径は、上記の式より約33,300mmとなる。この曲率半径をより簡単に視覚的に判別可能な用語に変換すると、R=33,300mmは、60mmのスパンを有するプレートに対して13.5μmの垂れと同等である。(垂れおよびスパンの用語を視覚的に確認するために図3dを参照のこと)。従って、10ppm以下の所望の倍率変化を成し遂げるために必要なプレートの厚さおよび屈曲の量は、非常に小さく、レチクル2とプリズム10との間、およびウェハ4とプリズム10'との間のスペースは必要な量のプレートの垂れを容易に収容し得ることが理解され得る。
4 ウェハ
5 ストップ
6 レンズ
8 x−yステージ
10 第1フォールドプリズム
12 平凸レンズ
14 メニカスレンズ
16 ミラー
Claims (6)
- 像ビームを、物体面において照明された物体からイメージ面まで、基板上に、該物体に対して実質的に1:1の倍率を有する投影像として投影するためのWynne Dyson型光学システムであって、該光学システムは該物体面と該イメージ面との間の光路を規定しており、該イメージ面における該基板は、予め形成されたパターンを有し得、該光学システムは、
平らな表面および凸表面を有する平凸レンズと、
凹表面および凸表面を有する凹凸レンズであって、該平凸レンズの該凸表面が該凹凸レンズの該凹表面に隣接している凹凸レンズと、
該凹凸レンズの該凸表面から離れている凹球面鏡と、
互いに実質的に平行な第1および第2の平らな表面を有する光学ブロックであって、該第1の平らな表面は該平凸レンズの該平らな表面の一部に隣接し、該第2の平らな表面は前記物体面に近接していることで前記物体からの前記像ビームを受け取り、該像ビームは該第1および第2の平らな表面間を直接伝達される、光学ブロックと、
第1および第2の平らな表面を有するフォールドプリズムであって、該第1の平らな表面は該平凸レンズの該平らな表面の一部に隣接し、該第2の平らな表面は前記イメージ面に近接していることで、第3の表面からの反射により該第1および第2の平らな表面間を伝達される該像ビームから前記物体の前記投影像を受け取る、フォールドプリズムと、
該物体の該投影像が通過するプレートであって、その中を通過する該投影像に可変スキュー歪曲を付与し、該プレートを選択的にねじることによって、該第2のプレートの変形度に比率して前記可変スキュー歪曲を発生させる、プレートを有するWynne Dyson型光学システム。 - 前記光学ブロックは、前記第1および第2の平らな表面の間を対角線上に延びるビームスプリット面(beam splitting surface)を有しており、第3の平らな表面は該光学ブロックの該第1および第2の平らな表面の間に延びてその各々のエッジを規定し、該ビームスプリット面は、露光(exposure)照明を最小限に減衰させ、入射光の選択された部分を該光学ブロックの該第3の平らな表面に反射するように選択された2色性コーティングを有し、該光学ブロックの該第3の平らな表面に反射された該光は、位置あわせに用いられる選択されたスペクトル部分の光を含む、請求項1に記載のWynne Dyson型光学システム。
- 前記システムは更に、前記光学ブロックの前記第3の平らな表面に近接して顕微鏡を有していることにより、該システムのユーザが、前記ビームスプリット面からそこに反射された光によって形成された像を見ることを可能にする、請求項2に記載のWynne Dyson型光学システム。
- 前記システムは更に、前記光学ブロックの前記第3の平らな表面を通り、前記ビームスプリット面によって反射されて前記イメージ面に伝達される光を放射するための光源を該第3の平らな表面に近接して有していることにより、ユーザが該イメージ面に位置する前記基板上の前記予め形成されたパターンを、そこから反射されて該光学システム中を戻る光を見ることによって見ることを可能にする、請求項3に記載のWynne Dyson型光学システム。
- 前記顕微鏡は、前記光学ブロックの前記第2の平らな表面に近接した前記物体からの照明がそこから反射した光によって該イメージ面に伝達されたとき、イメージ面において前記投影像と前記予め形成されたパターンとを重畳したものを見るために用いられ得る、請求項3に記載のWynne Dyson型光学システム。
- 前記プレートを選択的にねじるために前記プレートに結合された第2のアクチュエータを更に有する光学システムであって、
該プレートの一点が固定的に設けられていることで該プレートは前記光路中に制約されており、
該プレートの該可変スキュー歪曲は、該プレートがねじられる軸に平行な方向および垂直な方向において前記投影像の倍率が不変であり、かつ該プレートのねじりの量に比例して該投影像の倍率が該平行な方向および垂直な方向に関する4分円(quadrant)のうち対角線上に対向する2つにおいては増加し対角線上に対向する他の2つにおいては減少するように、該選択されたスキュー歪曲を変化させ、該投影像は、該像ビームに該選択されたスキュー歪曲を付与することによって形成される、請求項1に記載の光学システム。
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