JP2003282676A - ピンユニット及び基板配列機構 - Google Patents
ピンユニット及び基板配列機構Info
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Abstract
点に加わる応力の集中を低減し、LCD基板の位置決め
精度を向上させること。 【解決手段】LCD検査装置のホルダB上に、LCD基
板1の第1の基準辺1aに対して2つの基準ピン2−
1、2−2を設けると共に、第2の基準辺1bに対して
基準ピンユニット10Aを設け、かつこれら基準辺1
a、1b対向する押圧辺1c、1dに対して押付けピン
ユニット10B1、10B2を移動可能に設けた。
Description
プレイ(LCD)やプラズマディスプレイなどのフラッ
トパネルディスプレイに用いられる各種基板をLCD検
査装置のホルダ上に載置してその表面欠陥を検査すると
きに、これら基板をホルダ上の基準位置に位置決めする
ためのピンユニット及び基板配列機構に関する。
LCD基板を載置し、LCD基板の表面に照明光を照射
してその散乱光を作業員の目視により観察してLCD基
板の表面の欠陥、むらなどを検出するマクロ検査を行っ
たり、ホルダ上のLCD基板の表面を光学顕微鏡を用い
てその拡大画像を撮像し、その画像データからLCD基
板の表面の欠陥などを検出するミクロ検査が行われてい
る。
ホルダ上の基準位置に位置決めされる。図8はかかるL
CD検査装置に用いられる基板配列機構の概略構成図で
ある。LCD検査装置のホルダには、LCD基板1の隣
接する2つの基準辺に対して合計3つの基準ピン2−1
〜2−3が設けられている。このうち2つの基準ピン2
−1、2−2はLCD基板1の第1の基準辺1aに配置
され、基準ピン2−3はLCD基板1の第1の基準辺1
bに配置されている。
決めするときは、LCD基板1を各基準ピン2−1〜2
−3の対辺側からそれぞれ押付けピン4−1、4−2に
より押付力fx、fyで押し付け、LCD基板1を各基
準ピン2−1〜2−3に沿って配列している。
基板1に対して押付けピン4−1、4−2を図示矢印方
向に移動させて押付力fx、fyを加えて各基準ピン2
−1〜2−3に沿って配列させると、各基準ピン2−1
〜2−3とLCD基板1の各接触点3−1〜3−3及び
5−1〜5−2に応力が集中し、これら接触点3−1〜
3−3及び5−1〜5−2に当たるLCD基板1の各部
分が破壊されるおそれがある。特に大きなサイズのLC
D基板1では、重量が大きくなり、これに伴ってLCD
基板1をホルダ上の基準位置に位置決めするときの押付
力fx、fyも大きくなる。このため、位置決めの初期
に大きな応力が各接触点3−1〜3−3及び5−1〜5
−2の1つに集中し、LCD基板1が破壊されるおそれ
がある。また、LCD基板1に押付力fx、fyを同時
に加えると、このときの分圧は40°の方向に加わるた
めに基準ピン2−1と2−3の2つで位置決めされるこ
とがある。
は押付けピンとの接触点に加わる応力の集中を低減し、
LCD位置決め精度を向上させるピンユニット及び基板
配列機構を提供することを目的とする。
転自在に設けられた回転部品と、この回転部品の両端に
それぞれ設けられ基板の一辺に沿って整列する複数のピ
ンとを具備したことを特徴とするピンユニットである。
た第1の回転部品と、この第1の回転部品の少なくとも
一端側に回転自在に設けられた第2の回転部品と、第1
又は第2の回転部品の端部に設けられ、基板の一辺に沿
って整列する複数のピンとを具備したことを特徴とする
ピンユニットである。
置決めする基板配列機構において、軸に対して回転自在
に設けられた回転部品と、この回転部品の両端にそれぞ
れ設けられ基板の一辺に沿って整列する複数のピンとか
らなるピンユニットを、基板をホルダ上の基準位置に位
置決めする基準ピンユニットとして、又基板を基準位置
に押付ける押付けピンユニットとして少なくともホルダ
の一辺に設けたことを特徴とする基板配列機構である。
について図面を参照して説明する。
あって、同図(a)は上方から見た構成図、同図(b)は側面
図である。このピンユニット10は、LCD検査装置の
LCD基板1を保持するホルダB上に設けられ、このホ
ルダB上の基準位置にLCD基板1を位置決めする基準
ピンユニットと、LCD基板1を基準ピンユニットに押
し付ける押付けピンユニットとして用いられるものであ
る。
設けられている。この軸11の中間部分に形成された細
径の軸受け部分13には、回転部品12が回転自在に設
けられている。
孔には、それぞれ回転軸14、15が回転自在に設けら
れ、これら回転軸14、15の先端にそれぞれピン1
6、17に設けられている。これら回転軸14、15
は、例えば滑り軸受け、転がり軸受けなどを介して軸受
孔に取付けもよい。このピン16、17は必ず回転する
必要はなく、耐磨耗性で低摩擦の材質などを使用するこ
とにより、基準ピン16、17を固定しても良い。
ニットと押付けピンユニットとして用いれば、2個のピ
ン16、17が軸11を中心に揺動しLCD基板1の一
辺に沿って整列するためLCD基板1のピン16、17
との接触点に加わる応力を均等に分散し集中応力を低減
でき、LCD基板1の位置決め精度を向上させることが
できる。
板配列機構について図面を参照して説明する。なお、図
1と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省
略する。
基板配列機構は、上記第1の実施の形態のピンユニット
10を基準ピンユニットと押付けピンユニットに適用し
た構成である。LCD検査装置のホルダBには、LCD
基板1の2つの基準辺1a、1bのうち第1の基準辺1
a側のホルダ枠に対して2つの基準ピン2−1、2−2
が固定して設けられ、第2の基準辺1b側のホルダ枠に
対してピンユニット10を適用した基準ピンユニットが
設けられている。この基準ピンユニットを10Aで表示
する。この基準ピンユニット10Aの軸11は第2の基
準辺16側のホルダ枠に固定して設けられる。また、L
CD基板1の2つの基準辺1a,1bと対向する押付け
側のホルダ枠に対して基準ピンユニット10を適用した
押付けピンユニットが押付力fx、fx方向に移動可能
に設けられている。この押付けピンユニットを10
B1、10B2で表示する。
LCD基板1の表面に照明光を照射してその散乱光を作
業員の目視により観察してLCD基板1の表面の欠陥、
むらなどを検出するマクロ検査を行ったり、ホルダB上
のLCD基板1の表面を光学顕微鏡を用いてその拡大画
像を撮像し、その画像データからLCD基板1の表面の
欠陥などを検出するミクロ検査を行うとき、LCD基板
1は、ホルダB上の基準位置に位置決めされる。
1をホルダB上の基準位置に位置決めするとき、LCD
基板1を基準ピンユニット10Aの対辺側から押付けピ
ンユニット10B1により押付力fxで押し付けると共
に、LCD基板1を各基準ピン2−1、2−2の対辺側
から押付けピンユニット10B2により押付力fyで押
し付ける。このとき、押付力fxは、第2の基準辺1b
の対辺側における基準用のピン16と17との間の位置
に加え、かつ押付力fyは、第1の基準辺1aの対辺側
における各基準ピン2−1と2−2との間の位置に加え
るのが望ましい。
装置のホルダB上に、LCD基板1の第1の基準辺1a
に対して2つの基準ピン2−1、2−2を設けると共
に、第2の基準辺1bに対して基準ピンユニット10A
を設け、かつこれら基準辺1a、1b対向する押圧辺1
c、1dに対して押付けピンユニット10B1、10B
2を移動可能に設けたので、第2の基準辺1bと押圧辺
1c、1dにおいてLCD基板1に対する接触点10−
1、10−2を2点にすることができ、従来の1つの接
触点に集中する応力を2つの接触点10−1、10−2
で半分に低減することができ、LCD基板1に対する破
壊を防止することができる。また、基準ピンユニット1
0A及び押付けピンユニット10Bの首振り作用によ
り、一対のピン16、17がLCD基板1の一辺に沿っ
て整列しLCD基板1の位置決め精度高く行なうことが
できる。
は、その重量が大きくなり、これに伴ってLCD基板1
をホルダ上の基準位置に位置決めするときの押付力f
x、fyが大きくなっても、応力を2つの接触点10−
1、10−2に均等に分散し半減できるため、LCD基
板1の破壊を防止することができる。
参照して説明する。なお、図2と同一部分には同一符号
を付してその詳しい説明は省略する。
板1の第1の基準辺1aに対して基準ピン2−1、2−
2に代えて基準ピンユニット10A2、10A3を設け
たものである。
ホルダB上の基準位置に位置決めするとき、LCD基板
1を基準ピンユニット10A1の対辺側から押付けピン
ユニット10B1により押付力fxで押し付けると共
に、LCD基板1を2つの基準ピンユニット10A2、
10A3の対辺側から押付ピンユニット10B2により
押付力fyに押し付ける。このとき、押付力fxは、第
2の基準辺1bの対辺側における基準用のピン16と1
7との間の位置に加え、かつ押付力fyは、第1の基準
辺1aの対辺側における2つの基準ピンユニット10A
2と10A3との間の位置に加えるのが望ましい。
は、LCD基板1の第1の基準辺1aに対して2つの基
準ピンユニット10A2、10A3を設け、第2の基準
辺1bに対して基準ピンユニット10A1を設けたの
で、上記第1の実施の形態よりも、第1の基準辺1aに
おいてLCD基板1の各基準ピン16、17との接触点
10−3〜10−6を4点に増やすことができ、LCD
基板1に加わる応力を更に4つの接触点10−3〜10
−6に均等に分散して低減することができるため、LC
D基板1が大型化しても十分に破壊の問題に対応でき
る。
図面を参照して説明する。なお、図3と同一部分には同
一符号を付してその詳しい説明は省略する。
D基板1の第2の基準辺1bには、図3に示す基準ピン
ユニットA1に代えて基準ピンユニット20が設けられ
ている。この基準ピンユニット20には、ホルダ枠上に
固定して設けらけた軸23にコ字形状の回転部品21が
回転自在に設けられている。この回転部品21の一端側
には、図1と同様の構成のピンユニット10が回転自在
に設けられている。又、回転部品21の他端側には、ピ
ン22が回転自在に設けられている。
保持するホルダB上の基準位置に位置決めするとき、L
CD基板1を基準ピンユニット20の対辺側から押付け
ピンユニット10B1により押付力fxで押し付けると
共に、2つの基準ピンユニット10、10の対辺側から
押付けピンユニット10B2により押付力fyで押し付
ける。このとき、押付力fxは、第2の基準辺1bの対
辺側における各基準ピン16と22との間の位置に加
え、かつ押付力fyは、第1の基準辺1aの対辺側にお
ける2つの基準ピンユニット10と10との間の位置に
加えるのが望ましい。
は、LCD基板1の第2の基準辺1bに基準ピンユニッ
ト20を設け、第1の基準辺1aに対して2つの基準ピ
ンユニット10A2、10A3を設けたので、上記第2
の実施の形態よりも、第2の基準辺1bにおいてピン2
2を1つに増やすことができ、応力ピン16、17,2
2の3つの接触点10−1、10−2、10−7で均等
に分散しLCD基板1の第2の基準辺1bに加わる応力
をさらに低減することができ、LCD基板1が大型化し
ても十分に破壊の問題に対応できる。
図面を参照して説明する。この第4の実施の形態は、図
4に示す第3の実施の形態に適用された基準ピンユニッ
ト20の変形例を示すもので、他の構成は同一であるこ
とから図を省略する。
この基準ピンユニット24には、ホルダ枠上に固定して
設けられた軸23にコ字形状の回転部品21が回転自在
に設けられている。この回転部品21の両端には図1と
同様の構成のピンユニット10が回転自在に設けられて
いる。
ホルダB上の基準位置に位置決めするとき、LCD基板
1を基準ピンユニット24の対辺側から押付けピンユニ
ット10B1により押付力fxで押し付けると共に、2
つの基準ピンユニット10A 2、10A3の対辺側から
押付けピンユニット10B2により押付力fyで押し付
ける。このとき、押付力fxは、第2の基準辺1bの対
辺側における最両端にある各ピン16と17との間の位
置に加え、かつ押付力fyは、第1の基準辺1aの対辺
側における2つの基準ピンユニット10A2と10A3
との間の位置に加えるのが望ましい。
は、コ字形状の回転部品21の両端にそれぞれ図1と同
様のピンユニット10、10を設けたので、上記第3の
実施の形態よりも、第2の基準辺1bにおいてピンの数
を3点から4点に増やすことができ、応力ピン16、1
7、16、17の4つの接触点10−1、10−2、1
0−8、10−9で均等に分散しLCD基板1の第2の
基準辺1bに加わる応力をさらに低減することができ
る。
図面を参照して説明する。なお、図3と同一部分には同
一符号を付してその詳しい説明は省略する。
の基準ピンユニット10A1、10A2、10A3に
は、それぞれ移動手段25、25、25が設けられてい
る。これら移動手段25、25、25は、それぞれ基準
ピンユニット10A1、10A 2、10A3を基準位置
と退避位置とに移動させるものである。具体的にこれら
移動手段25、25、25は、それぞれに駆動を発生す
るアクチュエータとしてシリンダ26、26、26が設
けられている。このシリンダ26と基準ピンユニット1
0の軸11との間は直線運動を回転運動に変換するクラ
ンク27により連結されている。このクランプ27は軸
27aを中心に回動する。本図ではシリンダ26を用い
ているが、ソレノイドや直動モータ等の他の移動手段を
用いても良い。
回路28からの制御信号を受けて同時又は単独により動
作して各基準ピンユニット10A1、10A2、10A
3を図7(b)に示す基準位置と図7(a)に示す退避位置と
に移動させる。
であって、同図(a)は退避位置に移動した状態(基準O
FF)、同図(b)は正規位置に移動した状態(基準O
N)を示す。すなわち、移動手段25は、LCD基板1
をホルダB上に載せるとき、及びLCD基板1に対する
マクロ検査、ミクロ検査が終了してLCD基板1をホル
ダB上から取り外すときに退避位置に移動し、LCD基
板1をホルダB上に位置決めするときに基準位置に移動
する。
搬送ロボットによりホルダB上に載せるとき、移動手段
25を、図7(a)に示すように退避位置に移動させるこ
とにより、LCD基板1が各基準ピンユニット10
A1、10A2、10A3のピン16、17に誤って接
触する問題を解消することができるとともに、LCD基
板1を容易にホルダB上に載せられる。
LCD基板1を搬送ロボットによりホルダB上から取り
外すときに、各基準ピンユニット10A1、10A2、
10A3を退避させることにより、搬送ロボットにより
LCD基板1を持ち上げるときにピン16、17に擦れ
ることなく安全にLCD基板1を搬出することができ
る。
めする際には、LCD基板1をホルダB上に載置した後
で基準ピンユニット10A1、10A2、10A3を図
7(b)に示すように正規位置に移動する。この後、LC
D基板1を基準ピンユニット10A1の対辺側から押付
ピンユニット10B1により押付力fxで押し付けると
共に、第1の基準辺1aにある2つの基準ピンユニット
10A2、10A3の対辺側から押付けピンユニット1
0B2により押付力fyで押し付ける。これにより、L
CD基板1は、ホルダB上の基準位置に位置決めされ
る。このとき、押付力fxは、第2の基準辺1bの対辺
側における各基準ピン16と17との間の位置に加え、
かつ押付力fyは、第1の基準辺1aの対辺側における
2つの基準ピンユニット10と10との間の位置に加え
るのが望ましい。
は、3つの基準ピンユニット10A 1、10A2、10
A3にそれぞれ正規位置と退避位置とに移動させる各移
動手段25、25、25を設けたので、上記第3の実施
の形態と同様な効果を奏することができることは言うま
でもなく、LCD基板1をホルダB上に載せるときとホ
ルダB上から取り外すときに基準ピンユニット10
A1、10A2、10A3を退避させることで各基準ピ
ンユニット10A1、10A2、10A3 の各ピン1
6、17とLCD基板1とが接触することなく搬送ロボ
ットにより搬出することができるため、このときにLC
D基板1に傷などを付けることはない。
の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨
を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
は、種々の段階の発明が含まれており、開示されている
複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の
発明が抽出できる。例えば、第1乃至第5の実施形態に
示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除さ
れても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題
が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得
られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明
として抽出できる。
ピンユニット10に移動手段25を設けているが、これ
に限らず、押付けユニット10B1、10B2に移動手
段25を設けても良く、また上記第3及び第4の実施の
形態(図4、図5)に示す各基準ピンユニット20、2
4の軸23にそれぞれ移動手段25を設けてもよい。
CD基板の基準ピン又は押付けピンとの接触点に加わる
応力の集中を低減し、LCD基板の位置決め精度を向上
させるピンユニット及び基板配列機構を提供できる。
トの基本構成図。
トを採用した基板配列機構の構成図。
構の構成図。
構の構成図。
構の構成図。
構の構成図。
構の移動手段の動作を示す図。
1,10B2:ピンユニット 11:軸 12:回転部品 13:軸受け部分 14,15:回転軸 16,17:ピン 20:基準ピンユニット 21:回転部品 22:ピン 23:軸 24:基準ピンユニット 25:移動手段 26:シリンダ 27:クランク 27a:軸 28:制御回路
Claims (5)
- 【請求項1】 軸に対して回転自在に設けられた回転部
品と、 この回転部品の両端にそれぞれ設けられ基板の一辺に沿
って整列する複数のピンと、を具備したことを特徴とす
るピンユニット。 - 【請求項2】 軸に対して回転自在に設けられた第1の
回転部品と、 この第1の回転部品の少なくとも一端側に回転自在に設
けられた第2の回転部品と、 前記第1又は第2の回転部品の端部に設けられ、基板の
一辺に沿って整列する複数のピンと、を具備したことを
特徴とするピンユニット。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載のピンユニットを基
板の基準に位置決めする基準ピンユニットとし、この基
準ピンユニットを基準位置と退避位置とに移動させる移
動手段を備えたことを特徴とするピンユニット。 - 【請求項4】 基板をホルダ上の基準位置に位置決めす
る基板配列機構において、 軸に対して回転自在に設けられた回転部品と、この回転
部品の両端にそれぞれ設けられ基板の一辺に沿って整列
する複数のピンとからなるピンユニットを、前記基板を
前記ホルダ上の基準位置に位置決めする基準ピンユニッ
トとして、又前記基板を基準位置に押付ける押付けピン
ユニットとして少なくとも前記ホルダの一辺に設けたこ
とを特徴とする基板配列機構。 - 【請求項5】 基板をホルダ上の基準位置に位置決めす
る基板配列機構において、 軸に対して回転自在に設けられた第1の回転部品と、こ
の第1の回転部品の少なくとも一端側に回転自在に設け
られた第2の回転部品と、前記第1又は第2の回転部品
の端部に設けられ基板の一辺に沿って整列する複数のピ
ンとからなるピンユニットを、前記基板を前記ホルダ上
の基準位置に位置決めする基準ピンユニットとして、又
前記基板を基準位置に押付ける押付けピンユニットとし
て、少なくとも前記ホルダ上の一辺に設けたことを特徴
とする請求項4記載の基板配列機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002079585A JP4136410B2 (ja) | 2002-03-20 | 2002-03-20 | ピンユニット及び基板配列機構 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007294920A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-11-08 | Ebara Corp | 基板保持回転機構、基板処理装置 |
KR20170137339A (ko) * | 2016-06-03 | 2017-12-13 | 세메스 주식회사 | 기판 얼라이너, 이를 구비하는 기판 검사 장치 및 이를 이용한 기판 정렬 방법 |
-
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- 2002-03-20 JP JP2002079585A patent/JP4136410B2/ja not_active Expired - Fee Related
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