JP4168042B2 - カメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置 - Google Patents

カメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置 Download PDF

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Description

本発明は、カメラ装置に関し、特に、カメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置に関する。
ＣＣＤ(Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ)センサーとＣＭＯＳ(Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ)センサーは、動画及び静止画を撮影する２次元センサーの一種として電子式カメラを構成するにおいて核心的な役割を担当している。特に、ＣＣＤセンサーは、画質面においてＣＭＯＳセンサーより優秀な特性を有するが、消耗電力及び複雑な構成の短所のため、ＣＭＯＳ映像センサーが市場占有率を高めており、最近には、ＣＭＯＳセンサーも画質面において改善されている。このようなイメージセンサーの発達にしたがってデジタルカメラの使用が一般化され、セルラーフォン(ｃｅｌｌｕｌａｒ ｐｈｏｎｅ)のような携帯用端末機にもカメラ装置が設置されるようになった。
このようなイメージセンサーを利用した一般的な動画だけではなく静止画も撮影するカメラにおいて、カメラの外部的な要素による振れ、即ち、手振れあるいは車搭載等による振動により不安定に振れる映像が撮影される場合が多い。不安定な映像を解消するためにその動きを補償する装置などが提案された。このような動き安定化装置は動き検出部と動き補正部に分けられる。
動き検出部には、ジャイロセンサー(Ｇｙｒｏ Ｓｅｎｓｏｒ)などによる器具の動きを予測する方法と、映像信号処理により映像の動き部分を毎フレーム検出する方法が提案されて使用されている。また、検出された動き情報を屈折可能なレンズ(アクティブプリズム)を使用して入射光を任意に屈折させるかイメージセンサーの入力位置を制御することにより不安定な映像を解消して鮮明な映像を得るようになる。
このようなカメラの動きによる不安定な映像を解消するために、ボイスコイルモーター(ｖｏｉｃｅ ｃｏｉｌ ｍｏｔｏｒ)を利用してレンズを駆動させる技術が特許文献１ (１９９５. ３. １４)に開示されている。開示された映像安定化装置は、補正レンズの一側にピッチコイル(ｐｉｔｃｈ ｃｏｉｌ)とピッチヨーク(ｐｉｔｃｈ ｙｏｋｅ)を設置して第１の方向に補正レンズを駆動させ、他側にヨーコイル(ｙａｗ ｃｏｉｌ)とヨーヨーク(ｙａｗ ｙｏｋｅ)を設置して第１の方向に対して垂直する第２の方向に補正レンズを駆動させるように構成されている。即ち、カメラの動きによって補正レンズを駆動させて光軸を元々の位置に復帰させることにより映像を安定化させる。
しかし、最近にはラップトップ(ｌａｐ−ｔｏｐ)コンピュータ、携帯電話などの携帯用端末機にカメラ装置が装着されて携帯用端末機の機能拡張に寄与しているが、使用者の手振れなどによる映像を補正するための装置は携帯用端末機の小型化及び軽量化に障害になっている。
米国特許第５,３９８,１３２号明細書
本発明は、上述したような従来技術の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、小型化及び軽量化が容易なカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置を提供することにある。
上記目的を達成するために本発明は、カメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置であって、固定性基板と、前記固定性基板上に流動可能に配置される流動性基板と、前記固定性基板上に固定され、前記流動性基板上に配置される固定性櫛(ｃｏｍｂ)構造と、前記流動性基板上に設置され、前記流動性基板とともに前記固定性基板上で流動可能に構成される流動性櫛構造と、を含み、前記固定性櫛構造と流動性櫛構造に起電力が印加されることによって、前記固定性櫛構造と流動性櫛構造の間に作用する引力により前記流動性基板が流動することを特徴とする。
本発明によれば、イメージセンサーが設置される流動性基板と、使用者の手振れなどのカメラの振れによって流動性基板を流動させるための補正装置を固定性基板上の積層物をエッチング(etching)して製作することにより製作が容易であり、ＭＥＭＳ技法を活用して製作することにより手振れ補正装置の小型化及び製品の精密度向上が可能である。結果的に、カメラレンズアセンブリーが小型化されるので、ノート型コンピュータ、セルラーフォンなどの携帯用端末機にカメラレンズアセンブリーの装着が容易になる。
以下、本発明の好適な一実施形態について添付図面を参照しつつ詳細に説明する。下記の説明において、本発明の要旨のみを明確にする目的で、関連した公知機能又は構成に関する具体的な説明は省略する。
図１は、本発明の好ましい実施の形態による手振れ補正装置を具備するカメラレンズアセンブリーを示す分離斜視図であり、図２は、図１に示されたカメラレンズアセンブリーを示す断面構成図である。
図１と図２に示したように、本発明の好ましい実施の形態による手振れ補正装置１００は、上部及び下部ハウジング１１、１２で構成されたレンズハウジングに収容され、上部ハウジング１１上には少なくとも一つ以上のレンズ１５で構成されたレンズ組立体１３が結合される。
手振れ補正装置１００には、ＣＣＤ素子またはＣＭＯＳ素子などのイメージセンサーが設置され、それから延長されるＦＰＣ(Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ)１９１は、下部ハウジング１２上に形成された配線溝１９９を通じてレンズハウジングの外部に引き出される。
図３は、図２に示された手振れ補正装置を示す斜視図であり、図４は、図３に示された手振れ補正装置の弾性部を示す平面図であり、図５は、図３に示されたＢ−Ｂ'に沿って切断した手振れ補正装置の弾性部を示す断面図であり、図６は、図３に示された手振れ補正装置の櫛構造を説明するための概略図であり、図７は、図３に示された手振れ補正装置の櫛構造の動作を説明するための概略図であり、図８は、図３に示されたＡ−Ａ'に沿って切断した固定性基板と流動性基板を示す断面図である。
図３と図４に示したように、本発明の好ましい実施の形態によるカメラレンズアセンブリー１０の手振れ補正装置１００は、固定性基板１０１上で流動可能な流動性基板１０２を設置し、流動性基板１０２の周りに櫛構造物１０４、１０５を形成して、櫛構造物１０４、１０５に電圧を印加することにより電圧差により発生する引力により流動性基板１０２を流動させる。櫛構造物１０４、１０５に電圧の供給が中断される場合、弾性部１０３は流動性基板１０２を初期位置に復帰させるようになり、これは弾性部１０３に構成された弾性片１３５、１３７により行われる。流動性基板１０２上にはイメージセンサー１０９が設置される。
図３と図８を参照すれば、流動性基板１０２は、その上面にイメージセンサー１０９が設置され、固定性基板１０１と離隔された状態を維持する。したがって、その周りに設置された櫛構造物１０４、１０５から引力が発生する場合、流動性基板１０２が固定性基板１０１上で流動することができる。
櫛構造物１０４、１０５は、流動性基板１０２の周辺四方を取り囲むように設置される。櫛構造物１０４、１０５は、固定性基板１０１上に固定された固定性櫛構造１０４と、固定性基板１０１上で前記流動性基板１０２と一緒に流動する流動性櫛構造１０５とで構成される。本発明の好ましい実施の形態についての説明において、流動性基板１０２の両側((1)、(2))に各々設置された櫛構造物１０４、１０５は、第１の固定性櫛構造及び第１の流動性櫛構造と称し、流動性基板１０２の両端((3)、(4))に各々設置された櫛構造物１０４、１０５は、第２の固定性櫛構造及び第２の流動性櫛構造と称する。
固定性櫛構造１０４は、固定性基板１０１上に固定された状態で流動性基板１０２の周辺を取り囲むように設置される。流動性櫛構造１０５は、固定性櫛構造１０４ の間の空間に沿って形成され、固定性基板１０１上で流動性基板１０２と一緒に流動可能な状態で流動性基板１０２を取り囲むように設置される。流動性櫛構造１０５の一端は流動性基板１０２の縁部に固定され、他端は所定の弾性部１０３を通じて固定性基板１０１上に固定される。弾性部１０３の弾性変形は流動性櫛構造１０５の流動を可能とするとともに、流動性櫛構造１０５が流動した場合に電圧の供給が中断されると、最初の位置に復帰するようにする弾性復元力を提供する。
図３に示したように、櫛構造物１０４、１０５は、迷路形態のすごく複雑なパターンで構成される。このパターンは、微細装置の集積化のために使用される方法であるマイクロマシニング(ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ)技法により製作される。これは半導体加工技術の一種として、よくＭＥＭＳ(Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ)と指称される。ＭＥＭＳとは、半導体工程、特に、集積回路技術を応用したマイクロマシニング技術を利用してμｍ単位のマイクロセンサーやアクチュエーター及び電気機械的構造物を製作する分野を意味する。マイクロマシニング技術により製作された微細機械は、ｍｍ以下のサイズ及びμｍ以下の精密度を具現することができる。
