JP2003282676A - ピンユニット及び基板配列機構 - Google Patents
ピンユニット及び基板配列機構Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ＬＣＤ基板の基準ピン又は押付けピンとの接触
点に加わる応力の集中を低減し、ＬＣＤ基板の位置決め
精度を向上させること。 【解決手段】ＬＣＤ検査装置のホルダＢ上に、ＬＣＤ基
板１の第１の基準辺１ａに対して２つの基準ピン２−
１、２−２を設けると共に、第２の基準辺１ｂに対して
基準ピンユニット１０Ａを設け、かつこれら基準辺１
ａ、１ｂ対向する押圧辺１ｃ、１ｄに対して押付けピン
ユニット１０Ｂ１、１０Ｂ２を移動可能に設けた。
点に加わる応力の集中を低減し、ＬＣＤ基板の位置決め
精度を向上させること。 【解決手段】ＬＣＤ検査装置のホルダＢ上に、ＬＣＤ基
板１の第１の基準辺１ａに対して２つの基準ピン２−
１、２−２を設けると共に、第２の基準辺１ｂに対して
基準ピンユニット１０Ａを設け、かつこれら基準辺１
ａ、１ｂ対向する押圧辺１ｃ、１ｄに対して押付けピン
ユニット１０Ｂ１、１０Ｂ２を移動可能に設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶ディス
プレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイなどのフラッ
トパネルディスプレイに用いられる各種基板をＬＣＤ検
査装置のホルダ上に載置してその表面欠陥を検査すると
きに、これら基板をホルダ上の基準位置に位置決めする
ためのピンユニット及び基板配列機構に関する。
プレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイなどのフラッ
トパネルディスプレイに用いられる各種基板をＬＣＤ検
査装置のホルダ上に載置してその表面欠陥を検査すると
きに、これら基板をホルダ上の基準位置に位置決めする
ためのピンユニット及び基板配列機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばＬＣＤ検査装置では、ホルダ上に
ＬＣＤ基板を載置し、ＬＣＤ基板の表面に照明光を照射
してその散乱光を作業員の目視により観察してＬＣＤ基
板の表面の欠陥、むらなどを検出するマクロ検査を行っ
たり、ホルダ上のＬＣＤ基板の表面を光学顕微鏡を用い
てその拡大画像を撮像し、その画像データからＬＣＤ基
板の表面の欠陥などを検出するミクロ検査が行われてい
る。
ＬＣＤ基板を載置し、ＬＣＤ基板の表面に照明光を照射
してその散乱光を作業員の目視により観察してＬＣＤ基
板の表面の欠陥、むらなどを検出するマクロ検査を行っ
たり、ホルダ上のＬＣＤ基板の表面を光学顕微鏡を用い
てその拡大画像を撮像し、その画像データからＬＣＤ基
板の表面の欠陥などを検出するミクロ検査が行われてい
る。
【０００３】このような検査を行うときＬＣＤ基板は、
ホルダ上の基準位置に位置決めされる。図８はかかるＬ
ＣＤ検査装置に用いられる基板配列機構の概略構成図で
ある。ＬＣＤ検査装置のホルダには、ＬＣＤ基板１の隣
接する２つの基準辺に対して合計３つの基準ピン２−１
〜２−３が設けられている。このうち２つの基準ピン２
−１、２−２はＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ａに配置
され、基準ピン２−３はＬＣＤ基板１の第１の基準辺１
ｂに配置されている。
ホルダ上の基準位置に位置決めされる。図８はかかるＬ
ＣＤ検査装置に用いられる基板配列機構の概略構成図で
ある。ＬＣＤ検査装置のホルダには、ＬＣＤ基板１の隣
接する２つの基準辺に対して合計３つの基準ピン２−１
〜２−３が設けられている。このうち２つの基準ピン２
−１、２−２はＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ａに配置
され、基準ピン２−３はＬＣＤ基板１の第１の基準辺１
ｂに配置されている。
【０００４】ＬＣＤ基板１をホルダ上の基準位置に位置
決めするときは、ＬＣＤ基板１を各基準ピン２−１〜２
−３の対辺側からそれぞれ押付けピン４−１、４−２に
より押付力ｆｘ、ｆｙで押し付け、ＬＣＤ基板１を各基
準ピン２−１〜２−３に沿って配列している。
決めするときは、ＬＣＤ基板１を各基準ピン２−１〜２
−３の対辺側からそれぞれ押付けピン４−１、４−２に
より押付力ｆｘ、ｆｙで押し付け、ＬＣＤ基板１を各基
準ピン２−１〜２−３に沿って配列している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＬＣＤ
基板１に対して押付けピン４−１、４−２を図示矢印方
向に移動させて押付力ｆｘ、ｆｙを加えて各基準ピン２
−１〜２−３に沿って配列させると、各基準ピン２−１
〜２−３とＬＣＤ基板１の各接触点３−１〜３−３及び
５−１〜５−２に応力が集中し、これら接触点３−１〜
３−３及び５−１〜５−２に当たるＬＣＤ基板１の各部
分が破壊されるおそれがある。特に大きなサイズのＬＣ
Ｄ基板１では、重量が大きくなり、これに伴ってＬＣＤ
基板１をホルダ上の基準位置に位置決めするときの押付
力ｆｘ、ｆｙも大きくなる。このため、位置決めの初期
に大きな応力が各接触点３−１〜３−３及び５−１〜５
−２の１つに集中し、ＬＣＤ基板１が破壊されるおそれ
がある。また、ＬＣＤ基板１に押付力ｆｘ、ｆｙを同時
に加えると、このときの分圧は４０°の方向に加わるた
めに基準ピン２−１と２−３の２つで位置決めされるこ
とがある。
基板１に対して押付けピン４−１、４−２を図示矢印方
向に移動させて押付力ｆｘ、ｆｙを加えて各基準ピン２
−１〜２−３に沿って配列させると、各基準ピン２−１
〜２−３とＬＣＤ基板１の各接触点３−１〜３−３及び
５−１〜５−２に応力が集中し、これら接触点３−１〜
３−３及び５−１〜５−２に当たるＬＣＤ基板１の各部
分が破壊されるおそれがある。特に大きなサイズのＬＣ
Ｄ基板１では、重量が大きくなり、これに伴ってＬＣＤ
基板１をホルダ上の基準位置に位置決めするときの押付
力ｆｘ、ｆｙも大きくなる。このため、位置決めの初期
に大きな応力が各接触点３−１〜３−３及び５−１〜５
−２の１つに集中し、ＬＣＤ基板１が破壊されるおそれ
がある。また、ＬＣＤ基板１に押付力ｆｘ、ｆｙを同時
に加えると、このときの分圧は４０°の方向に加わるた
めに基準ピン２−１と２−３の２つで位置決めされるこ
とがある。
【０００６】そこで本発明は、ＬＣＤ基板の基準ピン又
は押付けピンとの接触点に加わる応力の集中を低減し、
ＬＣＤ位置決め精度を向上させるピンユニット及び基板
配列機構を提供することを目的とする。
は押付けピンとの接触点に加わる応力の集中を低減し、
ＬＣＤ位置決め精度を向上させるピンユニット及び基板
配列機構を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、軸に対して回
転自在に設けられた回転部品と、この回転部品の両端に
それぞれ設けられ基板の一辺に沿って整列する複数のピ
ンとを具備したことを特徴とするピンユニットである。
転自在に設けられた回転部品と、この回転部品の両端に
それぞれ設けられ基板の一辺に沿って整列する複数のピ
ンとを具備したことを特徴とするピンユニットである。
【０００８】本発明は、軸に対して回転自在に設けられ
た第１の回転部品と、この第１の回転部品の少なくとも
一端側に回転自在に設けられた第２の回転部品と、第１
又は第２の回転部品の端部に設けられ、基板の一辺に沿
って整列する複数のピンとを具備したことを特徴とする
ピンユニットである。
た第１の回転部品と、この第１の回転部品の少なくとも
一端側に回転自在に設けられた第２の回転部品と、第１
又は第２の回転部品の端部に設けられ、基板の一辺に沿
って整列する複数のピンとを具備したことを特徴とする
ピンユニットである。
【０００９】本発明は、基板をホルダ上の基準位置に位
置決めする基板配列機構において、軸に対して回転自在
に設けられた回転部品と、この回転部品の両端にそれぞ
れ設けられ基板の一辺に沿って整列する複数のピンとか
らなるピンユニットを、基板をホルダ上の基準位置に位
置決めする基準ピンユニットとして、又基板を基準位置
に押付ける押付けピンユニットとして少なくともホルダ
の一辺に設けたことを特徴とする基板配列機構である。
置決めする基板配列機構において、軸に対して回転自在
に設けられた回転部品と、この回転部品の両端にそれぞ
れ設けられ基板の一辺に沿って整列する複数のピンとか
らなるピンユニットを、基板をホルダ上の基準位置に位
置決めする基準ピンユニットとして、又基板を基準位置
に押付ける押付けピンユニットとして少なくともホルダ
の一辺に設けたことを特徴とする基板配列機構である。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施の形態
について図面を参照して説明する。
について図面を参照して説明する。
【００１１】図１(a)(b)はピンユニットの基本構成図で
あって、同図(a)は上方から見た構成図、同図(b)は側面
図である。このピンユニット１０は、ＬＣＤ検査装置の
ＬＣＤ基板１を保持するホルダＢ上に設けられ、このホ
ルダＢ上の基準位置にＬＣＤ基板１を位置決めする基準
ピンユニットと、ＬＣＤ基板１を基準ピンユニットに押
し付ける押付けピンユニットとして用いられるものであ
る。
あって、同図(a)は上方から見た構成図、同図(b)は側面
図である。このピンユニット１０は、ＬＣＤ検査装置の
ＬＣＤ基板１を保持するホルダＢ上に設けられ、このホ
ルダＢ上の基準位置にＬＣＤ基板１を位置決めする基準
ピンユニットと、ＬＣＤ基板１を基準ピンユニットに押
し付ける押付けピンユニットとして用いられるものであ
る。
【００１２】軸１１は、ＬＣＤ検査装置のホルダＢ上に
設けられている。この軸１１の中間部分に形成された細
径の軸受け部分１３には、回転部品１２が回転自在に設
けられている。
設けられている。この軸１１の中間部分に形成された細
径の軸受け部分１３には、回転部品１２が回転自在に設
けられている。
【００１３】この回転部品１２の両端側に形成した軸受
孔には、それぞれ回転軸１４、１５が回転自在に設けら
れ、これら回転軸１４、１５の先端にそれぞれピン１
６、１７に設けられている。これら回転軸１４、１５
は、例えば滑り軸受け、転がり軸受けなどを介して軸受
孔に取付けもよい。このピン１６、１７は必ず回転する
必要はなく、耐磨耗性で低摩擦の材質などを使用するこ
とにより、基準ピン１６、１７を固定しても良い。
孔には、それぞれ回転軸１４、１５が回転自在に設けら
れ、これら回転軸１４、１５の先端にそれぞれピン１
６、１７に設けられている。これら回転軸１４、１５
は、例えば滑り軸受け、転がり軸受けなどを介して軸受
孔に取付けもよい。このピン１６、１７は必ず回転する
必要はなく、耐磨耗性で低摩擦の材質などを使用するこ
とにより、基準ピン１６、１７を固定しても良い。
【００１４】このようなピンユニット１０を基準ピンユ
ニットと押付けピンユニットとして用いれば、２個のピ
ン１６、１７が軸１１を中心に揺動しＬＣＤ基板１の一
辺に沿って整列するためＬＣＤ基板１のピン１６、１７
との接触点に加わる応力を均等に分散し集中応力を低減
でき、ＬＣＤ基板１の位置決め精度を向上させることが
できる。
ニットと押付けピンユニットとして用いれば、２個のピ
ン１６、１７が軸１１を中心に揺動しＬＣＤ基板１の一
辺に沿って整列するためＬＣＤ基板１のピン１６、１７
との接触点に加わる応力を均等に分散し集中応力を低減
でき、ＬＣＤ基板１の位置決め精度を向上させることが
できる。
【００１５】次に、このピンユニット１０を採用した基
板配列機構について図面を参照して説明する。なお、図
１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省
略する。
板配列機構について図面を参照して説明する。なお、図
１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省
略する。
【００１６】図２は基板配列機構の構成図である。この
基板配列機構は、上記第１の実施の形態のピンユニット
１０を基準ピンユニットと押付けピンユニットに適用し
た構成である。ＬＣＤ検査装置のホルダＢには、ＬＣＤ
基板１の２つの基準辺１ａ、１ｂのうち第１の基準辺１
ａ側のホルダ枠に対して２つの基準ピン２−１、２−２
が固定して設けられ、第２の基準辺１ｂ側のホルダ枠に
対してピンユニット１０を適用した基準ピンユニットが
設けられている。この基準ピンユニットを１０Ａで表示
する。この基準ピンユニット１０Ａの軸１１は第２の基
準辺１６側のホルダ枠に固定して設けられる。また、Ｌ
ＣＤ基板１の２つの基準辺１ａ，１ｂと対向する押付け
側のホルダ枠に対して基準ピンユニット１０を適用した
押付けピンユニットが押付力ｆｘ、ｆｘ方向に移動可能
に設けられている。この押付けピンユニットを１０
Ｂ１、１０Ｂ２で表示する。
基板配列機構は、上記第１の実施の形態のピンユニット
１０を基準ピンユニットと押付けピンユニットに適用し
た構成である。ＬＣＤ検査装置のホルダＢには、ＬＣＤ
基板１の２つの基準辺１ａ、１ｂのうち第１の基準辺１
ａ側のホルダ枠に対して２つの基準ピン２−１、２−２
が固定して設けられ、第２の基準辺１ｂ側のホルダ枠に
対してピンユニット１０を適用した基準ピンユニットが
設けられている。この基準ピンユニットを１０Ａで表示
する。この基準ピンユニット１０Ａの軸１１は第２の基
準辺１６側のホルダ枠に固定して設けられる。また、Ｌ
ＣＤ基板１の２つの基準辺１ａ，１ｂと対向する押付け
側のホルダ枠に対して基準ピンユニット１０を適用した
押付けピンユニットが押付力ｆｘ、ｆｘ方向に移動可能
に設けられている。この押付けピンユニットを１０
Ｂ１、１０Ｂ２で表示する。
【００１７】ホルダＢ上にＬＣＤ基板１を載置し、この
ＬＣＤ基板１の表面に照明光を照射してその散乱光を作
業員の目視により観察してＬＣＤ基板１の表面の欠陥、
むらなどを検出するマクロ検査を行ったり、ホルダＢ上
のＬＣＤ基板１の表面を光学顕微鏡を用いてその拡大画
像を撮像し、その画像データからＬＣＤ基板１の表面の
欠陥などを検出するミクロ検査を行うとき、ＬＣＤ基板
１は、ホルダＢ上の基準位置に位置決めされる。
ＬＣＤ基板１の表面に照明光を照射してその散乱光を作
業員の目視により観察してＬＣＤ基板１の表面の欠陥、
むらなどを検出するマクロ検査を行ったり、ホルダＢ上
のＬＣＤ基板１の表面を光学顕微鏡を用いてその拡大画
像を撮像し、その画像データからＬＣＤ基板１の表面の
欠陥などを検出するミクロ検査を行うとき、ＬＣＤ基板
１は、ホルダＢ上の基準位置に位置決めされる。
【００１８】このような構成であれば、このＬＣＤ基板
１をホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、ＬＣＤ
基板１を基準ピンユニット１０Ａの対辺側から押付けピ
ンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共
に、ＬＣＤ基板１を各基準ピン２−１、２−２の対辺側
から押付けピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙで押
し付ける。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂ
の対辺側における基準用のピン１６と１７との間の位置
に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側
における各基準ピン２−１と２−２との間の位置に加え
るのが望ましい。
１をホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、ＬＣＤ
基板１を基準ピンユニット１０Ａの対辺側から押付けピ
ンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共
に、ＬＣＤ基板１を各基準ピン２−１、２−２の対辺側
から押付けピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙで押
し付ける。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂ
の対辺側における基準用のピン１６と１７との間の位置
に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側
における各基準ピン２−１と２−２との間の位置に加え
るのが望ましい。
【００１９】この基準配列機構においては、ＬＣＤ検査
装置のホルダＢ上に、ＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ａ
に対して２つの基準ピン２−１、２−２を設けると共
に、第２の基準辺１ｂに対して基準ピンユニット１０Ａ
を設け、かつこれら基準辺１ａ、１ｂ対向する押圧辺１
ｃ、１ｄに対して押付けピンユニット１０Ｂ１、１０Ｂ
２を移動可能に設けたので、第２の基準辺１ｂと押圧辺
１ｃ、１ｄにおいてＬＣＤ基板１に対する接触点１０−
１、１０−２を２点にすることができ、従来の１つの接
触点に集中する応力を２つの接触点１０−１、１０−２
で半分に低減することができ、ＬＣＤ基板１に対する破
壊を防止することができる。また、基準ピンユニット１
０Ａ及び押付けピンユニット１０Ｂの首振り作用によ
り、一対のピン１６、１７がＬＣＤ基板１の一辺に沿っ
て整列しＬＣＤ基板１の位置決め精度高く行なうことが
できる。
装置のホルダＢ上に、ＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ａ
に対して２つの基準ピン２−１、２−２を設けると共
に、第２の基準辺１ｂに対して基準ピンユニット１０Ａ
を設け、かつこれら基準辺１ａ、１ｂ対向する押圧辺１
ｃ、１ｄに対して押付けピンユニット１０Ｂ１、１０Ｂ
２を移動可能に設けたので、第２の基準辺１ｂと押圧辺
１ｃ、１ｄにおいてＬＣＤ基板１に対する接触点１０−
１、１０−２を２点にすることができ、従来の１つの接
触点に集中する応力を２つの接触点１０−１、１０−２
で半分に低減することができ、ＬＣＤ基板１に対する破
壊を防止することができる。また、基準ピンユニット１
０Ａ及び押付けピンユニット１０Ｂの首振り作用によ
り、一対のピン１６、１７がＬＣＤ基板１の一辺に沿っ
て整列しＬＣＤ基板１の位置決め精度高く行なうことが
できる。
【００２０】又、大きなサイズのＬＣＤ基板１に対して
は、その重量が大きくなり、これに伴ってＬＣＤ基板１
をホルダ上の基準位置に位置決めするときの押付力ｆ
ｘ、ｆｙが大きくなっても、応力を２つの接触点１０−
１、１０−２に均等に分散し半減できるため、ＬＣＤ基
板１の破壊を防止することができる。
は、その重量が大きくなり、これに伴ってＬＣＤ基板１
をホルダ上の基準位置に位置決めするときの押付力ｆ
ｘ、ｆｙが大きくなっても、応力を２つの接触点１０−
１、１０−２に均等に分散し半減できるため、ＬＣＤ基
板１の破壊を防止することができる。
【００２１】本発明の第２の実施の形態について図面を
参照して説明する。なお、図２と同一部分には同一符号
を付してその詳しい説明は省略する。
参照して説明する。なお、図２と同一部分には同一符号
を付してその詳しい説明は省略する。
【００２２】図３は基板配列機構の構成図で、ＬＣＤ基
板１の第１の基準辺１ａに対して基準ピン２−１、２−
２に代えて基準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３を設け
たものである。
板１の第１の基準辺１ａに対して基準ピン２−１、２−
２に代えて基準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３を設け
たものである。
【００２３】このような構成であれば、ＬＣＤ基板１を
ホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、ＬＣＤ基板
１を基準ピンユニット１０Ａ１の対辺側から押付けピン
ユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共
に、ＬＣＤ基板１を２つの基準ピンユニット１０Ａ２、
１０Ａ３の対辺側から押付ピンユニット１０Ｂ２により
押付力ｆｙに押し付ける。このとき、押付力ｆｘは、第
２の基準辺１ｂの対辺側における基準用のピン１６と１
７との間の位置に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準
辺１ａの対辺側における２つの基準ピンユニット１０Ａ
２と１０Ａ３との間の位置に加えるのが望ましい。
ホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、ＬＣＤ基板
１を基準ピンユニット１０Ａ１の対辺側から押付けピン
ユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共
に、ＬＣＤ基板１を２つの基準ピンユニット１０Ａ２、
１０Ａ３の対辺側から押付ピンユニット１０Ｂ２により
押付力ｆｙに押し付ける。このとき、押付力ｆｘは、第
２の基準辺１ｂの対辺側における基準用のピン１６と１
７との間の位置に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準
辺１ａの対辺側における２つの基準ピンユニット１０Ａ
２と１０Ａ３との間の位置に加えるのが望ましい。
【００２４】このように上記第２の実施の形態において
は、ＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ａに対して２つの基
準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３を設け、第２の基準
辺１ｂに対して基準ピンユニット１０Ａ１を設けたの
で、上記第１の実施の形態よりも、第１の基準辺１ａに
おいてＬＣＤ基板１の各基準ピン１６、１７との接触点
１０−３〜１０−６を４点に増やすことができ、ＬＣＤ
基板１に加わる応力を更に４つの接触点１０−３〜１０
−６に均等に分散して低減することができるため、ＬＣ
Ｄ基板１が大型化しても十分に破壊の問題に対応でき
る。
は、ＬＣＤ基板１の第１の基準辺１ａに対して２つの基
準ピンユニット１０Ａ２、１０Ａ３を設け、第２の基準
辺１ｂに対して基準ピンユニット１０Ａ１を設けたの
で、上記第１の実施の形態よりも、第１の基準辺１ａに
おいてＬＣＤ基板１の各基準ピン１６、１７との接触点
１０−３〜１０−６を４点に増やすことができ、ＬＣＤ
基板１に加わる応力を更に４つの接触点１０−３〜１０
−６に均等に分散して低減することができるため、ＬＣ
Ｄ基板１が大型化しても十分に破壊の問題に対応でき
る。
【００２５】次に、本発明の第３の実施の形態について
図面を参照して説明する。なお、図３と同一部分には同
一符号を付してその詳しい説明は省略する。
図面を参照して説明する。なお、図３と同一部分には同
一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００２６】図４は基板配列機構の構成図である。ＬＣ
Ｄ基板１の第２の基準辺１ｂには、図３に示す基準ピン
ユニットＡ１に代えて基準ピンユニット２０が設けられ
ている。この基準ピンユニット２０には、ホルダ枠上に
固定して設けらけた軸２３にコ字形状の回転部品２１が
回転自在に設けられている。この回転部品２１の一端側
には、図１と同様の構成のピンユニット１０が回転自在
に設けられている。又、回転部品２１の他端側には、ピ
ン２２が回転自在に設けられている。
Ｄ基板１の第２の基準辺１ｂには、図３に示す基準ピン
ユニットＡ１に代えて基準ピンユニット２０が設けられ
ている。この基準ピンユニット２０には、ホルダ枠上に
固定して設けらけた軸２３にコ字形状の回転部品２１が
回転自在に設けられている。この回転部品２１の一端側
には、図１と同様の構成のピンユニット１０が回転自在
に設けられている。又、回転部品２１の他端側には、ピ
ン２２が回転自在に設けられている。
【００２７】このような構成であれば、ＬＣＤ基板１を
保持するホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、Ｌ
ＣＤ基板１を基準ピンユニット２０の対辺側から押付け
ピンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると
共に、２つの基準ピンユニット１０、１０の対辺側から
押付けピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙで押し付
ける。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対
辺側における各基準ピン１６と２２との間の位置に加
え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側にお
ける２つの基準ピンユニット１０と１０との間の位置に
加えるのが望ましい。
保持するホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、Ｌ
ＣＤ基板１を基準ピンユニット２０の対辺側から押付け
ピンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると
共に、２つの基準ピンユニット１０、１０の対辺側から
押付けピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙで押し付
ける。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対
辺側における各基準ピン１６と２２との間の位置に加
え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側にお
ける２つの基準ピンユニット１０と１０との間の位置に
加えるのが望ましい。
【００２８】このように上記第３の実施の形態において
は、ＬＣＤ基板１の第２の基準辺１ｂに基準ピンユニッ
ト２０を設け、第１の基準辺１ａに対して２つの基準ピ
ンユニット１０Ａ２、１０Ａ３を設けたので、上記第２
の実施の形態よりも、第２の基準辺１ｂにおいてピン２
２を１つに増やすことができ、応力ピン１６、１７，２
２の３つの接触点１０−１、１０−２、１０−７で均等
に分散しＬＣＤ基板１の第２の基準辺１ｂに加わる応力
をさらに低減することができ、ＬＣＤ基板１が大型化し
ても十分に破壊の問題に対応できる。
は、ＬＣＤ基板１の第２の基準辺１ｂに基準ピンユニッ
ト２０を設け、第１の基準辺１ａに対して２つの基準ピ
ンユニット１０Ａ２、１０Ａ３を設けたので、上記第２
の実施の形態よりも、第２の基準辺１ｂにおいてピン２
２を１つに増やすことができ、応力ピン１６、１７，２
２の３つの接触点１０−１、１０−２、１０−７で均等
に分散しＬＣＤ基板１の第２の基準辺１ｂに加わる応力
をさらに低減することができ、ＬＣＤ基板１が大型化し
ても十分に破壊の問題に対応できる。
【００２９】次に、本発明の第４の実施の形態について
図面を参照して説明する。この第４の実施の形態は、図
４に示す第３の実施の形態に適用された基準ピンユニッ
ト２０の変形例を示すもので、他の構成は同一であるこ
とから図を省略する。
図面を参照して説明する。この第４の実施の形態は、図
４に示す第３の実施の形態に適用された基準ピンユニッ
ト２０の変形例を示すもので、他の構成は同一であるこ
とから図を省略する。
【００３０】図５は基準ピンユニットの構成図である。
この基準ピンユニット２４には、ホルダ枠上に固定して
設けられた軸２３にコ字形状の回転部品２１が回転自在
に設けられている。この回転部品２１の両端には図１と
同様の構成のピンユニット１０が回転自在に設けられて
いる。
この基準ピンユニット２４には、ホルダ枠上に固定して
設けられた軸２３にコ字形状の回転部品２１が回転自在
に設けられている。この回転部品２１の両端には図１と
同様の構成のピンユニット１０が回転自在に設けられて
いる。
【００３１】このような構成であれば、ＬＣＤ基板１を
ホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、ＬＣＤ基板
１を基準ピンユニット２４の対辺側から押付けピンユニ
ット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共に、２
つの基準ピンユニット１０Ａ ２、１０Ａ３の対辺側から
押付けピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙで押し付
ける。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対
辺側における最両端にある各ピン１６と１７との間の位
置に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺
側における２つの基準ピンユニット１０Ａ２と１０Ａ３
との間の位置に加えるのが望ましい。
ホルダＢ上の基準位置に位置決めするとき、ＬＣＤ基板
１を基準ピンユニット２４の対辺側から押付けピンユニ
ット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると共に、２
つの基準ピンユニット１０Ａ ２、１０Ａ３の対辺側から
押付けピンユニット１０Ｂ２により押付力ｆｙで押し付
ける。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対
辺側における最両端にある各ピン１６と１７との間の位
置に加え、かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺
側における２つの基準ピンユニット１０Ａ２と１０Ａ３
との間の位置に加えるのが望ましい。
【００３２】このように上記第４の実施の形態において
は、コ字形状の回転部品２１の両端にそれぞれ図１と同
様のピンユニット１０、１０を設けたので、上記第３の
実施の形態よりも、第２の基準辺１ｂにおいてピンの数
を３点から４点に増やすことができ、応力ピン１６、１
７、１６、１７の４つの接触点１０−１、１０−２、１
０−８、１０−９で均等に分散しＬＣＤ基板１の第２の
基準辺１ｂに加わる応力をさらに低減することができ
る。
は、コ字形状の回転部品２１の両端にそれぞれ図１と同
様のピンユニット１０、１０を設けたので、上記第３の
実施の形態よりも、第２の基準辺１ｂにおいてピンの数
を３点から４点に増やすことができ、応力ピン１６、１
７、１６、１７の４つの接触点１０−１、１０−２、１
０−８、１０−９で均等に分散しＬＣＤ基板１の第２の
基準辺１ｂに加わる応力をさらに低減することができ
る。
【００３３】次に、本発明の第５の実施の形態について
図面を参照して説明する。なお、図３と同一部分には同
一符号を付してその詳しい説明は省略する。
図面を参照して説明する。なお、図３と同一部分には同
一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００３４】図６は基板配列機構の構成図である。３つ
の基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３に
は、それぞれ移動手段２５、２５、２５が設けられてい
る。これら移動手段２５、２５、２５は、それぞれ基準
ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ ２、１０Ａ３を基準位置
と退避位置とに移動させるものである。具体的にこれら
移動手段２５、２５、２５は、それぞれに駆動を発生す
るアクチュエータとしてシリンダ２６、２６、２６が設
けられている。このシリンダ２６と基準ピンユニット１
０の軸１１との間は直線運動を回転運動に変換するクラ
ンク２７により連結されている。このクランプ２７は軸
２７ａを中心に回動する。本図ではシリンダ２６を用い
ているが、ソレノイドや直動モータ等の他の移動手段を
用いても良い。
の基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３に
は、それぞれ移動手段２５、２５、２５が設けられてい
る。これら移動手段２５、２５、２５は、それぞれ基準
ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ ２、１０Ａ３を基準位置
と退避位置とに移動させるものである。具体的にこれら
移動手段２５、２５、２５は、それぞれに駆動を発生す
るアクチュエータとしてシリンダ２６、２６、２６が設
けられている。このシリンダ２６と基準ピンユニット１
０の軸１１との間は直線運動を回転運動に変換するクラ
ンク２７により連結されている。このクランプ２７は軸
２７ａを中心に回動する。本図ではシリンダ２６を用い
ているが、ソレノイドや直動モータ等の他の移動手段を
用いても良い。
【００３５】これら移動手段２５、２５、２５は、制御
回路２８からの制御信号を受けて同時又は単独により動
作して各基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ
３を図７(b)に示す基準位置と図７(a)に示す退避位置と
に移動させる。
回路２８からの制御信号を受けて同時又は単独により動
作して各基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ
３を図７(b)に示す基準位置と図７(a)に示す退避位置と
に移動させる。
【００３６】図７(a)(b)は移動手段２５の動作を示す図
であって、同図(a)は退避位置に移動した状態（基準Ｏ
ＦＦ）、同図(b)は正規位置に移動した状態（基準Ｏ
Ｎ）を示す。すなわち、移動手段２５は、ＬＣＤ基板１
をホルダＢ上に載せるとき、及びＬＣＤ基板１に対する
マクロ検査、ミクロ検査が終了してＬＣＤ基板１をホル
ダＢ上から取り外すときに退避位置に移動し、ＬＣＤ基
板１をホルダＢ上に位置決めするときに基準位置に移動
する。
であって、同図(a)は退避位置に移動した状態（基準Ｏ
ＦＦ）、同図(b)は正規位置に移動した状態（基準Ｏ
Ｎ）を示す。すなわち、移動手段２５は、ＬＣＤ基板１
をホルダＢ上に載せるとき、及びＬＣＤ基板１に対する
マクロ検査、ミクロ検査が終了してＬＣＤ基板１をホル
ダＢ上から取り外すときに退避位置に移動し、ＬＣＤ基
板１をホルダＢ上に位置決めするときに基準位置に移動
する。
【００３７】このような構成であれば、ＬＣＤ基板１を
搬送ロボットによりホルダＢ上に載せるとき、移動手段
２５を、図７(a)に示すように退避位置に移動させるこ
とにより、ＬＣＤ基板１が各基準ピンユニット１０
Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３のピン１６、１７に誤って接
触する問題を解消することができるとともに、ＬＣＤ基
板１を容易にホルダＢ上に載せられる。
搬送ロボットによりホルダＢ上に載せるとき、移動手段
２５を、図７(a)に示すように退避位置に移動させるこ
とにより、ＬＣＤ基板１が各基準ピンユニット１０
Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３のピン１６、１７に誤って接
触する問題を解消することができるとともに、ＬＣＤ基
板１を容易にホルダＢ上に載せられる。
【００３８】また、マクロ検査、ミクロ検査を終了した
ＬＣＤ基板１を搬送ロボットによりホルダＢ上から取り
外すときに、各基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、
１０Ａ３を退避させることにより、搬送ロボットにより
ＬＣＤ基板１を持ち上げるときにピン１６、１７に擦れ
ることなく安全にＬＣＤ基板１を搬出することができ
る。
ＬＣＤ基板１を搬送ロボットによりホルダＢ上から取り
外すときに、各基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、
１０Ａ３を退避させることにより、搬送ロボットにより
ＬＣＤ基板１を持ち上げるときにピン１６、１７に擦れ
ることなく安全にＬＣＤ基板１を搬出することができ
る。
【００３９】次に、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上に位置決
めする際には、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上に載置した後
で基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３を図
７(b)に示すように正規位置に移動する。この後、ＬＣ
Ｄ基板１を基準ピンユニット１０Ａ１の対辺側から押付
ピンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると
共に、第１の基準辺１ａにある２つの基準ピンユニット
１０Ａ２、１０Ａ３の対辺側から押付けピンユニット１
０Ｂ２により押付力ｆｙで押し付ける。これにより、Ｌ
ＣＤ基板１は、ホルダＢ上の基準位置に位置決めされ
る。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対辺
側における各基準ピン１６と１７との間の位置に加え、
かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側における
２つの基準ピンユニット１０と１０との間の位置に加え
るのが望ましい。
めする際には、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上に載置した後
で基準ピンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３を図
７(b)に示すように正規位置に移動する。この後、ＬＣ
Ｄ基板１を基準ピンユニット１０Ａ１の対辺側から押付
ピンユニット１０Ｂ１により押付力ｆｘで押し付けると
共に、第１の基準辺１ａにある２つの基準ピンユニット
１０Ａ２、１０Ａ３の対辺側から押付けピンユニット１
０Ｂ２により押付力ｆｙで押し付ける。これにより、Ｌ
ＣＤ基板１は、ホルダＢ上の基準位置に位置決めされ
る。このとき、押付力ｆｘは、第２の基準辺１ｂの対辺
側における各基準ピン１６と１７との間の位置に加え、
かつ押付力ｆｙは、第１の基準辺１ａの対辺側における
２つの基準ピンユニット１０と１０との間の位置に加え
るのが望ましい。
【００４０】このように上記第５の実施の形態において
は、３つの基準ピンユニット１０Ａ １、１０Ａ２、１０
Ａ３にそれぞれ正規位置と退避位置とに移動させる各移
動手段２５、２５、２５を設けたので、上記第３の実施
の形態と同様な効果を奏することができることは言うま
でもなく、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上に載せるときとホ
ルダＢ上から取り外すときに基準ピンユニット１０
Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３を退避させることで各基準ピ
ンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３ の各ピン１
６、１７とＬＣＤ基板１とが接触することなく搬送ロボ
ットにより搬出することができるため、このときにＬＣ
Ｄ基板１に傷などを付けることはない。
は、３つの基準ピンユニット１０Ａ １、１０Ａ２、１０
Ａ３にそれぞれ正規位置と退避位置とに移動させる各移
動手段２５、２５、２５を設けたので、上記第３の実施
の形態と同様な効果を奏することができることは言うま
でもなく、ＬＣＤ基板１をホルダＢ上に載せるときとホ
ルダＢ上から取り外すときに基準ピンユニット１０
Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３を退避させることで各基準ピ
ンユニット１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３ の各ピン１
６、１７とＬＣＤ基板１とが接触することなく搬送ロボ
ットにより搬出することができるため、このときにＬＣ
Ｄ基板１に傷などを付けることはない。
【００４１】なお、本発明は、上記第１乃至第５の実施
の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨
を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨
を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【００４２】さらに、上記第１乃至第５の実施形態に
は、種々の段階の発明が含まれており、開示されている
複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の
発明が抽出できる。例えば、第１乃至第５の実施形態に
示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除さ
れても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題
が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得
られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明
として抽出できる。
は、種々の段階の発明が含まれており、開示されている
複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の
発明が抽出できる。例えば、第１乃至第５の実施形態に
示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除さ
れても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題
が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得
られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明
として抽出できる。
【００４３】例えば、上記第５の実施の形態では、基準
ピンユニット１０に移動手段２５を設けているが、これ
に限らず、押付けユニット１０Ｂ１、１０Ｂ２に移動手
段２５を設けても良く、また上記第３及び第４の実施の
形態（図４、図５）に示す各基準ピンユニット２０、２
４の軸２３にそれぞれ移動手段２５を設けてもよい。
ピンユニット１０に移動手段２５を設けているが、これ
に限らず、押付けユニット１０Ｂ１、１０Ｂ２に移動手
段２５を設けても良く、また上記第３及び第４の実施の
形態（図４、図５）に示す各基準ピンユニット２０、２
４の軸２３にそれぞれ移動手段２５を設けてもよい。
【００４４】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、Ｌ
ＣＤ基板の基準ピン又は押付けピンとの接触点に加わる
応力の集中を低減し、ＬＣＤ基板の位置決め精度を向上
させるピンユニット及び基板配列機構を提供できる。
ＣＤ基板の基準ピン又は押付けピンとの接触点に加わる
応力の集中を低減し、ＬＣＤ基板の位置決め精度を向上
させるピンユニット及び基板配列機構を提供できる。
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるピンユニッ
トの基本構成図。
トの基本構成図。
【図２】本発明の第１の実施の形態におけるピンユニッ
トを採用した基板配列機構の構成図。
トを採用した基板配列機構の構成図。
【図３】本発明の第２の実施の形態における基板配列機
構の構成図。
構の構成図。
【図４】本発明の第３の実施の形態における基板配列機
構の構成図。
構の構成図。
【図５】本発明の第４の実施の形態における基板配列機
構の構成図。
構の構成図。
【図６】本発明の第５の実施の形態における基板配列機
構の構成図。
構の構成図。
【図７】本発明の第５の実施の形態における基板配列機
構の移動手段の動作を示す図。
構の移動手段の動作を示す図。
【図８】従来の基板配列機構の構成図。
Ｂ：ホルダ
１：ＬＣＤ基板
１０，１０Ａ，１０Ａ１，１０Ａ２，１０Ａ３，１０Ｂ
１，１０Ｂ２：ピンユニット １１：軸 １２：回転部品 １３：軸受け部分 １４，１５：回転軸 １６，１７：ピン ２０：基準ピンユニット ２１：回転部品 ２２：ピン ２３：軸 ２４：基準ピンユニット ２５：移動手段 ２６：シリンダ ２７：クランク ２７ａ：軸 ２８：制御回路
１，１０Ｂ２：ピンユニット １１：軸 １２：回転部品 １３：軸受け部分 １４，１５：回転軸 １６，１７：ピン ２０：基準ピンユニット ２１：回転部品 ２２：ピン ２３：軸 ２４：基準ピンユニット ２５：移動手段 ２６：シリンダ ２７：クランク ２７ａ：軸 ２８：制御回路
Claims (5)
- 【請求項１】 軸に対して回転自在に設けられた回転部
品と、 この回転部品の両端にそれぞれ設けられ基板の一辺に沿
って整列する複数のピンと、を具備したことを特徴とす
るピンユニット。 - 【請求項２】 軸に対して回転自在に設けられた第１の
回転部品と、 この第１の回転部品の少なくとも一端側に回転自在に設
けられた第２の回転部品と、 前記第１又は第２の回転部品の端部に設けられ、基板の
一辺に沿って整列する複数のピンと、を具備したことを
特徴とするピンユニット。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載のピンユニットを基
板の基準に位置決めする基準ピンユニットとし、この基
準ピンユニットを基準位置と退避位置とに移動させる移
動手段を備えたことを特徴とするピンユニット。 - 【請求項４】 基板をホルダ上の基準位置に位置決めす
る基板配列機構において、 軸に対して回転自在に設けられた回転部品と、この回転
部品の両端にそれぞれ設けられ基板の一辺に沿って整列
する複数のピンとからなるピンユニットを、前記基板を
前記ホルダ上の基準位置に位置決めする基準ピンユニッ
トとして、又前記基板を基準位置に押付ける押付けピン
ユニットとして少なくとも前記ホルダの一辺に設けたこ
とを特徴とする基板配列機構。 - 【請求項５】 基板をホルダ上の基準位置に位置決めす
る基板配列機構において、 軸に対して回転自在に設けられた第１の回転部品と、こ
の第１の回転部品の少なくとも一端側に回転自在に設け
られた第２の回転部品と、前記第１又は第２の回転部品
の端部に設けられ基板の一辺に沿って整列する複数のピ
ンとからなるピンユニットを、前記基板を前記ホルダ上
の基準位置に位置決めする基準ピンユニットとして、又
前記基板を基準位置に押付ける押付けピンユニットとし
て、少なくとも前記ホルダ上の一辺に設けたことを特徴
とする請求項４記載の基板配列機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002079585A JP4136410B2 (ja) | 2002-03-20 | 2002-03-20 | ピンユニット及び基板配列機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002079585A JP4136410B2 (ja) | 2002-03-20 | 2002-03-20 | ピンユニット及び基板配列機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003282676A true JP2003282676A (ja) | 2003-10-03 |
| JP4136410B2 JP4136410B2 (ja) | 2008-08-20 |
Family
ID=29229002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002079585A Expired - Fee Related JP4136410B2 (ja) | 2002-03-20 | 2002-03-20 | ピンユニット及び基板配列機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4136410B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007294920A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-11-08 | Ebara Corp | 基板保持回転機構、基板処理装置 |
| KR20170137339A (ko) * | 2016-06-03 | 2017-12-13 | 세메스 주식회사 | 기판 얼라이너, 이를 구비하는 기판 검사 장치 및 이를 이용한 기판 정렬 방법 |
-
2002
- 2002-03-20 JP JP2002079585A patent/JP4136410B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007294920A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-11-08 | Ebara Corp | 基板保持回転機構、基板処理装置 |
| KR20170137339A (ko) * | 2016-06-03 | 2017-12-13 | 세메스 주식회사 | 기판 얼라이너, 이를 구비하는 기판 검사 장치 및 이를 이용한 기판 정렬 방법 |
| KR102521073B1 (ko) * | 2016-06-03 | 2023-04-12 | 세메스 주식회사 | 기판 얼라이너, 이를 구비하는 기판 검사 장치 및 이를 이용한 기판 정렬 방법 |
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|---|---|
| JP4136410B2 (ja) | 2008-08-20 |
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