CN112334827A - 抖动校正装置、驱动装置、成像装置、和电子装置 - Google Patents

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Abstract

一种抖动校正装置，包括：被驱动体；可在第一方向上伸缩的第一致动器；可在第二方向上伸缩的第二致动器；经由所述第一致动器和所述第二致动器支撑所述被驱动体的支撑体；在所述第一致动器和所述被驱动体之间和/或在所述第一致动器和所述支撑体之间连接的第一连接机构单元；和在所述第二致动器和所述被驱动体之间和/或在所述第二致动器和所述支撑体之间连接的第二连接机构单元。所述第一连接机构单元和所述第二连接机构单元具有至少一个旋转自由度。

Description

抖动校正装置、驱动装置、成像装置、和电子装置
技术领域
本公开内容涉及一种抖动校正装置、一种驱动装置、一种成像装置、和一种电子装置。
背景技术
近年来，数码相机装配有抖动校正装置已变得常见。出于这一原因，已进行了有关使用致动器的具有两个或更多个轴的驱动装置(多轴驱动装置)的积极研究。
例如，专利文献1描述了通过使用聚合物致动器元件来形成手抖动校正装置以便实现具有简单结构的紧密度。
引用清单
专利文献
专利文献1：日本专利申请待审公开第2009-92819号
发明内容
本发明要解决的技术问题
本公开内容的发明目的在于提供一种能够驱动两个或更多个轴的抖动校正装置、驱动装置、成像装置、和电子装置。
解决问题的方案
为了解决上述问题，第一公开内容是一种抖动校正装置，包括：被驱动体；可在第一方向上伸缩的第一致动器；可在第二方向上伸缩的第二致动器；经由所述第一致动器和所述第二致动器支撑所述被驱动体的支撑体；在所述第一致动器和所述被驱动体之间和/或在所述第一致动器和所述支撑体之间连接的第一连接机构单元；和在所述第二致动器和所述被驱动体之间和/或在所述第二致动器和所述支撑体之间连接的第二连接机构单元，其中所述第一连接机构单元和所述第二连接机构单元具有至少一个旋转自由度。
第二公开内容是一种抖动校正装置，包括：可在第一方向上伸缩的第一致动器；设置在所述第一致动器上且可在第二方向上伸缩的第二致动器和第三致动器；设置在所述第二致动器和所述第三致动器上的被驱动体；支撑所述第一致动器、所述第二致动器、和所述第三致动器的支撑体；连接在所述第一致动器和所述被驱动体之间的第一连接机构单元；连接在所述第二致动器和所述被驱动体之间的第二连接机构单元；和连接在所述第三致动器和所述被驱动体之间的第三连接机构单元，其中所述第一连接机构单元具有允许所述被驱动体在所述第二方向上移动的平移自由度、和允许所述被驱动体围绕与所述第一方向和所述第二方向正交的轴旋转的旋转自由度，所述第二连接机构单元和所述第三连接机构单元具有允许所述被驱动体在所述第一方向上移动的平移自由度和允许所述被驱动体围绕所述轴旋转的旋转自由度，并且在所述第二连接机构单元和所述第三连接机构单元之间设置有所述第一连接机构单元。
第三公开内容是一种驱动装置，包括：被驱动体；可在第一方向上伸缩的第一致动器；可在第二方向上伸缩的第二致动器；经由所述第一致动器和所述第二致动器支撑所述被驱动体的支撑体；在所述第一致动器和所述被驱动体之间和/或在所述第一致动器和所述支撑体之间连接的第一连接机构单元；和在所述第二致动器和所述被驱动体之间和/或在所述第二致动器和所述支撑体之间连接的第二连接机构单元，其中所述第一连接机构单元和所述第二连接机构单元具有至少一个旋转自由度。
第四公开内容是一种驱动装置，包括：可在第一方向上伸缩的第一致动器；设置在所述第一致动器上且可在第二方向上伸缩的第二致动器和第三致动器；设置在所述第二致动器和所述第三致动器上的被驱动体；支撑所述第一致动器、所述第二致动器、和所述第三致动器的支撑体；连接在所述第一致动器和所述被驱动体之间的第一连接机构单元；连接在所述第二致动器和所述被驱动体之间的第二连接机构单元；和连接在所述第三致动器和所述被驱动体之间的第三连接机构单元，其中所述第一连接机构单元具有允许所述被驱动体在所述第二方向上移动的平移自由度、和允许所述被驱动体围绕与所述第一方向和所述第二方向正交的轴旋转的旋转自由度，所述第二连接机构单元和所述第三连接机构单元具有允许所述被驱动体在所述第一方向上移动的平移自由度和允许所述被驱动体围绕所述轴旋转的旋转自由度，并且在所述第二连接机构单元和所述第三连接机构单元之间设置有所述第一连接机构单元。
第五公开内容是一种成像装置，包括第一公开内容或第二公开内容的抖动校正装置。
第六公开内容是一种电子装置，包括第三公开内容或第四公开内容的驱动装置。
本发明的效果
根据本公开内容，可实现能够驱动两个或更多个轴的抖动校正装置或驱动装置。注意，此处描述的效果并非必然受限制的，而是可以是本公开内容中描述的效果中的任一者或者与这些效果不同的效果。
附图说明
图1A是图解驱动装置的配置的示意图。图1B是用于解释驱动装置的操作的示意图。
图2A是图解驱动装置的配置的示意图。图2B是用于解释驱动装置的操作的示意图。
图3A是图解根据本公开内容第一实施方式的驱动装置的配置的示例的示意图。图3B是用于解释根据本公开内容第一实施方式的驱动装置的操作的示例的示意图。
图4A是图解致动器和连接机构单元的示例的俯视图。图4B是沿着图4A中的直线IVB-IVB获取的截面图。
图5A是图解连接机构单元的改进例的俯视图。图5B是沿着图5A中的直线VB-VB获取的截面图。
图6是图解连接机构单元的改进例的俯视图。
图7是图解致动器的改进例的俯视图。
图8是图解致动器的改进例的俯视图。
图9是图解驱动装置的改进例的俯视图。
图10A是图解根据本公开内容第二实施方式的驱动装置的配置的示例的示意图。图10B是表示图10A中示出的连接机构单元的放大视图。
图11A是用于解释根据本公开内容第二实施方式的驱动装置的旋转驱动操作的示例的示意图。图11B是用于解释根据本公开内容第二实施方式的驱动装置的平移驱动操作的示例的示意图。
图12A是图解根据本公开内容第三实施方式的驱动装置的配置的示例的示意图。图12B是沿着图12A中的直线XIIB-XIIB获取的截面图。
图13A是图解根据本公开内容第三实施方式的驱动装置的下层的配置的示例的示意图。图13B是图解根据本公开内容第三实施方式的驱动装置的中间层的配置的示例的示意图。
图14是用于解释在X轴方向上平移驱动期间驱动装置的操作的示例的示意图。
图15A是图解在X轴方向上平移驱动期间驱动装置的下层的状态的示例的示意图。图15B是图解在X轴方向上平移驱动期间驱动装置的中间层的状态的示例的示意图。
图16是用于解释在Y轴方向上平移驱动期间驱动装置的操作的示例的示意图。
图17A是图解在Y轴方向上平移驱动期间驱动装置的下层的状态的示例的示意图。图17B是图解在Y轴方向上平移驱动期间驱动装置的中间层的状态的示例的示意图。
图18是用于解释旋转驱动期间驱动装置的操作的示例的示意图。
图19A是图解在旋转驱动期间驱动装置的下层的示例的示意图。图19B是图解在旋转驱动期间驱动装置的中间层的示例的示意图。
图20是图解根据本公开内容第四实施方式的成像装置的配置的示例的方框图。
图21A是图解参照例1的有限元法模型的配置的俯视图。图21B是图解图21A中示出的连接机构单元的放大透视图。
具体实施方式
将按下述顺序描述本公开内容的实施方式。
1、第一实施方式(驱动装置的示例)
2、第二实施方式(驱动装置的示例)
3、第三实施方式(驱动装置的示例)
4、第四实施方式(成像装置的示例)
<1、第一实施方式>
[概述]
图1A图解了驱动装置400的配置的示例。注意，在下文中，为了描述的清楚而将使用XYZ正交坐标系。进一步地，在下述描述中，X轴方向、Y轴方向指板状的被驱动体401的主表面的平面内方向，且指彼此正交的第一方向和第二方向。进一步地，Z轴方向指垂直于被驱动体401的主表面的方向，即，垂直于第一方向和第二方向两者的第三方向。注意，在驱动装置400是用于成像装置或类似者的抖动校正装置的情况下，X轴方向和Y轴方向是垂直于成像装置或类似者的光轴方向的方向，且Z轴方向是成像装置或类似者的光轴方向。
驱动装置400是可在X轴方向和Y轴方向上移动的所谓的双轴驱动装置，并且包括被驱动体401、在X轴方向和Y轴方向上移动被驱动体401的四个致动器402至405、和经由这些致动器402至405支撑被驱动体401的支撑体(框架)406。致动器402至405包括介电弹性体致动器(下文中被称为“DEA”)。
例如，当在具有以上配置的驱动装置400中如图1中所示致动器403被驱动并且被驱动体401在X轴方向上移动时，尽管由致动器403产生的力大，但致动器404和405的剪切刚度无助于驱动而变成了载荷并阻碍了被驱动体401的移动。
图2A图解了驱动装置410的配置的示例。驱动装置410具有与驱动装置400类似的配置，不同之处在于包括了致动器组412至415来代替致动器402至405，致动器组412至415包括具有高纵横比的多个致动器421。在此，纵横比意即致动器421的长度L相对于致动器421的宽度W的比例L/W。
例如，当在具有以上配置的驱动装置410中如图2B中所示致动器组413被驱动并且被驱动体401在X轴方向上移动时，致动器组414和415的剪切刚度变小，但由致动器组413产生的力也变小。
然后，作为鉴于两个驱动装置400和410的上述问题而进行的有关能够抑制剪切刚度同时抑制所产生的力下降的驱动装置的不懈研究的结果，本发明人已经发现具有下述配置的驱动装置。即，已经发现这样一种驱动装置：其包括在致动器和被驱动体之间和/或在致动器和支撑体之间连接的连接机构单元，其中连接机构单元具有至少一个旋转自由度(至少一个单轴的旋转自由度)。
[驱动装置的配置]
图3A图解了根据本公开内容第一实施方式的驱动装置10的配置的示例。驱动装置10是能够在X轴方向和Y轴方向上平移驱动的双轴驱动装置，且更具体而言，是成像装置或类似者中使用的双轴驱动的抖动校正装置。驱动装置10包括被驱动体11、一组致动器(第一致动器)12和13、一组致动器(第二致动器)14和15、支撑体16、连接机构单元(第一连接机构单元)12A、12B、13A、和13B、和连接机构单元(第二连接机构单元)14A、14B、15A、和15B。注意，未示出的致动器驱动单元和致动器控制单元连接至驱动装置10。
(被驱动体)
被驱动体11包括诸如成像元件或透镜之类的被驱动目标。更具体而言，被驱动体11包括被驱动目标和支撑所述被驱动目标的支撑元件。注意，被驱动体11的配置不限于此，并且可以是支撑被驱动目标的支撑元件。作为成像元件例如使用了电荷耦合器件(CCD)图像传感器或者互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器。被驱动体11具有矩形板状，其具有彼此相对的一组第一侧部和第二侧部以及彼此相对的一组第三侧部和第四侧部。在此，侧部意即包括被驱动体11的侧表面和被驱动体11的两个主表面的周围边缘的部分。
(支撑体)
支撑体16经由致动器12至15支撑被驱动体11。支撑体16是框状体，其具有分别与被驱动体11的第一侧部至第四侧部相对的第一壁部至第四壁部。在分别从被驱动体111的第一侧部至第四侧部起预定距离处设置第一壁部至第四壁部。支撑体16可以是在其中设置有驱动装置10的成像装置的壳体的一部分。
(致动器)
该组致动器12和13可在±X轴方向(第一方向)上伸缩。该组致动器14和15可在±Y轴方向(与第一方向正交的第二方向)上伸缩。
致动器12至15具有矩形膜状，其具有彼此相对的第一端部和第二端部。具体而言，如图4A中所示，致动器12至15包括具有在第一方向(伸缩方向)上彼此相对的第一端部和第二端部的矩形膜状致动器本体21、设置在第一端部处的第一端部元件22、和设置在第二端部处的第二端部元件23。注意，致动器12至15可采用未设置第一端部元件22和第二端部元件23的配置，但从改善所产生的力的角度来看，优选的是包括第一端部元件22和第二端部元件23。
在被驱动体11和支撑体16之间设置空间，并且致动器12至15被布置在这一空间中。更具体而言，致动器12被布置在被驱动体11的第一侧部和支撑体16的第一壁部之间的空间中，并且致动器13被布置在被驱动体11的第二侧部和支撑体16的第二壁部之间的空间中。进一步地，致动器14被布置在被驱动体11的第三侧部和支撑体16的第三壁部之间的空间中，并且致动器15被布置在被驱动体11的第四侧部和支撑体16的第四壁部之间的空间中。
致动器12至15的第一端部元件22分别经由连接机构单元12A至15A连接至被驱动体11的第一侧部至第四侧部。致动器12至15的第二端部元件23分别经由连接机构单元12B至15B连接至支撑体16的第一壁部至第四壁部。
致动器本体21是所谓的DEA且具有矩形膜状。如图4B中所示，致动器本体21是堆叠体，其包括具有弹性的多个介电弹性体层21A、和可根据介电弹性体层21A的伸缩而伸缩的多个电极(第一电极)21B和多个电极(第二电极)21C。电极21B和电极21C被交替地布置在堆叠的介电弹性体层21A之间。从绝缘的角度来看，优选的是用介电弹性体层21覆盖致动器本体21的两个主表面。
介电弹性体层21A例如包括绝缘弹性体作为绝缘弹性材料。介电弹性体层21A可在必要时包括添加剂。该添加剂例如是交联剂、塑化剂、防老剂、表面活性剂、粘度调节剂、增强剂、着色剂、或类似者中的至少一者。绝缘弹性体例如包括丙烯酸橡胶、硅橡胶、乙烯-丙烯-二烯三元共聚物(EPDM)、天然橡胶(NR)、丁基橡胶(IIR)、异戊二烯橡胶(IR)、丙烯腈-丁二烯共聚物橡胶(NBR)、氢化的丙烯腈-丁二烯共聚物橡胶(H-NBR)、表氯醇基橡胶、氯丁二烯橡胶(CR)、氟橡胶、氨基甲酸酯橡胶、或类似物中的至少一者。
电极21B和21C包括导电材料。电极21B和21C可在必要时进一步包括弹性粘合剂、凝胶、悬浮液、或油中的至少一者。进一步地，电极21B和21C可在必要时进一步包括添加剂。
导电材料例如是导电填料或导电聚合物中的至少一者。导电填料的形状的示例包括球状、椭球状、针状、板状、鳞状、管状、线状、棒状(杆状)、纤维状、不定状、和类似者，但不限于此。注意，可仅使用一种类型的导电填料，或者可组合使用两种或更多种类型的导电填料。
导电填料例如包括碳基填料、金属基填料、金属氧化物基填料、或者金属涂层基填料中的至少一者。在此，金属被定义为包括半金属。
碳基填料例如包括炭黑(例如，科琴黑、乙炔黑、和类似者)、多孔碳、碳纤维(例如，PAN基、沥青基、和类似者)、碳纳米纤维、富勒烯、石墨烯、气相生长的碳纤维(VGCF)、碳纳米管(例如，SWCNT、MWCNT、和类似者)、螺旋碳纤维、或碳纳米角中的至少一者。
金属基填料例如包括铜、银、金、铂、钯、镍、锡、钴、铑、铱、铁、钌、锇、锰、钼、钨、铌、钽、钛、铋、锑、或铅中的至少一者。
氧化物基填料例如包括氧化铟锡(ITO)、氧化锌、氧化铟、添加有锑的氧化锡、添加有氟的氧化锡、添加有铝的氧化锌、添加有镓的氧化锌、添加有硅的氧化锌、氧化锌-氧化锡、氧化铟-氧化锡、或者氧化锌-氧化铟-氧化镁。
金属涂层基填料是涂布有金属的基底填料。基底填料例如是云母、玻璃珠、玻璃纤维、碳纤维、碳酸钙、氧化锌、或氧化钛。涂布基底填料的金属例如包括Ni或Al中的至少一者。
导电聚合物例如包括聚乙撑二氧噻吩/聚苯乙烯磺酸(PEDOT/PSS)、聚苯胺、聚乙炔、或聚吡咯中的至少一者。
粘合剂优选是弹性体。作为弹性体，可例示与介电弹性体层21A类似的那些。作为添加剂，可例示与介电弹性体层21A类似的那些。
电极21B和21C可包括复合材料。复合材料例如包括弹性体和导电聚合物或导电填料中的至少一者的复合材料、包括弹性离子导电材料和电解质的复合材料、聚合物悬浮液(诸如丙烯酸乳浊液)和导电聚合物或导电填料中的至少一者的复合材料、嵌段共聚物和导电聚合物或导电填料中的至少一者的复合材料、或者聚合物凝胶和离子导体的复合材料中的至少一者。
第一端部元件22和第二端部元件23具有导电性。第一端部元件22电连接至多个电极21B并且具有作为多个电极21B的引出电极的功能。另一方面，第二端部元件23电连接至多个电极21C并且具有作为多个电极21C的引出电极的功能。第一端部元件22和第二端部元件23连接至致动器驱动单元。
第一端部元件22和第二端部元件23优选具有比致动器本体21更高的弹性模量。因此，当驱动装置10被驱动时，可抑制致动器本体21的第一端部和第二端部的变形。因此，可改善所产生的力。从改善所产生的力的角度来看，第一端部元件22和第二端部元件23的弹性模量(杨氏模量)优选是10MPa或更大。第一端部元件22和第二端部元件23的弹性模量的上限值没有特别的限制，但例如是1000GPa或更小。第一端部元件22和第二端部元件23例如包括金属。以上提及的弹性模量是按照JIS K 6251:2010测量的值。
(连接机构单元)
连接机构单元12A和12B分别连接致动器12的第一端部和被驱动体11的第一侧部以及致动器12的第二端部和支撑体16的第一壁部。连接机构单元13A和13B分别连接致动器13的第一端部和被驱动体11的第二侧部以及致动器13的第二端部和支撑体16的第二壁部。连接机构单元14A和14B分别连接致动器14的第一端部和被驱动体11的第三侧部以及致动器14的第二端部和支撑体16的第三壁部。连接机构单元15A和15B分别连接致动器15的第一端部和被驱动体11的第四侧部以及致动器15的第二端部和支撑体16的第四壁部。
连接机构单元12A和12B具有一个允许围绕Z轴旋转的旋转自由度。具体而言，如图4A中所示，连接机构单元12A包括设置在致动器12的第一端部处的轴部31、由轴部31支撑的柱状体32、设置在被驱动体11的第一侧部上的轴部33、和由轴部33支撑的壳体34。进一步地，如图4A中所示，连接机构单元12B包括设置在致动器12的第二端部处的轴部41、由轴部41支撑的柱状体42、设置在第二支撑体16的第一壁部上的轴部43、和由轴部43支撑的壳体44。壳体34和44可分别围绕Z轴旋转地安置柱状体32和42。
连接机构单元13A、14A、和15A各自具有与连接机构单元12A类似的配置。进一步地，连接机构单元13B、14B、和15B各自具有与连接机构单元12B类似的配置。
(致动器控制单元)
致动器控制单元产生控制驱动被驱动体11的移动的控制信号，并将产生的控制信号供应至致动器驱动单元。
(致动器驱动单元)
致动器驱动单元基于来自于致动器控制单元的控制信号而将电压施加至致动器12至15，以驱动致动器12至15。
[驱动装置的操作]
以下将描述具有以上配置的驱动装置10的操作的示例。
通过将电压施加至致动器12并延伸致动器12，被驱动体11可在－X轴方向上移动。另一方面，通过将电压施加至致动器13并延伸致动器13，被驱动体11可在+X轴方向上移动。
通过将电压施加至致动器14并延伸致动器14，被驱动体11可在－Y轴方向上移动。另一方面，通过将电压施加至致动器15并延伸致动器15，被驱动体11可在+Y轴方向上移动。
例如，如图3B中所示，当被驱动体11在X轴方向上移动时，致动器14可通过连接机构单元14A和14B的旋转来改变方向，并且致动器15可通过连接机构单元15A和15B的旋转来改变方向。因此，可抑制剪切刚度，同时抑制所产生的力下降。
[效果]
根据第一实施方式的驱动装置10包括能够在第一方向(±X轴方向)上移动被驱动体11的一组致动器12和13、和能够在第二方向(±Y轴方向)上移动被驱动体11的一组致动器14和15。因此，被驱动体11可被驱动成在X轴方向和Y轴方向上平移。因此，可提供双轴驱动装置10。
进一步地，根据第一实施方式的驱动装置10包括分别连接致动器12和被驱动体11以及致动器12和支撑体16的连接机构单元12A和12B、分别连接致动器13和被驱动体11以及致动器13和支撑体16的连接机构单元13A和13B、分别连接致动器14和被驱动体11以及致动器14和支撑体16的连接机构单元14A和14B、和分别连接致动器15和被驱动体11以及致动器15和支撑体16的连接机构单元15A和15B。因此，当被驱动体11在±X轴方向上移动时，致动器14和致动器15分别通过连接机构单元14A和14B以及连接机构单元15A和15B围绕Z轴旋转来改变方向。因此，可抑制致动器14和15的剪切刚度，同时抑制致动器14和15所产生的力的下降。进一步地，当在±Y轴方向上移动被驱动体11时，致动器12和致动器13分别通过连接机构单元12A和12B以及连接机构单元13A和13B围绕Z轴的旋转来改变方向。因此，可抑制致动器12和13的剪切刚度，同时抑制致动器12和13所产生的力的下降。
[改进例]
(改进例1)
如图5A和图5B中所示，驱动装置10可代替连接机构单元12B而包括连接机构单元12C，该连接机构单元12C具有设置在第二端部元件23上的柱状突起23A和在支撑体16中设置的可将突起23A旋转地装配于其中的柱状孔16A。类似地，驱动装置10可包括具有与上述的连接机构单元12C类似的配置的连接机构单元来代替连接机构单元13B、14B、和15B。在以上提及的连接机构单元12C或类似者中，由于致动器12至15的第二端部和支撑体16位于不同高度处，因而在驱动期间可抑制致动器12至15的第二端部接触支撑体16。注意，支撑体16可设置有突起物23A，并且第二端部元件23可设置有孔16A。
尽管未示出，但驱动装置10可代替连接机构单元12A、13A、14A、15A而包括具有设置在第一端部元件22上的柱状突起物和设置在被驱动体中且可将凸部旋转地安装于其中的柱状孔的连接机构单元。在上述的连接机构单元中，由于致动器12至15的第一端部和支撑体16位于不同高度处，因而在驱动期间可抑制致动器12至15的第一端部接触被驱动体11。注意，被驱动体11可设置有突起物，并且第一端部元件22可设置有孔。
(改进例2)
驱动装置10可包括具有一个允许围绕Z轴旋转的旋转自由度、和一个允许在沿着被驱动体11的第一侧部和第二侧部的方向(Y轴方向)上平移的平移自由度的连接机构单元，来代替连接机构单元12A和13A。进一步地，驱动装置10可包括具有一个允许围绕Z轴旋转的旋转自由度、和一个允许在沿着被驱动体11的第三侧部和第四侧部的方向(X轴方向)上平移的平移自由度的连接机构单元来代替连接机构单元14A和15A。在驱动装置10包括上述的连接机构单元来代替连接机构单元12A、13A、14A、和15A的情况下，即使在未包括连接机构单元12B、13B、14B、和15B时，也可获得这样的效果：与第一实施方式类似，可抑制剪切刚度同时抑制所产生的力的下降。
图6图解了具有一个允许围绕Z轴旋转的旋转自由度、和一个允许在沿着被驱动体11的第一侧部和第二侧部的方向上平移的平移自由度的连接机构单元12D的配置的具体示例。这一连接机构单元12D包括设置在致动器12的第一端部处的轴部51、由轴部51支撑的壳体52、和可围绕Z轴旋转地安置在壳体52中的柱状体53。柱状体53通过磁力或类似者耦接至被驱动体11的第一侧部，以便可在±Y轴方向上平移。在此，已描述了设置在致动器12的第一端部和被驱动体11的第一侧部之间的连接机构单元12D的配置，但其他连接机构单元可具有与连接机构单元12D类似的配置。进一步地，可使用球体来代替柱状体53。
(改进例3)
如图7中所示，致动器12可包括具有彼此相对的第一端部和第二端部的矩形致动器本体21、和设置在位于致动器本体21的表面中的第一端部和第二端部之间的表面上的多个纤维24。多个纤维24延伸成与X轴方向(从第一端部朝向第二端部的方向)正交并且设置成具有从位于第一端部和第二端部之间的表面的中心朝向第一端部和第二端部增加的密度。作为纤维24例如可使用合成纤维或金属纤维中的至少一者。作为合成纤维例如可使用诸如尼龙纤维、碳纤维、或类似者之类的聚酰胺基合成纤维。
尽管此处已描述了致动器12包括多个纤维24的配置，但类似地，致动器13至15也可包括多个纤维24。然而，在致动器14和15中，多个纤维24延伸成与Y轴方向(从第一端部朝向第二端部的方向)正交并且设置成具有从位于第一端部和第二端部之间的表面的中心朝向第一端部和第二端部增加的密度。进一步地，致动器12至15内部可设置多个纤维24。
(改进例4)
致动器本体21可具有刚度从其中心朝向第一端部增加的刚度分布。在这种情况下，致动器12至15不必包括第一端部元件22。类似地，致动器本体21可具有刚度从其中心朝向第二端部增加的刚度分布。在这种情况下，致动器12至15不必包括第二端部元件23。由于致动器本体21具有以上提及的刚度分布，即使致动器12至15未具有第一端部元件22和第二端部元件23，也可抑制第一端部和第二端部的变形。因此，可改善所产生的力。
从改善所产生的力的角度来看，具有以上提及的刚度分布的致动器本体21的第一端部和第二端部的弹性模量(杨氏模量)优选是10MPa或更大。致动器本体21的第一端部和第二端部的弹性模量的上限值没有特别的限制，但例如是1000GPa或更小。以上提及的弹性模量是按照JIS K 6251:2010测量的值。
作为将以上刚度分布赋予致动器本体21的方法，例如可提及通过用相同的材料形成全部介电弹性体层21A并调整该材料的密度或物理性质来将以上刚度分布赋予介电弹性体层21A的方法、或者将刚度高于基底材料的材料添加至介电弹性体层21A并给予该材料刚度从中心至介电弹性体层21A的第一端部和第二端部增加的浓度分布的方法、或类似者，但不限于这些方法。
(改进例5)
如图8中所示，致动器12的第二端部可以凸状弯曲。类似地，致动器12的第一端部可以以凸状发生弯曲。通过以这种方式弯曲的第一端部和第二端部，当致动器12在驱动时相对于被驱动体11的第一侧部和支撑体16的第一壁部变得倾斜时，可防止致动器12的第一端部和第二端部分别与该第一侧部和该第一壁部接触。在此，尽管已描述了致动器12的第一端部和第二端部发生弯曲的配置，但致动器13至15的第一端部也可发生弯曲，或者致动器13至15的第二端部也可发生弯曲。
(改进例6)
如图9中所示，驱动装置10可包括分别在被驱动体11的第一侧部和支撑体16的第一壁部之间的多个致动器12、在被驱动体11的第二侧部和支撑体16的第二壁部之间的多个致动器13、在被驱动体11的第三侧部和支撑体16的第三壁部之间的多个致动器14、和在被驱动体11的第四侧部和支撑体16的第四壁部之间的多个致动器15。
(改进例7)
尽管已在上述的第一实施方式中描述了包括四个致动器12至15的驱动装置10的配置，但驱动装置10可包括两个致动器12和13中的一者和两个致动器14和15中的一者。
(改进例8)
连接机构单元12A、12B、13A、13B、14A、14B、15A、和15B可具有两个或三个旋转自由度。具体而言，这种连接机构单元可以是球形接头机构单元或类似者。
(改进例9)
尽管已在上述的第一实施方式中描述了致动器本体21包括多个介电弹性体层21A、多个电极21B、和多个电极21C的配置，但可采用包括一个介电弹性体层21A、设置在介电弹性体层21A的第一表面上的一个电极21B、和设置在介电弹性体层21A的第二表面上的一个电极21C的配置。进一步地，尽管已在上述的第一实施方式中描述了致动器本体21具有矩形状的情形，但致动器本体21的形状不限于此，并例如可使用多边形、卵形(包括椭圆形)、圆形、或类似者。进一步地，致动器本体21可以以柱状或圆柱状进行卷绕。而且，致动器本体21可以是除DEA以外的聚合物致动器，或者可以是除聚合物致动器以外的致动器。
(改进例10)
尽管已在上述的第一实施方式中描述了驱动装置10是成像装置中使用的抖动校正装置的情形，但本公开内容可应用于除成像装置以外的多种电子装置中使用的驱动装置。例如，可应用于用于机器人(多轴机器人或类似者)、无人机、个人计算机、诸如智能手机之类的移动电话、电视、游戏机、车内使用的投影装置、诸如智能手表或头戴型显示器之类的可穿戴终端、医疗装置、或类似者。具体而言，例如可应用于用于智能手机或类似者的抖动校正装置、机器人的接头、无人机的驱动单元、投影装置的光学系统、或类似者的驱动装置。
<2、第二实施方式>
[驱动装置的配置]
图10A图解了根据本公开内容第二实施方式的驱动装置110的配置的示例。驱动装置110包括被驱动体111、致动器(第一致动器至第三致动器)112至114、支撑体115、和连接机构单元(第一连接机构单元至第三连接机构单元)112A、113A、和114A。驱动装置110是可被驱动在X轴方向和Y轴方向上平移且可被驱动围绕Z轴旋转的三轴驱动装置。
(被驱动体)
被驱动体111具有三角板状，其具有第一侧部至第三侧部。
(支撑体)
支撑体115经由致动器112至114支撑被驱动体111。设置支撑体115以便与被驱动体111的第一侧部至第三侧部相对并在从被驱动体111的第一侧部至第三侧部起预定距离处。支撑体115可以是在其中设置有驱动装置110的电子装置或类似者的壳体的一部分。
(致动器)
致动器112、113、114可分别在第一方向、第二方向、和第三方向上伸缩。在此，第一方向、第二方向、和第三方向分别指在初始态中与被驱动体111的第一侧部、第二侧部、和第三侧部正交或者基本正交的方向。致动器112至114各自包括具有彼此相对的第一端部和第二端部的矩形膜状致动器本体121、和设置在第一端部处的第一端部元件122。致动器112、113、114的第一端部分别经由连接机构单元112A、113A、和114A连接至被驱动体111的第一侧部、第二侧部、和第三侧部。另一方面，致动器112、113、和114的第二端部各自由支撑体115支撑。
致动器本体121和第一端部元件122分别与第一实施方式中的致动器本体21和第一端部元件22类似。
(连接机构单元)
连接机构单元112A连接致动器112的第一端部元件122和被驱动体111的第一侧部。连接机构单元113A连接致动器113的第一端部元件122和被驱动体111的第二侧部。连接机构单元114A连接致动器114的第一端部元件122和被驱动体111的第三侧部。
连接机构单元112A、113A、和114A各自具有一个允许围绕Z轴旋转的旋转自由度、和具有一个允许沿着被驱动体111的第一侧部、第二侧部、和第三侧部平移的平移自由度。
图10B图解了具有一个允许围绕Z轴旋转的旋转自由度和一个允许沿着被驱动体111的第一侧部平移的平移自由度的连接机构单元112A的配置的具体示例。连接机构单元112A包括设置在致动器112的第一端部处的轴部151、由轴部151支撑的壳体152、和可围绕Z轴旋转地安置在壳体152中的柱状体153。柱状体153通过磁力或类似者耦接至被驱动体111的第一侧部以便可沿着被驱动体111的第一侧部平移。尽管此处已描述了连接机构单元112A的配置，但其他连接机构单元113A和114A也具有与连接机构单元112A类似的配置。
[驱动装置的操作]
在下文中，将参照图11A和图11B描述在被驱动体111被驱动成围绕Z轴旋转时驱动装置110的操作和在被驱动体111被驱动成在X轴方向上平移时驱动装置110的操作的示例。注意，在图11A和图11B中，通过双点划线图解在初始态(初始位置)中的被驱动体111。进一步地，箭头111A、111B和111C分别表示在被驱动体111的旋转驱动和平移驱动期间连接机构单元112A、113A、和114A的平移移动的方向。
在初始态中，通过未示出的致动器驱动单元将指定电压施加至致动器112、113、114，并将致动器112、113、114延伸至指定长度。因此，当在被驱动体111的旋转驱动或平移驱动期间将高于指定电压的电压施加至致动器112、113和114时，致动器112、113和114从初始态延伸并变得长于初始态中的长度。另一方面，当在被驱动体111的旋转驱动或平移驱动期间将低于指定电压的电压施加至致动器112、113和114时，致动器112、113和114从初始态收缩并变得短于初始态中的长度。
(旋转驱动)
如图11A中所示，将低于指定电压的电压施加至致动器112和113以收缩致动器112和113，而将指定电压施加至致动器114以使致动器114保持初始态中的长度。因此，连接机构单元112A、113A和114A旋转并平移，并且被驱动体111被驱动成围绕Z轴旋转。
(平移驱动)
如图11B中所示，将高于指定电压的电压施加至致动器114以延伸致动器114，并将低于指定电压的电压施加至致动器112以收缩致动器112，而将指定电压施加至致动器113以使致动器113保持初始态中的长度。因此，连接机构单元112A、113A和114A平移，并且被驱动体111被驱动成在X轴方向上平移。
[效果]
根据第二实施方式的驱动装置110包括具有第一侧部至第三侧部的三角板状被驱动体111、可在与第一侧部正交或基本正交的第一方向上伸缩的致动器112、可在与第二侧部正交或基本正交的第二方向上伸缩的致动器113、和可在与第三侧部正交或基本正交的第三方向上伸缩的致动器114。而且，驱动装置119包括连接在致动器112的第一端部和被驱动体111的第一侧部之间的连接机构单元112A、连接在致动器113的第一端部和被驱动体111的第二侧部之间的连接机构单元113A、连接在致动器114的第一端部和被驱动体111的第三侧部之间的连接机构单元114A、和支撑致动器113至114的第二端部中的每一者的支撑体115。因此，被驱动体111可被驱动成在X轴方向和Y轴方向上平移，并且可被驱动成围绕Z轴旋转。
[改进例]
被驱动体11和111的形状不限于矩形板状和三角板状，而是可具有除矩形板状和三角板状以外的圆板状、椭圆板状、多边板状；不规则板状；或类似者，或者可具有除板状以外的形状，诸如球状、椭球状、多面体状、柱状、或圆柱状。
<3、第三实施方式>
[驱动装置的配置]
图12A图解了根据本公开内容第三实施方式的驱动装置210的配置的示例。图13A图解了驱动装置210的下层的配置的示例。图13B图解了驱动装置210的中间层的配置的示例。如图12A、图13A和图13B中所示，驱动装置210包括被驱动体211、一组致动器(第一致动器)212A和212B、一组致动器(第二致动器)214A和214B、一组致动器(第三致动器)216A和216B、连接机构单元(第一连接机构单元)213、连接机构单元(第二连接机构单元)215、连接机构单元(第三连接机构单元)217、和支撑体218。驱动装置210是可被驱动成在Z轴方向和Y轴方向上平移并且可被驱动成围绕Z轴旋转的三轴驱动装置，且更具体而言，是成像装置或类似者中使用的三轴驱动抖动校正装置。
驱动装置210具有这样的配置：在其中被驱动体211被布置为上层，致动器组214A和214B和致动器组216A和216B被布置为被驱动体211的背表面侧上的中间层，并且致动器组212A和212B被布置为下层。
(被驱动体)
被驱动体211类似于第一实施方式中的被驱动体11。
(支撑体)
支撑体218支撑一组致动器212A和212B、一组致动器214A和214B、和一组致动器216A和216B。支撑体218的配置类似于第一实施方式中的支撑体16的配置。
(致动器)
致动器组212A和212B可在±Y轴方向(第一方向)上伸缩。致动器组214A和214B以及致动器组216A和216B可在±X轴方向(与第一方向正交的第二方向)上伸缩。
致动器组214A和214B以及致动器组216A和216B设置在致动器组212A和212B上。被驱动体211设置在致动器组214A和214B以及致动器组216A和216B上。
致动器212A和212B、致动器214A和214B、和致动器216A和216B各自包括具有彼此相对的第一端部和第二端部的矩形膜状DEA。这种DEA具有类似于第一实施方式中的致动器本体21的配置。
致动器212A和212B的第二端部分别由支撑体218的第三壁部和第四壁部支撑，从而致动器212A和212B的第一端部彼此相对。连接机构单元213设置在致动器212A和212B彼此相对的第一端部之间。
致动器214A和214B的第二端部分别由支撑体218的第一壁部和第二壁部支撑，从而致动器214A和214B的第一端部彼此相对。连接机构单元215设置在致动器214A和214B彼此相对的第一端部之间。
致动器216A和216B的第二端部分别由支撑体218的第一壁部和第二壁部支撑，从而致动器216A和216B的第一端部彼此相对。连接机构单元217设置在致动器216A和216B彼此相对的第一端部之间。进一步地，间隙设置在致动器214A和214B以及致动器216A和216B之间。
(连接机构单元)
连接机构单元213将致动器212A和212B的第一端部彼此连接，并且也连接致动器212A和212B的第一端部和被驱动体211的背表面。连接机构单元213具有允许在X轴方向上平移的平移自由度和允许围绕Z轴旋转的旋转自由度。具体而言，如图12B中所示，连接机构单元213是在其中集成有球形接头机构和滑动轨道机构的机构单元，并且包括一对轨道213A和213B以及球形零件213C。
轨道213A和213B被分别固定至致动器212A和212B的第一端部。轨道213A和213B彼此平行地设置且彼此分开。进一步地，轨道213A具有在轨道213A的长度方向上延伸的沟槽部213A1，轨道213B具有在轨道213B的长度方向上延伸的沟槽部213B1。沟槽部213A1和213B1设置在彼此相对的位置处。沿着垂直于轨道213A的长度方向的方向获取的沟槽部213A1的截面形状和沿着垂直于轨道213B的长度方向的方向获取的沟槽部213B1的截面形状具有弧状。
球形零件213C被夹持在轨道213A和213B之间，具体地在沟槽部213A1和213B1之间，以便可在X轴方向上平移并且可围绕Z轴旋转。球形零件213C具有垂直于表面且可围绕Z轴旋转的轴部213D。轴部213D经由设置在致动器组214A和214B以及致动器组216A和216B之间的间隙支撑被驱动体211的背表面的中心。
连接机构单元215将致动器214A和214B的第一端部彼此连接，并且也连接致动器214A和214B的第一端部和被驱动体211的背表面。连接机构单元215具有允许在Y轴方向上平移的平移自由度和允许围绕Z轴旋转的旋转自由度。具体而言，连接机构单元215是在其中集成有球形接头机构和滑动轨道机构的机构单元，并且包括一对轨道215A和215B以及球形零件215C。轨道215A和215B以及球形零件215C的配置与轨道213A和213B以及球形零件213C的配置类似，不同之处在于球形零件215C被夹持在轨道215A和215B之间以便可在Y轴方向上平移并且可围绕Z轴旋转，并且在于球形零件215C的轴部(未示出)支撑从被驱动体211的背表面中心朝向第三侧部移位的位置。
连接机构单元217将致动器216A和216B的第一端部彼此连接，并且也连接致动器216A和216B的第一端部和被驱动体211的背表面。连接机构单元217具有允许在Y轴方向上平移的平移自由度和允许围绕Z轴旋转的旋转自由度。具体而言，连接机构单元217是在其中集成有球形接头机构和滑动轨道机构的机构单元，并且包括一对轨道217A和217B以及球形零件217C。轨道217A和217B以及球形零件217C的配置与轨道215A和215B以及球形零件215C的配置类似，不同之处在于球形零件217C的轴部(未示出)支撑从被驱动体211的背表面中心朝向第四侧部移位的位置。
连接机构单元213对被驱动体211的背表面的支撑位置是在连接机构单元215对被驱动体211的背表面的支撑位置和连接机构单元217对被驱动体211的背表面的支撑位置的中心中。
优选的是，轨道213A和213B分别具有比致动器212A和212B高的弹性模量。因此，在驱动装置210被驱动时，可抑制致动器212A和212B的第一端部的变形。因此，可改善所产生的力。优选的是，轨道215A和215B也分别具有比致动器214A和214B高的弹性模量。进一步地，优选的是，轨道217A和217B也分别具有比致动器216A和216B高的弹性模量。
从改善所产生的力的角度来看，轨道213A、213B、215A、215B、217A、和217B的弹性模量(杨氏模量)优选是10MPa或更大。轨道213A、213B、215A、215B、217A、和217B的弹性模量的上限值没有特别的限制，但例如是1000GPa或更小。轨道213A、213B、215A、215B、217A、和217B例如包括聚合物树脂、金属、或两者。以上提及的弹性模量是按照JIS K 6251:2010测量的值。注意，整个连接机构单元213、整个连接机构单元215、和整个连接机构单元217可分别具有与轨道213A和213B、轨道215A和215B、和轨道217A和217B类似的弹性模量。
[驱动装置的操作]
在下文中，将描述在被驱动体211被驱动成在X轴方向或Y轴方向上平移时驱动装置110的操作和在被驱动体211被驱动成围绕Z轴旋转时驱动装置110的操作的示例。
(X轴方向上的平移驱动)
当如图14中所示被驱动体211被驱动成在X轴方向上平移时，按下述控制驱动装置210的每一个零件。即，如图15A中所示，致动器212A和212B保持在初始态中而没有驱动致动器212A和212B。另一方面，如图15B中所示，致动器214B和216B被驱动成延伸致动器214B和216B相同长度，而致动器214A和216A未被驱动并且致动器214A和216A随着致动器214B和216B的延伸而收缩。因此，连接机构单元215和217被驱动成在+X轴方向上平移，并且被驱动体211被驱动成在+X轴方向上平移。
(Y轴方向上的平移驱动)
当如图16中所示被驱动体211被驱动成在Y轴方向上平移时，按下述控制驱动装置210的每一个零件。即，如图17A中所示，致动器212B被驱动成延伸致动器212B，而致动器212A未被驱动并且致动器212A随着致动器212B延伸而收缩。另一方面，如图17B中所示，致动器214A和214B以及致动器216A和216B保持在初始态中而没有驱动致动器214A和214B以及致动器216A和216B。因此，连接机构单元213被驱动成在+Y轴方向上平移，并且被驱动体211被驱动成在+Y轴方向上平移。
(围绕Z轴的旋转驱动)
当如图18中所示被驱动体211被驱动成旋转时，按下述控制驱动装置210的每一个零件。即，如图19A中所示，致动器212A和212B保持在初始态中而没有驱动致动器212A和212B。另一方面，如图19B中所示，致动器214B和216A被驱动成延伸致动器214B和216A相同长度，而致动器214A和216B未被驱动并且致动器214A和216B随着致动器214B和216A的延伸而收缩。因此，连接机构单元215和217分别在+X轴方向和－X轴方向上被驱动了相同距离，并且被驱动体211被驱动成围绕Z轴旋转。
[效果]
根据第三实施方式的驱动装置210具有这样一种配置：在其中致动器组214A和214B和致动器组216A和216B被布置为被驱动体211的背表面侧上的中间层，被驱动体211被布置为上层、以及致动器组212A和212B被布置为下层。因此，在驱动装置210中，与根据第一实施方式的具有致动器12至15围绕被驱动体11布置的配置的驱动装置110相比，可减少布置区域。因此，将驱动装置210应用于诸如在其中驱动装置的布置区域受限的成像装置之类的电子装置是特别有效的。
[改进例]
(改进例1)
在第三实施方式中，已描述了连接机构单元213、215、和217各自具有在其中集成有球形接头机构和滑动轨道机构的机构单元的情形，但连接机构单元213、215、和217各自可具有在其中球形接头机构和滑动轨道机构分开的机构单元。
(改进例2)
驱动装置210可包括致动器212A和212B中的一者。进一步地，可包括致动器214A和214B中的任一者，或者可包括致动器216A和216B中的任一者。
(改进例3)
在初始态中，可通过未示出的致动器驱动单元将指定电压施加至致动器212A、212B、214A、214B、216A、和216B，并且致动器212A、212B、214A、214B、216A、和216B可延伸指定长度。在这种情况下，如果将高于指定电压的电压施加至致动器212A、212B、214A、214B、216A、和216B，则致动器212A、212B、214A、214B、216A、和216B从初始态延伸并变得长于初始态中的长度。另一方面，当将低于指定电压的电压施加至致动器212A、212B、214A、214B、216A、和216B，则致动器212A、212B、214A、214B、216A、和216B从初始态收缩并变得短于初始态中的长度。
<4、第四实施方式>
[成像装置的配置]
图20图解了根据本公开内容第四实施方式的图像捕获装置的配置的示例。这种图像捕获装置是所谓的单透镜反射式照相机，并且包括照相机本体310以及可附接至该照相机本体和从该照相机本体拆卸的图像捕获透镜320。图20图解了图像捕获透镜320附接至照相机本体310并且这两者进行组合的状态。
尽管未示出，但照相机本体310和图像捕获透镜320设置有安装部，并且图像捕获透镜320可附接至安装部。然后，在图像捕获透镜320附接至照相机本体310的状态下，配置安装部从而这两者在光学上耦接并且也在电学上耦接(连接)。
注意，尽管是已知的，但图像捕获透镜320可被代替单个特定图像捕获透镜的具有不同焦距的单焦距图像捕获透镜、放大透镜、或类似者取代。这些图像捕获透镜320基本上仅在随后所述的透镜光学系统的配置中不同，并且其他部件可具有类似的配置。
[照相机本体配置]
照相机本体310包括成像元件311、抖动校正致动器312、抖动校正致动器驱动单元313、成像元件支撑体(未示出)、照相机抖动控制单元314、照相机振动传感器315、成像元件位置传感器316、照相机控制单元317、操作输入单元318、显示单元319、和类似者。
成像元件311通过图像捕获透镜320光电转换由入射光Lp形成的主题光图像。成像元件311例如包括CCD图像传感器或CMOS图像传感器。
从成像元件311输出的捕获的图像信号进行诸如由在图示中省略的图像处理单元进行的分辨率转化之类的图像处理，并显示在(图示中省略的)监控显示器上。进一步地，当按下快门按钮时，在执行压缩处理和记录编码处理之后，捕获的图像信号被存储在图示中省略的记录介质中，
成像元件311构成了照相机本体310一侧上的抖动校正功能中的抖动校正元件(在下述描述中可被简称为校正元件)。
抖动校正致动器312被配置成驱动作为照相机本体310一侧上的校正元件的成像元件311在垂直于入射光Lp的光轴的平面中的移动。抖动校正致动器312包括使成像元件311在垂直于入射光Lp的光轴的平面中的水平方向上移动的一组X方向致动器、使成像元件311在垂直于入射光Lp的光轴的平面中的垂直方向上移动的一组Y方向致动器、连接X方向致动器和成像元件311的连接机构单元、连接X方向致动器和成像元件支撑体的连接机构单元、连接Y方向致动器和成像元件311的连接机构单元、和连接Y方向致动器和成像元件支撑体的连接机构单元。
成像元件311、抖动校正致动器312、和成像元件支撑体形成了抖动校正装置。注意，根据第一实施方式的驱动装置10被用作抖动校正装置。具体而言，第一实施方式中的致动器12和13、致动器14和15、和支撑体16被分别用作该组X方向致动器、该组Y方向致动器、和成像元件支撑体。进一步地，根据第一实施方式的连接机构单元12A、12B、13A、13B、14A、14B、15A、和15B被用作连接机构单元。
照相机抖动控制单元314产生控制驱动作为照相机本体310的校正元件的成像元件311的移动的控制信号，并将产生的控制信号供应至抖动校正致动器驱动单元313。
抖动校正致动器驱动单元313产生用于在来自于照相机抖动控制单元314的控制信号的基础上驱动抖动校正致动器312的驱动信号，并将产生的驱动信号供应至抖动校正致动器312。
照相机振动传感器315探测照相机本体310中的振动信息(抖动信息)，并将探测的振动信息供应至照相机抖动控制单元314。照相机振动传感器315包括角速度传感器或加速度传感器(陀螺仪传感器)。
成像元件位置传感器316探测成像元件311在垂直于入射光Lp的光轴的平面中的位置，并将探测的位置信息供应至照相机抖动控制单元314。在这一示例中，成像元件位置传感器316具有使用霍尔元件的霍尔传感器配置。
照相机抖动控制单元314从由照相机振动传感器315探测的振动信息计算振动量并从计算的振动量和来自于成像元件位置传感器316的位置信息计算抖动校正量。然后，照相机抖动控制单元314从计算的抖动校正量产生控制驱动作为校正元件的成像元件311的移动的控制信号，并将控制信号供应至抖动校正致动器驱动单元313。
照相机抖动控制单元314控制是否通过来自于照相机控制单元317的控制信号来执行抖动校正。当未执行抖动校正时，照相机抖动控制单元314控制成像元件311在垂直于入射光Lp的光轴的平面中的位置保持在这一示例中可移动的范围的中心位置(对中位置)处。
照相机控制单元317包括操作输入单元318和显示单元319所连接至的微型计算机。即，中央处理器(CPU)317B、只读存储器(ROM)317C、和随机存储器(RAM)317D连接至照相机控制单元317中的系统总线317A。进一步地，I/O端口317E和接口(在图中标识为I/F)317F、317G、和317H连接至系统总线317A。
ROM 317C存储用于照相机本体310一侧上的控制处理的各种程序。CPU317B使用RAM 317D作为工作区域以根据ROM 317C中存储的程序执行以上提及的各种类型的控制处理。
I/O端口317E连接至照相机抖动控制单元314。照相机控制单元317通过这一I/O端口317E向照相机抖动控制单元314供应关于是否执行抖动校正的控制信号。
接口317F是用于与图像捕获透镜320(随后所述的透镜控制单元327)的控制单元通信。
接口317G是用于操作输入单元318的接口。操作输入单元318包括电源开关、快门按钮、用于图像捕获模式的选择按钮、菜单按钮、和其他操作按钮。
当用户操作操作输入单元318的任一操作按钮时，其操作信号通过接口317G被输入至系统总线317A。CPU 317B从操作信号确认操作了操作输入单元318的哪个操作按钮，并根据确认结果执行必要的控制处理。
接口317H具有显示控制器的功能并且是用于显示单元319的接口。显示单元319例如包括液晶显示器或电致发光(EL)显示器，并且可被用作用于在照相时显示监控器图像的显示器。照相机控制单元317根据由用户通过操作输入单元318输入的按钮操作产生显示信息，并将信息通过接口317H供应至显示单元319，以便在其显示屏上显示信息。
[图像捕获透镜的配置]
图像捕获透镜320包括透镜光学系统321、抖动校正致动器322、透镜支撑体(未示出)、抖动校正致动器驱动单元323、透镜抖动控制单元324、透镜振动传感器325、透镜位置传感器326、和透镜控制单元327。图像捕获透镜320也包括自动对焦致动器328、自动对焦致动器驱动单元329、和类似者。
透镜光学系统321包括多个透镜321A、321B、和321C、和分别支撑这些透镜的多个夹持器(支撑元件)或类似者。透镜321C是抖动校正透镜，并构成了在图像捕获透镜320一侧上的抖动校正功能中的抖动校正元件。透镜支撑体经由抖动校正致动器322支撑透镜321C的夹持器。
抖动校正致动器322在垂直于入射光Lp的光轴的平面中移动抖动校正透镜321C。抖动校正致动器322包括使抖动校正透镜321C在垂直于入射光Lp的光轴的平面中的水平方向上移动的一组X方向致动器、使抖动校正透镜321C在垂直于入射光Lp的光轴的平面中的垂直方向上移动的一组Y方向致动器、连接X方向致动器和抖动校正透镜321C的夹持器的连接机构单元、连接X方向致动器和透镜支撑体的连接机构单元、连接Y方向致动器和抖动校正透镜321C的夹持器的连接机构单元、和连接Y方向致动器和透镜支撑体的连接机构单元。
校正透镜321C、抖动校正致动器322、和透镜支撑体形成了抖动校正装置。注意，根据第一实施方式的驱动装置10被用作抖动校正装置。具体而言，第一实施方式中的致动器12和13以及致动器14和15被分别用作该组X方向致动器和Y方向致动器。进一步地，根据第一实施方式的连接机构单元12A、12B、13A、13B、14A、14B、15A、和15B被用作连接机构单元。
透镜抖动控制单元324产生控制驱动抖动校正透镜321C的移动的控制信号，并将产生的控制信号供应至抖动校正致动器驱动单元323。
抖动校正致动器驱动单元323产生用于在来自于透镜抖动控制单元324的控制信号的基础上驱动抖动校正致动器322的驱动信号，并将产生的驱动信号供应至抖动校正致动器322。
透镜振动传感器325探测图像捕获透镜320的振动信息(抖动信息)，并将探测的振动信息供应至透镜抖动控制单元324。透镜振动传感器325包括角速度传感器或加速度传感器(陀螺仪传感器)。
透镜位置传感器326探测透镜321C用于在垂直于入射光Lp的光轴的平面中的振动校正的位置，并将探测的位置信息供应至透镜抖动控制单元324。在这一示例中，透镜位置传感器326具有使用霍尔元件的霍尔传感器配置。
透镜抖动控制单元324从由透镜振动传感器325探测的振动信息计算振动量并从计算的振动量和来自于透镜位置传感器326的位置信息计算抖动校正量。然后，透镜抖动控制单元324从计算的抖动校正量产生控制作为校正部件的驱动抖动校正透镜321C的移动的控制信号，并将控制信号供应至抖动校正致动器驱动单元323。
透镜抖动控制单元324控制是否通过来自于透镜控制单元327的控制信号来执行抖动校正。当未执行抖动校正时，透镜抖动控制单元324控制抖动校正透镜在垂直于入射光Lp的光轴的平面中的位置保持在这一示例中可移动的范围的中心位置(对中位置)处。
透镜光学系统321的透镜321A是自动对焦透镜。
自动对焦致动器328使自动对焦透镜321A在入射光Lp的光轴方向上移动。
自动对焦致动器328例如包括压电致动器。自动对焦致动器328不限于压电致动器，并且可包括电磁电机、超声波电机、步进电机、DC电机、聚合物致动器、和压电电机中的任一者。
自动对焦致动器驱动单元329产生用于在来自于透镜控制单元327的控制信号的基础上驱动自动对焦致动器328的驱动信号，并将产生的驱动信号供应至自动对焦致动器328。
透镜控制单元327包括微型计算机。即，CPU 327B、ROM 327C、和RAM327D连接至透镜控制单元327中的系统总线327A。进一步地，I/O端口327E和327F以及接口327G连接至系统总线327A。
ROM 327C存储用于图像捕获透镜320一侧上的控制处理的各种程序。CPU327B根据ROM 327C中存储的程序使用RAM 327D作为工作区域执行以上提及的各种类型的控制处理。
I/O端口327E连接至透镜抖动控制单元324。透镜控制单元327通过这一I/O端口327E向透镜抖动控制单元324供应关于是否执行抖动校正的控制信号。
进一步地，I/O端口327F连接至自动对焦致动器驱动单元329。尽管省略了细节，但透镜控制单元327使用已知的方法产生用于自动对焦的控制信号并通过I/O端口327F将控制信号供应至自动对焦致动器驱动单元329。
接口327G是用于与照相机本体310的照相机控制单元317通信。
[照相机本体一侧上的抖动校正操作]
在开始抖动校正操作之前，照相机控制单元317指示照相机抖动控制单元314以使成像元件311从任意位置移动(对中移动)至垂直于入射光Lp的光轴的平面中可移动范围的中心位置。
在收到这一指令时，照相机抖动控制单元314将导致对中移动的控制信号供应至抖动校正致动器驱动单元313。抖动校正致动器驱动单元313根据控制信号将驱动信号发送至抖动校正致动器312。抖动校正致动器312导致成像元件311的对中移动。
在成像元件311的对中移动之后，照相机抖动控制单元314从照相机振动传感器315获取振动探测信号并探测振动量。在这一示例中，从照相机振动传感器315获取角速度数据作为振动探测信号，获取的角速度数据被转换为抖动角度和抖动的大小，并从抖动角度和大小计算垂直于成像元件311的入射光Lp的光轴的平面中的抖动量。
接下来，照相机抖动控制单元314从成像元件位置传感器316获取已进行对中移动的成像元件311在垂直于入射光Lp的光轴的平面中的位置信号。然后，照相机抖动控制单元314从计算的抖动量和获取的成像元件311的位置信号计算对应成像元件311在垂直于入射光Lp的光轴的平面中的校正移动量的抖动校正量。
然后，照相机抖动控制单元314根据计算的抖动校正量将控制信号发送至抖动校正致动器驱动单元313。抖动校正致动器驱动单元313根据控制信号利用驱动信号驱动抖动校正致动器312。因此，成像元件311被校正并在垂直于入射光Lp的光轴的平面中移动，并且在照相机本体310一侧上探测的抖动被校正。
[图像捕获透镜一侧上的抖动校正操作]
在图像捕获透镜320一侧上，也执行了与上述的照相机本体310一侧上类似的抖动校正处理操作。
即，在开始抖动校正操作之前，透镜控制单元327指示透镜抖动控制单元324以使抖动校正透镜321C从任意位置移动(对中移动)至垂直于入射光Lp的光轴的平面中可移动范围的中心位置。
在收到这一指令时，透镜抖动控制单元324将导致对中移动的控制信号供应至抖动校正致动器驱动单元323。抖动校正致动器驱动单元323根据控制信号将驱动信号发送至抖动校正致动器322。抖动校正致动器322导致抖动校正透镜321C的对中移动。
以这种方式，在抖动校正透镜321C的对中移动之后，透镜抖动控制单元324从透镜振动传感器325获取振动探测信号并探测振动量。在这一示例中，从透镜振动传感器325获取角速度数据作为振动探测信号，角速度数据被转换为抖动角度和抖动幅度，并从抖动角度和幅度计算垂直于抖动校正透镜321C的入射光Lp的光轴的平面中的抖动量。
接下来，透镜抖动控制单元324从透镜位置传感器326获取已进行对中移动的抖动校正透镜在垂直于入射光Lp的光轴的平面中的位置信号。然后，透镜抖动控制单元324从计算的抖动量和获取的抖动校正透镜321C的位置信号计算对应抖动校正透镜321C在垂直于入射光Lp的光轴的平面中的校正移动量的抖动校正量。
然后，透镜抖动控制单元324根据计算的抖动校正量将控制信号发送至抖动校正致动器驱动单元323。抖动校正致动器驱动单元323根据控制信号利用驱动信号驱动抖动校正致动器322。因此，抖动校正透镜321C被校正并在垂直于入射光Lp的光轴的平面中移动，并且在图像捕获透镜320一侧上探测的抖动被校正。
[改进例]
作为手抖校正装置，可使用根据第一实施方式的改进例的驱动装置10，或者可使用根据第三实施方式或其改进例的驱动装置210。
尽管已在上述的第二实施方式中描述了照相机本体310和图像捕获透镜320两者具有抖动校正装置的情形，但要么照相机本体310、要么图像捕获透镜320可包括抖动校正装置。
[测试例]
在下文中，将具体地参照测试例描述本公开内容，但本公开内容并非仅限于这些测试例。
[测试例1]
首先，在测试例1中，图21A中示出的双轴驱动装置60被用作有限元法(FEM)模拟的模型(1/2目标模型)。注意，在测试例1的模型中，将相同的附图标记给予对应第一实施方式的零件。
驱动装置60在以下方面不同于根据第一实施方式的驱动装置10。即，连接机构单元61和62分别连接致动器14的第一端部和被驱动体11的第三侧部、以及致动器14的第二端部和支撑体16。致动器12的第一端部和被驱动体11的第一侧部直接连接，并且致动器12的第二端部和支撑体16直接连接。致动器13的第一端部和被驱动体11的第二侧部直接连接，并且致动器13的第二端部和支撑体16直接连接。
如图21B中所示，连接机构单元61包括设置在致动器14的第一端部处的连接零件61A和设置在被驱动体11的第三侧部处的柱状突起61B。连接零件61A具有可将突起物61B围绕Z轴旋转地安装在其中的孔。
类似地，连接机构单元62包括设置在致动器14的第二端部处的连接零件62A、和设置在支撑体16上的柱状突起62B。连接零件62A具有可将突起物62B旋转地安装在其中的孔。
以下将详细描述测试例1的模型各自零件的设定条件。
致动器本体21：DEA(杨氏模量0.8MPa，泊松比0.5)
第一端部元件22和第二端部元件23：SUS304
被驱动体11：仿真成像器(SUS304)，40mm2，1mm厚
支撑体16：SUS304
连接机构单元61和62：围绕单轴的旋转自由度(围绕Z轴的旋转自由度)，并且摩擦系数＝0.35(假设通常铜材料之间的摩擦系数)
在具有上述配置的模型中，从在被驱动体11在如箭头11A所示的+X轴方向上移动1mm时的反应力分析驱动刚度。注意，在驱动时，初始尺寸(W＝30mm、L＝5mm、t＝0.5mm)的致动器本体21被拉伸了1.2倍。
[测试例2]
在FEM模拟模型中，与测试例1类似地分析驱动刚度，不同之处在于：连接机构单元61和62具有单轴的旋转自由度(围绕Z轴的旋转自由度)，并且摩擦系数是0.1(假设利用润滑油或类似者减小的摩擦系数)
[测试例3]
在FEM模拟模型中，与测试例1类似地分析驱动刚度，不同之处在于：连接机构单元61和62不具有旋转自由度。
[测试例4]
作为用于FEM模拟的模型，与测试例1类似地分析驱动刚度，不同之处在于：使用了未设置有致动器14和连接机构单元61和62的单轴驱动装置。
(分析结果)
以下将描述测试例1至测试例4的分析结果。
-测试例1(具有旋转自由度的连接机构单元61和62)
摩擦系数＝0.35(通常钢材料之间的摩擦系数)
驱动刚度2.502N/mm
(致动器12和13的伸缩刚度+致动器14的伸缩刚度+连接机构单元61和62的摩擦力)
-测试例2(具有旋转自由度的连接机构单元61和62)
摩擦系数＝0.1(假设利用润滑油或类似者抑制的摩擦力的值)
驱动刚度2.482N/mm
(致动器12和13的伸缩刚度+致动器14的伸缩刚度+连接机构单元61和62的摩擦力)
-测试例3(不具有旋转自由度的连接机构单元61和62)
驱动刚度3.104N/mm
(致动器12和13的伸缩刚度+致动器14的伸缩刚度+致动器14的剪切刚度)
-测试例4(不具有致动器14和连接机构单元61和62的单轴驱动装置)
驱动刚度2.284N/mm
(只有致动器12和13的伸缩刚度)
从以上分析结果可以看出下述内容。
在连接机构单元61和62具有单轴的旋转自由度的测试例1和测试例2中，与连接机构单元61和62不具有单轴的旋转自由度的测试例3相比，可降低驱动刚度。在连接机构单元61和62的摩擦系数是0.1的测试例2中，特别是可降低驱动刚度，并且可获得与使用单轴驱动的测试例4的驱动刚度接近的值。
尽管以上已具体地描述了本公开内容的第一实施方式至第四实施方式及其改进例，但本公开内容不限于上述的第一实施方式至第四实施方式及它们的改进例，并且基于本公开内容的技术构思的各种改进是可行的。
例如，在上述的第一实施方式至第四实施方式及其改进例中给出的配置、方法、步骤、形状、材料、数值、和类似者仅为示例，并且在必要时可使用不同的配置、方法、步骤、形状、材料、数值、和类似者。
进一步地，上述的第一实施方式至第四实施方式及其改进例的配置、方法、步骤、形状、材料、数值、和类似者在不脱离本公开内容主旨的情况下可彼此进行组合。
进一步地，本公开内容也可采用下述配置。
(1)
一种抖动校正装置，包括：
被驱动体；
可在第一方向上伸缩的第一致动器；
可在第二方向上伸缩的第二致动器；
经由所述第一致动器和所述第二致动器支撑所述被驱动体的支撑体；
在所述第一致动器和所述被驱动体之间和/或在所述第一致动器和所述支撑体之间连接的第一连接机构单元；和
在所述第二致动器和所述被驱动体之间和/或在所述第二致动器和所述支撑体之间连接的第二连接机构单元，
其中所述第一连接机构单元和所述第二连接机构单元具有至少一个旋转自由度。
(2)
根据(1)所述的抖动校正装置，其中所述第一致动器和所述第二致动器是介电弹性体致动器。
(3)
根据(1)或(2)所述的抖动校正装置，其中
所述第一致动器具有连接至所述第一连接机构单元的第一端部，
所述第二致动器具有连接至所述第二连接机构单元的第二端部，并且
所述第一端部和所述第二端部的弹性模量是10兆帕(MPa)或更大。
(4)
根据(1)所述的抖动校正装置，其中
所述第一致动器和所述第二致动器各自包括：
具有端部的介电弹性体致动器；和
设置在所述端部处且具有比所述介电弹性体致动器更高的弹性模量的端部元件，并且
所述第一致动器的端部元件和所述第二致动器的端部元件分别连接至所述第一连接机构单元和所述第二连接机构单元。
(5)
根据(4)所述的抖动校正装置，其中所述第一致动器的端部元件和所述第二致动器的端部元件的弹性模量是10兆帕(MPa)或更大。
(6)
根据(1)至(5)中任一项所述的抖动校正装置，其中
所述第一连接机构单元连接在所述第一致动器和所述被驱动体之间，
所述第二连接机构单元连接在所述第二致动器和所述被驱动体之间，并且
所述第一连接机构单元和所述第二连接机构单元进一步具有至少一个平移自由度。
(7)
根据(1)至(6)中任一项所述的抖动校正装置，其中
在所述被驱动体和所述支撑体之间设置空间，并且
所述第一致动器和所述第二致动器被布置在所述空间中。
(8)
根据(1)至(7)中任一项所述的抖动校正装置，其中
所述第一致动器具有连接至所述第一连接机构单元的第一端部，
所述第二致动器具有连接至所述第二连接机构单元的第二端部，并且
所述第一端部和所述第二端部以凸形发生弯曲。
(9)
根据(1)至(7)中任一项所述的抖动校正装置，其中
所述第一致动器具有连接至所述第一连接机构单元的第一端部，
所述第二致动器具有连接至所述第二连接机构单元的第二端部，
所述第一致动器具有设置成与所述第一方向正交且密度朝向所述第一端部增加的多个第一纤维，并且
所述第二致动器具有设置成与所述第二方向正交且密度朝向所述第二端部增加的多个第二纤维。
(10)
根据(1)至(11)中任一项所述的抖动校正装置，其中所述被驱动体包括成像元件或透镜。
(11)
一种抖动校正装置，包括：
可在第一方向上伸缩的第一致动器；
设置在所述第一致动器上且可在第二方向上伸缩的第二致动器和第三致动器；
设置在所述第二致动器和所述第三致动器上的被驱动体；
支撑所述第一致动器、所述第二致动器、和所述第三致动器的支撑体；
连接在所述第一致动器和所述被驱动体之间的第一连接机构单元；
连接在所述第二致动器和所述被驱动体之间的第二连接机构单元；和
连接在所述第三致动器和所述被驱动体之间的第三连接机构单元，
其中所述第一连接机构单元具有允许所述被驱动体在所述第二方向上移动的平移自由度、和允许所述被驱动体围绕与所述第一方向和所述第二方向正交的轴旋转的旋转自由度，
所述第二连接机构单元和所述第三连接机构单元具有允许所述被驱动体在所述第一方向上移动的平移自由度和允许所述被驱动体围绕所述轴旋转的旋转自由度，并且
在所述第二连接机构单元和所述第三连接机构单元之间设置有所述第一连接机构单元。
(12)
一种驱动装置，包括：
被驱动体；
可在第一方向上伸缩的第一致动器；
可在第二方向上伸缩的第二致动器；
经由所述第一致动器和所述第二致动器支撑所述被驱动体的支撑体；
在所述第一致动器和所述被驱动体之间和/或在所述第一致动器和所述支撑体之间连接的第一连接机构单元；和
在所述第二致动器和所述被驱动体之间和/或在所述第二致动器和所述支撑体之间连接的第二连接机构单元，
其中所述第一连接机构单元和所述第二连接机构单元具有至少一个旋转自由度。
(13)
一种驱动装置，包括：
可在第一方向上伸缩的第一致动器；
设置在所述第一致动器上且可在第二方向上伸缩的第二致动器和第三致动器；
设置在所述第二致动器和所述第三致动器上的被驱动体；
支撑所述第一致动器、所述第二致动器、和所述第三致动器的支撑体；
连接在所述第一致动器和所述被驱动体之间的第一连接机构单元；
连接在所述第二致动器和所述被驱动体之间的第二连接机构单元；和
连接在所述第三致动器和所述被驱动体之间的第三连接机构单元，
其中所述第一连接机构单元具有允许所述被驱动体在所述第二方向上移动的平移自由度、和允许所述被驱动体围绕与所述第一方向和所述第二方向正交的轴旋转的旋转自由度，
所述第二连接机构单元和所述第三连接机构单元具有允许所述被驱动体在所述第一方向上移动的平移自由度和允许所述被驱动体围绕所述轴旋转的旋转自由度，并且
在所述第二连接机构单元和所述第三连接机构单元之间设置有所述第一连接机构单元。
(14)
一种成像装置，包括根据(1)至(11)中任一项所述的抖动校正装置。
(15)
一种电子装置，包括根据(12)或(13)所述的驱动装置。
附图标记列表
10、110、210 驱动装置
11、111、211 被驱动体
12、13、112、212A、212B 致动器(第一致动器)
14、15、113、214A、214B 致动器(第二致动器)
114、216A、216B 致动器(第三致动器)
21、121 致动器本体
22、122 第一端部元件
23 第二端部
24 纤维
16、115、218 支撑体
12A、13A、14A、15A、112A、213 连接机构单元(第一连接机构单元)
12B、13B、14B、15B、113A、215 连接机构单元(第二连接机构单元)
114A、217 连接机构单元(第三连接机构单元)
213A、213B、215A、215B、217A、217B 轨道
213C、215C、217C 球形零件
213A1、213B1 沟槽部

Claims (15)

1.一种抖动校正装置，包括：
被驱动体；
能够在第一方向上伸缩的第一致动器；
能够在第二方向上伸缩的第二致动器；
经由所述第一致动器和所述第二致动器支撑所述被驱动体的支撑体；
在所述第一致动器和所述被驱动体之间和/或在所述第一致动器和所述支撑体之间连接的第一连接机构单元；和
在所述第二致动器和所述被驱动体之间和/或在所述第二致动器和所述支撑体之间连接的第二连接机构单元，
其中所述第一连接机构单元和所述第二连接机构单元具有至少一个旋转自由度。
2.根据权利要求1所述的抖动校正装置，其中所述第一致动器和所述第二致动器是介电弹性体致动器。
3.根据权利要求1所述的抖动校正装置，其中
所述第一致动器具有连接至所述第一连接机构单元的第一端部，
所述第二致动器具有连接至所述第二连接机构单元的第二端部，并且
所述第一端部和所述第二端部的弹性模量是10兆帕(MPa)或更大。
4.根据权利要求1所述的抖动校正装置，其中
所述第一致动器和所述第二致动器各自包括：
具有端部的介电弹性体致动器；和
端部元件，其设置在所述端部处且具有比所述介电弹性体致动器更高的弹性模量，并且
所述第一致动器的所述端部元件和所述第二致动器的所述端部元件各自连接至所述第一连接机构单元和所述第二连接机构单元。
5.根据权利要求4所述的抖动校正装置，其中所述第一致动器的所述端部元件和所述第二致动器的所述端部元件的弹性模量是10兆帕(MPa)或更大。
6.根据权利要求1所述的抖动校正装置，其中
所述第一连接机构单元连接在所述第一致动器和所述被驱动体之间，
所述第二连接机构单元连接在所述第二致动器和所述被驱动体之间，并且
所述第一连接机构单元和所述第二连接机构单元进一步具有至少一个平移自由度。
7.根据权利要求1所述的抖动校正装置，其中
在所述被驱动体和所述支撑体之间设置空间，并且
所述第一致动器和所述第二致动器被布置在所述空间中。
8.根据权利要求1所述的抖动校正装置，其中
所述第一致动器具有连接至所述第一连接机构单元的第一端部，
所述第二致动器具有连接至所述第二连接机构单元的第二端部，并且
所述第一端部和所述第二端部弯曲成凸形。
9.根据权利要求1所述的抖动校正装置，其中
所述第一致动器具有连接至所述第一连接机构单元的第一端部，
所述第二致动器具有连接至所述第二连接机构单元的第二端部，
所述第一致动器具有设置成与所述第一方向正交且密度朝向所述第一端部增加的多个第一纤维，并且
所述第二致动器具有设置成与所述第二方向正交且密度朝向所述第二端部增加的多个第二纤维。
10.根据权利要求1所述的抖动校正装置，其中所述被驱动体包括成像元件或透镜。
11.一种抖动校正装置，包括：
能够在第一方向上伸缩的第一致动器；
设置在所述第一致动器上且能够在第二方向上伸缩的第二致动器和第三致动器；
设置在所述第二致动器和所述第三致动器上的被驱动体；
支撑所述第一致动器、所述第二致动器、和所述第三致动器的支撑体；
连接在所述第一致动器和所述被驱动体之间的第一连接机构单元；
连接在所述第二致动器和所述被驱动体之间的第二连接机构单元；和
连接在所述第三致动器和所述被驱动体之间的第三连接机构单元，
其中所述第一连接机构单元具有允许所述被驱动体能够在所述第二方向上移动的平移自由度、和允许所述被驱动体能够围绕与所述第一方向和所述第二方向正交的轴旋转的旋转自由度，
所述第二连接机构单元和所述第三连接机构单元具有允许所述被驱动体能够在所述第一方向上移动的平移自由度、和允许所述被驱动体能够围绕所述轴旋转的旋转自由度，并且
在所述第二连接机构单元和所述第三连接机构单元之间设置有所述第一连接机构单元。
12.一种驱动装置，包括：
被驱动体；
能够在第一方向上伸缩的第一致动器；
能够在第二方向上伸缩的第二致动器；
经由所述第一致动器和所述第二致动器支撑所述被驱动体的支撑体；
在所述第一致动器和所述被驱动体之间和/或在所述第一致动器和所述支撑体之间连接的第一连接机构单元；和
在所述第二致动器和所述被驱动体之间和/或在所述第二致动器和所述支撑体之间连接的第二连接机构单元，
其中所述第一连接机构单元和所述第二连接机构单元具有至少一个旋转自由度。
13.一种驱动装置，包括：
能够在第一方向上伸缩的第一致动器；
设置在所述第一致动器上且能够在第二方向上伸缩的第二致动器和第三致动器；
设置在所述第二致动器和所述第三致动器上的被驱动体；
支撑所述第一致动器、所述第二致动器、和所述第三致动器的支撑体；
连接在所述第一致动器和所述被驱动体之间的第一连接机构单元；
连接在所述第二致动器和所述被驱动体之间的第二连接机构单元；和
连接在所述第三致动器和所述被驱动体之间的第三连接机构单元，
其中所述第一连接机构单元具有允许所述被驱动体能够在所述第二方向上移动的平移自由度、和允许所述被驱动体能够围绕与所述第一方向和所述第二方向正交的轴旋转的旋转自由度，
所述第二连接机构单元和所述第三连接机构单元具有允许所述被驱动体能够在所述第一方向上移动的平移自由度、和允许所述被驱动体能够围绕所述轴旋转的旋转自由度，并且
在所述第二连接机构单元和所述第三连接机构单元之间设置所述第一连接机构单元。
14.一种成像装置，包括根据权利要求1或11所述的抖动校正装置。
15.一种电子装置，包括根据权利要求12或13所述的驱动装置。
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