JP4136410B2 - ピンユニット及び基板配列機構 - Google Patents
ピンユニット及び基板配列機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4136410B2 JP4136410B2 JP2002079585A JP2002079585A JP4136410B2 JP 4136410 B2 JP4136410 B2 JP 4136410B2 JP 2002079585 A JP2002079585 A JP 2002079585A JP 2002079585 A JP2002079585 A JP 2002079585A JP 4136410 B2 JP4136410 B2 JP 4136410B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pin unit
- holder
- substrate
- rotating component
- lcd substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイに用いられる各種基板をＬＣＤ検査装置のホルダ上に載置してその表面欠陥を検査するときに、これら基板をホルダ上の基準位置に位置決めするためのピンユニット及び基板配列機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えばＬＣＤ検査装置では、ホルダ上にＬＣＤ基板を載置し、ＬＣＤ基板の表面に照明光を照射してその散乱光を作業員の目視により観察してＬＣＤ基板の表面の欠陥、むらなどを検出するマクロ検査を行ったり、ホルダ上のＬＣＤ基板の表面を光学顕微鏡を用いてその拡大画像を撮像し、その画像データからＬＣＤ基板の表面の欠陥などを検出するミクロ検査が行われている。
【０００３】
このような検査を行うときＬＣＤ基板は、ホルダ上の基準位置に位置決めされる。図８はかかるＬＣＤ検査装置に用いられる基板配列機構の概略構成図である。ＬＣＤ検査装置のホルダには、ＬＣＤ基板１の隣接する２つの基準辺に対して合計３つの基準ピン２−１〜２−３が設けられている。このうち２つの基準ピン２−１、２−２はＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ａに配置され、基準ピン２−３はＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ｂに配置されている。
【０００４】
ＬＣＤ基板１をホルダ上の基準位置に位置決めするときは、ＬＣＤ基板１を各基準ピン２−１〜２−３の対辺側からそれぞれ押付けピン４−１、４−２により押付力ｆｘ、ｆｙで押し付け、ＬＣＤ基板１を各基準ピン２−１〜２−３に沿って配列している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ＬＣＤ基板１に対して押付けピン４−１、４−２を図示矢印方向に移動させて押付力ｆｘ、ｆｙを加えて各基準ピン２−１〜２−３に沿って配列させると、各基準ピン２−１〜２−３とＬＣＤ基板１の各接触点３−１〜３−３及び５−１〜５−２に応力が集中し、これら接触点３−１〜３−３及び５−１〜５−２に当たるＬＣＤ基板１の各部分が破壊されるおそれがある。特に大きなサイズのＬＣＤ基板１では、重量が大きくなり、これに伴ってＬＣＤ基板１をホルダ上の基準位置に位置決めするときの押付力ｆｘ、ｆｙも大きくなる。このため、位置決めの初期に大きな応力が各接触点３−１〜３−３及び５−１〜５−２の１つに集中し、ＬＣＤ基板１が破壊されるおそれがある。また、ＬＣＤ基板１に押付力ｆｘ、ｆｙを同時に加えると、このときの分圧は４０°の方向に加わるために基準ピン２−１と２−３の２つで位置決めされることがある。
【０００６】
そこで本発明は、ＬＣＤ基板の基準ピン又は押付けピンとの接触点に加わる応力の集中を低減し、ＬＣＤ位置決め精度を向上させるピンユニット及び基板配列機構を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、両端側が突出するコ字形状に形成され、コ字形状の中央部に設けられた軸を中心に回転自在に設けられた第１の回転部品と、第１の回転部品における突出された両端部のうち少なくとも一方の端部に回転自在に設けられた細長い板状の第２の回転部品と、第１の回転部品の他方の端部及び第２の回転部品の両端部、又は第１の回転部品の両端部に設けられた細長い板状の各第２の回転部品の各端部に設けられ、矩形状に形成された基板の一辺に沿って整列する複数のピンとを具備したことを特徴とするピンユニットである。
【０００８】
本発明は、矩形状に形成された基板をホルダ上の基準位置に位置決めする基板配列機構において、両端側が突出するコ字形状に形成され、コ字形状の中央部に設けられた軸を中心に回転自在に設けられた第１の回転部品と、第１の回転部品における突出された両端部のうち少なくとも一方の端部に回転自在に設けられた細長い板状の第２の回転部品と、第１の回転部品の他方の端部及び第２の回転部品の両端部、又は第１の回転部品の両端部に設けられた細長い板状の各第２の回転部品の各端部に設けられ、矩形状に形成された基板の一辺に沿って整列する複数のピンとから成るピンユニットを有し、このピンユニットを、矩形状の基板をホルダ上の基準位置に位置決めする基準ピンユニットとして、又矩形状の基板を基準位置に押付ける押付けピンユニットとして、少なくとも矩形状の基板を保持するホルダ上の一辺に設けたことを特徴とする基板配列機構である。
【０００９】
本発明は、矩形状に形成された基板をホルダ上の基準位置に位置決めする基板配列機構において、両端側が突出するコ字形状に形成され、コ字形状の中央部に設けられた軸を中心に回転自在に設けられた第１の回転部品と、第１の回転部品における突出された両端部のうち少なくとも一方の端部に回転自在に設けられた細長い板状の第２の回転部品と、第１の回転部品の他方の端部及び第２の回転部品の両端部、又は第１の回転部品の両端部に設けられた細長い板状の各第２の回転部品の各端部に設けられ、矩形状に形成された基板の一辺に沿って整列する複数のピンとから成る第１のピンユニットと、細長い板状に形成され、細長い板状の中央部に設けられた軸を中心に回転自在に設けられた第３の回転部材と、第３の回転部材の両端部に設けられ、矩形状の基板の一辺に沿って整列する各ピンとから成る第２のピンユニットとを有し、第１のピンユニットを、矩形状の基板の基準辺をホルダの基準位置に位置決めする基準ピンユニットとしてホルダに設け、第２のピンユニットを、矩形状の基板の基準辺をホルダの基準位置に位置決めする基準ピンユニットとしてホルダに設けると共に、基準ピンユニットに矩形状の基板を押付ける押付けピンユニットとしてホルダに設けたことを特徴とする基板配列機構である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１１】
図１(a)(b)はピンユニットの基本構成図であって、同図(a)は上方から見た構成図、同図(b)は側面図である。このピンユニット１０は、ＬＣＤ検査装置のＬＣＤ基板１を保持するホルダＢ上に設けられ、このホルダＢ上の基準位置にＬＣＤ基板１を位置決めする基準ピンユニットと、ＬＣＤ基板１を基準ピンユニットに押し付ける押付けピンユニットとして用いられるものである。
【００１２】
軸１１は、ＬＣＤ検査装置のホルダＢ上に設けられている。この軸１１の中間部分に形成された細径の軸受け部分１３には、回転部品１２が回転自在に設けられている。
【００１３】
この回転部品１２の両端側に形成した軸受孔には、それぞれ回転軸１４、１５が回転自在に設けられ、これら回転軸１４、１５の先端にそれぞれピン１６、１７に設けられている。これら回転軸１４、１５は、例えば滑り軸受け、転がり軸受けなどを介して軸受孔に取付けもよい。このピン１６、１７は必ず回転する必要はなく、耐磨耗性で低摩擦の材質などを使用することにより、基準ピン１６、１７を固定しても良い。
【００１４】
このようなピンユニット１０を基準ピンユニットと押付けピンユニットとして用いれば、２個のピン１６、１７が軸１１を中心に揺動しＬＣＤ基板１の一辺に沿って整列するためＬＣＤ基板１のピン１６、１７との接触点に加わる応力を均等に分散し集中応力を低減でき、ＬＣＤ基板１の位置決め精度を向上させることができる。
【００１５】
次に、このピンユニット１０を採用した基板配列機構について図面を参照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００１６】
図２は基板配列機構の構成図である。この基板配列機構は、上記第１の実施の形態のピンユニット１０を基準ピンユニットと押付けピンユニットに適用した構成である。ＬＣＤ検査装置のホルダＢには、ＬＣＤ基板１の２つの基準辺１ａ、１ｂのうち第１の基準辺１ａ側のホルダ枠に対して２つの基準ピン２−１、２−２が固定して設けられ、第２の基準辺１ｂ側のホルダ枠に対してピンユニット１０を適用した基準ピンユニットが設けられている。この基準ピンユニットを１０Ａで表示する。この基準ピンユニット１０Ａの軸１１は第２の基準辺１６側のホルダ枠に固定して設けられる。また、ＬＣＤ基板１の２つの基準辺１ａ，１ｂと対向する押付け側のホルダ枠に対して基準ピンユニット１０を適用した押付けピンユニットが押付力ｆｘ、ｆｘ方向に移動可能に設けられている。この押付けピンユニットを１０Ｂ１、１０Ｂ２で表示する。
【００１７】
ホルダＢ上にＬＣＤ基板１を載置し、このＬＣＤ基板１の表面に照明光を照射してその散乱光を作業員の目視により観察してＬＣＤ基板１の表面の欠陥、むらなどを検出するマクロ検査を行ったり、ホルダＢ上のＬＣＤ基板１の表面を光学顕微鏡を用いてその拡大画像を撮像し、その画像データからＬＣＤ基板１の表面の欠陥などを検出するミクロ検査を行うとき、ＬＣＤ基板１は、ホルダＢ上の基準位置に位置決めされる。
【００１８】
このような構成であれば、このＬＣＤ基板１をホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、ＬＣＤ基板１を基準ピンユニット１０Ａの対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共に、ＬＣＤ基板１を各基準ピン２−１、２−２の対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙで押し付ける。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対辺側における基準用のピン１６と１７との間の位置に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側における各基準ピン２−１と２−２との間の位置に加えるのが望ましい。
【００１９】
この基準配列機構においては、ＬＣＤ検査装置のホルダＢ上に、ＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ａに対して２つの基準ピン２−１、２−２を設けると共に、第２の基準辺１ｂに対して基準ピンユニット１０Ａを設け、かつこれら基準辺１ａ、１ｂ対向する押圧辺１ｃ、１ｄに対して押付けピンユニット１０Ｂ１、１０Ｂ２を移動可能に設けたので、第２の基準辺１ｂと押圧辺１ｃ、１ｄにおいてＬＣＤ基板１に対する接触点１０−１、１０−２を２点にすることができ、従来の１つの接触点に集中する応力を２つの接触点１０−１、１０−２で半分に低減することができ、ＬＣＤ基板１に対する破壊を防止することができる。また、基準ピンユニット１０Ａ及び押付けピンユニット１０Ｂの首振り作用により、一対のピン１６、１７がＬＣＤ基板１の一辺に沿って整列しＬＣＤ基板１の位置決め精度高く行なうことができる。
【００２０】
又、大きなサイズのＬＣＤ基板１に対しては、その重量が大きくなり、これに伴ってＬＣＤ基板１をホルダ上の基準位置に位置決めするときの押付力ｆｘ、ｆｙが大きくなっても、応力を２つの接触点１０−１、１０−２に均等に分散し半減できるため、ＬＣＤ基板１の破壊を防止することができる。
【００２１】
本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図２と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００２２】
図３は基板配列機構の構成図で、ＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ａに対して基準ピン２−１、２−２に代えて基準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３を設けたものである。
【００２３】
このような構成であれば、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、ＬＣＤ基板１を基準ピンユニット１０Ａ１の対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共に、ＬＣＤ基板１を２つの基準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３の対辺側から押付ピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙに押し付ける。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対辺側における基準用のピン１６と１７との間の位置に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側における２つの基準ピンユニット１０Ａ２と１０Ａ３との間の位置に加えるのが望ましい。
【００２４】
このように上記第２の実施の形態においては、ＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ａに対して２つの基準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３を設け、第２の基準辺１ｂに対して基準ピンユニット１０Ａ１を設けたので、上記第１の実施の形態よりも、第１の基準辺１ａにおいてＬＣＤ基板１の各基準ピン１６、１７との接触点１０−３〜１０−６を４点に増やすことができ、ＬＣＤ基板１に加わる応力を更に４つの接触点１０−３〜１０−６に均等に分散して低減することができるため、ＬＣＤ基板１が大型化しても十分に破壊の問題に対応できる。
【００２５】
次に、本発明の第３の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図３と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００２６】
図４は基板配列機構の構成図である。ＬＣＤ基板１の第２の基準辺１ｂには、図３に示す基準ピンユニットＡ１に代えて基準ピンユニット２０が設けられている。この基準ピンユニット２０には、ホルダ枠上に固定して設けらけた軸２３にコ字形状の回転部品２１が回転自在に設けられている。この回転部品２１の一端側には、図１と同様の構成のピンユニット１０が回転自在に設けられている。又、回転部品２１の他端側には、ピン２２が回転自在に設けられている。
【００２７】
このような構成であれば、ＬＣＤ基板１を保持するホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、ＬＣＤ基板１を基準ピンユニット２０の対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共に、２つの基準ピンユニット１０、１０の対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙで押し付ける。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対辺側における各基準ピン１６と２２との間の位置に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側における２つの基準ピンユニット１０と１０との間の位置に加えるのが望ましい。
【００２８】
このように上記第３の実施の形態においては、ＬＣＤ基板１の第２の基準辺１ｂに基準ピンユニット２０を設け、第１の基準辺１ａに対して２つの基準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３を設けたので、上記第２の実施の形態よりも、第２の基準辺１ｂにおいてピン２２を１つに増やすことができ、応力ピン１６、１７，２２の３つの接触点１０−１、１０−２、１０−７で均等に分散しＬＣＤ基板１の第２の基準辺１ｂに加わる応力をさらに低減することができ、ＬＣＤ基板１が大型化しても十分に破壊の問題に対応できる。
【００２９】
次に、本発明の第４の実施の形態について図面を参照して説明する。この第４の実施の形態は、図４に示す第３の実施の形態に適用された基準ピンユニット２０の変形例を示すもので、他の構成は同一であることから図を省略する。
【００３０】
図５は基準ピンユニットの構成図である。この基準ピンユニット２４には、ホルダ枠上に固定して設けられた軸２３にコ字形状の回転部品２１が回転自在に設けられている。この回転部品２１の両端には図１と同様の構成のピンユニット１０が回転自在に設けられている。
【００３１】
このような構成であれば、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、ＬＣＤ基板１を基準ピンユニット２４の対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共に、２つの基準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３の対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙで押し付ける。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対辺側における最両端にある各ピン１６と１７との間の位置に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側における２つの基準ピンユニット１０Ａ２と１０Ａ３との間の位置に加えるのが望ましい。
【００３２】
このように上記第４の実施の形態においては、コ字形状の回転部品２１の両端にそれぞれ図１と同様のピンユニット１０、１０を設けたので、上記第３の実施の形態よりも、第２の基準辺１ｂにおいてピンの数を３点から４点に増やすことができ、応力ピン１６、１７、１６、１７の４つの接触点１０−１、１０−２、１０−８、１０−９で均等に分散しＬＣＤ基板１の第２の基準辺１ｂに加わる応力をさらに低減することができる。
【００３３】
次に、本発明の第５の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図３と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００３４】
図６は基板配列機構の構成図である。３つの基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３には、それぞれ移動手段２５、２５、２５が設けられている。これら移動手段２５、２５、２５は、それぞれ基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３を基準位置と退避位置とに移動させるものである。具体的にこれら移動手段２５、２５、２５は、それぞれに駆動を発生するアクチュエータとしてシリンダ２６、２６、２６が設けられている。このシリンダ２６と基準ピンユニット１０の軸１１との間は直線運動を回転運動に変換するクランク２７により連結されている。このクランプ２７は軸２７ａを中心に回動する。本図ではシリンダ２６を用いているが、ソレノイドや直動モータ等の他の移動手段を用いても良い。
【００３５】
これら移動手段２５、２５、２５は、制御回路２８からの制御信号を受けて同時又は単独により動作して各基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３を図７(b)に示す基準位置と図７(a)に示す退避位置とに移動させる。
【００３６】
図７(a)(b)は移動手段２５の動作を示す図であって、同図(a)は退避位置に移動した状態（基準ＯＦＦ）、同図(b)は正規位置に移動した状態（基準ＯＮ）を示す。すなわち、移動手段２５は、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上に載せるとき、及びＬＣＤ基板１に対するマクロ検査、ミクロ検査が終了してＬＣＤ基板１をホルダＢ上から取り外すときに退避位置に移動し、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上に位置決めするときに基準位置に移動する。
【００３７】
このような構成であれば、ＬＣＤ基板１を搬送ロボットによりホルダＢ上に載せるとき、移動手段２５を、図７(a)に示すように退避位置に移動させることにより、ＬＣＤ基板１が各基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３のピン１６、１７に誤って接触する問題を解消することができるとともに、ＬＣＤ基板１を容易にホルダＢ上に載せられる。
【００３８】
また、マクロ検査、ミクロ検査を終了したＬＣＤ基板１を搬送ロボットによりホルダＢ上から取り外すときに、各基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３を退避させることにより、搬送ロボットによりＬＣＤ基板１を持ち上げるときにピン１６、１７に擦れることなく安全にＬＣＤ基板１を搬出することができる。
【００３９】
次に、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上に位置決めする際には、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上に載置した後で基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３を図７(b)に示すように正規位置に移動する。この後、ＬＣＤ基板１を基準ピンユニット１０Ａ１の対辺側から押付ピンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共に、第１の基準辺１ａにある２つの基準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３の対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙで押し付ける。これにより、ＬＣＤ基板１は、ホルダＢ上の基準位置に位置決めされる。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対辺側における各基準ピン１６と１７との間の位置に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側における２つの基準ピンユニット１０と１０との間の位置に加えるのが望ましい。
【００４０】
このように上記第５の実施の形態においては、３つの基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３にそれぞれ正規位置と退避位置とに移動させる各移動手段２５、２５、２５を設けたので、上記第３の実施の形態と同様な効果を奏することができることは言うまでもなく、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上に載せるときとホルダＢ上から取り外すときに基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３を退避させることで各基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３ の各ピン１６、１７とＬＣＤ基板１とが接触することなく搬送ロボットにより搬出することができるため、このときにＬＣＤ基板１に傷などを付けることはない。
【００４１】
なお、本発明は、上記第１乃至第５の実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【００４２】
さらに、上記第１乃至第５の実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、第１乃至第５の実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【００４３】
例えば、上記第５の実施の形態では、基準ピンユニット１０に移動手段２５を設けているが、これに限らず、押付けユニット１０Ｂ１、１０Ｂ２に移動手段２５を設けても良く、また上記第３及び第４の実施の形態（図４、図５）に示す各基準ピンユニット２０、２４の軸２３にそれぞれ移動手段２５を設けてもよい。
【００４４】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、矩形状に形成されたＬＣＤ基板の基準ピン又は押付けピンとの各接触点に加わる応力を均等に分散して低減し、ＬＣＤ基板の位置決め精度を向上させることができるピンユニット及び基板配列機構を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるピンユニットの基本構成図。
【図２】本発明の第１の実施の形態におけるピンユニットを採用した基板配列機構の構成図。
【図３】本発明の第２の実施の形態における基板配列機構の構成図。
【図４】本発明の第３の実施の形態における基板配列機構の構成図。
【図５】本発明の第４の実施の形態における基板配列機構の構成図。
【図６】本発明の第５の実施の形態における基板配列機構の構成図。
【図７】本発明の第５の実施の形態における基板配列機構の移動手段の動作を示す図。
【図８】従来の基板配列機構の構成図。
【符号の説明】
Ｂ：ホルダ
１：ＬＣＤ基板
１０，１０Ａ，１０Ａ１，１０Ａ２，１０Ａ３，１０Ｂ１，１０Ｂ２：ピンユニット
１１：軸
１２：回転部品
１３：軸受け部分
１４，１５：回転軸
１６，１７：ピン
２０：基準ピンユニット
２１：回転部品
２２：ピン
２３：軸
２４：基準ピンユニット
２５：移動手段
２６：シリンダ
２７：クランク
２７ａ：軸
２８：制御回路
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイに用いられる各種基板をＬＣＤ検査装置のホルダ上に載置してその表面欠陥を検査するときに、これら基板をホルダ上の基準位置に位置決めするためのピンユニット及び基板配列機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えばＬＣＤ検査装置では、ホルダ上にＬＣＤ基板を載置し、ＬＣＤ基板の表面に照明光を照射してその散乱光を作業員の目視により観察してＬＣＤ基板の表面の欠陥、むらなどを検出するマクロ検査を行ったり、ホルダ上のＬＣＤ基板の表面を光学顕微鏡を用いてその拡大画像を撮像し、その画像データからＬＣＤ基板の表面の欠陥などを検出するミクロ検査が行われている。
【０００３】
このような検査を行うときＬＣＤ基板は、ホルダ上の基準位置に位置決めされる。図８はかかるＬＣＤ検査装置に用いられる基板配列機構の概略構成図である。ＬＣＤ検査装置のホルダには、ＬＣＤ基板１の隣接する２つの基準辺に対して合計３つの基準ピン２−１〜２−３が設けられている。このうち２つの基準ピン２−１、２−２はＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ａに配置され、基準ピン２−３はＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ｂに配置されている。
【０００４】
ＬＣＤ基板１をホルダ上の基準位置に位置決めするときは、ＬＣＤ基板１を各基準ピン２−１〜２−３の対辺側からそれぞれ押付けピン４−１、４−２により押付力ｆｘ、ｆｙで押し付け、ＬＣＤ基板１を各基準ピン２−１〜２−３に沿って配列している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ＬＣＤ基板１に対して押付けピン４−１、４−２を図示矢印方向に移動させて押付力ｆｘ、ｆｙを加えて各基準ピン２−１〜２−３に沿って配列させると、各基準ピン２−１〜２−３とＬＣＤ基板１の各接触点３−１〜３−３及び５−１〜５−２に応力が集中し、これら接触点３−１〜３−３及び５−１〜５−２に当たるＬＣＤ基板１の各部分が破壊されるおそれがある。特に大きなサイズのＬＣＤ基板１では、重量が大きくなり、これに伴ってＬＣＤ基板１をホルダ上の基準位置に位置決めするときの押付力ｆｘ、ｆｙも大きくなる。このため、位置決めの初期に大きな応力が各接触点３−１〜３−３及び５−１〜５−２の１つに集中し、ＬＣＤ基板１が破壊されるおそれがある。また、ＬＣＤ基板１に押付力ｆｘ、ｆｙを同時に加えると、このときの分圧は４０°の方向に加わるために基準ピン２−１と２−３の２つで位置決めされることがある。
【０００６】
そこで本発明は、ＬＣＤ基板の基準ピン又は押付けピンとの接触点に加わる応力の集中を低減し、ＬＣＤ位置決め精度を向上させるピンユニット及び基板配列機構を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、両端側が突出するコ字形状に形成され、コ字形状の中央部に設けられた軸を中心に回転自在に設けられた第１の回転部品と、第１の回転部品における突出された両端部のうち少なくとも一方の端部に回転自在に設けられた細長い板状の第２の回転部品と、第１の回転部品の他方の端部及び第２の回転部品の両端部、又は第１の回転部品の両端部に設けられた細長い板状の各第２の回転部品の各端部に設けられ、矩形状に形成された基板の一辺に沿って整列する複数のピンとを具備したことを特徴とするピンユニットである。
【０００８】
本発明は、矩形状に形成された基板をホルダ上の基準位置に位置決めする基板配列機構において、両端側が突出するコ字形状に形成され、コ字形状の中央部に設けられた軸を中心に回転自在に設けられた第１の回転部品と、第１の回転部品における突出された両端部のうち少なくとも一方の端部に回転自在に設けられた細長い板状の第２の回転部品と、第１の回転部品の他方の端部及び第２の回転部品の両端部、又は第１の回転部品の両端部に設けられた細長い板状の各第２の回転部品の各端部に設けられ、矩形状に形成された基板の一辺に沿って整列する複数のピンとから成るピンユニットを有し、このピンユニットを、矩形状の基板をホルダ上の基準位置に位置決めする基準ピンユニットとして、又矩形状の基板を基準位置に押付ける押付けピンユニットとして、少なくとも矩形状の基板を保持するホルダ上の一辺に設けたことを特徴とする基板配列機構である。
【０００９】
本発明は、矩形状に形成された基板をホルダ上の基準位置に位置決めする基板配列機構において、両端側が突出するコ字形状に形成され、コ字形状の中央部に設けられた軸を中心に回転自在に設けられた第１の回転部品と、第１の回転部品における突出された両端部のうち少なくとも一方の端部に回転自在に設けられた細長い板状の第２の回転部品と、第１の回転部品の他方の端部及び第２の回転部品の両端部、又は第１の回転部品の両端部に設けられた細長い板状の各第２の回転部品の各端部に設けられ、矩形状に形成された基板の一辺に沿って整列する複数のピンとから成る第１のピンユニットと、細長い板状に形成され、細長い板状の中央部に設けられた軸を中心に回転自在に設けられた第３の回転部材と、第３の回転部材の両端部に設けられ、矩形状の基板の一辺に沿って整列する各ピンとから成る第２のピンユニットとを有し、第１のピンユニットを、矩形状の基板の基準辺をホルダの基準位置に位置決めする基準ピンユニットとしてホルダに設け、第２のピンユニットを、矩形状の基板の基準辺をホルダの基準位置に位置決めする基準ピンユニットとしてホルダに設けると共に、基準ピンユニットに矩形状の基板を押付ける押付けピンユニットとしてホルダに設けたことを特徴とする基板配列機構である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１１】
図１(a)(b)はピンユニットの基本構成図であって、同図(a)は上方から見た構成図、同図(b)は側面図である。このピンユニット１０は、ＬＣＤ検査装置のＬＣＤ基板１を保持するホルダＢ上に設けられ、このホルダＢ上の基準位置にＬＣＤ基板１を位置決めする基準ピンユニットと、ＬＣＤ基板１を基準ピンユニットに押し付ける押付けピンユニットとして用いられるものである。
【００１２】
軸１１は、ＬＣＤ検査装置のホルダＢ上に設けられている。この軸１１の中間部分に形成された細径の軸受け部分１３には、回転部品１２が回転自在に設けられている。
【００１３】
この回転部品１２の両端側に形成した軸受孔には、それぞれ回転軸１４、１５が回転自在に設けられ、これら回転軸１４、１５の先端にそれぞれピン１６、１７に設けられている。これら回転軸１４、１５は、例えば滑り軸受け、転がり軸受けなどを介して軸受孔に取付けもよい。このピン１６、１７は必ず回転する必要はなく、耐磨耗性で低摩擦の材質などを使用することにより、基準ピン１６、１７を固定しても良い。
【００１４】
このようなピンユニット１０を基準ピンユニットと押付けピンユニットとして用いれば、２個のピン１６、１７が軸１１を中心に揺動しＬＣＤ基板１の一辺に沿って整列するためＬＣＤ基板１のピン１６、１７との接触点に加わる応力を均等に分散し集中応力を低減でき、ＬＣＤ基板１の位置決め精度を向上させることができる。
【００１５】
次に、このピンユニット１０を採用した基板配列機構について図面を参照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００１６】
図２は基板配列機構の構成図である。この基板配列機構は、上記第１の実施の形態のピンユニット１０を基準ピンユニットと押付けピンユニットに適用した構成である。ＬＣＤ検査装置のホルダＢには、ＬＣＤ基板１の２つの基準辺１ａ、１ｂのうち第１の基準辺１ａ側のホルダ枠に対して２つの基準ピン２−１、２−２が固定して設けられ、第２の基準辺１ｂ側のホルダ枠に対してピンユニット１０を適用した基準ピンユニットが設けられている。この基準ピンユニットを１０Ａで表示する。この基準ピンユニット１０Ａの軸１１は第２の基準辺１６側のホルダ枠に固定して設けられる。また、ＬＣＤ基板１の２つの基準辺１ａ，１ｂと対向する押付け側のホルダ枠に対して基準ピンユニット１０を適用した押付けピンユニットが押付力ｆｘ、ｆｘ方向に移動可能に設けられている。この押付けピンユニットを１０Ｂ１、１０Ｂ２で表示する。
【００１７】
ホルダＢ上にＬＣＤ基板１を載置し、このＬＣＤ基板１の表面に照明光を照射してその散乱光を作業員の目視により観察してＬＣＤ基板１の表面の欠陥、むらなどを検出するマクロ検査を行ったり、ホルダＢ上のＬＣＤ基板１の表面を光学顕微鏡を用いてその拡大画像を撮像し、その画像データからＬＣＤ基板１の表面の欠陥などを検出するミクロ検査を行うとき、ＬＣＤ基板１は、ホルダＢ上の基準位置に位置決めされる。
【００１８】
このような構成であれば、このＬＣＤ基板１をホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、ＬＣＤ基板１を基準ピンユニット１０Ａの対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共に、ＬＣＤ基板１を各基準ピン２−１、２−２の対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙで押し付ける。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対辺側における基準用のピン１６と１７との間の位置に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側における各基準ピン２−１と２−２との間の位置に加えるのが望ましい。
【００１９】
この基準配列機構においては、ＬＣＤ検査装置のホルダＢ上に、ＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ａに対して２つの基準ピン２−１、２−２を設けると共に、第２の基準辺１ｂに対して基準ピンユニット１０Ａを設け、かつこれら基準辺１ａ、１ｂ対向する押圧辺１ｃ、１ｄに対して押付けピンユニット１０Ｂ１、１０Ｂ２を移動可能に設けたので、第２の基準辺１ｂと押圧辺１ｃ、１ｄにおいてＬＣＤ基板１に対する接触点１０−１、１０−２を２点にすることができ、従来の１つの接触点に集中する応力を２つの接触点１０−１、１０−２で半分に低減することができ、ＬＣＤ基板１に対する破壊を防止することができる。また、基準ピンユニット１０Ａ及び押付けピンユニット１０Ｂの首振り作用により、一対のピン１６、１７がＬＣＤ基板１の一辺に沿って整列しＬＣＤ基板１の位置決め精度高く行なうことができる。
【００２０】
又、大きなサイズのＬＣＤ基板１に対しては、その重量が大きくなり、これに伴ってＬＣＤ基板１をホルダ上の基準位置に位置決めするときの押付力ｆｘ、ｆｙが大きくなっても、応力を２つの接触点１０−１、１０−２に均等に分散し半減できるため、ＬＣＤ基板１の破壊を防止することができる。
【００２１】
本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図２と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００２２】
図３は基板配列機構の構成図で、ＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ａに対して基準ピン２−１、２−２に代えて基準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３を設けたものである。
【００２３】
このような構成であれば、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、ＬＣＤ基板１を基準ピンユニット１０Ａ１の対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共に、ＬＣＤ基板１を２つの基準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３の対辺側から押付ピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙに押し付ける。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対辺側における基準用のピン１６と１７との間の位置に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側における２つの基準ピンユニット１０Ａ２と１０Ａ３との間の位置に加えるのが望ましい。
【００２４】
このように上記第２の実施の形態においては、ＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ａに対して２つの基準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３を設け、第２の基準辺１ｂに対して基準ピンユニット１０Ａ１を設けたので、上記第１の実施の形態よりも、第１の基準辺１ａにおいてＬＣＤ基板１の各基準ピン１６、１７との接触点１０−３〜１０−６を４点に増やすことができ、ＬＣＤ基板１に加わる応力を更に４つの接触点１０−３〜１０−６に均等に分散して低減することができるため、ＬＣＤ基板１が大型化しても十分に破壊の問題に対応できる。
【００２５】
次に、本発明の第３の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図３と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００２６】
図４は基板配列機構の構成図である。ＬＣＤ基板１の第２の基準辺１ｂには、図３に示す基準ピンユニットＡ１に代えて基準ピンユニット２０が設けられている。この基準ピンユニット２０には、ホルダ枠上に固定して設けらけた軸２３にコ字形状の回転部品２１が回転自在に設けられている。この回転部品２１の一端側には、図１と同様の構成のピンユニット１０が回転自在に設けられている。又、回転部品２１の他端側には、ピン２２が回転自在に設けられている。
【００２７】
このような構成であれば、ＬＣＤ基板１を保持するホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、ＬＣＤ基板１を基準ピンユニット２０の対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共に、２つの基準ピンユニット１０、１０の対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙで押し付ける。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対辺側における各基準ピン１６と２２との間の位置に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側における２つの基準ピンユニット１０と１０との間の位置に加えるのが望ましい。
【００２８】
このように上記第３の実施の形態においては、ＬＣＤ基板１の第２の基準辺１ｂに基準ピンユニット２０を設け、第１の基準辺１ａに対して２つの基準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３を設けたので、上記第２の実施の形態よりも、第２の基準辺１ｂにおいてピン２２を１つに増やすことができ、応力ピン１６、１７，２２の３つの接触点１０−１、１０−２、１０−７で均等に分散しＬＣＤ基板１の第２の基準辺１ｂに加わる応力をさらに低減することができ、ＬＣＤ基板１が大型化しても十分に破壊の問題に対応できる。
【００２９】
次に、本発明の第４の実施の形態について図面を参照して説明する。この第４の実施の形態は、図４に示す第３の実施の形態に適用された基準ピンユニット２０の変形例を示すもので、他の構成は同一であることから図を省略する。
【００３０】
図５は基準ピンユニットの構成図である。この基準ピンユニット２４には、ホルダ枠上に固定して設けられた軸２３にコ字形状の回転部品２１が回転自在に設けられている。この回転部品２１の両端には図１と同様の構成のピンユニット１０が回転自在に設けられている。
【００３１】
このような構成であれば、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、ＬＣＤ基板１を基準ピンユニット２４の対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共に、２つの基準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３の対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙで押し付ける。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対辺側における最両端にある各ピン１６と１７との間の位置に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側における２つの基準ピンユニット１０Ａ２と１０Ａ３との間の位置に加えるのが望ましい。
【００３２】
このように上記第４の実施の形態においては、コ字形状の回転部品２１の両端にそれぞれ図１と同様のピンユニット１０、１０を設けたので、上記第３の実施の形態よりも、第２の基準辺１ｂにおいてピンの数を３点から４点に増やすことができ、応力ピン１６、１７、１６、１７の４つの接触点１０−１、１０−２、１０−８、１０−９で均等に分散しＬＣＤ基板１の第２の基準辺１ｂに加わる応力をさらに低減することができる。
【００３３】
次に、本発明の第５の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図３と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００３４】
図６は基板配列機構の構成図である。３つの基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３には、それぞれ移動手段２５、２５、２５が設けられている。これら移動手段２５、２５、２５は、それぞれ基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３を基準位置と退避位置とに移動させるものである。具体的にこれら移動手段２５、２５、２５は、それぞれに駆動を発生するアクチュエータとしてシリンダ２６、２６、２６が設けられている。このシリンダ２６と基準ピンユニット１０の軸１１との間は直線運動を回転運動に変換するクランク２７により連結されている。このクランプ２７は軸２７ａを中心に回動する。本図ではシリンダ２６を用いているが、ソレノイドや直動モータ等の他の移動手段を用いても良い。
【００３５】
これら移動手段２５、２５、２５は、制御回路２８からの制御信号を受けて同時又は単独により動作して各基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３を図７(b)に示す基準位置と図７(a)に示す退避位置とに移動させる。
【００３６】
図７(a)(b)は移動手段２５の動作を示す図であって、同図(a)は退避位置に移動した状態（基準ＯＦＦ）、同図(b)は正規位置に移動した状態（基準ＯＮ）を示す。すなわち、移動手段２５は、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上に載せるとき、及びＬＣＤ基板１に対するマクロ検査、ミクロ検査が終了してＬＣＤ基板１をホルダＢ上から取り外すときに退避位置に移動し、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上に位置決めするときに基準位置に移動する。
【００３７】
このような構成であれば、ＬＣＤ基板１を搬送ロボットによりホルダＢ上に載せるとき、移動手段２５を、図７(a)に示すように退避位置に移動させることにより、ＬＣＤ基板１が各基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３のピン１６、１７に誤って接触する問題を解消することができるとともに、ＬＣＤ基板１を容易にホルダＢ上に載せられる。
【００３８】
また、マクロ検査、ミクロ検査を終了したＬＣＤ基板１を搬送ロボットによりホルダＢ上から取り外すときに、各基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３を退避させることにより、搬送ロボットによりＬＣＤ基板１を持ち上げるときにピン１６、１７に擦れることなく安全にＬＣＤ基板１を搬出することができる。
【００３９】
次に、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上に位置決めする際には、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上に載置した後で基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３を図７(b)に示すように正規位置に移動する。この後、ＬＣＤ基板１を基準ピンユニット１０Ａ１の対辺側から押付ピンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共に、第１の基準辺１ａにある２つの基準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３の対辺側から押付けピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙで押し付ける。これにより、ＬＣＤ基板１は、ホルダＢ上の基準位置に位置決めされる。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対辺側における各基準ピン１６と１７との間の位置に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側における２つの基準ピンユニット１０と１０との間の位置に加えるのが望ましい。
【００４０】
このように上記第５の実施の形態においては、３つの基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３にそれぞれ正規位置と退避位置とに移動させる各移動手段２５、２５、２５を設けたので、上記第３の実施の形態と同様な効果を奏することができることは言うまでもなく、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上に載せるときとホルダＢ上から取り外すときに基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３を退避させることで各基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３ の各ピン１６、１７とＬＣＤ基板１とが接触することなく搬送ロボットにより搬出することができるため、このときにＬＣＤ基板１に傷などを付けることはない。
【００４１】
なお、本発明は、上記第１乃至第５の実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【００４２】
さらに、上記第１乃至第５の実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、第１乃至第５の実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【００４３】
例えば、上記第５の実施の形態では、基準ピンユニット１０に移動手段２５を設けているが、これに限らず、押付けユニット１０Ｂ１、１０Ｂ２に移動手段２５を設けても良く、また上記第３及び第４の実施の形態（図４、図５）に示す各基準ピンユニット２０、２４の軸２３にそれぞれ移動手段２５を設けてもよい。
【００４４】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、矩形状に形成されたＬＣＤ基板の基準ピン又は押付けピンとの各接触点に加わる応力を均等に分散して低減し、ＬＣＤ基板の位置決め精度を向上させることができるピンユニット及び基板配列機構を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるピンユニットの基本構成図。
【図２】本発明の第１の実施の形態におけるピンユニットを採用した基板配列機構の構成図。
【図３】本発明の第２の実施の形態における基板配列機構の構成図。
【図４】本発明の第３の実施の形態における基板配列機構の構成図。
【図５】本発明の第４の実施の形態における基板配列機構の構成図。
【図６】本発明の第５の実施の形態における基板配列機構の構成図。
【図７】本発明の第５の実施の形態における基板配列機構の移動手段の動作を示す図。
【図８】従来の基板配列機構の構成図。
【符号の説明】
Ｂ：ホルダ
１：ＬＣＤ基板
１０，１０Ａ，１０Ａ１，１０Ａ２，１０Ａ３，１０Ｂ１，１０Ｂ２：ピンユニット
１１：軸
１２：回転部品
１３：軸受け部分
１４，１５：回転軸
１６，１７：ピン
２０：基準ピンユニット
２１：回転部品
２２：ピン
２３：軸
２４：基準ピンユニット
２５：移動手段
２６：シリンダ
２７：クランク
２７ａ：軸
２８：制御回路
Claims (3)
- 両端側が突出するコ字形状に形成され、前記コ字形状の中央部に設けられた軸を中心に回転自在に設けられた第１の回転部品と、
前記第１の回転部品における前記突出された前記両端部のうち少なくとも一方の端部に回転自在に設けられた細長い板状の第２の回転部品と、
前記第１の回転部品の他方の端部及び前記第２の回転部品の両端部、又は前記第１の回転部品の前記両端部に設けられた細長い板状の前記各第２の回転部品の各端部に設けられ、矩形状に形成された基板の一辺に沿って整列する複数のピンと、
を具備したことを特徴とするピンユニット。 - 矩形状に形成された基板をホルダ上の基準位置に位置決めする基板配列機構において、
両端側が突出するコ字形状に形成され、前記コ字形状の中央部に設けられた軸を中心に回転自在に設けられた第１の回転部品と、前記第１の回転部品における前記突出された前記両端部のうち少なくとも一方の端部に回転自在に設けられた細長い板状の第２の回転部品と、前記第１の回転部品の他方の端部及び前記第２の回転部品の両端部、又は前記第１の回転部品の前記両端部に設けられた細長い板状の前記各第２の回転部品の各端部に設けられ、矩形状に形成された基板の一辺に沿って整列する複数のピンとから成るピンユニットを有し、