マイクロマシニング技術は、超精密微細加工を通じて小型化、高性能化、多機能化、集積化を可能とし、安全性及び信頼性を向上させる長所がある。また、一体化された集積システムの具現が可能なので組立の必要性が減少され、一括工程により製作されるので低価で大量生産が可能である。これは本発明の好ましい実施の形態による手振れ補正装置を製作するための一つの工法として、手振れ補正装置の構造に直接的に関連される構成要素ではないので、その詳細な説明は省略する。
流動性基板１０２、固定性櫛構造１０４及び流動性櫛構造１０５は、ＭＥＭＳ技法により同時に製作される。即ち、固定性基板１０１上に積層された積層物をＭＥＭＳ技法によりエッチングして流動性基板１０２、固定性櫛構造１０４及び流動性櫛構造１０５を同時に製作するようになる。ＭＥＭＳ技法を適用するために、固定性基板１０１はガラス基板に製作され、流動性基板１０２、固定性櫛構造１０４及び流動性櫛構造１０５を製作するための積層物は珪素(Ｓｉ)層により製作される。
以下、図６を参照して固定性櫛構造と流動性櫛構造について説明する。
図６は、手振れ補正装置の第１の固定性櫛構造と第１の流動性櫛構造を説明する図面であり、第２の固定性及び第２の流動性櫛構造は、第１の固定性及び第１の流動性櫛構造と同一であり、その方向性だけが異なるので、その図面及び参照符号は省略する。
固定性櫛構造１０４は、多数の固定性リブ１４１と、固定性リブ１４１をツリー(ｔｒｅｅ)構造で連結する第１の連結リブ１４３と、で構成される。
第１の固定性櫛構造を構成する多数の第１の固定性リブ１４１は、第１の方向(Ｘ)に延長され、第１の方向(Ｘ)に対して垂直する第２の方向(Ｙ)に沿って配列される。各々の第１の固定性リブ１４１は、第１の連結リブ１４３を通じて各々連結される。第１の連結リブ１４３の端部は、固定性基板１０１の縁部に隣接するように位置され、その上面には第１の固定性櫛構造に電圧を印加するための電極１９が各々設置される。
第２の固定性櫛構造は、第１の固定性櫛構造と同一に構成され、多数の第２の固定性リブが第２の方向(Ｙ)に延長されて第１の方向(Ｘ)に配列される点だけが異なる。また、第１の連結リブ１４３を通じて各々連結されて第１の連結リブ１４３の端部に提供された電極１９を通じて電圧が印加されることも第１の固定性櫛構造と同一である。
流動性櫛構造１０５は、多数の流動性リブ１５１と流動性リブ１５１をツリー構造で連結する第２の連結リブ１５３で構成される。
第１の流動性櫛構造を構成する多数の第１の流動性リブ１５１は、第１の方向(Ｘ)に延長され、第１の方向(Ｘ)に対して垂直する第２の方向(Ｙ)に沿って配列される。各々の第１の流動性リブ１５１は第２の連結リブ１５３を通じて各々連結される。この時、第１の流動性リブ１５１は第１の固定性リブ１４１の間に各々配置される。即ち、第１の固定性リブ１４１と第１の流動性リブ１５１は、第２の方向(Ｙ)に沿って交替に配置される。
第２の連結リブ１５３の端部は、弾性復元力を有する弾性部１０３を通じて固定性基板１０１の縁部に隣接する位置に固定され、その上面には第１の流動性櫛構造に電圧を印加するための電極１９が各々設置される。
第２の流動性櫛構造は、第１の流動性櫛構造と同一に構成され、多数の第２の流動性リブが第２の方向(Ｙ)に延長されて第１の方向(Ｘ)に配列される点だけが異なる。第２の連結リブ１５３を通じて各々連結されて第２の連結リブ１５３の端部に提供された電極を通じて電圧が印加されることも第１の流動性櫛構造と同一である。また、第２の流動性リブは、第２の固定性リブの間に各々配置される構成も第１の流動性リブ１５１の構成と同一である。
図７を参照すれば、上述のように構成された櫛構造物１０４、１０５は、各々の電極に電圧が印加された際に、第１の連結リブ１４３と、第１の連結リブ１４３に対向する第２の連結リブ１５３の間で引力を発生させる。発生された引力は、流動性櫛構造の流動を誘発することにより流動性基板１０２が流動される。
(1)側の第１の固定性櫛構造と第１の流動性櫛構造に電圧が印加される場合には、印加された電圧により流動性基板１０２は第１の方向(Ｘ)に流動するようになり、(3)側の第２の固定性櫛構造と第２の流動性櫛構造に電圧が印加る場合には、印加された電圧により流動性基板１０２は第２の方向(Ｙ)に流動するようになる。(1)側または(3)側への電圧の供給が中断されると、弾性部１０３の復元力により流動性基板１０２は初期位置に復帰する。それと同様に、(2)側の第１の固定性櫛構造と第１の流動性櫛構造に電圧が印加される場合には、流動性基板１０２は第１の方向の逆方向(−Ｘ)に流動し、(4)側の第２の固定性櫛構造と第２の流動性櫛構造に電圧が印加される場合には、流動性基板１０２は第２の方向の逆方向(−Ｙ)方向に流動するようになる。
結果的に、手振れ補正装置１００は、流動性基板１０２を流動させようとする方向に電圧を印加することにより手振れなどによる映像を補正するようになり、電圧の供給が中断されると、弾性部１０３の復元力により流動性基板１０２は最初の位置に復帰するようになる。
図４と図５を参照すれば、弾性部１０３は、第２の連結リブ１５３の端部に各々設置され、固定性基板１０１の縁部に隣接するように位置される。弾性部１０３は、第２の連結リブ１５３の端部に形成された第１の連結端１３１と、第１の連結端１３１と離隔された位置で対向するように形成される第２の連結端１３２と、第１の連結端１３１と第２の連結端１３２の間に位置されて固定性基板１０１上に固定された固定端１３３と、で構成される。第１の連結端１３１と第２の連結端１３２は、固定性基板１０１と離隔された状態で設置されて固定性基板１０１上で流動可能である。第２の連結リブ１５３の端部に提供された電極１９は固定端１３３の上面に設置される。
第１の連結端１３１と第２の連結端１３２は、第１の弾性片１３５により連結され、第２の連結端１３２と固定端１３３は、第２の弾性片１３７により連結される。第１及び第２の弾性片１３５、１３７は、流動性櫛構造が流動した際に元々の位置に復帰するようにする弾性復元力を提供する。
この時、第１の弾性片１３５と第２の弾性片１３７は、各々一対がお互いに対向するように設置でき、第２の弾性片１３７は第１の弾性片１３５の間に設置される。
弾性部１０３は、流動性櫛構造と一体型にＭＥＭＳ技法により形成される。
流動性基板１０２の両側((1)、(2))に各々設置される弾性部１０３は、流動性基板１０２が第１の方向(Ｘ)またはその逆方向(−Ｘ)に流動する際に元々の位置に復帰するようにする弾性復元力を提供する。それと同様に、流動性基板１０２の両端((3)、(4))に各々設置される弾性部１０３は、流動性基板１０２が第２の方向(Ｙ)またはその逆方向(−Ｙ)に流動する際に元々の位置に復帰するようにする弾性復元力を提供する。
このように構成された弾性部１０３は、第２の連結リブ１５３の一端、即ち、流動性基板１０２に隣接する位置にも設置できる。この場合、流動性櫛構造１０５の構造的安全性が向上され、手振れ補正装置１００の信頼性が向上される効果がある。流動性基板１０２に隣接する位置に設置される弾性部１０３は、固定性基板１０１の縁部に隣接した位置に設置された弾性部１０３とその形状において多少の差があり得る。
また、図６を参照すれば、流動性櫛構造１０５と流動性基板１０２は、多数のサスペンション(ｓｕｓｐｅｎｓｉｏｎ)１５９により連結される。多数のサスペンション１５９は、流動性基板１０２の両側((1)、(2))に位置される第１のサスペンションと、他の両端((3)、(4))に位置される第２のサスペンションに分けられる。
第１のサスペンションは、第１の流動性櫛構造の流動を流動性基板１０２に伝達して流動性基板１０２を第１の方向(Ｘ)に流動させながら、流動性基板１０２が第２の方向(Ｙ)またはその逆方向(−Ｙ)に流動することを許容する。即ち、流動性基板１０２が第２の方向(Ｙ)またはその逆方向(−Ｙ)に流動する際に、第１のサスペンションが弾性変形を起こしながら、流動性基板１０２の第２の方向(Ｙ)またはその逆方向(−Ｙ)に従う流動が第１の流動性櫛構造に伝達されることを防止する。
第２のサスペンションは、第２の流動性櫛構造の流動を流動性基板１０２に伝達して流動性基板１０２を第２の方向(Ｙ)に流動させながら、流動性基板１０２が第１の方向(Ｘ)またはその逆方向(−Ｘ)に流動することを許容する。即ち、流動性基板１０２が第１の方向(Ｘ)に流動する際に、第２のサスペンションが第１の方向(Ｘ)またはその逆方向(−Ｘ)に弾性変形を起こしながら、流動性基板１０２の第１の方向(Ｘ)またはその逆方向(−Ｘ)に従う流動が第２の流動性櫛構造に伝達されることを防止する。
このように構成された手振れ補正装置１００は、カメラ装置に設置されて角速度センサーまたはジャイロセンサーから検出される使用者の手振れなどによるカメラの振動量と速度によって制御信号の提供を受けるようになる。制御信号とは、電極１９に印加される電圧である。カメラの振動量と速度によって手振れ補正装置１００の電極１９に電圧が印加される場合、櫛構造物１０４、１０５の間に作用する静電気力は流動性櫛構造の流動を発生させて結果的に流動性基板１０２を流動させる。
以上、本発明を具体的な実施形態を参照して詳細に説明したが、本発明の範囲は前述の実施形態によって限定されるべきではなく、特許請求の範囲の記載及びこれと均等なものの範囲内で様々な変形が可能なことは、当該技術分野における通常の知識を持つ者には明らかである。
本発明の好ましい実施の形態による手振れ補正装置を具備するカメラレンズアセンブリーを示す分離斜視図である。 図１に示されたカメラレンズアセンブリーを示す断面構成図である。 図２に示された手振れ補正装置を示す斜視図である。 図３に示された手振れ補正装置の弾性部を示す平面図である。 図３に示されたＢ−Ｂ'に沿って切断した手振れ補正装置の弾性部を示す断面図である。 図３に示された手振れ補正装置の櫛構造を説明するための概略図である。 図３に示された手振れ補正装置の櫛構造の動作を説明するための概略図である。 図３に示されたＡ−Ａ'に沿って切断した固定性基板と流動性基板を示す断面図である。
符号の説明
１０ カメラレンズアセンブリー
１１ 上部ハウジング
１２ 下部ハウジング
１３ レンズ組立体
１９ 電極
１０１ 固定性基板
１０２ 流動性基板
１０３ 弾性部
１０４、１０５ 櫛構造物
１３１ 第１の連結端
１３２ 第２の連結端
１３３ 固定端
１４１ 第１の固定性リブ
１４３ 第１の連結リブ
１５１ 第１の流動性リブ
１５３ 第２の連結リブ

Claims (21)

  1. カメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置であって、
    固定性基板と、
    前記固定性基板上に流動可能に配置される流動性基板と、
    前記固定性基板上に固定され、前記流動性基板上に流動可能に配置される固定性櫛構造と、
    前記流動性基板上に設置され、前記流動性基板と一緒に前記固定性基板上で流動可能に配置される流動性櫛構造と、を含み、
    前記流動性櫛構造の一端は前記流動性基板の縁部に固定され、他端は弾性復元力を有しながら前記固定性基板の縁部に弾性変形可能に固定され、
    前記固定性櫛構造と流動性櫛構造に起電力が印加されることによって、前記固定性櫛構造と流動性櫛構造の間に作用する引力により前記流動性基板が流動することを特徴とするカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  2. 前記起電力は、電圧であることを特徴とする請求項１に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  3. 前記固定性櫛構造及び流動性櫛構造は、前記流動性基板を囲むように配置されることを特徴とする請求項１に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  4. 前記固定性基板はガラス基板であり、固定性櫛構造及び流動性櫛構造は、前記固定性基板上に積層された珪素(Ｓｉ)層がエッチングされて構成されることを特徴とする請求項１に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  5. 前記流動性櫛構造は、その他端に提供される第１の連結端と、
    前記第１の連結端と対向するように位置される第２の連結端と、
    前記第１の連結端と第２の連結端の間で前記第２の連結端と対向し、前記固定性基板上に固定された固定端と、
    前記第１の連結端と第２の連結端を連結させる第１の弾性片と、
    前記第２の連結端と固定端を連結させる第２の弾性片と、で構成された弾性部を具備することにより弾性復元力が付与されることを特徴とする請求項１に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  6. 前記弾性部は、前記流動性櫛構造が前記流動性基板の縁部に固定される一端に隣接する位置にさらに具備されることを特徴とする請求項５に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  7. 前記固定性櫛構造は、前記流動性基板の両側に各々配置される第１の固定性櫛構造と、
    前記流動性基板の両端に各々配置される第２の固定性櫛構造で構成されることを特徴とする請求項１に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  8. 前記流動性櫛構造は、前記流動性基板の両側に各々配置される第１の流動性櫛構造と、
    前記流動性基板の両端に各々配置される第２の流動性櫛構造と、で構成されることを特徴とする請求項１に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  9. 前記固定性櫛構造は、第１の方向に延長されて前記第１の方向に対して垂直する第２の方向に配列される多数の第１の固定性リブと、
    前記第２の方向に延長されて前記第１の方向に配列される多数の第２の固定性リブと、で構成されることを特徴とする請求項１に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  10. 前記固定性櫛構造は、前記第１の固定性リブと第２の固定性リブを各々ツリー構造で連結する第１の連結リブをさらに具備することを特徴とする請求項９に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  11. 前記流動性櫛構造は、第１の方向に延長されて前記第１の方向に対して垂直する第２の方向に配列される多数の第１の流動性リブと、前記第２の方向に延長されて前記第１の方向に配列される多数の第２の流動性リブと、で構成され、
    前記第１の流動性リブは、前記第１の固定性リブの間に各々配列され、前記第２の流動性リブは、前記第２の固定性リブの間に各々配列されることを特徴とする請求項１または９に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  12. 前記流動性櫛構造は、前記第１の流動性リブと第２の流動性リブを各々ツリー構造で連結する第２の連結リブをさらに具備することを特徴とする請求項１１に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  13. 前記第１の固定性リブと第１の流動性リブに起電力が印加される場合に、前記第１の流動性リブが前記第１の方向に流動しながら前記流動性基板が第１の方向に流動することを特徴とする請求項１１に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  14. 前記第２の固定性リブと第２の流動性リブに起電力が印加される場合に、前記第２の流動性リブが前記第２の方向に流動しながら前記流動性基板が第２の方向に流動することを特徴とする請求項１１に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  15. 前記第１及び第２の固定性リブと第１及び第２の流動性リブを各々ツリー構造で連結する第１及び第２の連結リブの端部は、前記固定性基板の縁部に隣接するように位置され、前記固定性櫛構造と流動性櫛構造に電圧を印加するための電極が前記第１及び第２の連結リブの端部に各々設置されることを特徴とする請求項１０または１２に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  16. 前記流動性基板上にイメージセンサーが付着されることを特徴とする請求項１に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  17. 前記第１及び第２の弾性片は、各々一対が対向するように構成され、前記一対の第２の弾性片は、前記第１の弾性片の間に位置されることを特徴とする請求項５に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  18. 前記第１及び第２の弾性片は、各々前記固定性基板上に積層された珪素層がエッチングされて形成されることを特徴とする請求項５に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  19. 前記固定端の上面に起電力を印加するための電極が設置されることを特徴とする請求項５に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  20. 前記流動性基板の両側と前記第１の流動性櫛構造の一端を連結して前記第１の流動性櫛構造の流動を前記流動性基板に伝達すると同時に、前記流動性基板が前記第１の流動性櫛構造の流動方向に対して垂直方向に流動することを許容する第１のサスペンションと、
    前記流動性基板の両端と前記第２の流動性櫛構造の一端を連結して前記第２の流動性櫛構造の流動を前記流動性基板に伝達すると同時に、前記流動性基板が前記第２の流動性櫛構造の流動方向に対して垂直方向に流動することを許容する第２のサスペンションと、をさらに具備することを特徴とする請求項１または８に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
  21. 前記第１の流動性櫛構造の流動方向と第２の流動性櫛構造は、お互いに垂直方向に流動することを特徴とする請求項２０に記載のカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置。
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