KR102029783B1

KR102029783B1 - 멤스 소자 및 흔들림 보정 장치

Info

Publication number: KR102029783B1
Application number: KR1020120141240A
Authority: KR
Inventors: 고용준; 서정기; 이종현; 문승환
Original assignee: 엘지이노텍 주식회사; 광주과학기술원
Priority date: 2012-12-06
Filing date: 2012-12-06
Publication date: 2019-10-08
Also published as: KR20140073238A

Abstract

본 발명은 고정기판, 상기 고정기판에 대하여 제1 방향으로 상대 이동되는 제1 구동부, 상기 제1 구동부에 대하여 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 상대 이동되는 제2 구동부, 그리고 상기 고정기판과 상기 제1 구동부를 물리적 전기적으로 연결하는 탄성부를 포함하고, 상기 탄성부는 서로 절연되어 있는 복수의 스프링을 통하여 서로 다른 전압을 상기 제1 구동부에 전달하는 멤스 소자를 제공한다. 따라서, 기판에 대해서 제1 방향 및 제2 방향으로 이동할 수 있어 흔들림 보정에 유리하다. 또한, 더블 폴디드 스프링을 사용함으로써 구동부가 견고하게 고정될 수 있다. 그리고 더블 폴디스 스프링의 일부를 분리하여 서로 다른 전압을 인가함으로써, 두 방향으로 동작을 위한 전원 공급원의 수효를 줄일 수 있다.

Description

멤스 소자 및 흔들림 보정 장치{MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS DEVICE AND APPARATUS FOR COMPENSATING TREMBLE}

실시예는 멤스 소자 및 흔들림 보정 장치에 관한 것이다.

CCD(Charge Coupled Device) 센서와 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 센서는 동영상 및 정지영상을 촬영하는 2차원 센서의 일종이며 전자식 카메라를 구성하는데 핵심적인 역할을 하고 있다. 특히 CCD센서는 화질면에서 CMOS 센서 보다 우수한 특성을 내나, 소모 전력 및 복잡한 구성의 단점 때문에 CMOS 영상센서가 그 시장의 점유율을 높여 가고 있으며 최근에 와서는 CMOS 센서도 화질면에서도 개선이 따르고 있다. 이러한 이미지 센서들이 발달하면서 디지털 카메라의 사용이 일반화되고, 셀룰러 폰(cellular phone)과 같은 휴대용 단말기에도 카메라 장치가 설치되기에 이르렀다.

상기한 이미지 센서들을 이용한 일반적인 동영상뿐만 아니라 정지 영상 촬영 카메라에 있어서 카메라의 외부적인 요소에 의한 떨림, 즉 손떨림 혹은 차량 탑재등에 의한 진동에 의하여 불안정하게 떨리는 영상이 촬영되는 경우가 많다. 이러한 불안정한 영상을 해소하기 위하여 그 움직임을 보상하는 장치 등이 제안되었다. 이러한 움직임 안정화 장치는 움직임 검출부와 움직임 보정 부분으로 나누어진다. 움직임 검출부는 자이로 센서(Gyro Sensor) 등에 의한 기구의 움직임을 예측하는 방법과 영상 신호처리에 의하여 영상의 움직임 부분을 매 프레임 검출하는 방법이 제안되고 사용된다. 또한, 검출된 움직임 정보를 굴절 가능한 렌즈(액티브 프리즘)를 사용하여 입사광을 임의로 굴절시키거나 이미지 센서의 입력 위치를 제어함으로써 불안정한 영상을 해소하고 선명한 영상을 얻게 된다.

이러한 카메라의 움직임에 따른 불안정한 영상 해소를 위하여 보이스 코일 모터(voice coil motor)를 이용하여 렌즈를 구동시키는 기술이 미국 등록특허 제5,398,132호(1995. 3. 14)에 개시되고 있다. 개시된 영상 안정화 장치는 보정 렌즈의 일측에 피치 코일(pitch coil)과 피치 요크(pitch yoke)를 설치하여 제1 방향으로 보정 렌즈를 구동시키고, 타측에 요 코일(yaw coil)과 요 요크(yaw yoke)를 설치하여 제1 방향에 수직하는 제2 방향으로 보정 렌즈를 구동시키는 구성이다. 즉, 카메라의 움직임에 따라 보정 렌즈를 구동시켜 광축을 원래의 위치로 복귀시킴으로써 영상을 안정화시키는 것이다.

그러나, 최근에는 랩탑(lap-top) 컴퓨터, 휴대 전화 등 휴대용 단말기들에 카메라 장치가 장착되어 휴대용 단말기의 기능 확장에 기여하고 있으나, 사용자의 손떨림 등에 의한 영상을 보정하기 위한 장치들은 휴대용 단말기의 소형, 경량화에 장애가 되고 있다.

실시예는 향상된 신뢰성 및 내구성을 가지고, 효과적으로 흔들림 및 떨림을 보정하는 멤스 소자 및 흔들림 보정 장치를 제공하고자 한다.

실시예는 고정기판, 상기 고정기판에 대하여 제1 방향으로 상대 이동되는 제1 구동부, 상기 제1 구동부에 대하여 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 상대 이동되는 제2 구동부, 그리고 상기 고정기판과 상기 제1 구동부를 물리적 전기적으로 연결하는 탄성부를 포함하고, 상기 탄성부는 서로 절연되어 있는 복수의 스프링을 통하여 서로 다른 전압을 상기 제1 구동부에 전달하는 멤스 소자를 제공한다.

한편, 실시예는 고정기판, 상기 고정기판에 대하여 제1 방향으로 상대 이동되는 제1 구동부, 상기 제1 구동부에 대하여 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 상대 이동되는 제2 구동부, 상기 제2 구동부 내에 배치되는 광학 소자, 그리고 상기 고정기판과 상기 제1 구동부를 물리적 전기적으로 연결하는 탄성부를 포함하고, 상기 탄성부는 서로 절연되어 있는 복수의 스프링을 통하여 서로 다른 전압을 상기 제1 구동부에 전달하는 흔들림 보정 장치를 제공한다.

실시예에 따른 멤스 소자는 기판에 대해서 제1 방향 및 제2 방향으로 이동할 수 있어 흔들림 보정에 유리하다. 또한, 더블 폴디드 스프링을 사용함으로써 구동부가 견고하게 고정될 수 있다.

그리고 더블 폴디스 스프링의 일부를 분리하여 서로 다른 전압을 인가함으로써, 두 방향으로 동작을 위한 전원 공급원의 수효를 줄일 수 있다.

실시예에 따른 멤스 소자가 구비된 카메라 등의 흔들림이 보정될 수 있다. 즉, 실시예에 따른 멤스 소자는 손떨림 등을 보정할 수 있다.

도 1은 실시예에 따른 흔들림 보정 장치의 상면도이다.
도 2는 도 1의 단면도이다.
도 3은 도 1의 사시도이다.
도 4 내지 도 8은 도 1의 구성 요소별 확대도이다.
도 9는 도 1의 흔들림 보정 장치의 전압을 나타내는 상태도이다.
도 10 내지 도 13은 도 1의 흔들림 보정 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 14는 실시예에 따른 흔들림 보정 장치가 적용되는 카메라 모듈의 단면도이다.
도 15는 도 14의 렌즈부의 분해사시도이다.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

본 발명은 흔들림 보정 기능을 가지는 멤스 소자를 제공한다.

이하에서는 도 1 내지 도 8을 참고하여 본 발명의 실시예에 따른 흔들림 보정 장치를 설명한다.

도 1은 실시예에 따른 흔들림 보정 장치의 상면도이고, 도 2는 도 1의 단면도이고, 도 3은 도 1의 사시도이고, 도 4 내지 도 8은 도 1의 구성 요소별 확대도이다.

도 1을 참고하면, 실시예에 따른 흔들림 보정 장치는 고정 기판(110), 외부 구동부(120), 내부 구동부(130) 및 복수의 탄성부(300, 310, 320, 330)를 포함한다.

상기 고정 기판(110)은 외부 구동부(120), 내부 구동부(130) 및 복수의 탄성부(300, 310, 320, 330)를 지지한다.

상기 고정 기판(110)은 플레이트 형상을 가지며, 사각형의 프레임 형상을 가질 수 있다. 이러한 고정 기판(110)은 정사각형일 수 있으며, 6mm·6mm의 면적을 가질 수 있다.

상기 고정 기판(110)은 복수의 층상 구조를 가지며, 도 2와 같이 지지 기판(400), 지지 기판(400) 위에 절연층(200) 및 상기 절연층(200) 위에 전극층으로 형성되어 있다.

상기 지지 기판(400)은 실리콘 기판, 유리기판 또는 폴리머 기판일 수 있다.

상기 지지 기판(400)은 300 내지 500μm의 두께를 가지며, 바람직하게는 400μm의 두께를 가질 수 있다.

상기 지지 기판(400) 위에 절연층(200)이 형성되어 있다.

상기 절연층(200)은 상기 지지 기판(400)이 실리콘 기판일 경우, 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막으로 형성될 수 있으며, 1.5μm 내외의 두께를 가질 수 있다.

상기 절연층(200) 위에 전극층이 형성되어 있다.

즉, 상기 고정 기판(110)은 전극층을 패터닝하여 사각형의 각 변을 따라 배치되어 있으며, 서로 분리되어 있는 복수의 전극(111, 113, 114, 116)을 포함한다.

복수의 전극(111, 113, 114, 116)은 실리콘, 구리, 알루미늄, 몰리브덴, 텅스텐 등의 전도성 물질일 수 있으며, 바람직하게는 지지 기판(400)이 실리콘 기판인 경우, 실리콘으로 형성될 수 있다. 상기 전극(111, 113, 114, 116)은 40 내지 60 μm의 두께를 가지며, 바람직하게는 50 μm 내외의 두께를 가질 수 있다.

상기 전극(111, 113, 114, 116)은 y축으로 연장되어 있는 제1 전극(111) 및 제1 전극(111)과 평행하게 배치되어 있는 제2 전극(116), y축과 수직한 x축으로 연장되어 있는 제3 전극(113) 및 제3 전극(113)과 평행하게 배치되어 있는 제4 전극(114)을 포함한다.

제1 전극(111) 및 제2 전극(116)은 외부로 향하는 제1 장변 및 내부로 향하는 제2 장변을 포함하고, 제2 장변에 외부 구동부(120)를 향하여 복수의 구동편(112, 117)이 형성되어 있다.

상기 구동편(112, 117)은 일정한 거리로 이격되어 있는 복수의 돌출부를 포함하며, 상기 복수의 돌출부는 빗살(comb) 형상을 가진다.

제3 및 제4 전극(113, 114)은 도 1 내지 도 2와 같이 x축 방향으로 서로 이격되어 있는 두 개의 전극편(113a, 113b, 114a, 114b)을 포함한다.

즉, 제3 전극(113)은 제2 전극(116)과 이웃하는 제1 전극편(113a) 및 제1 전극편(113a)과 제1 전극(111) 사이에 배치되는 제2 전극편(113b)을 포함한다.

상기 제1 전극편(113a)과 제2 전극편(113b)은 제3 전극(113)의 중앙에서 분리되어 이격홀(113c)을 형성한다.

한편, 제4 전극(114)은 제2 전극(116)과 이웃하는 제1 전극편(114a) 및 제1 전극편(114a)과 제1 전극(111) 사이에 배치되는 제2 전극편(114b)을 포함한다.

상기 제1 전극편(114a)과 제2 전극편(114b)은 제4 전극(114)의 중앙에서 분리되어 이격홀(114c)을 형성한다.

제3 전극(113) 및 제4 전극(114)의 이격홀(113c, 114c)은 서로 마주보도록 형성될 수 있다.

이러한 이격홀(113c, 114c)은 제3 전극(113) 및 제4 전극(114)의 각 전극편(113a, 113b, 114a, 114b)을 전기적으로 분리하며, 제1 내지 제4 전극(111, 116, 113, 114)의 경계인 모서리 영역에도 형성되어 있다. 상기 이격홀(113c, 114c)에 의해 전극층 하부의 절연층(200)이 노출될 수 있다.

이와 같이 고정 기판(110)은 제1 내지 제4 전극(111, 116, 113, 114)이 전기적으로는 절연되어 있으나 물리적으로는 절연층(200) 및 지지기판(400)에 의해 연결되어 폐루프 상태인 프레임을 형성하며, 내부에 개구부를 형성한다.

한편, 상기 고정 기판(110)의 내부에 형성되어 있는 개구부에 외부 구동부(120) 및 내부 구동부(130)가 배치되어 있다.

외부 구동부(120)는 내부에 개구부를 포함하며, 고정 기판(110)의 각각의 전극과 대응되는 4개의 구동부(121, 126, 123, 124)를 포함한다.