前記ピンユニットを、前記矩形状の基板を前記ホルダ上の前記基準位置に位置決めする基準ピンユニットとして、又前記矩形状の基板を前記基準位置に押付ける押付けピンユニットとして、少なくとも前記矩形状の基板を保持するホルダ上の一辺に設けたことを特徴とする基板配列機構。 - 矩形状に形成された基板をホルダ上の基準位置に位置決めする基板配列機構において、
両端側が突出するコ字形状に形成され、前記コ字形状の中央部に設けられた軸を中心に回転自在に設けられた第１の回転部品と、前記第１の回転部品における前記突出された前記両端部のうち少なくとも一方の端部に回転自在に設けられた細長い板状の第２の回転部品と、前記第１の回転部品の他方の端部及び前記第２の回転部品の両端部、又は前記第１の回転部品の前記両端部に設けられた細長い板状の前記各第２の回転部品の各端部に設けられ、矩形状に形成された基板の一辺に沿って整列する複数のピンとから成る第１のピンユニットと、
細長い板状に形成され、前記細長い板状の中央部に設けられた軸を中心に回転自在に設けられた第３の回転部材と、前記第３の回転部材の両端部に設けられ、前記矩形状の基板の一辺に沿って整列する各ピンとから成る第２のピンユニットと、
を有し、
前記第１のピンユニットを、前記矩形状の基板の基準辺を前記ホルダの基準位置に位置決めする基準ピンユニットとして前記ホルダに設け、
第２のピンユニットを、前記矩形状の基板の基準辺を前記ホルダの基準位置に位置決めする基準ピンユニットとして前記ホルダに設けると共に、前記基準ピンユニットに前記矩形状の基板を押付ける押付けピンユニットとして前記ホルダに設けた、
ことを特徴とする基板配列機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002079585A JP4136410B2 (ja) | 2002-03-20 | 2002-03-20 | ピンユニット及び基板配列機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002079585A JP4136410B2 (ja) | 2002-03-20 | 2002-03-20 | ピンユニット及び基板配列機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003282676A JP2003282676A (ja) | 2003-10-03 |
| JP4136410B2 true JP4136410B2 (ja) | 2008-08-20 |
Family
ID=29229002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002079585A Expired - Fee Related JP4136410B2 (ja) | 2002-03-20 | 2002-03-20 | ピンユニット及び基板配列機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4136410B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4937807B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2012-05-23 | 株式会社荏原製作所 | 基板保持回転機構、基板処理装置 |
| KR102521073B1 (ko) * | 2016-06-03 | 2023-04-12 | 세메스 주식회사 | 기판 얼라이너, 이를 구비하는 기판 검사 장치 및 이를 이용한 기판 정렬 방법 |
-
2002
- 2002-03-20 JP JP2002079585A patent/JP4136410B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2003282676A (ja) | 2003-10-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100743427B1 (ko) | 평판 디스플레이 패널 매크로 검사장치 | |
| KR100732344B1 (ko) | 디스플레이 패널의 회전식 검사 장비 | |
| JPH11258564A (ja) | 液晶表示装置の偏光板除去装置 | |
| US7703823B2 (en) | Wafer holding mechanism | |
| KR101095508B1 (ko) | 면취기 | |
| JP4136410B2 (ja) | ピンユニット及び基板配列機構 | |
| JPH1126525A (ja) | 大面積のウェーハを精査するためのプローブタイル及びプラットホーム | |
| JP5005945B2 (ja) | 基板検査装置 | |
| JP2002357838A (ja) | 基板貼り合わせ方法及びその装置 | |
| JP2007281285A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JPH11295732A (ja) | モジュール組立装置 | |
| JP3648349B2 (ja) | 表示パネル基板の検査方法および装置 | |
| JP2008076079A (ja) | 基板検査装置 | |
| JP2002014047A (ja) | 表示用パネルの検査装置 | |
| JP4334895B2 (ja) | 大型基板ステージ | |
| JP4803940B2 (ja) | ホルダ機構 | |
| JP3711169B2 (ja) | 表示パネル基板の検査装置 | |
| JP2006066747A (ja) | 基板の位置決め装置及び位置決め方法 | |
| TW455684B (en) | Parallel mechanism and test apparatus | |
| JP2769372B2 (ja) | Ｌｃｄプローブ装置 | |
| JP3662756B2 (ja) | プローバ圧接装置及びプローバ圧接方法 | |
| KR100483363B1 (ko) | 인라인 검사기의 바이패스를 위한 검사 스테이지 시스템 | |
| JPH04322938A (ja) | 角型ワークの位置決め機構 | |
| JP2024501318A (ja) | 同期基板搬送および電気的プロービング | |
| JP3330447B2 (ja) | 基板位置決め方法および基板位置決め装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050309 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080207 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080212 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080414 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080520 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080603 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110613 Year of fee payment: 3 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |