JP5624529B2 - 手振れ補正装置及び撮像装置 - Google Patents
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Description
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。
先ず、第1の実施形態について説明する。
図1は、第1の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する平面図である。
図2は、第1の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する断面図であり、(a)は、図1に示すA−A’線による断面図であり、(b)は、図1に示すB−B’線による断面図であり、(c)は、図1に示すC−C’線による断面図である。
図3は、第1の実施形態における手振れの挙動を例示する図であり、(a)は、手振れ前を例示する図であり、(b)は、手振れ補正装置が設けられていない場合の図であり、(c)は、手振れ補正装置が設けられている場合の図である。
なお、後述するように、可動部13上にはCIS(CMOS Image Sensor:CMOSイメージセンサ)48が配置されているが、図1においては図示を省いている。また、図1において、手振れ補正装置1を説明するために、XY直交座標系を採用する。このXY直交座標系においては、図面の上方を+Y方向、その逆方向を−Y方向とする。「+Y方向」及び「−Y方向」を総称して「Y方向」ともいう。+Y方向から時計の針が回転する方向に90度回転した方向を+X方向、その逆方向を−X方向とする。「+X方向」及び「−X方向」を総称して「X方向」ともいう。
基板10上には、H型の固定部11が設けられている。固定部11は、例えば、SOI基板のシリコン層を加工して形成されたものである。固定部11は、X方向に長い矩形の板状部16と、板状部16の+X方向の端部から+Y方向に突出した矩形の板状部17aと、板状部16の+X方向の端部から−Y方向に突出した矩形の板状部17bと、板状部16の−X方向の端部から+Y方向に突出した矩形の板状部17cと、板状部16の−X方向の端部から−Y方向に突出した矩形の板状部17dとを含んでいる。
固定部11の中央部に、X方向に並んで2本の貫通電極19が設けられている。貫通電極19は、基板10の裏面20から、基板10、絶縁膜18及び固定部11を貫通して設けられている。
同様に、固定部11における板状部17bと板状部17dとの間には、櫛状部21bが設けられている。櫛状部21bは、固定部11における−Y方向側のX方向に延びる辺に沿って、+Y方向に複数の切込み22が形成されたものである。固定部11における切込み22間に相当する部分は、−Y方向に突出した複数の凸部23となっている。
凸部23と基板10との間には絶縁膜18は設けられていない。すなわち、複数の凸部23は、固定部11の本体部分によって支持されている。
辺部材25aの中央部には、+X方向に突出した複数の凸部35が設けられている。辺部材25bの中央部には、−X方向に突出した複数の凸部35が設けられている。
第1のバネ部14aにおいては、X方向に延びる2本の矩形の板状部32a、33aの−X方向の端部が、Y方向に延びる矩形の板状部34aによって相互に連結され、2本の板状部32a及び33aのうち固定部11側の板状部32aの+X方向の端部が−Y方向に屈曲して、固定部11の板状部17aに連結され、2本の板状部32a及び33aのうち枠状中間部12側の板状部33aの+X方向の端部が+Y方向に屈曲して、枠状中間部12の枠24aに連結されている。
第1のバネ部14bにおいては、X方向に延びる2本の矩形の板状部32b、33bの−X方向の端部が、Y方向に延びる矩形の板状部34bによって相互に連結され、2本の板状部32b及び33bのうち固定部11側の板状部32bの+X方向の端部が+Y方向に屈曲して、固定部11の板状部17bに連結され、2本の板状部32b及び33bのうち枠状中間部12側の板状部33bの+X方向の端部が−Y方向に屈曲して、枠状中間部12の枠24bに連結されている。
第1のバネ部14cは、X方向に延びる2本の矩形の板状部32c、33cの+X方向の端部が、Y方向に延びる矩形の板状部34cによって相互に連結され、2本の板状部32c及び33cのうち固定部11側の板状部32cの−X方向の端部が−Y方向に屈曲して、固定部11の板状部17cに連結され、2本の板状部32c及び33cのうち枠状中間部12側の板状部33cの−X方向の端部が+Y方向に屈曲して、枠状中間部12の枠24bに連結されている。
第1のバネ部14dは、X方向に延びる2本の矩形の板状部32d、33dの+X方向の端部が、Y方向に延びる矩形の板状部34dによって相互に連結され、2本の板状部32d及び33dのうち固定部11側の板状部32dの−X方向の端部が+Y方向に屈曲して、固定部11の板状部17dに連結され、2本の板状部32b及び33bのうち枠状中間部12側の板状部33bの−X方向の端部が−Y方向に屈曲して、枠状中間部12の枠24bに連結されている。
第2のバネ部15aにおいては、Y方向に延びる2本の矩形の板状部40a、41aの−Y方向の端部が、X方向に延びる矩形の板状部42aによって相互に連結され、2本の板状部40a及び41aのうち枠状中間部12側の板状部40aの+Y方向の端部が−X方向に屈曲して枠状中間部12の辺部材25aにおける+Y方向の端部に連結され、可動部13側の板状部41aの+Y方向の端部が+X方向に屈曲して台座部38aに連結されている。
第2のバネ部15bにおいては、Y方向に延びる2本の矩形の板状部40b、41bの+Y方向の端部が、X方向に延びる矩形の板状部42bによって相互に連結され、2本の板状部40b及び41bのうち枠状中間部12側の板状部40bの−Y方向の端部が−X方向に屈曲して枠状中間部12の辺部材25aにおける−Y方向の端部に連結され、可動部13側の板状部41bの−Y方向の端部が+X方向に屈曲して台座部38bに連結されている。
第2のバネ部15cにおいては、Y方向に延びる2本の矩形の板状部40c、41cの−Y方向の端部が、X方向に延びる矩形の板状部42cによって相互に連結され、2本の板状部40c及び41cのうち枠状中間部12側の板状部40cの+Y方向の端部が+X方向に屈曲して枠状中間部12の辺部材25bにおける+Y方向の端部に連結され、可動部13側の板状部41cの+Y方向の端部が−X方向に屈曲して台座部38cに連結されている。
第2のバネ部15dにおいては、Y方向に延びる2本の矩形の板状部40d、41dの+Y方向の端部が、X方向に延びる矩形の板状部42dによって相互に連結され、2本の板状部40d及び41dのうち枠状中間部12側の板状部40dの−Y方向の端部が+X方向に屈曲して枠状中間部12の辺部材25bにおける−Y方向の端部に連結され、可動部13側の板状部41dの−Y方向の端部が−X方向に屈曲して台座部38dに連結されている。
可動部13の上面には、辺部材36a、36b、37a及び37bに沿って、配線45が設けられており、電極パッド44に接続されている。また、第2のバネ部15の上面には、第2のバネ部15の板状部41、板状部42及び板状部40に沿って配線46が設けられている。そして、配線45は、配線46に接続されている。
図3は、本実施形態に係る撮像装置を模式的に例示する図である。
図3に示すように、本実施形態に係る撮像装置100においては、筐体101が設けられており、筐体101には、結像レンズ90が取り付けされている。撮像装置100には、結像レンズ90を含む撮像光学系が設けられている。また、筐体101の内部には、前述の手振れ補正装置1が設けられている。手振れ補正装置1の基板10は、筐体101に対して固定されている。また、手振れ補正装置1の可動部13上には、CIS48が設けられている。CIP48は可動部13に対して固定されている。CIS48の上面には、複数個の画素51がマトリクス状に形成されている。CIS48には、貫通電極が設けられている。貫通電極49の下面は、バンプ50を介して電極パッド48に接続されている。
図4(a)は、本実施形態に係る手振れ補正装置1の動作を模式的に例示する平面図であり、(b)はその断面図である。
図4(a)及び(b)に示すように、固定部11は基板10に対して固定されている。一方、枠状中間部12は、第1のバネ部14a〜14dが撓むことによって、固定部11に対して一定の範囲内でY方向に移動可能である。このとき、櫛状部21aの凸部23と櫛状部21bの凸部29との間の空気層がクッションの役目を果たすことにより、枠状中間部12の急激な移動を緩和し、枠状中間部12が固定部11に衝突することを防止する。なお、図4(a)及び(b)においては、第1のバネ部14a〜14d及び櫛状部21と櫛状部21bとの間の空気層を、バネの図形によって示している。
図5(a)に示すように、手振れ前は、結像レンズ90の光軸上に、CIS48の受光面が配置されている。そして、被写体の一点Pから発した光91は、結像レンズ90によって、ある1つの画素51aに集光する。これにより、CIS48の受光面に、被写体の画像が結像される。
図5(b)に示すように、本実施形態に係る手振れ補正装置1を組み込んでいない撮像装置を用いて撮像する際に、撮像装置を持っている手が動いてしまった場合を考える。
撮像装置が移動するのに伴って、露光時間の間に、撮像装置から見た被写体の方向が変化し、点Pから発した光91が結像レンズ90に入射する角度も変化するため、光91は画素51aから外れた位置に集光する。これによって、手振れが発生する。
本実施形態に係る手振れ補正装置1によれば、手振れを防止又は軽減することができる。
また、光の入射方向から見て、可動部13をCIS48と同じサイズとし、手振れ補正装置1とCISとをフリップチップボンディングし、固定部11を枠状の可動部13の内部に配置することにより、手振れ補正装置1とCISとを同じサイズとすることができる。更に、手振れ補正装置1における固定部11と可動部13とをバネ部の上面に形成された配線で接続しているので、ワイヤーボンディングする必要はない。よって、手振れ補正装置1を小型化することができる。
更にまた、手振れ補正装置1は電力を必要としないため、手振れ補正装置1に電源装置を設ける必要がない。これによっても、手振れ補正装置1を小型化することができる。手振れ補正装置1を小型化することにより、撮像装置100も小型化することができる。
次に、第2の実施形態について説明する。
図6は、第2の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する平面図である。
図7は、第2の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する断面図であり、(a)は、図6に示すA−A’線による断面図であり、(b)は、図6に示すB−B’線による断面図であり、(c)は、図6に示すC−C’線による断面図である。
図8は、第2の実施形態に係る手振れ補正装置が設けられている場合の手振れの挙動を例示する図である。
そのうち、板状部54aに接続された貫通電極19は、板状部54aに設けられた配線(図示せず)によって、櫛状部21aの凸部23に接続されている。板状部54bに接続された貫通電極19は、板状部54bに設けられた配線(図示せず)によって、櫛状部21bの凸部23に接続されている。
そして枠24a及び板状部27aが除去された部分に、矩形の固定部56aが設けられている。固定部56aと基板10との間には、絶縁膜18が設けられている。また、基板10、絶縁膜18及び固定部56aには、それらを貫通する貫通電極57が、設けられている。
そして枠24b及び板状部27bが除去された部分に、矩形の固定部56bが設けられている。固定部56bと基板10との間には、絶縁膜18が設けられている。また、基板10、絶縁膜18及び固定部56bには、それらを貫通する貫通電極57が、設けられている。
本実施形態における上記以外の構成は、前述の第1の実施形態と同様である。
本実施形態に係る手振れ補正装置2を組み込んだ撮像装置においては、撮像装置の移動によって、固定部11は移動する。しかし、貫通電極19及び貫通電極57に電位を印加させることにより、凸部23と凸部29との間に静電力を発生させる。
これにより、図6に示すように、可動部13上に搭載されたCIS48を撮像装置が移動する方向と同じ方向に移動させる。このようにして、露光時間の間にカメラ中の露光面が移動することを防ぐ。
本実施形態に係る手振れ補正装置2によれば、貫通電極19と貫通電極57との間に電圧を印加することにより、可動部13の移動を制御することができる。よって、手振れを抑制し、撮像画像を高画質化することができる。
本実施形態における上記以外の効果は、前述の第1の実施形態と同様である。
次に、第3の実施形態について説明する。
図9は、第3の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する平面図である。
図10は、第3の実施形態における第2のバネ部を例示する平面図である。
そのうち、板状部61aに接続された貫通電極19は、板状部61aに設けられた配線(図示せず)によって、櫛状部21aの凸部23に接続されている。板状部61bに接続された貫通電極19は、板状部61bに設けられた配線(図示せず)によって、櫛状部21bの凸部23に接続されている。
枠25bの−X方向側の中央に、櫛方向を−X方向としてT字型部63が設けられている。また、枠25aの−X方向側には、複数の凸部67が設けられている。
本実施形態における上記以外の構成及び動作は、前述の第2の実施形態と同様である。
本実施形態においては、第2のバネ部15の板状部40及び41には、切込み68が設けられている。よって、第2のバネ部15の弾性が増加し、撮像装置の急激な動きを緩衝することができる。また、凸部と凸部とが噛み合わされたダンパーを多数設けている。よって、ダンパーによって、撮像装置の急激な動きを緩衝することができる。
次に、第4の実施形態について説明する。
図11は、第4の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する平面図である。
図12は、第4の実施形態に係る手振れ補正装置を例示する断面図であり、(a)は、図11に示すA−A’線による断面図であり、(b)は、図11に示すB−B’線による断面図である。
図11は、下方から見た平面図となっている。また、図11においては、CIS48を省いている。図11においても、手振れ補正装置4を説明するために、XY直交座標系を採用する。このXY直交座標系においては、図面の上方を+Y方向、その逆方向を−Y方向とする。「+Y方向」及び「−Y方向」を総称して「Y方向」ともいう。+Y方向から時計の針が回転する方向に90度回転した方向を+X方向、その逆方向を−X方向とする。「+X方向」及び「−X方向」を総称して「X方向」ともいう。
貫通孔77における正方形79の部分の下方には、可動部72が設けられている。可動部72はX方向に平行な枠81a及び81b並びにY方向に平行な枠82a及び82bとからなる枠状の形状とされている。
貫通孔77における各正方形80の部分の下方には、2つの矩形の中間部83が設けられている。中間部83及び固定部71は第1のバネ部84によって連結されている。中間部83及び可動部72は、第2のバネ部85によって連結されている。
可動部72には、CIS48が配置されている。CIS48の上面には、受光面及び、電極パッド89が設けられている。
可動部72の電極パッド86は、バンプを介してCIS48の上面に設けられた電極パッド89に接続されている。
本実施形態の手振れ補正装置4において、撮像装置を動かすと、撮像装置の移動によって、固定部71も移動する。しかし、第1バネ部85及び第2バネ部84は、自身の形状を変化させることによって、固定部11の急激な移動を緩和して、露光面が移動することを防ぐ。
本実施形態における上記以外の動作については、前述の第1の実施形態と同様である。
本実施形態においては、CIS48が設置される可動部72は、貫通孔77の直下領域の内部に配置されている。よって、CIS48が設置される部分の厚さを薄くすることができる。よって、手振れ補正装置を高集積化することができる。
次に、第5の実施形態について説明する。本実施形態は、第4の実施形態に係る手振れ補正装置の製造方法についてのものである。
図13は、第5の実施形態に係る手振れ補正装置の製造方法を例示する工程断面図である。
次に、図13(b)に示すように、シリコン層74上にフォトレジスト膜96を形成する。フォトレジスト膜96は、固定部71、可動部72、中間部83、第1バネ部84及び第2バネ部85が形成される部分を覆うものである。
そして、フォトレジスト膜96をマスクとしてシリコン層74をドライエッチングし、SOI基板の絶縁膜75上に、固定部71、可動部72、中間部83、第1バネ部84及び第2バネ部85を形成する。さらに、ウェットエッチングを行い、固定部71以外の可動部72、中間部83、第1バネ部84及び第2バネ部85の直下の絶縁膜75を除去する。
その後、図13(d)に示すように、CIS48のチップを可動部の電極パット86にバンプ50を介して接続する。そして、可動部72直下の基板70に貫通孔77を形成する。このようにして、図9及び図10に示す手振れ補正装置4が製造される。
次に、本実施形態の効果について説明する。
SOIウェハを用いることにより、MEMSの形成技術を用いて、手振れ補正装置4を形成することができる。よって、高集積化した手振れ補正装置4を得ることができる。
Claims (10)
- 基板と、
前記基板上に設けられ、前記基板に対して固定された固定部と、
前記基板上における前記固定部の周囲に設けられ、前記固定部に対して、前記基板の面内における第1の方向に移動が可能な連結部と、
前記基板上に設けられ、前記固定部及び前記連結部の周囲に配置され、前記連結部に対して、前記基板の面内における前記第1の方向に対して交差する第2の方向に移動が可能な可動部と、
一端は、前記固定部に接続され、他端は、前記連結部に接続され、上面に配線が設けられた第1バネ部と、
一端は、前記連結部に接続され、他端は、前記可動部に接続され、上面に配線が設けられた第2バネ部と、
前記固定部と前記連結部との間に設けられた第1ダンパーと、
前記連結部と前記可動部との間に設けられた第2ダンパーと、
を備えた手振れ補正装置。 - 前記第1ダンパーは、
前記固定部から前記連結部へ延びる複数の第1の凸部と、
前記連結部から前記固定部へ延びる複数の第2の凸部と、
を有し、
2本の前記第1の凸部間に1本の前記第2の凸部が挟まれ、
2本の前記第2の凸部間に1本の前記第1の凸部が挟まれ、
前記第1の凸部と前記第2の凸部との間には隙間が設けられている請求項1記載の手振れ補正装置。 - 前記第1の凸部と前記第2の凸部との間に電圧を印加し、前記第1の凸部及び前記第2の凸部との間に静電力を発生させることにより、前記連結部を移動させる請求項2記載の手振れ補正装置。
- 前記第2ダンパーは、
前記可動部から前記連結部へ延びる複数の第3の凸部と、
前記連結部から前記可動部へ延びる複数の第4の凸部と、
を有し、
2本の前記第3の凸部間に1本の前記第4の凸部が挟まれ、
2本の前記第4の凸部間に1本の前記第3の凸部が挟まれ、
前記第3の凸部と前記第4の凸部との間には隙間が設けられている請求項1記載の手振れ補正装置。 - 前記第3の凸部と前記第4の凸部との間に電圧を印加し、前記第3の凸部及び前記第4の凸部との間に静電力を発生させることにより、前記可動部を移動させる請求項4記載の手振れ補正装置。
- 前記第1の凸部及び前記第2の凸部が延びる方向と、前記第3の凸部及び前記第4の凸部が延びる方向とは直交している請求項4または5に記載の手振れ補正装置。
- 前記可動部の上面に形成された電極パッドをさらに備える請求項1〜6のいずれか1つに記載の手振れ補正装置。
- 前記第1バネ部及び前記第2バネ部は、それぞれ、U字型の部材を有する請求項1〜7のいずれか1つに記載の手振れ補正装置。
- 前記基板と前記固定部との間に配置された絶縁層をさらに備え、
前記基板はSOI基板の支持基板を加工して形成されたものであり、
前記絶縁層は前記SOI基板の埋込絶縁膜を加工して形成されたものであり、
前記固定部、前記連結部及び前記可動部は、前記SOI基板のシリコン層を加工して形成されたものである請求項1〜8のいずれか1つに記載の手振れ補正装置。 - 筐体と、
請求項1〜9のいずれか1つに記載の手振れ補正装置と、
上面に複数個の画素が形成されたイメージセンサと、
結像レンズと、
を備え、
前記基板は前記筐体に対して固定されており、
前記イメージセンサは前記可動部に対して固定されている撮像装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011211367A JP5624529B2 (ja) | 2011-09-27 | 2011-09-27 | 手振れ補正装置及び撮像装置 |
US13/445,292 US8605160B2 (en) | 2011-09-27 | 2012-04-12 | Camera shake correction device and imaging device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011211367A JP5624529B2 (ja) | 2011-09-27 | 2011-09-27 | 手振れ補正装置及び撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013072967A JP2013072967A (ja) | 2013-04-22 |
JP5624529B2 true JP5624529B2 (ja) | 2014-11-12 |
Family
ID=47910885
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011211367A Expired - Fee Related JP5624529B2 (ja) | 2011-09-27 | 2011-09-27 | 手振れ補正装置及び撮像装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8605160B2 (ja) |
JP (1) | JP5624529B2 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015153017A2 (en) * | 2014-04-04 | 2015-10-08 | Mems Start, Llc | Actuator for moving an optoelectronic device |
US9917991B2 (en) | 2014-10-24 | 2018-03-13 | Apple Inc. | Camera actuator |
JP6710775B2 (ja) * | 2016-03-11 | 2020-06-17 | アップル インコーポレイテッドApple Inc. | 画像センサを移動させるボイスコイルモータを有する光学画像安定化 |
US11956544B2 (en) | 2016-03-11 | 2024-04-09 | Apple Inc. | Optical image stabilization with voice coil motor for moving image sensor |
US10437023B2 (en) | 2016-03-28 | 2019-10-08 | Apple Inc. | Folded lens system with three refractive lenses |
US10890734B1 (en) | 2017-03-29 | 2021-01-12 | Apple Inc. | Camera actuator for lens and sensor shifting |
US10863094B2 (en) | 2017-07-17 | 2020-12-08 | Apple Inc. | Camera with image sensor shifting |
CN107450251B (zh) * | 2017-08-25 | 2022-12-02 | 高瞻创新科技有限公司 | 一种弹簧系统及采用该弹簧系统的镜头防抖装置 |
CN110858873B (zh) * | 2018-08-23 | 2021-06-29 | 北京小米移动软件有限公司 | 电子设备和拍摄方法 |
US11122205B1 (en) | 2018-09-14 | 2021-09-14 | Apple Inc. | Camera actuator assembly with sensor shift flexure arrangement |
CN117410297A (zh) * | 2018-11-20 | 2024-01-16 | Lg伊诺特有限公司 | 用于图像传感器的基板 |
CN111225130B (zh) | 2018-11-23 | 2021-02-26 | 华为机器有限公司 | 一种成像装置及终端设备 |
KR20200097086A (ko) * | 2019-02-07 | 2020-08-18 | 엘지이노텍 주식회사 | 이미지 센서용 기판 및 이를 포함하는 카메라 모듈 |
CN117998181A (zh) * | 2019-03-04 | 2024-05-07 | Lg伊诺特有限公司 | 相机模块 |
KR102601289B1 (ko) * | 2019-03-04 | 2023-11-13 | 엘지이노텍 주식회사 | 이미지 센서용 기판, 이미지 센서용 기판 모듈, 이를 포함하는 이미지 센서 액츄에이터 및 카메라 장치 |
KR20210043244A (ko) * | 2019-10-11 | 2021-04-21 | 엘지이노텍 주식회사 | 기판, 센서 구동 장치 및 이를 포함하는 카메라 모듈 |
KR20210081556A (ko) * | 2019-12-24 | 2021-07-02 | 엘지이노텍 주식회사 | 센서 구동 장치 |
JP2020106845A (ja) * | 2020-02-10 | 2020-07-09 | 国立大学法人東北大学 | フレキシブル配線体、駆動システムおよび撮像装置 |
US11575835B2 (en) | 2020-09-24 | 2023-02-07 | Apple Inc. | Multi-axis image sensor shifting system |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1181601A4 (en) | 1998-12-15 | 2006-11-08 | Seagate Technology Llc | MICRO-SWITCH WITH ROTARY ELECTROSTATIC MICROACTIONER |
US6330102B1 (en) | 2000-03-24 | 2001-12-11 | Onix Microsystems | Apparatus and method for 2-dimensional steered-beam NxM optical switch using single-axis mirror arrays and relay optics |
KR100331453B1 (ko) | 2000-07-18 | 2002-04-09 | 윤종용 | 시분할 다중화 방식을 이용한 정전형 xy 스테이지의위치 검출 장치 |
KR100584424B1 (ko) * | 2004-11-04 | 2006-05-26 | 삼성전자주식회사 | 카메라 렌즈 어셈블리의 손떨림 보정 장치 |
KR100713520B1 (ko) | 2005-05-31 | 2007-04-30 | 삼성전자주식회사 | 카메라 렌즈 어셈블리의 손떨림 보정 장치 |
US20060275521A1 (en) * | 2005-06-03 | 2006-12-07 | Chau-Jong Wang | Hibiscus anthocyanins for inhibiting cancers |
JP2006343699A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Konica Minolta Holdings Inc | 撮像装置 |
JP4972783B2 (ja) * | 2006-07-20 | 2012-07-11 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | 撮像ユニットおよび撮像装置 |
JP2008058445A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Canon Inc | レンズ駆動装置、像振れ補正装置および撮像装置 |
JP2008203402A (ja) * | 2007-02-19 | 2008-09-04 | Konica Minolta Opto Inc | センサ装置、および撮像装置 |
TWM322407U (en) * | 2007-05-02 | 2007-11-21 | Lite On Technology Corp | Micro-optical image stabilizer |
US8130293B2 (en) | 2007-06-15 | 2012-03-06 | Panasonic Corporation | Image processing apparatus having patterned polarizer, patterned polarizer, and image processing method |
JP4924347B2 (ja) * | 2007-10-03 | 2012-04-25 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 移動機構、撮像ユニットおよび撮像装置 |
JP4924351B2 (ja) * | 2007-10-09 | 2012-04-25 | 船井電機株式会社 | 撮像装置 |
EP2326984A2 (en) * | 2008-09-12 | 2011-06-01 | Cambridge Mechatronics Limited | Optical image stabilisation comprising shape memory alloy actuators |
JP5357614B2 (ja) | 2009-04-15 | 2013-12-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | 撮影用光学装置 |
JP5132641B2 (ja) * | 2009-08-25 | 2013-01-30 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置の製造方法 |
JP2011186409A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Olympus Corp | 手ブレ補正機構、及び、撮像モジュール |
-
2011
- 2011-09-27 JP JP2011211367A patent/JP5624529B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-04-12 US US13/445,292 patent/US8605160B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8605160B2 (en) | 2013-12-10 |
US20130076923A1 (en) | 2013-03-28 |
JP2013072967A (ja) | 2013-04-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131007 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140528 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |