WO2020009071A1

WO2020009071A1 - 振れ補正装置、駆動装置、撮像装置および電子機器

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Publication number: WO2020009071A1
Application number: PCT/JP2019/026165
Authority: WO
Inventors: 哲博中田; 啓中丸; 義夫後藤; 智哉武井; 一行江嶋
Original assignee: ソニー株式会社
Priority date: 2018-07-04
Filing date: 2019-07-01
Publication date: 2020-01-09
Also published as: US20210235018A1; JPWO2020009071A1; JP7218757B2; DE112019003375T5; US11330183B2; CN112334827A

Abstract

振れ補正装置は、被駆動体と、第１の方向に伸縮可能に構成された第１のアクチュエータと、第２の方向に伸縮可能に構成された第２のアクチュエータと、第１のアクチュエータおよび第２のアクチュエータを介して被駆動体を支持する支持体と、第１のアクチュエータと被駆動体の間、および第１のアクチュエータと支持体の間の少なくとも一方を接続する第１の接続機構部と、第２のアクチュエータと被駆動体の間、および第２のアクチュエータと支持体の間の少なくとも一方を接続する第２の接続機構部とを備える。第１の接続機構部および第２の接続機構部は、少なくとも１自由度の回転自由度を有する。

Description

振れ補正装置、駆動装置、撮像装置および電子機器

　本開示は、振れ補正装置、駆動装置、撮像装置および電子機器に関する。

　近年、デジタルカメラにおいては、振れ補正装置が搭載されるのが一般的になっている。このため、アクチュエータを用いた２軸以上の駆動装置（多軸駆動装置）に関して盛んに研究されている。

　例えば特許文献１には、シンプルな構造でコンパクト化を図るために、高分子アクチュエータ素子を用いて手振れ補正装置を構成することが記載されている。

特開２００９－９２８１９号公報

　本開示の目的は、２軸以上の駆動が可能な振れ補正装置、駆動装置、撮像装置および電子機器を提供することにある。

　上述の課題を解決するために、第１の開示は、被駆動体と、第１の方向に伸縮可能に構成された第１のアクチュエータと、第２の方向に伸縮可能に構成された第２のアクチュエータと、第１のアクチュエータおよび第２のアクチュエータを介して被駆動体を支持する支持体と、第１のアクチュエータと被駆動体の間、および第１のアクチュエータと支持体の間の少なくとも一方を接続する第１の接続機構部と、第２のアクチュエータと被駆動体の間、および第２のアクチュエータと支持体の間の少なくとも一方を接続する第２の接続機構部とを備え、第１の接続機構部および第２の接続機構部は、少なくとも１自由度の回転自由度を有する振れ補正装置である。

　第２の開示は、第１の方向に伸縮可能に構成された第１のアクチュエータと、第１のアクチュエータ上に設けられ、第２の方向に伸縮可能に構成された第２のアクチュエータおよび第３のアクチュエータと、第２のアクチュエータおよび第３のアクチュエータ上に設けられた被駆動体と、第１のアクチュエータ、第２のアクチュエータおよび第３のアクチュエータを支持する支持体と、第１のアクチュエータと被駆動体との間を接続する第１の接続機構部と、第２のアクチュエータと被駆動体との間を接続する第２の接続機構部と、第３のアクチュエータと被駆動体との間を接続する第３の接続機構部とを備え、第１の接続機構部は、被駆動体を第２の方向に移動可能な並進自由度と、第１の方向および第２の方向に直交する軸回りに回転可能な回転自由度を有し、第２の接続機構部および第３の接続機構部は、被駆動体を第１の方向に移動可能な並進自由度と、軸回りに回転可能な回転自由度を有し、第１の接続機構部は、第２の接続機構部および第３の接続機構部の間に設けられている振れ補正装置である。

　第３の開示は、被駆動体と、第１の方向に伸縮可能に構成された第１のアクチュエータと、第２の方向に伸縮可能に構成された第２のアクチュエータと、第１のアクチュエータおよび第２のアクチュエータを介して被駆動体を支持する支持体と、第１のアクチュエータと被駆動体の間、および第１のアクチュエータと支持体の間の少なくとも一方を接続する第１の接続機構部と、第２のアクチュエータと被駆動体の間、および第２のアクチュエータと支持体の間の少なくとも一方を接続する第２の接続機構部とを備え、第１の接続機構部および第２の接続機構部は、少なくとも１自由度の回転自由度を有する駆動装置である。

　第４の開示は、第１の方向に伸縮可能に構成された第１のアクチュエータと、第１のアクチュエータ上に設けられ、第２の方向に伸縮可能に構成された第２のアクチュエータおよび第３のアクチュエータと、第２のアクチュエータおよび第３のアクチュエータ上に設けられた被駆動体と、第１のアクチュエータ、第２のアクチュエータおよび第３のアクチュエータを支持する支持体と、第１のアクチュエータと被駆動体との間を接続する第１の接続機構部と、第２のアクチュエータと被駆動体との間を接続する第２の接続機構部と、第３のアクチュエータと被駆動体との間を接続する第３の接続機構部とを備え、第１の接続機構部は、被駆動体を第２の方向に移動可能な並進自由度と、第１の方向および第２の方向に直交する軸回りに回転可能な回転自由度を有し、第２の接続機構部および第３の接続機構部は、被駆動体を第１の方向に移動可能な並進自由度と、軸回りに回転可能な回転自由度を有し、第１の接続機構部は、第２の接続機構部および第３の接続機構部の間に設けられている駆動装置である。

　第５の開示は、第１または第２の開示の振れ補正装置を備える撮像装置である。

　第６の開示は、第３または第４の開示の駆動装置を備える電子機器である。

　本開示によれば、２軸以上の駆動が可能な振れ補正装置または駆動装置を実現できる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果またはそれらと異質な効果であってもよい。

図１Ａは、駆動装置の構成を示す概略図である。図１Ｂは、駆動装置の動作を説明するための概略図である。図２Ａは、駆動装置の構成を示す概略図である。図２Ｂは、駆動装置の動作を説明するための概略図である。図３Ａは、本開示の第１の実施形態に係る駆動装置の構成の一例を示す概略図である。図３Ｂは、本開示の第１の実施形態に係る駆動装置の動作の一例を説明するための概略図である。図４Ａは、アクチュエータおよび接続機構部の構成の一例を示す平面図である。図４Ｂは、図４ＡのＩＶＢ－ＩＶＢ線に沿った断面図である。図５Ａは、接続機構部の変形例を示す平面図である。図５Ｂは、図５ＡのＶＢ－ＶＢ線に沿った断面図である。図６は、接続機構部の変形例を示す平面図である。図７は、アクチュエータの変形例を示す平面図である。図８は、アクチュエータの変形例を示す平面図である。図９は、駆動装置の変形例を示す平面図である。図１０Ａは、本開示の第２の実施形態に係る駆動装置の構成の一例を示す概略図である。図１０Ｂは、図１０Ａに示した接続機構部を拡大して表す図である。図１１Ａは、本開示の第２の実施形態に係る駆動装置の回転駆動の動作の一例を説明するための概略図である。図１１Ｂは、本開示の第２の実施形態に係る駆動装置の並進駆動の動作の一例を説明するための概略図である。図１２Ａは、本開示の第３の実施形態に係る駆動装置の構成の一例を示す概略図である。図１２Ｂは、図１２ＡのＸIIＢ－ＸIIＢ線に沿った断面図である。図１３Ａは、本開示の第３の実施形態に係る駆動装置の下層の構成の一例を示す概略図である。図１３Ｂは、本開示の第３の実施形態に係る駆動装置の中層の構成の一例を示す概略図である。図１４は、Ｘ軸方向への並進駆動時の駆動装置の動作の一例を説明するための概略図である。図１５Ａは、Ｘ軸方向への並進駆動時の駆動装置の下層の状態の一例を示す概略図である。図１５Ｂは、Ｘ軸方向への並進駆動時の駆動装置の中層の状態の一例を示す概略図である。図１６は、Ｙ軸方向への並進駆動時の駆動装置の動作の一例を説明するための概略図である。図１７Ａは、Ｙ軸方向への並進駆動時の駆動装置の下層の状態の一例を示す概略図である。図１７Ｂは、Ｙ軸方向への並進駆動時の駆動装置の中層の状態の一例を示す概略図である。図１８は、回転駆動時の駆動装置の動作の一例を説明するための概略図である。図１９Ａは、回転駆動時の駆動装置の下層の一例を示す概略図である。図１９Ｂは、回転駆動時の駆動装置の中層の一例を示す概略図である。図２０は、本開示の第４の実施形態に係る撮像装置の構成の一例を示すブロック図である。図２１Ａは、参考例１の有限要素法モデルの構成を示す平面図である。図２１Ｂは、図２１Ａに示した接続機構部を拡大して表す斜視図である。

　本開示の実施形態について以下の順序で説明する。
１　第１の実施形態（駆動装置の例）
２　第２の実施形態（駆動装置の例）
３　第３の実施形態（駆動装置の例）
４　第４の実施形態（撮像装置の例）

＜１　第１の実施形態＞
［概要］
　図１Ａは、駆動装置４００の構成の一例を示す。なお、以下では、説明の明確化のため、ＸＹＺ直交座標系を用いて説明する。また、以下の説明において、Ｘ、Ｙ軸方向とは、板状を有する被駆動体４０１の主面の面内方向で、かつ互いに直交する第１、第２の方向のことをいう。また、Ｚ軸方向とは、被駆動体４０１の主面に垂直な方向、すなわち第１、第２の方向の両方に垂直な第３の方向のことをいう。なお、駆動装置４００が撮像装置等の振れ補正装置である場合には、Ｘ、Ｙ軸方向は撮像装置等の光軸方向に垂直な方向、Ｚ軸方向は撮像装置等の光軸方向となる。

　駆動装置４００は、いわゆるＸ軸方向およびＹ軸方向に移動可能な２軸駆動装置であり、被駆動体４０１と、被駆動体４０１をＸ、Ｙ軸方向に移動する４つのアクチュエータ４０２～４０５と、これらのアクチュエータ４０２～４０５を介して被駆動体４０１を支持する支持体（枠体）４０６とを備える。アクチュエータ４０２～４０５は、誘電エラストマーアクチュエータ（Dielectric Elastomer Actuator、以下「ＤＥＡ」という。）により構成される。

　上記構成を有する駆動装置４００では、図１Ｂに示すように、例えばアクチュエータ４０３を駆動させ、Ｘ軸方向に被駆動体４０１を移動させた場合、アクチュエータ４０３の発生力は大きいが、駆動に寄与しないアクチュエータ４０４、４０５のせん断剛性が負荷となって、被駆動体４０１の移動の妨げとなる。

　図２Ａは、駆動装置４１０の構成の一例を示す。駆動装置４１０は、アクチュエータ４０２～４０５に代えて、高アスペクト比を有する複数のアクチュエータ４２１により構成されるアクチュエータ群４１２～４１５を備える点以外では、駆動装置４００と同様の構成を有する。ここで、アスペクト比とは、アクチュエータ４２１の幅Ｗに対するアクチュエータ４２１の長さＬの比率Ｌ／Ｗを意味する。

　上記構成を有する駆動装置４１０では、図２Ｂに示すように、例えばアクチュエータ群４１３を駆動させ、Ｘ軸方向に被駆動体４０１を移動させた場合、アクチュエータ群４１４、４１５のせん断剛性は小さくなるが、アクチュエータ群４１３の発生力も小さくなってしまう。

　そこで、本発明者らは、上述した２つの駆動装置４００、４１０の問題点を鑑みて、発生力の低下を抑制しつつ、せん断剛性を抑制することができる駆動装置について鋭意検討した結果、以下の構成を有する駆動装置を見出すに至った。すなわち、アクチュエータと被駆動体の間、およびアクチュエータと支持体の間の少なくとも一方を接続する接続機構部を備え、接続機構部は、少なくとも１自由度の回転自由度（少なくとも１軸の回転自由度）を有する駆動装置を見出すに至った。

［駆動装置の構成］
　図３Ａは、本開示の第１の実施形態に係る駆動装置１０の構成の一例を示す。駆動装置１０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に並進駆動可能な２軸駆動装置、より具体的には、撮像装置等に用いられる２軸駆動の振れ補正装置である。駆動装置１０は、被駆動体１１と、一組のアクチュエータ（第１のアクチュエータ）１２、１３と、一組のアクチュエータ（第２のアクチュエータ）１４、１５と、支持体１６と、接続機構部（第１の接続機構部）１２Ａ、１２Ｂ、１３Ａ、１３Ｂと、接続機構部（第２の接続機構部）１４Ａ、１４Ｂ、１５Ａ、１５Ｂとを備える。なお、駆動装置１０には、図示をしないアクチュエータ駆動部およびアクチュエータ制御部が接続されている。

（被駆動体）
　被駆動体１１は、撮像素子またはレンズ等の駆動対象物を含む。より具体的には、被駆動体１１は、駆動対象物と、駆動対象物を支持する支持部材とを備える。なお、被駆動体１１の構成はこれに限定されるものではなく、駆動対象物を支持する支持部材であってもよい。撮像素子としては、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサまたはＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサが用いられる。被駆動体１１は、対向する一組の第１、第２の辺部と、対向する一組の第３、第４の辺部とを持つ矩形板状を有している。ここで、辺部とは、被駆動体１１の側面と被駆動体１１の両主面の周縁部とからなる部分を意味するものとする。

（支持体）
　支持体１６は、アクチュエータ１２～１５を介して被駆動体１１を支持する。支持体１６は、被駆動体１１の第１～第４の辺部にそれぞれ対向する第１～第４の壁部を有する枠状体である。第１～第４の壁部はそれぞれ、被駆動体１１１の第１～第４の辺部から規定の距離離して設けられている。支持体１６が、駆動装置１０が設けられる撮像装置の筐体の一部であってもよい。

（アクチュエータ）
　一組のアクチュエータ１２、１３は、±Ｘ軸方向（第１の方向）に伸縮可能に構成されている。一組のアクチュエータ１４、１５は、±Ｙ軸方向（第１の方向と直交する第２の方向）に伸縮可能に構成されている。

　アクチュエータ１２～１５は、対向する第１、第２の端部を有する矩形のフィルム状を有している。具体的には、アクチュエータ１２～１５は、図４Ａに示すように、第１の方向（伸縮方向）において対向する第１、第２の端部を有する矩形フィルム状のアクチュエータ本体２１と、第１の端部に設けられた第１の端部部材２２と、第２の端部に設けられた第２の端部部材２３とを備える。なお、アクチュエータ１２～１５が第１の端部部材２２と第２の端部部材２３とを備えない構成を採用してもよいが、発生力の向上の観点からすると、第１の端部部材２２と第２の端部部材２３とを備えることが好ましい。

　被駆動体１１と支持体１６との間には空間が設けられており、この空間にアクチュエータ１２～１５が配置されている。より具体的には、アクチュエータ１２は、被駆動体１１の第１の辺部と支持体１６の第１の壁部との間の空間に配置され、アクチュエータ１３は、被駆動体１１の第２の辺部と支持体１６の第２の壁部との間の空間に配置されている。また、アクチュエータ１４は、被駆動体１１の第３の辺部と支持体１６の第３の壁部との間の空間に配置され、アクチュエータ１５は、被駆動体１１の第４の辺部と支持体１６の第４の壁部との間の空間に配置されている。

　アクチュエータ１２～１５の第１の端部部材２２はそれぞれ、接続機構部１２Ａ～１５Ａを介して、被駆動体１１の第１～第４の辺部に接続されている。アクチュエータ１２～１５の第２の端部部材２３はそれぞれ、接続機構部１２Ｂ～１５Ｂを介して、支持体１６の第１～第４の壁部に接続されている。

　アクチュエータ本体２１は、いわゆるＤＥＡであり、矩形のフィルム状を有している。図４Ｂに示すように、アクチュエータ本体２１は、伸縮性を有する複数の誘電エラストマー層２１Ａと、誘電エラストマー層２１Ａの伸縮に追従して伸縮可能である複数の電極（第１の電極）２１Ｂおよび複数の電極（第２の電極）２１Ｃとを備える積層体である。電極２１Ｂおよび電極２１Ｃは、積層された誘電エラストマー層２１Ａの間に交互に配置されている。絶縁性の観点からすると、アクチュエータ本体２１の両主面は、誘電エラストマー層２１Ａで覆われていることが好ましい。

　誘電エラストマー層２１Ａは、例えば、絶縁性伸縮材料として絶縁性エラストマーを含む。誘電エラストマー層２１Ａは、必要に応じて添加剤を含んでいてもよい。添加剤は、例えば、架橋剤、可塑剤、老化防止剤、界面活性剤、粘度調整剤、補強剤および着色剤等のうちの少なくとも１種である。絶縁性エラストマーは、例えば、アクリルゴム、シリコーンゴム、エチレン－プロピレン－ジエン三元共重合体（ＥＰＤＭ）、天然ゴム（ＮＲ）、ブチルゴム（ＩＩＲ）、イソプレンゴム（ＩＲ）、アクリロニトリル－ブタジエン共重合ゴム（ＮＢＲ）、水素化アクリルニトリル－ブタジエン共重合ゴム（Ｈ－ＮＢＲ）、ヒドリン系ゴム、クロロプレンゴム（ＣＲ）、フッ素ゴムおよびウレタンゴム等のうちの少なくとも１種を含む。

　電極２１Ｂ、２１Ｃは、導電性材料を含む。電極２１Ｂ、２１Ｃが、必要に応じて伸縮性を有するバインダ、ゲル、懸濁液およびオイルのうちの少なくとも１種をさらに含んでいてもよい。また、電極２１Ｂ、２１Ｃが、必要に応じて添加剤をさらに含んでいてもよい。

　導電性材料は、例えば、導電性フィラーおよび導電性高分子のうちの少なくとも１種である。導電性フィラーの形状としては、例えば、球状、楕円体状、針状、板状、鱗片状、チューブ状、ワイヤー状、棒状（ロッド状）、繊維状、不定形状等が挙げられるが、特にこれらに限定されるものではない。なお、１種状の形状の導電性フィラーのみを用いてもよいし、２種以上の形状の導電性フィラーを組み合わせて用いてもよい。

　導電性フィラーは、例えば、炭素系フィラー、金属系フィラー、金属酸化物系フィラーおよび金属被覆系フィラーのうちの少なくとも１種を含む。ここで、金属には、半金属が含まれるものと定義する。

　炭素系フィラーは、例えば、カーボンブラック（例えばケッチェンブラック、アセチレンブラック等）、ポーラスカーボン、炭素繊維（例えばＰＡＮ系、ピッチ系等）、カーボンナノファイバー、フラーレン、グラフェン、気相成長炭素繊維（ＶＧＣＦ）、カーボンナノチューブ（例えばＳＷＣＮＴ、ＭＷＣＮＴ等）、カーボンマイクロコイルおよびカーボンナノホーンのうちの少なくとも１種を含む。

　金属系フィラーは、例えば、銅、銀、金、白金、パラジウム、ニッケル、錫、コバルト、ロジウム、イリジウム、鉄、ルテニウム、オスミウム、マンガン、モリブデン、タングステン、ニオブ、タンタル、チタン、ビスマス、アンチモンおよび鉛のうちの少なくとも１種を含む。

　金属酸化物系フィラーは、例えば、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化亜鉛、酸化インジウム、アンチモン添加酸化錫、フッ素添加酸化錫、アルミニウム添加酸化亜鉛、ガリウム添加酸化亜鉛、シリコン添加酸化亜鉛、酸化亜鉛－酸化錫、酸化インジウム－酸化錫または酸化亜鉛－酸化インジウム－酸化マグネシウムを含む。

　金属被覆系フィラーは、ベースフィラーを金属で被覆したものである。ベースフィラーは、例えば、マイカ、ガラスビーズ、ガラス繊維、炭素繊維、炭酸カルシウム、酸化亜鉛または酸化チタンである。ベースフィラーを被覆する金属は、例えば、ＮｉおよびＡｌのうちの少なくとも１種を含む。

　導電性高分子は、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルホン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）、ポリアニリン、ポリアセチレンおよびポリピロールのうちの少なくとも１種を含む。

　バインダは、エラストマーであることが好ましい。エラストマーとしては、誘電エラストマー層２１Ａと同様のものを例示することができる。添加剤としては、誘電エラストマー層２１Ａと同様のものを例示することができる。

　電極２１Ｂ、２１Ｃはコンポジット材料（複合材料）を含んでいてもよい。コンポジット材料は、例えば、エラストマーと導電性高分子および導電性フィラーの少なくとも１種とのコンポジット材料、伸縮性のイオン導電性材料と電界質とを含むコンポジット材料、高分子の懸濁液（アクリルエマルジョン等）と導電性高分子および導電性フィラーの少なくとも１種とのコンポジット材料、ブロックコポリマと導電性高分子および導電性フィラーの少なくとも１種とのコンポジット材料、および高分子ゲルとイオン導電体とのコンポジット材料のうちの少なくとも１種を含む。

　第１、第２の端部部材２２、２３は、導電性を有している。第１の端部部材２２は、複数の電極２１Ｂに電気的に接続され、複数の電極２１Ｂの取り出し電極としての機能を有する。一方、第２の端部部材２３は、複数の電極２１Ｃに電気的に接続され、複数の電極２１Ｃの取り出し電極としての機能を有する。第１、第２の端部部材２２、２３は、アクチュエータ駆動部に対して接続されている。

　第１、第２の端部部材２２、２３は、アクチュエータ本体２１よりも高い弾性率を有していることが好ましい。これにより、駆動装置１０を駆動させた際に、アクチュエータ本体２１の第１、第２の端部の変形を抑制することができる。したがって、発生力を向上することができる。第１、第２の端部部材２２、２３の弾性率（ヤング率）が、発生力の向上の観点から、１０ＭＰａ以上であることが好ましい。第１、第２の端部部材２２、２３の弾性率の上限値は特に限定されるものではないが、例えば１０００ＧＰａ以下である。第１、第２の端部部材２２、２３は、例えば、金属を含む。上記の弾性率は、JIS K 6251:2010に準拠して測定される値である。

（接続機構部）
　接続機構部１２Ａ、１２Ｂはそれぞれ、アクチュエータ１２の第１の端部と被駆動体１１の第１の辺部との間、アクチュエータ１２の第２の端部と支持体１６の第１の壁部との間を接続する。接続機構部１３Ａ、１３Ｂはそれぞれ、アクチュエータ１３の第１の端部と被駆動体１１の第２の辺部との間、アクチュエータ１３の第２の端部と支持体１６の第２の壁部との間を接続する。接続機構部１４Ａ、１４Ｂはそれぞれ、アクチュエータ１４の第１の端部と被駆動体１１の第３の辺部との間、アクチュエータ１４の第２の端部と支持体１６の第３の壁部との間を接続する。接続機構部１５Ａ、１５Ｂはそれぞれ、アクチュエータ１５の第１の端部と被駆動体１１の第４の辺部との間、アクチュエータ１５の第２の端部と支持体１６の第４の壁部との間を接続する。

　接続機構部１２Ａ、１２Ｂは、Ｚ軸回りに回転可能な１自由度の回転自由度を有する。具体的には、接続機構部１２Ａは、図４Ａに示すように、アクチュエータ１２の第１の端部に設けられた軸部３１と、この軸部３１に支持された円柱体３２と、被駆動体１１の第１の辺部に設けられた軸部３３と、この軸部３３により支持されたハウジング部３４とを備える。また、接続機構部１２Ｂは、図４Ａに示すように、アクチュエータ１２の第２の端部に設けられた軸部４１と、この軸部４１により支持された円柱体４２と、支持体１６の第１の壁部に設けられた軸部４３と、この軸部４３に支持されたハウジング部４４とを備える。ハウジング部３４、４４はそれぞれ、円柱体３２、４２をＺ軸回りに回転可能に収容している。

　接続機構部１３Ａ、１４Ａ、１５Ａはそれぞれ、接続機構部１２Ａと同様の構成を有している。また、接続機構部１３Ｂ、１４Ｂ、１５Ｂはそれぞれ、接続機構部１２Ｂと同様の構成を有している。

（アクチュエータ制御部）
　アクチュエータ制御部は、被駆動体１１の移動駆動を制御する制御信号を生成し、生成した制御信号をアクチュエータ駆動部に供給する。

（アクチュエータ駆動部）
　アクチュエータ駆動部は、アクチュエータ制御部からの制御信号に基づいて、アクチュエータ１２～１５に電圧を印加し、アクチュエータ１２～１５を駆動する。

［駆動装置の動作］
　以下に、上述の構成を有する駆動装置１０の動作の一例について説明する。

　アクチュエータ１２に電圧を印加しアクチュエータ１２を伸長させることで、被駆動体１１を－Ｘ軸方向に移動させることができる。一方、アクチュエータ１３に電圧を印加しアクチュエータ１３を伸長させることで、被駆動体１１を＋Ｘ軸方向に移動させることができる。

　アクチュエータ１４に電圧を印加しアクチュエータ１４を伸長させることで、被駆動体１１を－Ｙ軸方向に移動させることができる。一方、アクチュエータ１５に電圧を印加しアクチュエータ１５を伸長させることで、被駆動体１１を＋Ｙ軸方向に移動させることができる。

　例えば図３Ｂに示すように、被駆動体１１をＸ軸方向に移動させた場合には、アクチュエータ１４は接続機構部１４Ａ、１４Ｂの回転により方向を変えることができると共に、アクチュエータ１５は接続機構部１５Ａ、１５Ｂの回転により方向を変えることができる。したがって、発生力の低下を抑制しつつ、せん断剛性を抑制することができる。

［効果］

　第１の実施形態に係る駆動装置１０は、被駆動体１１を第１の方向（±Ｘ軸方向）に移動可能に構成された一組のアクチュエータ１２、１３と、被駆動体１１を第２の方向（±Ｙ軸方向）に移動可能に構成された一組のアクチュエータ１４、１５とを備えている。これにより、被駆動体１１をＸ軸方向およびＹ軸方向に並進駆動させることができる。したがって、２軸駆動の駆動装置１０を提供することがでる。

　また、第１の実施形態に係る駆動装置１０は、アクチュエータ１２と被駆動体１１の間、アクチュエータ１２と支持体１６の間をそれぞれ接続する接続機構部１２Ａ、１２Ｂと、アクチュエータ１３と被駆動体１１の間、アクチュエータ１３と支持体１６との間をそれぞれ接続する接続機構部１３Ａ、１３Ｂと、アクチュエータ１４と被駆動体１１の間、アクチュエータ１４と支持体１６の間をそれぞれ接続する接続機構部１４Ａ、１４Ｂと、アクチュエータ１５と被駆動体１１の間、アクチュエータ１５と支持体１６との間をそれぞれ接続する接続機構部１５Ａ、１５Ｂとを備える。これにより、被駆動体１１を±Ｘ軸方向に移動させる際には、アクチュエータ１４、アクチュエータ１５はそれぞれ、接続機構部１４Ａ、１４Ｂ、接続機構部１５Ａ、１５ＢのＺ軸回りの回転により方向を変えることができる。したがって、アクチュエータ１４、１５の発生力の低下を抑制しつつ、アクチュエータ１４、１５のせん断剛性を抑制することができる。また、被駆動体１１を±Ｙ軸方向に移動させる際には、アクチュエータ１２、アクチュエータ１３はそれぞれ、接続機構部１２Ａ、１２Ｂ、接続機構部１３Ａ、１３ＢのＺ軸回りの回転により方向を変えることができる。したがって、アクチュエータ１２、１３の発生力の低下を抑制しつつ、アクチュエータ１２、１３のせん断剛性を抑制することができる。

［変形例］
（変形例１）
　図５Ａ、図５Ｂに示すように、駆動装置１０が、接続機構部１２Ｂに代えて、第２の端部部材２３に設けられた円柱状の凸部２３Ａと、支持体１６に設けられ、凸部２３Ａが回転可能に嵌め合わされる円柱状の孔部１６Ａとを有する接続機構部１２Ｃを備えるようにしてもよい。同様に、駆動装置１０が、接続機構部１３Ｂ、１４Ｂ、１５Ｂに代えて、上述の接続機構部１２Ｃと同様の構成を有する接続機構部を備えるようにしてもよい。上述の接続機構部１２Ｃ等では、アクチュエータ１２～１５の第２の端部と支持体１６とが異なる高さに位置するため、駆動時に、アクチュエータ１２～１５の第２の端部が支持体１６に接触することを抑制することができる。なお、支持体１６に凸部２３Ａが設けられ、第２の端部部材２３に孔部１６Ａが設けられていてもよい。

　図示はしないが、駆動装置１０が、接続機構部１２Ａ、１３Ａ、１４Ａ、１５Ａに代えて、第１の端部部材２２に設けられた円柱状の凸部と、被駆動体１１に設けられ、凸部が回転可能に嵌め合わされる円柱状の孔部とを有する接続機構部を備えるようにしてもよい。上述の接続機構部では、アクチュエータ１２～１５の第１の端部と被駆動体１１とが異なる高さに位置するため、駆動時に、アクチュエータ１２～１５の第１の端部が被駆動体１１に接触することを抑制することができる。なお、被駆動体１１に凸部が設けられ、第１の端部部材２２に孔部が設けられていてもよい。

（変形例２）
　駆動装置１０が、接続機構部１２Ａ、１３Ａに代えて、Ｚ軸回りに回転可能な１自由度の回転自由度を有する共に、被駆動体１１の第１、第２の辺部に沿った方向（Ｙ軸方向）に並進移動可能な１自由度の並進自由度を有する接続機構部を備えるようにしてもよい。また、駆動装置１０が、接続機構部１４Ａ、１５Ａに代えて、Ｚ軸周りに回転可能な１自由度の回転自由度を有する共に、被駆動体１１の第３、第４の辺部に沿った方向（Ｘ軸方向）に並進移動可能な１自由度の並進自由度を有する接続機構部を備えるようにしてもよい。駆動装置１０が、接続機構部１２Ａ、１３Ａ、１４Ａ、１５Ａに代えて、上述の接続機構部を備える場合には、接続機構部１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂ、１５Ｂを備えていなくても、第１の実施形態と同様に、発生力の低下を抑制しつつ、せん断剛性を抑制することができる、という効果を得ることができる。

　図６は、Ｚ軸回りに回転可能な１自由度の回転自由度と被駆動体１１の第１、第２の辺部に沿った方向に並進移動可能な１自由度の並進自由度を有する接続機構部１２Ｄの構成の具体例を示す。この接続機構部１２Ｄは、アクチュエータ１２の第１の端部に設けられた軸部５１と、この軸部５１により支持されたハウジング部５２と、ハウジング部５２にＺ軸周りに回転可能に収容された円柱体５３とを備える。円柱体５３は、±Ｙ軸方向に並進移動可能なように、被駆動体１１の第１の辺部に対して磁力等により結合されている。ここでは、アクチュエータ１２の第１の端部と被駆動体１１の第１の辺部との間に設けられた接続機構部１２Ｄの構成について説明したが、これ以外の接続機構部についても接続機構部１２Ｄと同様の構成とすることができる。また、円柱体５３に代えて、球体を用いてもよい。

（変形例３）
　図７に示すように、アクチュエータ１２が、対向する第１、第２の端部を有する矩形状のアクチュエータ本体２１と、アクチュエータ本体２１の表面のうち、第１、第２の端部の間に位置する表面に設けられた複数の繊維２４とを備えるようにしてもよい。複数の繊維２４は、Ｘ軸方向（第１の端部から第２の端部に向かう方向）に直交するように延設され、かつ、第１、第２の端部の間に位置する表面の中央から第１、第２の端部に向かって密度が増加するように設けられていている。繊維２４としては、例えば、合成繊維および金属繊維のうちの少なくとも１種を用いることができる。合成繊維としては、例えば、ナイロン繊維等のポリアミド系合成繊維または炭素繊維等を用いることができる。

　ここでは、アクチュエータ１２が複数の繊維２４を備える構成について説明したが、アクチュエータ１３～１５も同様に複数の繊維２４を備えるようにしてもよい。但し、アクチュエータ１４、１５では、複数の繊維２４は、Ｙ軸方向（第１の端部から第２の端部に向かう方向）に直交するように延設され、かつ、第１、第２の端部の間に位置する表面の中央から第１、第２の端部に向かって密度が増加するように設けられる。また、複数の繊維２４が、アクチュエータ１２～１５の内部に設けられていてもよい。

（変形例４）
　アクチュエータ本体２１は、その中央から第１の端部に向かって剛性が高くなる剛性分布を有していてもよい。この場合、アクチュエータ１２～１５は、第１の端部部材２２を備えていなくてもよい。同様に、アクチュエータ本体２１は、その中央から第２の端部に向かって剛性が高くなる剛性分布を有していてもよい。この場合、アクチュエータ１２～１５は、第２の端部部材２３を備えていなくてもよい。アクチュエータ本体２１が上記の剛性分布を有することで、アクチュエータ１２～１５が第１の端部部材２２および第２の端部部材２３を備えていなくとも、第１、第２の端部の変形を抑制することができる。したがって、発生力を向上することができる。

　上述の剛性分布を有するアクチュエータ本体２１の第１、第２の端部の弾性率（ヤング率）は、発生力の向上の観点から、１０ＭＰａ以上であることが好ましい。アクチュエータ本体２１の第１、第２の端部の弾性率の上限値は特に限定されるものではないが、例えば１０００ＧＰａ以下である。上記の弾性率は、JIS K 6251:2010に準拠して測定される値である。

　上記剛性分布をアクチュエータ本体２１に付与する方法としては、例えば、誘電エラストマー層２１Ａの全体を同一材料で構成し、材料の密度または物性等を調整することで、上記の剛性分布を誘電エラストマー層２１Ａに付与する方法、または誘電エラストマー層２１Ａに母材よりも高い剛性を有する材料を添加し、この材料に誘電エラストマー層２１Ａの中央から第１、第２の端部に向かって剛性が高くなる濃度分布を持たせる方法等が挙げられるが、これらの方法に限定されるものではない。

（変形例５）
　図８に示すように、アクチュエータ１２の第２の端部が、凸状に湾曲していてもよい。同様に、アクチュエータ１２の第１の端部も、凸状に湾曲していてもよい。このように第１、第２の端部が湾曲していることで、駆動時にアクチュエータ１２が被駆動体１１の第１の辺部および支持体１６の第１の壁部に対して斜めになった場合に、アクチュエータ１２の第１、第２の端部がそれぞれ第１の辺部、第１の壁部に接触することを抑制することができる。ここでは、アクチュエータ１２の第１、第２の端部が湾曲している構成について説明したが、アクチュエータ１３～１５の第１の端部が湾曲していてもよいし、アクチュエータ１３～１５の第２の端部が湾曲していてもよい。

（変形例６）
　駆動装置１０は、図９に示すように、被駆動体１１の第１の辺部と支持体１６の第１の壁部との間、被駆動体１１の第２の辺部と支持体１６の第２の壁部との間、被駆動体１１の第３の辺部と支持体１６の第３の壁部との間、被駆動体１１の第４の辺部と支持体１６の第４の壁部との間それぞれに、複数のアクチュエータ１２、複数のアクチュエータ１３、複数のアクチュエータ１４、複数のアクチュエータ１５を備えるようにしてもよい。

（変形例７）
　上述の第１の実施形態では、駆動装置１０が４つのアクチュエータ１２～１５を備える構成について説明したが、２つのアクチュエータ１２、１３のうちの一方と、２つのアクチュエータ１４、１５のうちの一方とを備えるようにしてもよい。

（変形例８）
　接続機構部１２Ａ、１２Ｂ、１３Ａ、１３Ｂ、１４Ａ、１４Ｂ、１５Ａ、１５Ｂは、２自由度または３自由度の回転自由度を有するものであってもよい。このような接続機構部の具体的としては、ボールジョイント機構部等が挙げられる。

（変形例９）
　上述の第１の実施形態では、アクチュエータ本体２１が、複数の誘電エラストマー層２１Ａと、複数の電極２１Ｂと、複数の電極２１Ｃとを備える構成について説明したが、１つの誘電エラストマー層２１Ａと、誘電エラストマー層２１Ａの第１の面に設けられた１つの電極２１Ｂと、誘電エラストマー層２１Ａの第２の面に設けられた１つの電極２１Ｃとを備える構成であってもよい。また、上述の第１の実施形態では、アクチュエータ本体２１が矩形状を有する場合について説明したが、アクチュエータ本体２１の形状はこれに限定されるものではなく、例えば、多角形状、長円状（楕円形状を含む）、円形状等であってもよい。また、アクチュエータ本体２１が円柱状または円筒状に巻回されていてもよい。また、アクチュエータ本体２１は、ＤＥＡ以外の高分子アクチュエータであってもよいし、高分子アクチュエータ以外のアクチュエータであってもよい。

（変形例１０）
　上述の第１の実施形態では、駆動装置１０が、撮像装置に用いられる振れ補正装置である場合について説明したが、本開示は、撮像装置以外の種々の電子機器に用いられる駆動装置に適用可能である。例えば、ロボット（多軸ロボット等）、ドローン、パーソナルコンピュータ、スマートフォン等の携帯電話、テレビ、ゲーム機器、車載用等の投影装置、スマートウオッチやヘッドマウンドディスプレイ等のウェアラブル端末、医療機器等に用いられる駆動装置に適用可能である。具体的には例えば、スマートフォン等の振れ補正装置、ロボットの関節、ドローンの駆動部、投影装置の光学系等に用いられる駆動装置にも適用可能である。

＜２　第２の実施形態＞
［駆動装置の構成］
　図１０Ａは、本開示の第２の実施形態に係る駆動装置１１０の構成の一例を示す。駆動装置１１０は、被駆動体１１１と、アクチュエータ（第１～第３のアクチュエータ）１１２～１１４と、支持体１１５と、接続機構部（第１～第３の接続機構部）１１２Ａ、１１３Ａ、１１４Ａとを備える。駆動装置１１０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に並進駆動可能であると共に、Ｚ軸回りに回転駆動可能である３軸駆動の駆動装置である。

（被駆動体）
　被駆動体１１１は、第１～第３の辺部を持つ三角形板状を有している。

（支持体）
　支持体１１５は、アクチュエータ１１２～１１４を介して被駆動体１１１を支持する。支持体１１５は、被駆動体１１１の第１～第３の辺に対向し、かつ被駆動体１１１の第１～第３の辺から規定の距離離して設けられている。支持体１１５が、駆動装置１１０が設けられる電子機器等の筐体の一部であってもよい。

（アクチュエータ）
　アクチュエータ１１２、１１３、１１４はそれぞれ、第１、第２、第３の方向に伸縮可能に構成されている。ここで、第１、第２、第３の方向とはそれぞれ、初期状態における被駆動体１１１の第１、第２、第３の辺部に直交またはほぼ直交する方向をいう。アクチュエータ１１２～１１４は、対向する第１、第２の端部を有する矩形フィルム状のアクチュエータ本体１２１と、第１の端部に設けられた第１の端部部材１２２とを備える。アクチュエータ１１２、１１３、１１４の第１の端部はそれぞれ、接続機構部１１２Ａ、１１３Ａ、１１４Ａを介して被駆動体１１１の第１、第２、第３の辺部に接続されている。一方、アクチュエータ１１２、１１３、１１４の第２の端部はそれぞれ、支持体１１５に支持されている。

　アクチュエータ本体１２１、第１の端部部材１２２はそれぞれ、第１の実施形態におけるアクチュエータ本体２１、第１の端部部材２２と同様である。

（接続機構部）
　接続機構部１１２Ａは、アクチュエータ１１２の第１の端部部材１２２と被駆動体１１１の第１の辺部との間を接続する。接続機構部１１３Ａは、アクチュエータ１１３の第１の端部部材１２２と被駆動体１１１の第２の辺部との間を接続する。接続機構部１１４Ａは、アクチュエータ１１４の第１の端部部材１２２と被駆動体１１１の第３の辺部との間を接続する。

　接続機構部１１２Ａ、１１３Ａ、１１４Ａはそれぞれ、Ｚ軸周りに回転可能な１自由度の回転自由度を有すると共に、被駆動体１１１の第１、第２、第３の辺部に沿って並進移動可能な１自由度の並進自由度を有する。

　図１０Ｂは、Ｚ軸周りに回転可能な１自由度の回転自由度を有する共に、被駆動体１１１の第１の辺部に沿って並進移動可能な１自由度の並進自由度を有する接続機構部１１２Ａの構成の具体例を示す。接続機構部１１２Ａは、アクチュエータ１１２の第１の端部に設けられた軸部１５１と、軸部１５１により支持されたハウジング部１５２と、ハウジング部１５２にＺ軸回りに回転可能に収容された円柱体１５３とを備える。円柱体１５３は、被駆動体１１１の第１の辺部に沿って並進移動可能なように、被駆動体１１１の第１の辺部に対して磁力等により結合されている。ここでは、接続機構部１１２Ａの構成について説明したが、これ以外の接続機構部１１３Ａ、１１４Ａも接続機構部１１２Ａと同様の構成を有する。

［駆動装置の動作］
　以下、図１１Ａ、図１１Ｂを参照して、被駆動体１１１をＺ軸回りに回転駆動させるときの駆動装置１１０の動作、およびＸ軸方向に並進駆動させるときの駆動装置１１０の動作の例について説明する。なお、図１１Ａ、図１１Ｂにおいて、初期状態（初期位置）における被駆動体１１１を二点鎖線にて示している。また、矢印１１１Ａ、１１１Ｂ、１１１Ｃはそれぞれ、被駆動体１１１の回転駆動時および並進駆動時における接続機構部１１２Ａ、１１３Ａ、１１４Ａの並進移動の方向を示している。

　初期状態において、アクチュエータ１１２、１１３、１１４には、図示しないアクチュエータ駆動部により規定電圧が印加されており、アクチュエータ１１２、１１３、１１４が規定の長さに伸長された状態にある。したがって、被駆動体１１１の回転駆動時または並進駆動時に、規定電圧よりも高い電圧がアクチュエータ１１２、１１３、１１４に印加されると、アクチュエータ１１２、１１３、１１４は、初期状態よりも伸長されて、初期状態の長さよりも長くなる。一方、被駆動体１１１の回転駆動時または並進駆動時に、規定電圧よりも低い電圧がアクチュエータ１１２、１１３、１１４に印加されると、アクチュエータ１１２、１１３、１１４は、初期状態よりも収縮されて、初期状態の長さよりも短くなる。

（回転駆動）
　図１１Ａに示すように、アクチュエータ１１２、１１３に規定電圧よりも低い電圧を印加し、アクチュエータ１１２、１１３を収縮させるのに対して、アクチュエータ１１４に規定電圧を印加し、アクチュエータ１１４を初期状態の長さに保持する。これにより、接続機構部１１２Ａ、１１３Ａ、１１４Ａが回転されると共に並進移動され、被駆動体１１１がＺ軸回りに回転駆動される。

（並進駆動）
　図１１Ｂに示すように、アクチュエータ１１４に規定電圧よりも高い電圧を印加し、アクチュエータ１１４を伸長させ、アクチュエータ１１２に規定電圧よりも低い電圧を印加し、アクチュエータ１１２を収縮させるのに対して、アクチュエータ１１３に規定電圧を印加し、アクチュエータ１１３を初期状態の長さに保持する。これにより、接続機構部１１２Ａ、１１３Ａ、１１４Ａが並進移動され、被駆動体１１１がＸ軸方向に並進駆動される。

［効果］
　第２の実施形態に係る駆動装置１１０は、第１～第３の辺部を持つ三角形板状を有する被駆動体１１１と、第１の辺部に対して直交またはほぼ直交する第１の方向に伸縮可能に構成されたアクチュエータ１１２と、第２の辺部に対して直交またはほぼ直交する第２の方向に伸縮可能に構成されたアクチュエータ１１３と、第３の辺部に対して直交またはほぼ直交する第３の方向に伸縮可能に構成されたアクチュエータ１１４とを備える。さらに、駆動装置１１０は、アクチュエータ１１２の第１の端部と被駆動体１１１の第１の辺部の間を接続する接続機構部１１２Ａと、アクチュエータ１１３の第１の端部と被駆動体１１１の第２の辺部の間を接続する接続機構部１１３Ａと、アクチュエータ１１４の第１の端部と被駆動体１１１の第３の辺部の間を接続する接続機構部１１４Ａと、アクチュエータ１１３～１１４の第２の端部をそれぞれ支持する支持体１１５とを備える。これにより、被駆動体１１１をＸ軸方向およびＹ軸方向に並進駆動することができると共に、Ｚ軸回りに回転駆動することができる。

［変形例］
　被駆動体１１、１１１の形状は、矩形板状および三角形板状に限定されるものではなく、円形板状、楕円形板状、矩形板状および三角形板状以外の多角形板状または不定形板状等であってもよいし、球状、楕円球状、多面体状、円柱状または筒状等の板状以外の形状であってもよい。

＜３　第３の実施形態＞
［駆動装置の構成］
　図１２Ａは、本開示の第３の実施形態に係る駆動装置２１０の構成の一例を示す。図１３Ａは、駆動装置２１０の下層の構成の一例を示す。図１３Ｂは、駆動装置２１０の中層の構成の一例を示す。駆動装置２１０は、図１２Ａ、図１３Ａ、図１３Ｂに示すように、被駆動体２１１と、一組のアクチュエータ（第１のアクチュエータ）２１２Ａ、２１２Ｂと、一組のアクチュエータ（第２のアクチュエータ）２１４Ａ、２１４Ｂと、一組のアクチュエータ（第３のアクチュエータ）２１６Ａ、２１６Ｂと、接続機構部（第１の接続機構部）２１３と、接続機構部（第２の接続機構部）２１５と、接続機構部（第３の接続機構部）２１７と、支持体２１８とを備える。駆動装置２１０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に並進駆動可能であると共に、Ｚ軸回りに回転駆動可能である３軸駆動の駆動装置、より具体的には、撮像装置等に用いられる３軸駆動の振れ補正装置である。

　駆動装置２１０は、被駆動体２１１が上層として配置され、被駆動体２１１の裏面側に、一組のアクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂおよび一組のアクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂが中層として配置され、一組のアクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂが下層として配置された構成を有している。

（被駆動体）
　被駆動体２１１は、第１の実施形態における被駆動体１１と同様である。

（支持体）
　支持体２１８は、一組のアクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂ、一組のアクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂおよび一組のアクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂを支持する。支持体２１８の構成は、第１の実施形態における支持体１６と同様である。

（アクチュエータ）
　一組のアクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂは、±Ｙ軸方向（第１の方向）に伸縮可能に構成されている。一組のアクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂおよび一組のアクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂは、±Ｘ軸方向（第１の方向と直交する第２の方向）に伸縮可能に構成されている。

　一組のアクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂおよび一組のアクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂは、一組のアクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂ上に設けられている。一組のアクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂおよび一組のアクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂ上に、被駆動体２１１が設けられている。

　アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂ、アクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂおよびアクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂは、対向する第１、第２の端部を有する矩形フィルム状のＤＥＡにより構成されている。このＤＥＡは、第１の実施形態におけるアクチュエータ本体２１と同様の構成を有している。

　アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂの第１の端部同士が対向するようにして、アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂの第２の端部がそれぞれ支持体２１８の第３、第４の壁部に支持されている。アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂの対向する第１の端部の間には、接続機構部２１３が設けられている。

　アクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂの第１の端部同士が対向するようにして、アクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂの第２の端部がそれぞれ支持体２１８の第１、第２の壁部に支持されている。アクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂの対向する第１の端部の間には、接続機構部２１５が設けられている。

　アクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂの第１の端部同士が対向するようにして、アクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂの第２の端部がそれぞれ支持体２１８の第１、第２の壁部に支持されている。アクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂの、対向する第１の端部の間には、接続機構部２１７が設けられている。また、アクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂとアクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂとの間には隙間が設けられている。

（接続機構部）
　接続機構部２１３は、アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂの第１の端部同士を接続すると共に、アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂの第１の端部の間と被駆動体２１１の裏面とを接続する。接続機構部２１３は、Ｘ軸方向に並進可能な並進自由度と、Ｚ軸回りに回転可能な回転自由度とを有する。具体的には、接続機構部２１３は、図１２Ｂに示すように、ボールジョイント機構とスライドレール機構とが一体となった機構部であり、一対のレール２１３Ａ、２１３Ｂと、ボール部２１３Ｃとを備える。

　レール２１３Ａ、２１３Ｂはそれぞれ、アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂの第１の端部に固定されている。レール２１３Ａ、２１３Ｂは、互いに平行に、かつ離間して設けられている。また、レール２１３Ａは、レール２１３Ａの長さ方向に延設された溝部２１３Ａ₁を有し、レール２１３Ｂは、レール２１３Ｂの長さ方向に延設された溝部２１３Ｂ₁を有する。溝部２１３Ａ₁、２１３Ｂ₁同士は互いに対向する位置に設けられている。レール２１３Ａの長さ方向に垂直な方向に切断された溝部２１３Ａ₁の断面形状、およびレール２１３Ｂの長さ方向に垂直な方向に切断された溝部２１３Ｂ₁の断面形状は、円弧状を有している。

　ボール部２１３Ｃは、Ｘ軸方向に並進可能であり、かつＺ軸回りに回転可能なようにレール２１３Ａ、２１３Ｂ間、具体的には溝部２１３Ａ₁、２１３Ｂ₁間に保持されている。ボール部２１３Ｃは、表面に垂直に立てられ、Ｚ軸回りに回転可能である軸部２１３Ｄを有する。軸部２１３Ｄは、一組のアクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂと一組のアクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂとの間に設けられた隙間を介して、被駆動体２１１の裏面の中央を支持する。

　接続機構部２１５は、アクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂの第１の端部同士を接続すると共に、アクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂの第１の端部の間と被駆動体２１１の裏面とを接続する。接続機構部２１５は、Ｙ軸方向に並進可能な並進自由度と、Ｚ軸回りに回転可能な回転自由度とを有する。具体的には、接続機構部２１５は、ボールジョイント機構とスライドレール機構とが一体となった機構部であり、一対のレール２１５Ａ、２１５Ｂと、ボール部２１５Ｃとを備える。レール２１５Ａ、２１５Ｂおよびボール部２１５Ｃの構成は、ボール部２１５Ｃが、Ｙ軸方向に並進可能であり、かつＺ軸回りに回転可能なようにレール２１５Ａ、２１５Ｂ間に保持されていること、およびボール部２１５Ｃが有する軸部（図示せず）が被駆動体２１１の裏面の中央から第３の辺部の方向にずれた位置を支持すること以外は、レール２１３Ａ、２１３Ｂおよびボール部２１３Ｃと同様である。

　接続機構部２１７は、アクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂの第１の端部同士を接続すると共に、アクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂの第１の端部の間と被駆動体２１１の裏面とを接続する。接続機構部２１７は、Ｙ軸方向に並進可能な並進自由度と、Ｚ軸回りに回転可能な回転自由度とを有する。具体的には、接続機構部２１７は、ボールジョイント機構とスライドレール機構とが一体となった機構部であり、一対のレール２１７Ａ、２１７Ｂと、ボール部２１７Ｃとを備える。レール２１７Ａ、２１７Ｂおよびボール部２１７Ｃの構成は、ボール部２１７Ｃが有する軸部（図示せず）が被駆動体２１１の裏面の中央から第４の辺部の方向にずれた位置を支持すること以外は、レール２１５Ａ、２１５Ｂおよびボール部２１５Ｃと同様である。

　接続機構部２１３による被駆動体２１１の裏面の支持位置は、接続機構部２１５による被駆動体２１１の裏面の支持位置と、接続機構部２１７による被駆動体２１１の裏面の支持位置との真ん中である。

　レール２１３Ａ、２１３Ｂがそれぞれ、アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂよりも高い弾性率を有していることが好ましい。これにより、駆動装置２１０を駆動させた際に、アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂの第１の端部の変形を抑制することができる。したがって、発生力を向上することができる。レール２１５Ａ、２１５Ｂもそれぞれ、アクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂよりも高い弾性率を有していることが好ましい。また、レール２１７Ａ、２１７Ｂもそれぞれ、アクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂよりも高い弾性率を有していることが好ましい。

　レール２１３Ａ、２１３Ｂ、２１５Ａ、２１５Ｂ、２１７Ａ、２１７Ｂの弾性率（ヤング率）が、発生力の向上の観点から、１０ＭＰａ以上であることが好ましい。レール２１３Ａ、２１３Ｂ、２１５Ａ、２１５Ｂ、２１７Ａ、２１７Ｂの弾性率の上限値は特に限定されるものではないが、例えば１０００ＧＰａ以下である。レール２１３Ａ、２１３Ｂ、２１５Ａ、２１５Ｂ、２１７Ａ、２１７Ｂは、例えば、高分子樹脂、金属またはそれらの両方を含む。上記の弾性率は、JIS K 6251:2010に準拠して測定される値である。
なお、接続機構部２１３の全体、接続機構部２１５の全体、接続機構部２１７の全体がそれぞれ、レール２１３Ａ、２１３Ｂ、レール２１５Ａ、２１５Ｂ、レール２１７Ａ、２１７Ｂと同様の弾性率を有していてもよい。

［駆動装置の動作］
　以下、被駆動体１１１をＸ軸方向またはＹ軸方向に並進駆動させるときの駆動装置１１０の動作、および被駆動体１１１をＺ軸回りに回転駆動させるときの駆動装置１１０の動作の例について説明する。

（Ｘ軸方向への並進駆動）
　図１４に示すように、被駆動体２１１をＸ軸方向に並進駆動させる場合には、以下のように駆動装置２１０の各部を制御する。すなわち、図１５Ａに示すように、アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂを駆動せずに、アクチュエータ２１２Ｂ、２１２Ｂを初期状態に保持する。一方、図１５Ｂに示すように、アクチュエータ２１４Ｂ、２１６Ｂを駆動し、アクチュエータ２１４Ｂ、２１６Ｂを同じ長さ伸長させるのに対して、アクチュエータ２１４Ａ、２１６Ａを駆動せずに、アクチュエータ２１４Ｂ、２１６Ｂの伸長に伴ってアクチュエータ２１４Ｂ、２１６Ｂを収縮させる。これにより、接続機構部２１５、２１７が＋Ｘ軸方向に並進駆動され、被駆動体２１１が＋Ｘ軸方向に並進駆動される。

（Ｙ軸方向への並進駆動）
　図１６に示すように、被駆動体２１１をＹ軸方向に並進駆動させる場合には、以下のように駆動装置２１０の各部を制御する。すなわち、図１７Ａに示すように、アクチュエータ２１２Ｂを駆動し、アクチュエータ２１２Ｂを伸長させるのに対して、アクチュエータ２１２Ａを駆動せずに、アクチュエータ２１２Ｂの伸長に伴ってアクチュエータ２１２Ａを収縮させる。一方、図１７Ｂに示すように、アクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂおよびアクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂを駆動せずに、アクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂおよびアクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂを初期状態に保持する。これにより、接続機構部２１３が＋Ｙ軸方向に並進駆動され、被駆動体２１１が＋Ｙ軸方向に並進駆動される。

（Ｚ軸回りの回転駆動）
　図１８に示すように、被駆動体２１１を回転駆動させる場合には、以下のように駆動装置２１０の各部を制御する。すなわち、図１９Ａに示すように、アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂを駆動せずに、アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂを初期状態に保持する。一方、図１９Ｂに示すように、アクチュエータ２１４Ｂ、２１６Ａを駆動し、アクチュエータ２１４Ｂ、２１６Ａを同じ長さ伸長させるのに対して、アクチュエータ２１４Ａ、２１６Ｂを駆動せずに、アクチュエータ２１４Ｂ、２１６Ａの伸長によりアクチュエータ２１４Ａ、２１６Ｂを収縮させる。これにより、接続機構部２１５、２１７がそれぞれ＋Ｘ軸方向、－Ｘ軸方向に同じ距離駆動され、被駆動体２１１がＺ軸回りに回転駆動される。

［効果］
　第３の実施形態に係る駆動装置２１０は、上層としての被駆動体２１１の裏面側に、一組のアクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂおよび一組のアクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂが中層として配置され、さらにこれらの奥側にアクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂが下層として配置された構成を有している。したがって、駆動装置２１０では、被駆動体１１の周囲にアクチュエータ１２～１５が配置された構成を有する、第１の実施形態に係る駆動装置１１０に比べて配置面積を縮小化することができる。したがって、駆動装置２１０は、駆動装置の配置面積が限られている撮像装置等の電子機器に適用することが特に有効である。

［変形例］
（変形例１）
　第３の実施形態では、接続機構部２１３、２１５、２１７がそれぞれ、ボールジョイント機構とスライドレール機構とが一体となった機構部を有する場合について説明したが、接続機構部２１３、２１５、２１７がそれぞれ、ボールジョイント機構とスライドレール機構とが別体となった機構部を有していてもよい。

（変形例２）
　駆動装置２１０が、アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂのうちのいずれか一方を備えるようにしてもよい。また、アクチュエータ２１４Ａ、２１４Ｂのうちのいずれか一方を備えるようにしてもよいし、アクチュエータ２１６Ａ、２１６Ｂのうちのいずれか一方を備えるようにしてもよい。

（変形例３）
　初期状態において、アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂ、２１４Ａ、２１４Ｂ、２１６Ａ、２１６Ｂに、図示しないアクチュエータ駆動部により規定電圧が印加されており、アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂ、２１４Ａ、２１４Ｂ、２１６Ａ、２１６Ｂが規定の長さに伸長された状態となっていてもよい。この場合、規定電圧よりも高い電圧がアクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂ、２１４Ａ、２１４Ｂ、２１６Ａ、２１６Ｂに印加されると、アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂ、２１４Ａ、２１４Ｂ、２１６Ａ、２１６Ｂは、初期状態よりも伸長されて、初期状態の長さよりも長くなる。一方、規定電圧よりも低い電圧がアクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂ、２１４Ａ、２１４Ｂ、２１６Ａ、２１６Ｂに印加されると、アクチュエータ２１２Ａ、２１２Ｂ、２１４Ａ、２１４Ｂ、２１６Ａ、２１６Ｂは、初期状態よりも収縮されて、初期状態の長さよりも短くなる。

＜４　第４の実施形態＞
［撮像装置の構成］
　図２０は、本開示の第４の実施形態に係る撮影装置の構成の一例を示す。この撮影装置は、いわゆる一眼レフカメラであり、カメラ本体３１０と、このカメラ本体に対して着脱自在に構成された撮影レンズ３２０とを備える。図２０では、撮影レンズ３２０がカメラ本体３１０に取り付けられて、両者が結合された状態を示している。

　図示は省略するが、カメラ本体３１０および撮影レンズ３２０はマウント部を備え、このマウント部に撮影レンズ３２０が取り付け可能とされる。そして、撮影レンズ３２０がカメラ本体３１０に取り付けられた状態では、両者は光学的に結合されると共に、電気的にも結合（接続）されるようにマウント部が構成されている。

　なお、周知のように、撮影レンズ３２０は、特定の１本の撮影レンズではなく、焦点距離が異なる単焦点の撮影レンズや、ズームレンズ等に交換可能である。これらの撮影レンズ３２０は、基本的には後述するレンズ光学系の構成が異なるだけで、その他の構成部分は、同様の構成となっているものである。

［カメラ本体の構成］
　カメラ本体３１０は、撮像素子３１１、振れ補正アクチュエータ３１２、振れ補正アクチュエータ駆動部３１３、撮像素子支持体（図示せず）、カメラ振れ制御部３１４、カメラ振動センサ３１５、撮像素子位置センサ３１６、カメラ制御部３１７、操作入力部３１８および表示部３１９等を備えている。

　撮像素子３１１は、撮影レンズ３２０を通じた入射光Ｌｐにより形成される被写体光像を光電変換して撮像画像信号を生成する。撮像素子３１１は、例えば、ＣＣＤイメージセンサ、またはＣＭＯＳイメージセンサにより構成される。

　撮像素子３１１から出力される撮像画像信号は、図示を省略した画像処理部により解像度変換等の画像処理がなされて、モニター用ディスプレイ（図示は省略）に表示される。また、シャッターボタンが押下されたときには、撮像画像信号は、圧縮処理および記録エンコード処理がなされた後、図示を省略した記録媒体に格納される。

　撮像素子３１１は、カメラ本体３１０側の振れ補正機能における振れ補正部材（以下の説明では、単に補正部材という場合もある）を構成する。

　振れ補正アクチュエータ３１２は、カメラ本体３１０側の補正部材としての撮像素子３１１を、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内において、移動駆動させるようにする。振れ補正アクチュエータ３１２は、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内において撮像素子３１１を横方向に移動させる一組のＸ方向アクチュエータと、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内において撮像素子３１１を縦方向に移動させる一組のＹ方向アクチュエータと、Ｘ方向アクチュエータと撮像素子３１１との間を接続する接続機構部と、Ｘ方向アクチュエータと撮像素子支持体との間を接続する接続機構部と、Ｙ方向アクチュエータと撮像素子３１１との間を接続する接続機構部と、Ｙ方向アクチュエータと撮像素子支持体との間を接続する接続機構部とからなる。

　撮像素子３１１と、振れ補正アクチュエータ３１２と、撮像素子支持体とにより振れ補正装置が構成される。なお、振れ補正装置としては、第１の実施形態に係る駆動装置１０が用いられる。具体的には、一組のＸ方向アクチュエータ、一組のＹ方向アクチュエータ、撮像素子支持体としてはそれぞれ、第１の実施形態におけるアクチュエータ１２、１３、アクチュエータ１４、１５、支持体１６が用いられる。また、接続機構部としては、第１の実施形態における接続機構部１２Ａ、１２Ｂ、１３Ａ、１３Ｂ、１４Ａ、１４Ｂ、１５Ａ、１５Ｂが用いられる。

　カメラ振れ制御部３１４は、カメラ本体３１０の補正部材である撮像素子３１１の移動駆動を制御する制御信号を生成し、生成した制御信号を振れ補正アクチュエータ駆動部３１３に供給する。

　振れ補正アクチュエータ駆動部３１３は、カメラ振れ制御部３１４からの制御信号に基づいて、振れ補正アクチュエータ３１２を駆動する駆動信号を生成し、生成した駆動信号を振れ補正アクチュエータ３１２に供給する。

　カメラ振動センサ３１５は、カメラ本体３１０での振動情報（振れ情報）を検出し、検出した振動情報をカメラ振れ制御部３１４に供給する。カメラ振動センサ３１５は、角速度センサまたは加速度センサ（ジャイロセンサ）で構成される。

　撮像素子位置センサ３１６は、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内における撮像素子３１１の位置を検出し、検出した位置情報をカメラ振れ制御部３１４に供給する。この撮像素子位置センサ３１６は、この例では、ホール素子を用いたホールセンサの構成とされている。

　カメラ振れ制御部３１４は、カメラ振動センサ３１５で検出された振動情報から振れ量を算出し、算出した振れ量と、撮像素子位置センサ３１６からの位置情報とから、振れ補正量を算出する。そして、カメラ振れ制御部３１４は、算出した振れ補正量から補正部材である撮像素子３１１の移動駆動を制御する制御信号を生成して、振れ補正アクチュエータ駆動部３１３に供給する。

　カメラ振れ制御部３１４は、カメラ制御部３１７からの制御信号により、振れ補正を実行するか否かを制御する。振れ補正を実行しないときには、カメラ振れ制御部３１４は、この例では、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内における撮像素子３１１の位置を、可動可能範囲の中央位置（センタリング位置）に保持するように制御する。

　カメラ制御部３１７は、マイクロコンピュータにより構成され、これには、操作入力部３１８および表示部３１９が接続される。すなわち、カメラ制御部３１７においては、システムバス３１７Ａに対して、ＣＰＵ（Central Processing Unit）３１７Ｂと、ＲＯＭ（Read Only Memory）３１７Ｃと、ＲＡＭ（Random Access Memory）３１７Ｄとが接続される。また、システムバス３１７Ａには、Ｉ／Ｏポート３１７Ｅと、インターフェース（図では、Ｉ／Ｆと表記）３１７Ｆ、３１７Ｇ、３１７Ｈとが接続されている。

　ＲＯＭ３１７Ｃには、カメラ本体３１０側での制御処理のための種々のプログラムが格納されている。ＣＰＵ３１７Ｂは、このＲＯＭ３１７Ｃに格納されているプログラムに従い、ＲＡＭ３１７Ｄをワークエリアとして用いて上記の種々の制御処理を実行する。

　Ｉ／Ｏポート３１７Ｅは、カメラ振れ制御部３１４に接続されている。カメラ制御部３１７は、カメラ振れ制御部３１４に、振れ補正を実行するか否かの制御信号を、このＩ／Ｏポート３１７Ｅを通じて供給する。

　インターフェース３１７Ｆは、撮影レンズ３２０の制御部（後述するレンズ制御部３２７）との間で通信を行なうためのものである。

　インターフェース３１７Ｇは、操作入力部３１８用のインターフェースである。操作入力部３１８は、電源スイッチ、シャッターボタン、撮影モードの選択ボタン、メニューボタン、その他の操作ボタンを含むものである。

　ユーザが操作入力部３１８のいずれかの操作ボタンを操作すると、その操作信号がインターフェース３１７Ｇを通じてシステムバス３１７Ａに入力される。ＣＰＵ３１７Ｂは、その操作信号から、操作入力部３１８のいずれの操作ボタンが操作されたかを判別し、その判別結果に応じて、必要な制御処理を実行する。

　インターフェース３１７Ｈは、ディスプレイコントローラの機能を有するもので、表示部３１９用のインターフェースである。表示部３１９は、例えば液晶ディスプレイまたはＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイで構成され、撮影時のモニター画像の表示用ディスプレイと兼用される場合もある。カメラ制御部３１７は、操作入力部３１８を通じてユーザのボタン操作入力に応じた表示情報を生成し、インターフェース３１７Ｈを通じて表示部３１９に供給し、その表示画面に表示するようにする。

［撮影レンズの構成］
　撮影レンズ３２０は、レンズ光学系３２１、振れ補正アクチュエータ３２２、レンズ支持体（図示せず）、振れ補正アクチュエータ駆動部３２３、レンズ振れ制御部３２４、レンズ振動センサ３２５、レンズ位置センサ３２６およびレンズ制御部３２７を備えている。撮影レンズ３２０は、また、オートフォーカス用アクチュエータ３２８およびオートフォーカス用アクチュエータ駆動部３２９等を備えている。

　レンズ光学系３２１は、複数枚のレンズ３２１Ａ、３２１Ｂ、３２１Ｃ、およびこれらのレンズをそれぞれ支持する複数のホルダ（支持部材）等を備える。レンズ３２１Ｃは、振れ補正用レンズであり、撮影レンズ３２０側の振れ補正機能における振れ補正部材を構成する。レンズ支持体は、振れ補正アクチュエータ３２２を介してレンズ３２１Ｃのホルダを支持する。

　振れ補正アクチュエータ３２２は、振れ補正用レンズ３２１Ｃを、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内において移動させるようにする。振れ補正アクチュエータ３２２は、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内において振れ補正用レンズ３２１Ｃを横方向に移動させる一組のＸ方向アクチュエータと、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内において振れ補正用レンズ３２１Ｃを縦方向に移動させる一組のＹ方向アクチュエータと、Ｘ方向アクチュエータと振れ補正用レンズ３２１Ｃのホルダとの間を接続する接続機構部と、Ｘ方向アクチュエータとレンズ支持体との間を接続する接続機構部と、Ｙ方向アクチュエータと振れ補正用レンズ３２１Ｃのホルダとの間を接続する接続機構部と、Ｙ方向アクチュエータとレンズ支持体との間を接続する接続機構部とからなる。

　補正用レンズ３２１Ｃと、振れ補正アクチュエータ３２２と、レンズ支持体とにより振れ補正装置が構成される。なお、振れ補正装置としては、第１の実施形態に係る駆動装置１０が用いられる。具体的には、一組のＸ方向アクチュエータ、一組のＹ方向アクチュエータとしてはそれぞれ、第１の実施形態におけるアクチュエータ１２、１３、アクチュエータ１４、１５が用いられる。また、接続機構部としては、第１の実施形態における接続機構部１２Ａ、１２Ｂ、１３Ａ、１３Ｂ、１４Ａ、１４Ｂ、１５Ａ、１５Ｂが用いられる。

　レンズ振れ制御部３２４は、振れ補正用レンズ３２１Ｃの移動駆動を制御する制御信号を生成し、生成した制御信号を振れ補正アクチュエータ駆動部３２３に供給する。

　振れ補正アクチュエータ駆動部３２３は、レンズ振れ制御部３２４からの制御信号に基づいて、振れ補正アクチュエータ３２２を駆動する駆動信号を生成し、生成した駆動信号を振れ補正アクチュエータ３２２に供給する。

　レンズ振動センサ３２５は、撮影レンズ３２０での振動情報（振れ情報）を検出し、検出した振動情報をレンズ振れ制御部３２４に供給する。レンズ振動センサ３２５は、角速度センサまたは加速度センサ（ジャイロセンサ）で構成される。

　レンズ位置センサ３２６は、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内における振れ補正用のレンズ３２１Ｃの位置を検出し、検出した位置情報をレンズ振れ制御部３２４に供給する。このレンズ位置センサ３２６は、この例では、ホール素子を用いたホールセンサの構成とされている。

　レンズ振れ制御部３２４は、レンズ振動センサ３２５で検出された振動情報から振れ量を算出し、算出した振れ量と、レンズ位置センサ３２６からの位置情報とから、振れ補正量を算出する。そして、レンズ振れ制御部３２４は、算出した振れ補正量から補正部材である振れ補正用レンズ３２１Ｃの移動駆動を制御する制御信号を生成して、振れ補正アクチュエータ駆動部３２３に供給する。

　レンズ振れ制御部３２４は、レンズ制御部３２７からの制御信号により、振れ補正を実行するか否かを制御する。振れ補正を実行しないときには、レンズ振れ制御部３２４は、この例では、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内における振れ補正用レンズの位置を、可動可能範囲の中央位置（センタリング位置）に保持するように制御する。

　レンズ光学系３２１のレンズ３２１Ａは、オートフォーカス用レンズである。

　オートフォーカス用アクチュエータ３２８は、オートフォーカス用レンズ３２１Ａを、入射光Ｌｐの光軸方向に移動させるようにする。

　オートフォーカス用アクチュエータ３２８は、例えば、圧電アクチュエータにより構成される。オートフォーカス用アクチュエータ３２８も、圧電アクチュエータに限らず、電磁モータ、超音波モータ、ステッピングモータ、ＤＣモータ、高分子アクチュエータ、ピエゾモータのいずれかにより構成するようにしてもよい。

　オートフォーカス用アクチュエータ駆動部３２９は、レンズ制御部３２７からの制御信号に基づいて、オートフォーカス用アクチュエータ３２８を駆動する駆動信号を生成し、生成した駆動信号をオートフォーカス用アクチュエータ３２８に供給する。

　レンズ制御部３２７は、マイクロコンピュータにより構成される。すなわち、レンズ制御部３２７においては、システムバス３２７Ａに対して、ＣＰＵ３２７Ｂと、ＲＯＭ３２７Ｃと、ＲＡＭ３２７Ｄとが接続される。また、システムバス３２７Ａには、Ｉ／Ｏポート３２７Ｅ、３２７Ｆと、インターフェース３２７Ｇとが接続されている。

　ＲＯＭ３２７Ｃには、撮影レンズ３２０側での制御処理のための種々のプログラムが格納されている。ＣＰＵ３２７Ｂは、このＲＯＭ３２７Ｃに格納されているプログラムに従い、ＲＡＭ３２７Ｄをワークエリアとして用いて上記の種々の制御処理を実行する。

　Ｉ／Ｏポート３２７Ｅは、レンズ振れ制御部３２４に接続されている。レンズ制御部３２７は、レンズ振れ制御部３２４に、振れ補正を実行するか否かの制御信号を、このＩ／Ｏポート３２７Ｅを通じて供給する。

　また、Ｉ／Ｏポート３２７Ｆは、オートフォーカス用アクチュエータ駆動部３２９に接続されている。レンズ制御部３２７は、詳細は省略するが、周知の手法を用いてオートフォーカス用の制御信号を生成し、このＩ／Ｏポート３２７Ｆを通じてオートフォーカス用アクチュエータ駆動部３２９に供給する。

　インターフェース３２７Ｇは、カメラ本体３１０のカメラ制御部３１７との間で通信を行なうためのものである。

［カメラ本体側での振れ補正動作］
　振れ補正動作に入る前にカメラ制御部３１７は、撮像素子３１１を、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内において、任意の位置から可動可能範囲の中心位置へ移動（センタリング移動）させるように、カメラ振れ制御部３１４に指示する。

　カメラ振れ制御部３１４は、この指示を受けて、振れ補正アクチュエータ駆動部３１３にセンタリング移動させる制御信号を供給する。振れ補正アクチュエータ駆動部３１３は、その制御信号に応じた駆動信号を振れ補正アクチュエータ３１２に送る。当該振れ補正アクチュエータ３１２により、撮像素子３１１は、センタリング移動させられる。

　撮像素子３１１をセンタリング移動させた後、カメラ振れ制御部３１４は、カメラ振動センサ３１５からの振動検出信号を取り込んで、振れ量を検出する。この例では、カメラ振動センサ３１５からは、振動検出信号として角速度データを取り込み、その取り込んだ角速度データを振れ角度および振れの大きさに変換し、その振れ角度および大きさから、撮像素子３１１の入射光Ｌｐの光軸に垂直な面での振れ量を算出する。

　次に、カメラ振れ制御部３１４は、撮像素子位置センサ３１６から、センタリング移動させられている撮像素子３１１の、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内における位置信号を取り込む。そして、カメラ振れ制御部３１４は、算出した振れ量と、取得した撮像素子３１１の位置信号とから、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内における撮像素子３１１の補正移動量に相当する振れ補正量を算出する。

　そして、カメラ振れ制御部３１４は、算出した振れ補正量に応じた制御信号を、振れ補正アクチュエータ駆動部３１３に送る。振れ補正アクチュエータ駆動部３１３は、その制御信号に応じた駆動信号により振れ補正アクチュエータ３１２を駆動する。これにより、撮像素子３１１が、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内において補正移動させられて、カメラ本体３１０側で検出された振れが補正される。

［撮影レンズ側での振れ補正動作］
　撮影レンズ３２０側においても、上述のカメラ本体３１０側と同様にして振れ補正処理動作が行われる。

　すなわち、振れ補正動作に入る前にレンズ制御部３２７は、レンズ振れ制御部３２４に、振れ補正用レンズ３２１Ｃを、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内において、任意の位置から可動可能範囲の中心位置へ移動（センタリング移動）させるよう指示する。

　レンズ振れ制御部３２４は、この指示を受けて、振れ補正アクチュエータ駆動部３２３にセンタリング移動させる制御信号を供給する。振れ補正アクチュエータ駆動部３２３は、その制御信号に応じた駆動信号を振れ補正アクチュエータ３２２に送る。当該振れ補正アクチュエータ３２２により、振れ補正用レンズ３２１Ｃは、センタリング移動させられる。

　こうして、振れ補正用レンズ３２１Ｃをセンタリング移動させた後、レンズ振れ制御部３２４は、レンズ振動センサ３２５からの振動検出信号を取り込んで、振れ量を検出する。この例では、レンズ振動センサ３２５からは、振動検出信号として角速度データを取り込み、その角速度データを振れ角度および振れの大きさに変換し、その振れ角度および大きさから、振れ補正用レンズ３２１Ｃの入射光Ｌｐの光軸に垂直な面での振れ量を算出する。

　次に、レンズ振れ制御部３２４は、レンズ位置センサ３２６から、センタリング移動させられている振れ補正用レンズの、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内における位置信号を取り込む。そして、レンズ振れ制御部３２４は、算出した振れ量と、取得した振れ補正用レンズ３２１Ｃの位置信号とから、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内における振れ補正用レンズ３２１Ｃの補正移動量に相当する振れ補正量を算出する。

　そして、レンズ振れ制御部３２４は、算出した振れ補正量に応じた制御信号を、振れ補正アクチュエータ駆動部３２３に送る。振れ補正アクチュエータ駆動部３２３は、その制御信号に応じた駆動信号により振れ補正アクチュエータ３２２を駆動する。これにより、振れ補正用レンズ３２１Ｃが、入射光Ｌｐの光軸に垂直な面内において補正移動させられて、撮影レンズ３２０側で検出された振れが補正される。

［変形例］
　手振れ補正装置として、第１の実施形態の変形例に係る駆動装置１０を用いるようにしてもよいし、第３の実施形態またはその変形例に係る駆動装置２１０を用いるようにしてもよい。

　上述の第３の実施形態では、カメラ本体３１０および撮影レンズ３２０の両方が振れ補正装置を有する場合について説明したが、カメラ本体３１０および撮影レンズ３２０のいずれかが振れ補正装置を備えるようにしてもよい。

［試験例］
　以下、試験例により本開示を具体的に説明するが、本開示はこれらの試験例のみに限定されるものではない。

［試験例１］
　まず、試験例１では、有限要素法（Finite Element Method：ＦＥＭ）シミュレーションのモデル（１／２対象モデル）として、図２１Ａに示す２軸駆動の駆動装置６０を用いた。なお、試験例１のモデルにおいて、第１の実施形態と対応する箇所には同一の符号を付す。

　駆動装置６０は、以下の点において第１の実施形態に係る駆動装置１０と異なっている。すなわち、アクチュエータ１４の第１の端部と被駆動体１１の第３の辺部との間、アクチュエータ１４の第２の端部と支持体１６との間がそれぞれ、接続機構部６１、６２により接続されている。アクチュエータ１２の第１の端部と被駆動体１１の第１の辺部とが直接接続されていると共に、アクチュエータ１２の第２の端部と支持体１６とが直接接続されている。アクチュエータ１３の第１の端部と被駆動体１１の第２の辺部とが直接接続されていると共に、アクチュエータ１３の第２の端部と支持体１６とが直接接続されている。

　接続機構部６１は、図２１Ｂに示すように、アクチュエータ１４の第１の端部に設けられた接続部６１Ａと、被駆動体１１の第３の辺部に設けられた円柱状の凸部６１Ｂとを備える。接続部６１Ａは、凸部６１ＢがＺ軸回りに回転可能に嵌め合わさる孔部を有している。

　同様に、接続機構部６２は、アクチュエータ１４の第２の端部に設けられた接続部６２Ａと、支持体１６に設けられた円柱状の凸部６２Ｂとを備える。接続部６２Ａは、凸部６２Ｂが回転可能に嵌め合わさる孔部を有している。

　以下に、試験例１のモデルの各部の設定条件の詳細に示す。
　アクチュエータ本体２１：ＤＥＡ（ヤング率０．８ＭＰａ、ポアソン比０．５）
　第１、第２の端部部材２２、２３：ＳＵＳ３０４
　被駆動体１１：ダミーイメージャー（ＳＵＳ３０４）、４０ｍｍ角、厚さ１ｍｍ
　支持体１６：ＳＵＳ３０４
　接続機構部６１、６２：１軸の回転自由度（Ｚ軸回りの回転自由度）有り、摩擦係数＝０．３５（一般的な銅同士の摩擦係数を想定）

　上述の構成を有するモデルにおいて、矢印１１Ａに示すように＋Ｘ軸方向に被駆動体１１を１ｍｍ動かしたときの反力から駆動剛性を解析した。なお、駆動時には、初期サイズ（Ｗ＝３０ｍｍ、Ｌ＝５ｍｍ、ｔ＝０．５ｍｍ）のアクチュエータ本体２１を１．２倍に延伸させた。

［試験例２］
　ＦＥＭシミュレーションのモデルにおいて、接続機構部６１、６２を１軸の回転自由度（Ｚ軸回りの回転自由度）有りとし、摩擦係数＝０．１（グリス等で摩擦を低減した摩擦係数を想定）としたこと以外は試験例１と同様にして駆動剛性を解析した。

［試験例３］
　ＦＥＭシミュレーションのモデルにおいて、接続機構部６１、６２の回転自由度無しとしたこと以外は試験例１と同様にして駆動剛性を解析した。

［試験例４］
　ＦＥＭシミュレーションのモデルとして、アクチュエータ１４および接続機構部６１、６２が備えられていない１軸駆動の駆動装置を用いたこと以外は試験例１と同様にして駆動剛性を解析した。

（解析結果）
　以下に、試験例１～４の解析結果を示す。

・試験例１（接続機構部６１、６２：回転自由度有り）
　摩擦係数＝０．３５（一般的な鋼同士の摩擦係数）
　駆動剛性２．５０２Ｎ／ｍｍ
（アクチュエータ１２、１３の伸縮剛性＋アクチュエータ１４の伸縮剛性＋接続機構部６１、６２の摩擦）

・試験例２（接続機構部６１、６２：回転自由度有り）
　摩擦係数＝０．１（グリス等で摩擦抑制を想定した値）
　駆動剛性２．４８２Ｎ／ｍｍ
（アクチュエータ１２、１３の伸縮剛性＋アクチュエータ１４の伸縮剛性＋接続機構部６１、６２の摩擦）

・試験例３（接続機構部６１、６２：回転自由度無し）
　駆動剛性３．１０４Ｎ／ｍｍ
（アクチュエータ１２、１３の伸縮剛性＋アクチュエータ１４の伸縮剛性＋アクチュエータ１４のせん断剛性）

・試験例４（１軸駆動、アクチュエータ１４および接続機構部６１、６２無し）
　駆動剛性２．２８４Ｎ／ｍｍ
（アクチュエータ１２、１３の伸縮剛性のみ）

　上記解析結果から以下のことがわかる。
　接続機構部６１、６２を１軸の回転自由度有りとした試験例１、２では、接続機構部６１、６２を１軸の回転自由度無しとした試験例３に比べて駆動剛性を低減することができる。接続機構部６１、６２の摩擦係数を０．１とした試験例２では、特に駆動剛性を低減することができ、１軸駆動とした試験例４の駆動剛性に近い値を得ることができる。

　以上、本開示の第１～第４の実施形態およびそれらの変形例について具体的に説明したが、本開示は、上述の第１～第４の実施形態およびそれらの変形例に限定されるものではなく、本開示の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。

　例えば、上述の第１～第４の実施形態およびそれらの変形例において挙げた構成、方法、工程、形状、材料および数値等はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料および数値等を用いてもよい。

　また、上述の第１～第４の実施形態およびそれらの変形例の構成、方法、工程、形状、材料および数値等は、本開示の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。

　また、本開示は以下の構成を採用することもできる。
（１）
　被駆動体と、
　第１の方向に伸縮可能に構成された第１のアクチュエータと、
　第２の方向に伸縮可能に構成された第２のアクチュエータと、
　前記第１のアクチュエータおよび前記第２のアクチュエータを介して前記被駆動体を支持する支持体と、
　前記第１のアクチュエータと前記被駆動体の間、および前記第１のアクチュエータと前記支持体の間の少なくとも一方を接続する第１の接続機構部と、
　前記第２のアクチュエータと前記被駆動体の間、および前記第２のアクチュエータと前記支持体の間の少なくとも一方を接続する第２の接続機構部と
　を備え、
　前記第１の接続機構部および前記第２の接続機構部は、少なくとも１自由度の回転自由度を有する振れ補正装置。
（２）
　前記第１のアクチュエータおよび前記第２のアクチュエータは、誘電エラストマーアクチュエータである（１）に記載の振れ補正装置。
（３）
　前記第１のアクチュエータは、前記第１の接続機構部に接続される第１の端部を有し、
　前記第２のアクチュエータは、前記第２の接続機構部に接続される第２の端部を有し、
　前記第１の端部および前記第２の端部の弾性率は、１０ＭＰａ以上である（１）または（２）に記載の振れ補正装置。
（４）
　前記第１のアクチュエータおよび前記第２のアクチュエータは、
　端部を有する誘電エラストマーアクチュエータと、
　前記誘電エラストマーアクチュエータよりも高い弾性率を有し、前記端部に設けられた端部部材と
　を備え、
　前記第１のアクチュエータの前記端部部材、前記第２のアクチュエータの前記端部部材はそれぞれ、前記第１の接続機構部、前記第２の接続機構部に接続される（１）に記載の振れ補正装置。
（５）
　前記第１のアクチュエータの前記端部部材および前記第２のアクチュエータの前記端部部材の弾性率は、１０ＭＰａ以上である（４）に記載の振れ補正装置。
（６）
　前記第１の接続機構部は、前記第１のアクチュエータと前記被駆動体の間を接続し、
　前記第２の接続機構部は、前記第２のアクチュエータと前記被駆動体の間を接続し、
　前記第１の接続機構部および前記第２の接続機構部は、少なくとも１自由度の並進自由度をさらに有する（１）から（５）のいずれかに記載の振れ補正装置。
（７）
　前記被駆動体と前記支持体との間に空間が設けられ、
　前記第１のアクチュエータおよび前記第２のアクチュエータは、前記空間に配置されている（１）から（６）のいずれかに振れ補正装置。
（８）
　前記第１のアクチュエータは、前記第１の接続機構部に接続される第１の端部を有し、
　前記第２のアクチュエータは、前記第２の接続機構部に接続される第２の端部を有し、
　前記第１の端部および前記第２の端部は、凸状に湾曲している（１）から（７）のいずれかに記載の振れ補正装置。
（９）
　前記第１のアクチュエータは、前記第１の接続機構部に接続される第１の端部を有し、
　前記第２のアクチュエータは、前記第２の接続機構部に接続される第２の端部を有し、
　前記第１のアクチュエータは、前記第１の方向に直交し、かつ前記第１の端部に向かって密度が増加するように設けられた複数の第１の繊維を有し、
　前記第２のアクチュエータは、前記第２の方向に直交し、かつ前記第２の端部に向かって密度が増加するように設けられた複数の第２の繊維を有する（１）から（７）のいずれかに記載の振れ補正装置。
（１０）
　前記被駆動体は、撮像素子またはレンズを含む（１）から（１１）のいずれかに記載の振れ補正装置。
（１１）
　第１の方向に伸縮可能に構成された第１のアクチュエータと、
　前記第１のアクチュエータ上に設けられ、第２の方向に伸縮可能に構成された第２のアクチュエータおよび第３のアクチュエータと、
　前記第２のアクチュエータおよび前記第３のアクチュエータ上に設けられた被駆動体と、
　前記第１のアクチュエータ、前記第２のアクチュエータおよび前記第３のアクチュエータを支持する支持体と、
　前記第１のアクチュエータと前記被駆動体との間を接続する第１の接続機構部と、
　前記第２のアクチュエータと前記被駆動体との間を接続する第２の接続機構部と、
　前記第３のアクチュエータと前記被駆動体との間を接続する第３の接続機構部と
　を備え、
　前記第１の接続機構部は、前記被駆動体を前記第２の方向に移動可能な並進自由度と、前記第１の方向および前記第２の方向に直交する軸回りに回転可能な回転自由度を有し、
　前記第２の接続機構部および第３の接続機構部は、前記被駆動体を前記第１の方向に移動可能な並進自由度と、前記軸回りに回転可能な回転自由度を有し、
　前記第１の接続機構部は、前記第２の接続機構部および第３の接続機構部の間に設けられている振れ補正装置。
（１２）
　被駆動体と、
　第１の方向に伸縮可能に構成された第１のアクチュエータと、
　第２の方向に伸縮可能に構成された第２のアクチュエータと、
　前記第１のアクチュエータおよび前記第２のアクチュエータを介して前記被駆動体を支持する支持体と、
　前記第１のアクチュエータと前記被駆動体の間、および前記第１のアクチュエータと前記支持体の間の少なくとも一方を接続する第１の接続機構部と、
　前記第２のアクチュエータと前記被駆動体の間、および前記第２のアクチュエータと前記支持体の間の少なくとも一方を接続する第２の接続機構部と
　を備え、
　前記第１の接続機構部および前記第２の接続機構部は、少なくとも１自由度の回転自由度を有する駆動装置。
（１３）
　第１の方向に伸縮可能に構成された第１のアクチュエータと、
　前記第１のアクチュエータ上に設けられ、第２の方向に伸縮可能に構成された第２のアクチュエータおよび第３のアクチュエータと、
　前記第２のアクチュエータおよび前記第３のアクチュエータ上に設けられた被駆動体と、
　前記第１のアクチュエータ、前記第２のアクチュエータおよび前記第３のアクチュエータを支持する支持体と、
　前記第１のアクチュエータと前記被駆動体との間を接続する第１の接続機構部と、
　前記第２のアクチュエータと前記被駆動体との間を接続する第２の接続機構部と、
　前記第３のアクチュエータと前記被駆動体との間を接続する第３の接続機構部と
　を備え、
　前記第１の接続機構部は、前記被駆動体を前記第２の方向に移動可能な並進自由度と、前記第１の方向および前記第２の方向に直交する軸回りに回転可能な回転自由度を有し、
　前記第２の接続機構部および第３の接続機構部は、前記被駆動体を前記第１の方向に移動可能な並進自由度と、前記軸回りに回転可能な回転自由度を有し、
　前記第１の接続機構部は、前記第２の接続機構部および第３の接続機構部の間に設けられている駆動装置。
（１４）
　（１）から（１１）のいずれかに記載の前記振れ補正装置を備える撮像装置。
（１５）
　（１２）または（１３）に記載の前記駆動装置を備える電子機器。

　１０、１１０、２１０　　駆動装置
　１１、１１１、２１１　　被駆動体
　１２、１３、１１２、２１２Ａ、２１２Ｂ　　アクチュエータ（第１のアクチュエータ）
　１４、１５、１１３、２１４Ａ、２１４Ｂ　　アクチュエータ（第２のアクチュエータ）
　１１４、２１６Ａ、２１６Ｂ　　アクチュエータ（第３のアクチュエータ）
　２１、１２１　　アクチュエータ本体
　２２、１２２　　第１の端部部材
　２３　　第２の端部端部
　２４　　繊維
　１６、１１５、２１８　　支持体
　１２Ａ、１３Ａ、１４Ａ、１５Ａ、１１２Ａ、２１３　　接続機構部（第１の接続機構部）
　１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂ、１５Ｂ、１１３Ａ、２１５　　接続機構部（第２の接続機構部）
　１１４Ａ、２１７　　接続機構部（第３の接続機構部）
　２１３Ａ、２１３Ｂ、２１５Ａ、２１５Ｂ、２１７Ａ、２１７Ｂ　レール
　２１３Ｃ、２１５Ｃ、２１７Ｃ　ボール部
　２１３Ａ₁、２１３Ｂ₁　溝部

Claims

　被駆動体と、
　第１の方向に伸縮可能に構成された第１のアクチュエータと、
　第２の方向に伸縮可能に構成された第２のアクチュエータと、
　前記第１のアクチュエータおよび前記第２のアクチュエータを介して前記被駆動体を支持する支持体と、
　前記第１のアクチュエータと前記被駆動体の間、および前記第１のアクチュエータと前記支持体の間の少なくとも一方を接続する第１の接続機構部と、
　前記第２のアクチュエータと前記被駆動体の間、および前記第２のアクチュエータと前記支持体の間の少なくとも一方を接続する第２の接続機構部と
　を備え、
　前記第１の接続機構部および前記第２の接続機構部は、少なくとも１自由度の回転自由度を有する振れ補正装置。
　前記第１のアクチュエータおよび前記第２のアクチュエータは、誘電エラストマーアクチュエータである請求項１に記載の振れ補正装置。
　前記第１のアクチュエータは、前記第１の接続機構部に接続される第１の端部を有し、
　前記第２のアクチュエータは、前記第２の接続機構部に接続される第２の端部を有し、
　前記第１の端部および前記第２の端部の弾性率は、１０ＭＰａ以上である請求項１に記載の振れ補正装置。
　前記第１のアクチュエータおよび前記第２のアクチュエータは、
　端部を有する誘電エラストマーアクチュエータと、
　前記誘電エラストマーアクチュエータよりも高い弾性率を有し、前記端部に設けられた端部部材と
　を備え、
　前記第１のアクチュエータの前記端部部材、前記第２のアクチュエータの前記端部部材はそれぞれ、前記第１の接続機構部、前記第２の接続機構部に接続される請求項１に記載の振れ補正装置。
　前記第１のアクチュエータの前記端部部材および前記第２のアクチュエータの前記端部部材の弾性率は、１０ＭＰａ以上である請求項４に記載の振れ補正装置。
　前記第１の接続機構部は、前記第１のアクチュエータと前記被駆動体の間を接続し、
　前記第２の接続機構部は、前記第２のアクチュエータと前記被駆動体の間を接続し、
　前記第１の接続機構部および前記第２の接続機構部は、少なくとも１自由度の並進自由度をさらに有する請求項１に記載の振れ補正装置。
　前記被駆動体と前記支持体との間に空間が設けられ、
　前記第１のアクチュエータおよび前記第２のアクチュエータは、前記空間に配置されている請求項１に記載の振れ補正装置。
　前記第１のアクチュエータは、前記第１の接続機構部に接続される第１の端部を有し、
　前記第２のアクチュエータは、前記第２の接続機構部に接続される第２の端部を有し、
　前記第１の端部および前記第２の端部は、凸状に湾曲している請求項１に記載の振れ補正装置。
　前記第１のアクチュエータは、前記第１の接続機構部に接続される第１の端部を有し、
　前記第２のアクチュエータは、前記第２の接続機構部に接続される第２の端部を有し、
　前記第１のアクチュエータは、前記第１の方向に直交し、かつ前記第１の端部に向かって密度が増加するように設けられた複数の第１の繊維を有し、
　前記第２のアクチュエータは、前記第２の方向に直交し、かつ前記第２の端部に向かって密度が増加するように設けられた複数の第２の繊維を有する請求項１に記載の振れ補正装置。
　前記被駆動体は、撮像素子またはレンズを含む請求項１に記載の振れ補正装置。
　第１の方向に伸縮可能に構成された第１のアクチュエータと、
　前記第１のアクチュエータ上に設けられ、第２の方向に伸縮可能に構成された第２のアクチュエータおよび第３のアクチュエータと、
　前記第２のアクチュエータおよび前記第３のアクチュエータ上に設けられた被駆動体と、
　前記第１のアクチュエータ、前記第２のアクチュエータおよび前記第３のアクチュエータを支持する支持体と、
　前記第１のアクチュエータと前記被駆動体との間を接続する第１の接続機構部と、
　前記第２のアクチュエータと前記被駆動体との間を接続する第２の接続機構部と、
　前記第３のアクチュエータと前記被駆動体との間を接続する第３の接続機構部と
　を備え、
　前記第１の接続機構部は、前記被駆動体を前記第２の方向に移動可能な並進自由度と、前記第１の方向および前記第２の方向に直交する軸回りに回転可能な回転自由度を有し、
　前記第２の接続機構部および第３の接続機構部は、前記被駆動体を前記第１の方向に移動可能な並進自由度と、前記軸回りに回転可能な回転自由度を有し、
　前記第１の接続機構部は、前記第２の接続機構部および第３の接続機構部の間に設けられている振れ補正装置。
　被駆動体と、
　第１の方向に伸縮可能に構成された第１のアクチュエータと、
　第２の方向に伸縮可能に構成された第２のアクチュエータと、
　前記第１のアクチュエータおよび前記第２のアクチュエータを介して前記被駆動体を支持する支持体と、
　前記第１のアクチュエータと前記被駆動体の間、および前記第１のアクチュエータと前記支持体の間の少なくとも一方を接続する第１の接続機構部と、
　前記第２のアクチュエータと前記被駆動体の間、および前記第２のアクチュエータと前記支持体の間の少なくとも一方を接続する第２の接続機構部と
　を備え、
　前記第１の接続機構部および前記第２の接続機構部は、少なくとも１自由度の回転自由度を有する駆動装置。
　第１の方向に伸縮可能に構成された第１のアクチュエータと、
　前記第１のアクチュエータ上に設けられ、第２の方向に伸縮可能に構成された第２のアクチュエータおよび第３のアクチュエータと、
　前記第２のアクチュエータおよび前記第３のアクチュエータ上に設けられた被駆動体と、
　前記第１のアクチュエータ、前記第２のアクチュエータおよび前記第３のアクチュエータを支持する支持体と、
　前記第１のアクチュエータと前記被駆動体との間を接続する第１の接続機構部と、
　前記第２のアクチュエータと前記被駆動体との間を接続する第２の接続機構部と、
　前記第３のアクチュエータと前記被駆動体との間を接続する第３の接続機構部と
　を備え、
　前記第１の接続機構部は、前記被駆動体を前記第２の方向に移動可能な並進自由度と、前記第１の方向および前記第２の方向に直交する軸回りに回転可能な回転自由度を有し、
　前記第２の接続機構部および第３の接続機構部は、前記被駆動体を前記第１の方向に移動可能な並進自由度と、前記軸回りに回転可能な回転自由度を有し、
　前記第１の接続機構部は、前記第２の接続機構部および第３の接続機構部の間に設けられている駆動装置。
　請求項１または１１に記載の前記振れ補正装置を備える撮像装置。
　請求項１２または１３に記載の前記駆動装置を備える電子機器。