상세하게는, 외부 구동부(120)는 제1 전극(111)과 대응하도록 형성되는 제1 구동부(121), 제2 전극(116)과 대응하도록 형성되는 제2 구동부(126), 제3 전극(113)과 대응하도록 형성되는 제3 구동부(123) 및 제4 전극(114)과 대응하도록 형성되는 제4 구동부(124)를 포함한다.

제1 구동부(121)는 제1 전극(111)과 대응하여 y축을 따라 연장되어 있는 몸체부(121a)를 가지며, 상기 몸체부(121a)는 고정 기판(110)을 향하는 제1 장변 및 내부 구동부(130)를 향하는 제2 장변을 가진다.

상기 제1 장변에는 제1 전극(111)의 구동편(112)과 대응되도록 외부 구동편(122)이 형성되어 있다.

상기 외부 구동편(122)은 일정한 거리로 이격되어 있는 복수의 돌출부를 포함하며, 상기 복수의 돌출부는 빗살(comb) 형상을 가진다.

제1 전극(111)의 구동편(112)과 상기 제1 구동부(121)의 외부 구동편(122)은 복수의 돌출부가 서로 이격되어 지그재그로 배치되어 있다.

제1 전극(111)의 구동편(112)과 상기 제1 구동부(121)의 외부 구동편(122)의 돌출부의 길이, 두께 및 형상이 동일하게 형성되어 이격 거리는 동일하다.

한편, 제2 장변에는 몸체부(121a)를 향하여 오목하게 함몰되어 있는 복수의 함몰부(121b, 121c)가 형성되어 있으며, 구체적으로, 제2 장변의 중앙 영역에 형성되는 제1 함몰부(121b) 및 제1 함몰부(121b)의 양 측면에 균일하게 형성되어 있는 2 개의 제2 함몰부(121c)를 포함한다.

제1 함몰부(121b)는 이후 설명할 탄성부(330)가 형성되는 영역으로, 함몰된 영역이 사각형을 이루며, 제2 함몰부(121c)는 제1 함몰부(121b)보다 함몰된 깊이가 얕게 형성될 수 있다.

제2 구동부(126)는 제2 전극(116)과 대응하여 y축을 따라 연장되어 있는 몸체부(126a)를 가지며, 상기 몸체부(126a)는 고정 기판(110)을 향하는 제1 장변 및 내부 구동부(130)를 향하는 제2 장변을 가진다.

상기 제1 장변에는 제2 전극(116)의 구동편(117)과 대응되도록 외부 구동편(127)이 형성되어 있다.

상기 외부 구동편(127)은 일정한 거리로 이격되어 있는 복수의 돌출부를 포함하며, 상기 복수의 돌출부는 빗살(comb) 형상을 가진다.

제2 전극(116)의 구동편(117)과 상기 제2 구동부(126)의 외부 구동편(127)은 복수의 돌출부가 서로 이격되어 지그재그로 배치되어 있다.

제2 전극(116)의 구동편(117)과 상기 제2 구동부(126)의 외부 구동편(127)의 돌출부의 길이, 두께 및 형상이 동일하게 형성되어 이격 거리는 동일하다.

한편, 제2 장변에는 몸체부(126a)를 향하여 오목하게 함몰되어 있는 복수의 함몰부(126b, 126c)가 형성되어 있으며, 구체적으로, 제2 장변의 중앙 영역에 형성되는 제1 함몰부(126b) 및 제1 함몰부(126b)의 양 측면에 균일하게 형성되어 있는 2 개의 제2 함몰부(126c)를 포함한다.

제1 함몰부(126b)는 이후 설명할 탄성부(320)가 형성되는 영역으로, 함몰된 영역이 사각형을 이루며, 제2 함몰부(126c)는 제1 함몰부(126b)보다 함몰된 깊이가 얕게 형성될 수 있다.

이때, 제1 구동부(121)의 단변의 길이와 제2 구동부(126)의 단변의 길이는 서로 다를 수 있다.

즉, 도 1 내지 도 4와 같이, 제1 구동부(121)의 단변의 길이가 제2 구동부(126)의 단변의 길이보다 짧게 형성될 수 있으며, 제2 구동부(126)는 제2 함몰부(126c)의 양 측면이 비대칭으로 형성되어 단변과 연결되는 측면의 길이가 타 측면의 길이보다 더 길 수 있다.

따라서, 제2 구동부(126)는 몸체부(126a)의 양 단에서 수직하게 절곡되어 x축을 따라 연장되는 두 개의 절곡부(126d, 126e)를 포함한다.

두 개의 절곡부(126d, 126e)는 이후에 설명할 탄성부(300, 310)와의 연결을 수행한다.

한편, 제3 구동부(123) 및 제4 구동부(124)는 도 5와 같이 서로 동일한 형상을 가질 수 있다.

즉, 상기 제3 구동부(123) 및 제4 구동부(124)는 제3 전극(113) 및 제4 전극(114)과 각각 대응하도록 x축을 향하여 배치되어 있는 몸체부(123a, 124a)를 포함한다.

상기 몸체부(123a, 124a)는 x축을 향하여 길게 연장되어 있는 두 개의 장변을 포함하고, 제1 장변은 제3 및 제4 전극(113, 114)과 각각 대향하고, 제2 장변은 내부 구동부(130)와 대향한다.

상기 제2 장변에는 내부 구동부(130)와 마주하는 내부 구동편(125, 128)이 형성되어 있다.

제3 및 제4 전극(114)의 내부 구동편(125, 128)은 제2 장변을 따라 일정한 거리로 이격되어 있는 복수의 돌출부를 포함하며, 상기 복수의 돌출부는 빗살(comb) 형상을 가진다.

한편, 제1 장변에는 탄성부(300, 310)를 수용하기 위한 함몰부(123b, 124b)가 형성되어 있으며, 상기 함몰부(123b, 124b)의 양쪽 측면의 길이는 서로 다를 수 있다.

즉, 제2 구동부(126)를 향하는 측면의 길이가 제1 구동부(121)를 향하는 측면의 길이보다 짧을 수 있으며, 이는 제2 구동부(126)의 절곡부(126)가 배치되도록 하기 위함이다.

한편, 상기 제3 및 제4 구동부(123, 124)의 몸체부(123a, 124a)는 제1 구동부(121)를 향하는 일단변에 상기 제1 구동부(121)의 제2 함몰부(121c)와 대응하는 돌출부(123c, 124c)를 형성할 수 있다.

이와 같이 외부 구동부(120)를 이루는 4개의 구동부(121, 126, 123, 124)는 제1 및 제2 구동부(121, 126)의 외부 구동편(122, 127)이 고정 기판(110)의 구동편(112, 117)과 대응하여 x축 이동을 위한 빗살 전극을 형성하고, 제3 및 제4 구동부(123, 124)의 내부 구동편(125, 128)이 내부 구동부(130)와 대응하여 y축 이동을 위한 빗살 전극을 형성한다.

이러한 4개의 구동부(121, 126, 123, 124)는 전극층으로 형성되며, 전기적으로 절연되어 있으나, 구동부(121, 126, 123, 124)는 물리적으로 고정되어 하나의 프레임을 이룬다.

즉, 상기 4개의 구동부(121, 126, 123, 124)의 물리적 고정을 위하여 4개의 구동부(121, 126, 123, 124)를 이루는 전극층 하부에 절연층(200) 및 지지기판(400)의 일부가 잔재하고 있다.

이때, 상기 4개의 구동부(121, 126, 123, 124) 사이를 지지하는 지지기판(400)의 두께는 고정기판(110)의 지지기판(400) 보다 작은 두께, 바람직하게는 1/2의 두께를 가질 수 있다.

상기 절연층(200)은 4개의 구동부(121, 126, 123, 124)의 이격 공간에 노출되어 있으며, 절연층(200)은 구동부(121, 126, 123, 124) 사이의 이격 공간 주변 영역까지 확장되어 형성되어 있다.

한편, 내부 구동부(130)는 외부 구동부(120)의 4개의 구동부(121, 126, 123, 124)가 형성하는 개구부 내에 배치되어 있으며, 도 6과 같이 몸체부(133) 및 내부 구동편(132)을 포함한다.

몸체부(133)는 폐루프를 이루는 프레임 형상을 가지며, x축 방향의 두 변에 외부 구동부(120)를 향하여 내부 구동편(132)이 형성되어 있다.

상기 내부 구동편(132)은 일정한 거리로 이격되어 있는 복수의 돌출부를 포함하며, 상기 복수의 돌출부는 빗살(comb) 형상을 가진다.

상기 내부 구동부(130)의 내부 구동편(132)과 대응되는 외부 구동부(120)의 제3 및 제4 전극(113, 114)의 내부 구동편(125, 128)은 복수의 돌출부가 서로 이격되어 지그재그로 배치되어 있다.

두 개의 내부 구동편(125, 128, 132)의 돌출부의 길이, 두께 및 형상이 동일하게 형성되어 이격 거리는 동일하다.

몸체부(133)의 y축 방향의 두 변에는 뒤에서 설명할 탄성부(300, 310, 320, 330)가 연결되는 연결단(134)이 형성되어 있으며, 상기 연결단(134)은 두 변의 중앙 영역에 돌출되어 형성된다.

상기 연결단(134)은 사각형의 형상을 가질 수 있다.

한편, 상기 흔들림 보정 장치(100)는 복수의 탄성부(300, 310, 320, 330)를 포함한다.

제1 탄성부(300) 및 제2 탄성부(310)는 고정 기판(110)과 외부 구동부(120)를 연결하고, 제3 탄성부(320) 및 제4 탄성부(330)는 외부 구동부(120)와 내부 구동부(130)를 연결한다.

상세하게는, 도 7 및 도 8과 같이 제1 탄성부 내지 제4 탄성부(300, 310, 320, 330)는 더블 폴디드 타입(double folded type)의 스프링으로 구성된다.

제1 및 제2 탄성부(300, 310)는 변형된 더블 폴디스 타입의 스프링으로서, 제3 및 제4 구동부(123, 124)의 제2 함몰부(123b, 124b)에 배치되어 있다.

제1 탄성부(300)는 제1 고정부(301) 및 제2 고정부(302)를 포함한다.

제1 고정부(301)는 제3 구동부(123)의 절곡부(126e)로부터 제2 함몰부(123b)를 향하여 절곡 연장되어 있는 제1 스프링(301a), 상기 고정 기판(110)의 제3 전극(113)의 제1 전극편(113a)으로부터 연장되어 상기 제1 스프링(301a)과 이웃하게 배치되는 제2 스프링(301b)을 포함한다.

상기 제1 고정부(301)는 제1 스프링(301a)과 제2 스프링(301b)의 끝단을 서로 연결하는 제1 연결부(301c)를 더 포함하며, 상기 제1 연결부(301c)는 제2 함몰부(123b)의 바닥변과 평행하게 형성되어 있다.

제2 고정부(302)는 제1 고정부(301)와 이웃하게 형성되어 제2 함몰부(123b)에 배치되어 있다.

제2 고정부(302)는 제3 구동부(123)의 몸체부(123a)로부터 제2 함몰부(123b)를 향하여 절곡 연장되어 있는 제3 스프링(302a), 상기 고정 기판(110)의 제3 전극(113)의 제2 전극(116)편으로부터 연장되어 상기 제3 스프링(302a)과 이웃하게 배치되는 제4 스프링(302b)을 포함한다.

상기 제2 탄성부(310)는 제3 스프링(302a)과 제4 스프링(302b)의 끝단을 서로 연결하는 제2 연결부(302c)를 더 포함하며, 상기 제2 연결부(302c)는 제2 함몰부(123b)의 바닥변과 평행하게 형성되어 있다.

제1 및 제2 연결부(301c, 302c)는 이격되어 서로 이웃하게 배치되어 있으며, 제1 및 제2 연결부(301c, 302c)를 전기적으로 절연하면서 물리적으로 고정하기 위하여 제1 및 제2 연결부(301c, 302c) 하부의 이격 공간에 절연층(200) 및 지지기판(400)이 잔재하고 있다.

이때, 상기 제1 및 제2 연결부(301c, 302c) 사이를 지지하는 지지기판(400)의 두께는 고정기판(110)의 지지기판(400) 보다 작은 두께, 바람직하게는 1/2의 두께를 가질 수 있다.

제1 탄성부(300)에 의해 고정 기판(110)과 외부 구동부(120)의 2 및 3 구동부(126, 123)가 물리적으로 연결되어 있다.

한편, 제2 탄성부(310)는 제1 고정부(311) 및 제2 고정부(312)를 포함한다.

제1 고정부(312)는 제2 구동부(126)의 절곡부(126d)로부터 제2 함몰부(124b)를 향하여 절곡 연장되어 있는 제1 스프링(312a), 상기 고정 기판(110)의 제4 전극(114)의 제1 전극편(114a)으로부터 연장되어 상기 제1 스프링(312a)과 이웃하게 배치되는 제2 스프링(312b)을 포함한다.

상기 제1 고정부(311)는 제1 스프링(311a)과 제2 스프링(311b)의 끝단을 서로 연결하는 제1 연결부(311c)를 더 포함하며, 상기 제1 연결부(311c)는 함몰부(124b)의 바닥변과 평행하게 형성되어 있다.

제2 고정부(312)는 제1 고정부(311)와 이웃하게 형성되어 함몰부(124b)에 배치되어 있다.

제2 고정부(312)는 제4 구동부(124)의 몸체부(124a)로부터 함몰부(124b)를 향하여 절곡 연장되어 있는 제3 스프링(312a), 상기 고정 기판(110)의 제4 전극(114)의 제2 전극편(114b)으로부터 연장되어 상기 제3 스프링(312a)과 이웃하게 배치되는 제4 스프링(312b)을 포함한다.

상기 제2 탄성부(310)는 제3 스프링(312a)과 제4 스프링(312b)의 끝단을 서로 연결하는 제2 연결부(312c)를 더 포함하며, 상기 제2 연결부(312c)는 함몰부(124b)의 바닥변과 평행하게 형성되어 있다.

제1 및 제2 연결부(311c, 312c)는 이격되어 서로 이웃하게 배치되어 있으며, 제1 및 제2 연결부(311c, 312c)를 전기적으로 절연하면서 물리적으로 고정하기 위하여 제1 및 제2 연결부(311c, 312c) 하부의 이격 공간에 절연층(200)이 잔재하고 있다.

제2 탄성부(310)에 의해 고정 기판(110)과 외부 구동부(120)의 제2 및 4 구동부(126, 124)가 물리적으로 연결되어 있다.

한편, 제3 탄성부(320) 및 제4 탄성부(330)는 외부 구동부(120)와 내부 고구동(130)를 고정하며 외부 구동부(120)의 제1 및 제2 구동부(121, 126)의 제1 함몰부(121b, 126b)에 각각 배치된다.

제3 탄성부(320)는 나란히 배치되는 4개의 스프링(321-324)을 포함한다.

상세하게는, 제1 구동부(121)로부터 제1 함몰부(121b)를 향하여 절곡 연장되어 있는 제1 스프링(321), 내부 구동부(130)의 연결단(134)으로부터 연장되어 상기 제1 스프링(321)과 이웃하게 배치되는 제2 및 제3 스프링(322, 323), 제1 구동부(121)의 몸체부(121a)로부터 제1 함몰부(121b)의 다른 측면을 향하여 절곡 연장되어 있는 제4 스프링(324)을 포함한다.

상기 제3 탄성부(320)는 제1 내지 제4 스프링(321-324)의 끝단을 서로 연결하는 연결부(335)를 더 포함하며, 상기 연결부(335)는 함몰부(121b)의 바닥변과 평행하게 형성되어 있다.

제4 탄성부(330)는 나란히 배치되는 4개의 스프링(331-334)을 포함한다.

상세하게는, 제2 구동부(126)로부터 제1 함몰부(126b)를 향하여 절곡 연장되어 있는 제1 스프링(331), 내부 구동부(130)의 연결단(134)으로부터 연장되어 상기 제1 스프링(331)과 이웃하게 배치되는 제2 및 제3 스프링(332, 333), 제2 구동부(126)의 몸체부(126a)로부터 제1 함몰부(126b)의 다른 측면을 향하여 절곡 연장되어 있는 제4 스프링(334)을 포함한다.

상기 제4 탄성부(330)는 제1 내지 제4 스프링(331-334)의 끝단을 서로 연결하는 연결부(335)를 더 포함하며, 상기 연결부(335)는 함몰부(126b)의 바닥변과 평행하게 형성되어 있다.

이와 같이 형성되는 4개의 탄성부(300, 310, 320, 330)는 서로 동일한 수효의 스프링을 포함하며, 흔들림 보정 장치(100)의 4개의 변의 중앙 영역에 배치되어 서로 마주하며 형성되어 장력을 분산시킬 수 있다.

또한, 서로 대칭적으로 형성되어 전체적으로 균형을 이루어 소자 신뢰성이 확보될 수 있다.

이러한 4개의 탄성부(300, 310, 320, 330)는 연결부(301c, 302c, 311c, 312c) 하부의 절연층(200)을 제외하고 전극층만으로 구성되어 각 구성 요소의 물리적 연결뿐 아니라, 전기적 연결을 수행한다.

이하에서는 도 9를 참고하여 실시예의 전기적 연결을 설명한다.

도 9는 도 1의 흔들림 보정 장치의 전압을 나타내는 상태도이다.

도 9를 참고하면, 흔들림 보정을 위한 x축 및 y축 방향의 이동을 위하여, 도 9와 같이 총 5개의 전압이 공급된다.

제1 전압(V1)은 제4 전극(114)의 제1 전극편(114a)으로 인가되어, 제2 탄성부(310)의 제1 고정부(311)를 따라 외부 구동부(120)의 제2 구동부(126)에 인가되고, 제4 탄성부(330)를 따라 내부 구동부(130) 전체에 인가된다.

이러한 제1 전압(V1)은 내부 구동부(130)와 연결되는 제3 탄성부(330)를 따라 제1 구동부(121)에까지 인가되며, 제1 탄성부(300)의 제1 고정부(301)에 의해 고정 기판(110)의 제3 전극(113)의 제1 전극편(113a)까지 인가된다.

제1 전압(V1)은 접지 전압(ground)일 수 있다.

다음으로, 제2 전압(V2)은 제4 전극(114)의 제2 전극편(114b)으로 인가되어, 제2 탄성부(310)의 제2 고정부(312)를 따라 외부 구동부(120)의 제3 구동부(123)에 인가된다.

다음으로, 제3 전압(V3)은 제3 전극(113)의 제2 전극편(113b)으로 인가되어, 제1 탄성부(300)의 제2 고정부(302)를 따라 외부 구동부(120)의 제3 구동부(123)에 인가된다.

다음으로, 제4 전압(V4)은 제2 전극(116)으로 인가되고, 제5 전압(V5)은 제1 전극(111)으로 인가된다.

이와 같이 2개의 탄성부(300, 310)를 변형된 더블 폴디드 스프링을 적용함으로써 4개의 탄성부(300, 310, 320, 330)만으로 4개의 빗살 전극을 이루는 서로 대향하는 두 개의 돌출부가 서로 다른 전극 값을 가질 수 있다.

또한, 내부 구동부(130)와 외부 구동부(120)의 이동 방향이 서로 교차하므로 상대 동작 시에 서로 간섭을 일으키지 않는다.

탄성부(300, 310, 320, 330)를 이용하여 전압 인가를 유도하면서, 탄성부(300, 310, 320, 330)의 일부를 변형하여 2개의 전압이 동시에 인가되므로 탄성부(300, 310, 320, 330)의 수효가 감소할 수 있다.

이러한 흔들림 보정 장치(100)는 x축으로 이동 시에 제1 전압(V1)이 걸린 상태에서 제4 및 제5 전압(V4, V5)을 제어함으로 x축으로 외부 구동부(120)를 이동할 수 있으며, y축으로 이동 시에 제1 전압(V1)이 걸린 상태에서 제2 및 제3 전압(V2, V3)을 제어함으로써 y축으로 내부 구동부(130)를 이동할 수 있다.

이와 같이 흔들림 보정 장치(100)의 내부 구동부(130) 내의 개구부에 적어도 하나의 렌즈가 배치되어 상기 렌즈의 위치를 전압에 의해 보정함으로써 흔들림이 보정될 수 있다.

이하에서는 도 10 내지 도 13을 참고하여 실시예의 흔들림 보정 장치를 제조하는 방법을 설명한다.

먼저, 도 10과 같이 베이스 기판을 준비한다.

상기 베이스 기판은 지지 기판(400) 위에 절연층(200) 및 전극층(150)이 형성되어 있는 구조를 가진다.

상기 절연층(200)은 상기 지지 기판(400)이 실리콘 기판일 경우, 실리콘 산화막 또는 실리콘질화막으로 형성될 수 있으며, 1.5μm 내외의 두께를 가질 수 있다.

상기 전극층(150)은 실리콘, 구리, 알루미늄, 몰리브덴, 텅스텐 등의 전도성 물질일 수 있으며, 바람직하게는 지지 기판(400)이 실리콘 기판인 경우, 실리콘으로 형성될 수 있다. 상기 전극층(150)은 40 내지 60 μm의 두께를 가지며, 바람직하게는 50 μm 내외의 두께를 가질 수 있다.

즉, 내부에 실리콘 절연층(200)을 포함하는 실리콘 기판일 수 있으며, 상기 지지 기판(400) 및 전극층(150)의 상하부에 각각 외부 절연층(141, 151)이 형성되어 있다.

상기 외부 절연층(141, 151)은 1.5μm 내외의 두께를 가지는 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막일 수 있다.

다음으로, 도 11과 같이 상부의 전극층(150)을 디자인에 따라 식각하여 각각의 구동부 및 전극을 형성한다.

상세하게는 상기 외부 절연층(151) 위에 포토 마스크(152)를 형성한 뒤, 외부 절연층(200)을 식각하고, 상기 포토 마스크(152)에 의해 노출된 전극층을 제거함으로써 패턴을 형성할 수 있다.

이때, 식각 공정으로 반응성 이온 식각(RIE)을 진행할 수 있다.

다음으로, 도 12와 같이 하부의 외부 절연층(141) 위에 포토 마스크(142)를 형성한 뒤, 패터닝하여 지지 기판(400)을 제거한다.

상세하게는, 지지 기판(400) 위의 외부 절연층(141) 위에 포토 마스크(142)를 형성한 뒤, 외부 절연층(200)을 패터닝하고, 노출된 지지 기판(400)을 제거함으로써 패턴을 형성할 수 있다.

이때, 지지 기판(400) 중 탄성부(300, 310, 320, 330)의 제1 및 제2 연결부 사이 및 4개의 구동부(121, 126, 123, 124) 사이의 하부에는 고정기판(110)의 지지기판(400)보다 작은 두께를 갖도록 선택적으로 식각한다.이러한 선택적 식각은 두번 식각하거나, 노광을 단계적으로 진행하는 마스크를 이용하여 진행할 수 있다.

이때, 하부의 공정 전에 상부 패턴을 보호하기 위하여 상부에 보호층(도시하지 않음)을 형성할 수 있다.

다음으로, 상부의 보호층을 제거한 뒤, 도 13과 같이 디자인에 따라 내부의 실리콘 절연층(200)을 식각한다.

이때, 내부의 실리콘 절연층(200)의 식각은 가스 플라즈마 에칭을 수행할 수 있으며, 산화 불소 가스를 사용할 수 있다.

따라서, 일부의 전극층 패턴 하부에만 선택적으로 절연층(200)이 잔류하게 된다. 예를 들어, 제1 및 제2 탄성부(300, 310)의 연결부(301c, 302c, 311c, 312c) 하부에 이격되는 두 개의 연결부(301c, 302c, 311c, 312c)를 고정하기 위하여 절연층(200)이 잔재하고, 외부 구동부(120)의 복수의 구동부를 서로 절연하면서 물리적으로 고정하기 위하여 하부에 절연층(200)이 잔재할 수 있다.

이와 같이 형성되는 멤스 소자인 흔들림 보정 장치는 구동부가 부유 상태를 유지하면서 일부 스프링에 의해 고정됨으로써 전압 인가에 의해 운동할 수 있다.

이하에서는 도 14 및 도 15를 참고하여 상기 흔들림 보정 장치가 적용되는 카메라 모듈을 설명한다.

도 14는 도 1의 흔들림 보정 장치가 적용된 카메라 모듈의 단면도이고, 도 15는 도 14의 렌즈부의 분해 사시도이다.

도 14에서 상기 촬상 렌즈의 렌즈 형태는 임의로 도시하였다.

카메라 모듈은 제1 렌즈부(11), 제2 렌즈부(31) 및 액추에이터(104)가 배치된 하우징(80), 홀더(90) 및 인쇄회로기판(70)을 포함한다.

하우징(80)은 상기 제1렌즈부(11) 및 제2렌즈부(31)를 포함하는 액추에이터(104)를 포함한다.

상기 제1 렌즈부(11)는 제1 렌즈(10) 및 제2 렌즈(20)를 포함하고, 상기 제2 렌즈부(31)는 제3 렌즈(30) 및 제4 렌즈(40)를 포함한다.

그리고, 상기 제1렌즈부(11)는 제1경통(101)에 장착되고, 상기 제1렌즈부(11) 및 제2렌즈부(31)는 인쇄회로기판(70)에 배치된 수광 소자(60)로 광을 집광시킨다.

그리고, 상기 제1경통(101) 및 제2 렌즈부(31)은 액추에이터(104)를 포함하는 커버에 배치될 수 있다.

상기 제2렌즈부(31)를 지지하는 흔들림 보정 장치(100)는 상기 액추에이터(104)에 포함되거나 별도로 형성될 수 있다.

상기 액추에이터(104)는 상기 렌즈들의 위치를 조정하여 초점을 조절하여, 자동 초점 및 광학줌 기능이 구현될 수 있도록 한다.

상기 액추에이터(104)는 상기 제1렌즈부(11)를 상하로 이동시켜 초점을 조절할 수 있으며, 음성코일모터(VCM: Voice Coil Motor) 타입의 액추에이터를 이용할 수 있다.

한편, 상기 흔들림 보정 장치(100)의 각 전극에 인가되는 전압을 제어하여 흔들림을 보정할 수 있다.

도 15에서는 흔들림 보정 장치(100)가 제2 렌즈부(31)를 동시에 이동하도록 형성됨으로 기재하였으나, 이와 달리 하나의 렌즈만을 이동하여 흔들림으로 보정할 수 있다.

어느 하나의 렌즈만을 이동시켜 포커싱을 하는 경우, 이동시키고자 하는 렌즈에만 상기 흔들림 보정 장치(100)가 형성될 수 있다.

또한, 상기 액추에이터(104)가 상기 제2 렌즈부(31)에만 장착되어, 렌즈 어셈블리 전체를 구동하는 것과 비교하여 소비전력을 줄일 수 있다.

이어서, 상기 하우징(80)의 하부에 배치된 홀더(90)는 상기 제2렌즈부(31)의 하부에 위치하며 필터(50)를 포함한다.

상기 필터(50)는 적외선 차단 필터로 이루어질 수 있다.

상기 필터(50)는 외부 빛으로부터 방출되는 복사열이 상기 수광 소자(60)에 전달되지 않도록 차단시키는 기능을 한다.

즉, 상기 필터(50)는 가시광선은 투과시키고, 적외선은 반사시켜 외부로 유출되도록하는 구조를 가진다.

상기 필터(50)를 상기 홀더(90)에 배치하였지만, 이에 한정되지 않고, 상기 렌즈들 사이에도 선택적으로 위치하거나, 상기 제1렌즈부(11) 또는 제2렌즈부(31)의 렌즈에 적외선 차단 물질이 코팅(coating)될 수 있다.

그리고, 상(像)이 맺히는 상기 수광 소자(60)는 피사체 영상에 대응하는 광신호를 전기적인 신호로 변환하는 이미지 센서로 이루어질 수 있으며, 상기 이미지 센서는 CCD(Charge Coupled Device) 또는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 센서로 이루어질 수 있다.

이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

흔들림 보정 장치 100
고정 기판 110
외부 구동부 120
내부 구동부 130
탄성부 300-330

Claims

사각 형상을 가지는 고정기판,
상기 고정기판에 대하여 제1 방향으로 상대 이동되는 외부 구동부;
상기 외부 구동부에 대하여 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 상대 이동되는 내부 구동부; 및
상기 고정기판과 상기 외부 구동부를 물리적 전기적으로 연결하고, 상기 외부 구동부 및 상기 내부 구동부를 물리적 전기적으로 연결하는 탄성부를 포함하고,
상기 탄성부는 서로 절연되어 있는 복수의 스프링을 통하여 서로 다른 전압을 상기 외부 구동부에 전달하고,
상기 고정기판은 각 변을 따라 연장되며 전기적으로 서로 분리된 4개의 전극을 포함하고,
상기 4개의 전극은, 상기 제2 방향으로 연장되는 제1 전극; 상기 제1 전극과 평행하게 연장되는 제2 전극; 상기 제1 방향으로 연장되는 제3 전극; 및 상기 제3 전극과 평행하게 연장되는 제4 전극;을 포함하고,
상기 외부 구동부는, 상기 제1 내지 제4 전극 내부에 배치되며, 상기 제1 내지 제4 전극과 대향하는 제1 내지 제4 구동부를 포함하고,
상기 제3 및 제4 전극 각각은, 전기적으로 절연되는 두 개의 소전극을 포함하고,
상기 제3 전극은 상기 제2 구동부와 연결되는 제3 전극의 제1 소전극; 및 상기 제3 구동부와 연결되는 제3 전극의 제2 소전극을 포함하고,
상기 제4 전극은 상기 제2 구동부와 연결되는 제4 전극의 제1 소전극; 및 상기 제4 구동부와 연결되는 제4 전극의 제2 소전극을 포함하고,
상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부는 상기 제2 방향의 가상의 직선을 기준으로 비대칭인 형상을 가지고,
상기 제1 구동부의 상기 제1 방향 단변의 길이는, 상기 제2 구동부의 상기 제1 방향 단변의 길이보다 짧고,
상기 제1 및 제2 구동부의 상기 제2 방향 단변의 길이는 동일하고,
상기 제3 구동부 및 상기 제4 구동부는 상기 제1 방향의 가상의 직선을 기준으로 대칭인 형상을 가지는 멤스 소자.
제1항에 있어서,
상기 탄성부는
상기 절연되어 있는 복수의 스프링을 물리적으로 연결하는 절연부를 더 포함하는 멤스 소자.
제2항에 있어서,
상기 탄성부는
더블 폴디드 스프링을 포함하는 멤스 소자.
제3항에 있어서,
상기 절연부는
섬형의 절연물질로 형성되어 있는 멤스 소자.
제4항에 있어서,
상기 멤스 소자는 사각형의 형상을 가지는 멤스 소자.
제1항에 있어서,
상기 내부 구동부는, 상기 탄성부와 상기 제2 방향으로 마주하는 변으로부터 상기 제2 방향으로 돌출되는 연결단을 포함하고,
상기 연결단은 상기 변의 중앙 영역에 배치되는 멤스 소자.
삭제
제3항에 있어서,
상기 탄성부는,
상기 제3 전극과 상기 제2 구동부, 상기 제3 전극과 상기 제3 구동부를 연결하는 제1 탄성부;
상기 제4 전극과 상기 제2 구동부, 상기 제4 전극과 상기 제4 구동부를 연결하는 제2 탄성부;
상기 제1 구동부와 상기 내부 구동부를 연결하는 제3 탄성부; 및
상기 제2 구동부와 상기 내부 구동부를 연결하는 제4 탄성부를 포함하고,
상기 제1 탄성부는,
상기 제3 전극의 제1 소전극과 상기 제2 구동부를 연결하는 상기 제1 탄성부의 제1 고정부; 및 상기 제3 전극의 제2 소전극과 상기 제3 구동부를 연결하는 상기 제1 탄성부의 제2 고정부;를 포함하는 멤스 소자.
제8항에 있어서,
상기 제2 탄성부는,
상기 제4 전극의 제1 소전극과 상기 제2 구동부를 연결하는 상기 제2 탄성부의 제1 고정부; 및 상기 제4 전극의 제2 소전극과 상기 제4 구동부를 연결하는 상기 제2 탄성부의 제2 고정부;를 포함하는 멤스 소자.
제9항에 있어서,
상기 제1 탄성부의 제1 고정부는,
상기 상기 제3 전극의 제1 소전극으로부터 연장되는 제1 스프링;
상기 제2 구동부로부터 연장되는 제2 스프링; 및
상기 제1 및 제2 스프링의 끝단을 서로 연결하는 상기 제1 고정부의 제1 연결부를 포함하고,
상기 제1 탄성부의 제2 고정부는,
상기 상기 제3 전극의 제2 소전극으로부터 연장되는 제3 스프링;
상기 제3 구동부로부터 연장되는 제4 스프링; 및
상기 제3 및 제4 스프링의 끝단을 서로 연결하는 상기 제1 고정부의 제2 연결부를 포함하고,
상기 제1 고정부의 제1 연결부 및 제2 연결부는 상기 절연부를 통하여 물리적으로 연결되어 있는 멤스 소자.
제10항에 있어서,
상기 제1 전극과 상기 제1 구동부 사이, 상기 제2 전극과 상기 제2 구동부 사이에 빗살 전극이 각각 형성되는 멤스 소자.
제11항에 있어서,
상기 외부 구동부 및 상기 내부 구동부 사이를 고정하는 제1 및 제2 탄성부를 포함하는 멤스 소자.
제12항에 있어서,
상기 내부 구동부는 상기 제1 내지 제4 구동부 내에 배치되는 멤스 소자.
제13항에 있어서,
상기 제1 및 제2 탄성부 각각은, 상기 외부 구동부와 상기 내부 구동부의 y축 변에 형성되는 멤스 소자.
제14항에 있어서,
상기 제3 구동부의 상기 제1 방향 변과 상기 제3 구동부의 상기 제1 방향 변과 마주하는 상기 내부 구동부의 상기 제1 방향 변에는 빗살 전극이 형성되고,
상기 제4 구동부의 상기 제1 방향 변과 상기 상기 제4 구동부의 상기 제1 방향 변과 마주하는 상기 내부 구동부의 상기 제1 방향 변에는 빗살 전극이 형성되는 멤스 소자.
사각 형상을 가지는 고정기판,
상기 고정기판에 대하여 제1 방향으로 상대 이동되는 외부 구동부;
상기 외부 구동부에 대하여 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 상대 이동되는 내부 구동부;
상기 내부 구동부 내에 배치되는 광학 소자;
상기 고정기판과 상기 외부 구동부를 물리적 전기적으로 연결하고, 상기 외부 구동부 및 상기 내부 구동부를 물리적 전기적으로 연결하는 탄성부를 포함하고,
상기 탄성부는 서로 절연되어 있는 복수의 스프링을 통하여 서로 다른 전압을 상기 상기 외부 구동부에 전달하고,
상기 고정기판은 각 변을 따라 연장되며 전기적으로 서로 분리된 4개의 전극을 포함하고,
상기 4개의 전극은, 상기 제2 방향으로 연장되는 제1 전극; 상기 제1 전극과 평행하게 연장되는 제2 전극; 상기 제1 방향으로 연장되는 제3 전극; 및 상기 제3 전극과 평행하게 연장되는 제4 전극;을 포함하고,
상기 외부 구동부는, 상기 제1 내지 제4 전극 내부에 배치되며, 상기 제1 내지 제4 전극과 대향하는 제1 내지 제4 구동부를 포함하고,
상기 제3 및 제4 전극 각각은, 전기적으로 절연되는 두 개의 소전극을 포함하고,
상기 제3 전극은 상기 제2 구동부와 연결되는 제3 전극의 제1 소전극; 및 상기 제3 구동부와 연결되는 제3 전극의 제2 소전극을 포함하고,
상기 제4 전극은 상기 제2 구동부와 연결되는 제4 전극의 제1 소전극; 및 상기 제4 구동부와 연결되는 제4 전극의 제2 소전극을 포함하고,
상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부는 상기 제2 방향의 가상의 직선을 기준으로 비대칭인 형상을 가지고,
상기 제1 구동부의 상기 제1 방향 단변의 길이는, 상기 제2 구동부의 상기 제1 방향 단변의 길이보다 짧고,
상기 제1 및 제2 구동부의 상기 제2 방향 단변의 길이는 동일하고,
상기 제3 구동부 및 상기 제4 구동부는 상기 제1 방향의 가상의 직선을 기준으로 대칭인 형상을 가지는 흔들림 보정 장치.
제16항에 있어서,
상기 광학 소자는
이미지 센서를 포함하는 흔들림 보정 장치.
제17항에 있어서,
상기 광학 소자는
상기 이미지 센서에 대향하는 렌즈를 더 포함하는 흔들림 보정 장치.
제16항에 있어서,
상기 탄성부는 더블 폴디드 스프링을 포함하는 흔들림 보정 장치.
제19항에 있어서,
상기 고정기판은
지지기판;
지지기판 상에 절연층; 및
상기 절연층 상에 각 변을 따라 연장되는 상기 4개의 전극을 포함하는 흔들림 보정 장치.
제20항에 있어서,
상기 탄성부는 상기 절연되어 있는 복수의 스프링을 물리적으로 연결하는 절연부를 더 포함하며,
상기 절연부는 상기 절연층으로부터 패터닝되는 섬형 절연재인 흔들림 보정 장치.
제21항에 있어서,
상기 외부 구동부 및 상기 내부 구동부 사이를 고정하는 제1 및 제2 탄성부를 포함하는 흔들림 보정 장치.
제16항에 있어서,
상기 제1 방향과 상기 제2 방향은 서로 수직인 흔들림 보정 장치.
제16항에 있어서,
상기 제1 전극과 상기 제1 구동부 사이, 상기 제2 전극과 상기 제2 구동부 사이에 빗살 전극이 각각 형성되는 흔들림 보정 장치.
제16항에 있어서,
상기 전극, 상기 외부 구동부 및 상기 내부 구동부는 실리콘으로 형성되어 있는 흔들림 보정 장치.