JP2024501318A - 同期基板搬送および電気的プロービング - Google Patents

Abstract

平坦なパターン化媒体などのガラス基板検査のためのシステムは、ガラス基板を保持する空気テーブルを含む。空気テーブルは、空気ベアリングとしてガスを放出するチャックレットを備えている。カメラは、空気テーブル上に配置され、ガラス基板の上面の幅にわたる方向に移動する。アセンブリは、グリッパと、カメラの下で搬送されるように構成されたプローブバーとを含む。グリッパは、上面の反対側のガラス基板の底面を把持するように構成される。プローブバーは、複数のプローブピンを介してガラス基板に駆動信号を供給する。

Description

本開示は、平坦パターン化媒体のための検査システムに関する。

平坦なパターン化媒体は、光学技術を使用して検査することができる。例えば、自動光学検査（ＡＯＩ）は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）アレイ等の大型平坦パターン化媒体上で行われることができる。ＴＦＴアレイは、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の主要構成要素である。

ＬＣＤパネルの製造中、薄いガラスの大きな透明シートが、材料の様々な層の堆積のための基板として使用され、複数の分離可能な同一のディスプレイパネルとして機能することが意図される電子回路を形成する。この堆積は、通常、段階的に行われ、各段階において、特定の材料（例えば、金属、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）、シリコン、アモルファスシリコンなどである。）が、所定のパターンに付着して、前の層上または裸のガラス基板上に堆積される。各段階は、堆積、マスキング、エッチング、および剥離などの様々なステップを含む。

生産欠陥は、これらの段階の各々の間に、および段階内の様々な段階で生じ得る。生産欠陥は、最終ＬＣＤ製品の性能に電子的および／または視覚的影響を及ぼす可能性がある。そのような欠陥は、回路短絡、開路、異物、ミスデポ、フィーチャサイズ問題、オーバーエッチング、及びアンダーエッチングを含むが、これらに限定されない。ＴＦＴ ＬＣＤパネルまたは他のフラットパターン媒体検査の場合、検出の対象となる欠陥は小さく（例えば、個々のマイクロメートルまで）、したがって、厳しい欠陥検出限界を必要とする。

欠陥の単なる検出は不充分であり得る。検出された欠陥はまた、プロセス欠陥（すなわち、軽微な欠陥）として分類されなければならず、これは、完成品の性能を損なわないが、アレイ製造プロセスが最適な条件から外れているという早期の指標である；アレイ生産収率を改善するために修復することができる修復可能な欠陥；また、キラー欠陥は、ＴＦＴアレイのさらなる使用を不適格にする。

従来のＡＯＩシステムでは、光学走査分解能、ＴＡＣＴ時間、検出限界、およびコストなどのいくつかの重要な特性の間に妥協点がある。これらの特性は、ＡＯＩ器具の適用の有用性又はタイプを決定する。典型的には、ある特性は、別の特性を損なうことによって最適化または改善することができる。例えば、ＡＯＩシステムの分解能を増大させることができ、その結果、検出限界が改善され、より小さな欠陥が検出可能になる。しかしながら、これらの改善は、検査を完了するのに必要な時間（ＴＡＣＴ時間）またはシステムコストに悪影響を及ぼす。逆に、異なるタイプの用途では、検出限界を緩和することができ、システム分解能を低下させることによって、より大きな欠陥を検出可能にし、したがって、より短いＴＡＣＴ時間および低減されたシステムコストを達成する。

ＴＡＣＴ時間は、一般に、検査中のＬＣＤパネル上に特徴を含む少なくとも１つの個々の基板を含むガラスパネルを装填するのにかかる時間として定義される。ガラスパネルは、装填され、移動され、位置合わせされる。検査ヘッドは、検査のために第１の部位を位置決めする。検査ヘッド内のペイロードは、Ｘ軸に移動され、ガラスパネルを横切って走査する。完了すると、ガラスパネルは次の行に移動する。ＴＡＣＴは、１つのガラスパネルを完成させるのにかかる時間である。

現在のＡＯＩシステムは、許容可能な価格で生産速度に適合した高い検出感度及びＴＡＣＴ時間を提供することができない。これは、ＬＣＤ産業において、インライン機器としての低性能で短いＴＡＣＴ時間のシステムの使用を課している。生産速度に適合しない、より長い検査時間を必要とするより高い検出感度システムは、選択されたＴＦＴパネルのみを検査することができるオフライン機器としてのみ使用され得る。この検査方法は、しばしばサンプリング動作モードと呼ばれる。

ＡＯＩシステムの動作分解能は、そのコストに直接影響を及ぼす。短いＴＡＣＴ時間に対して、このコストは、動作分解能の増加と共にほぼ指数関数的に増加する。

したがって、短いＴＡＣＴ時間が必要とされる生産速度での高スループットのインライン用途では、比較的低い分解能のみがシステムのために実現可能であった。

米国特許第７１３７３０９号

したがって、平坦なパターン化媒体のための検査の改善されたシステムおよび方法が必要とされる。

第１の実施形態では、システムが提供される。このシステムは、ガラス基板を保持するように構成された空気テーブルを備える。空気テーブルは、レールチャックレットのアレイを含む。レールチャックレットの各々は、空気ベアリングとしてガスを放出するように構成された開口を有する。カメラは、空気テーブルの上に配置される。カメラは、カメラを用いて撮像されるガラス基板の上面の幅を横切る方向に移動するように構成される。アセンブリは、グリッパと、カメラの下で搬送されるように構成されたプローブバーとを含む。グリッパは、上面の反対側のガラス基板の底面を把持するように構成される。プローブバーは、複数のプローブピンを介してガラス基板に駆動信号を供給する。少なくとも１つのアクチュエータは、カメラの下にアセンブリを搬送するように構成されている。

プローブバーは、空気テーブルにわたって延在することができる。

グリッパは、真空力を使用してガラス基板を把持することができる。

グリッパは、ガラス基板の幅にわたって延在することができる。

システムは、アセンブリ上に配置された変位センサを含むことができる。

第２の実施形態では、方法が提供される。この方法は、ガラス基板の底面にプローブバーを取り付けることを含む。ガラス基板は、プローブバーを備えた空気テーブルを用いてカメラの下に運ばれる。空気テーブルは、レールチャックレットのアレイを含む。レールチャックレットの各々は、空気ベアリングとしてガスを放出するように構成された開口を有する。ガラス基板の搬送中に、プローブバーを用いて複数のプローブピンを介してガラス基板に駆動信号が供給される。カメラは、ガラス基板の上面の幅にわたって移動する。上面は底面の反対側にある。

本方法は、ガラス基板の搬送中にガラス基板の上面からある距離に配置されたカメラでガラス基板を検査するステップを含むことができる。

プローブピンは、ガラス基板の全体について検査が完了した後、ガラス基板から取り外すことができる。

本方法は、ガラス基板の全体について検査が完了した後に、ガラス表面の底面からプローブバーを除去するステップを含むことができる。

プローブピンは、ガラス基板上のパネルの列の検査が完了した後、ガラス基板から外すことができる。

この方法は、ガラス基板上のパネルの列の検査が完了した後に、ガラス表面の底面からプローブバーを除去することを含むことができる。

この方法は、カメラからのデータを使用してガラス基板内の欠陥を分類することを含むことができる。

本方法は、搬送中および駆動信号の供給中にプローブバーとのアセンブリを使用してガラス基板の底面を真空把持するステップを含むことができる。真空把持は、ガラス基板の全体に対する検査が完了した後、またはガラス基板上のパネルの列に対する検査が完了した後に解除することができる。

本開示の性質および目的をより完全に理解するために、添付の図面と併せて以下の詳細な説明を参照されたい。
本開示によるシステムの一実施形態の図である。 プローブバーを有する集積電気プローブの図である。 図２の集積電気プローブの正面図である。 変位センサが埋め込まれた予荷重チャックを示す図である。 本開示による方法のフローチャートの実施形態である。

特許請求される主題は、ある実施形態に関して説明されるが、本明細書に記載される利益および特徴の全てを提供しない実施形態を含む、他の実施形態もまた、本開示の範囲内である。様々な構造的、論理的、プロセスステップ、および電子的変更が、本開示の範囲から逸脱することなく行われ得る。

したがって、本開示の範囲は、添付の特許請求の範囲を参照することによってのみ定義される。

本開示の実施形態は、ガラス基板または他の平坦なパターン化媒体などの可撓性または剛性基板上でのアレイチェッカー（ＡＣ）試験を可能にする。ＡＣシステムは、変調器のためのパネル（例えば、ＬＣＤパネル）を探査および起動して、光学カメラを通して検査を行うことができる。基板プロービングおよび搬送を組み合わせることにより、分割軸システムにおいてより良好なＴＡＣＴ時間およびより低いコストがもたらされる。本明細書に開示される実施形態は、被試験デバイス（ＤＵＴ）の電気的検査が完了するまで、プローブが基板と接触することを可能にする。これにより、プローブ対プローブパッドの接触を確認するために行われる接触試験の頻度を排除することができる。予荷重チャックの使用は、検査中に基板を真空把持し、搬送中に基板を解放する必要性を排除することができる。この結果、チャック上の平坦度コンプライアンスが緩和されるため、コストが低減されると共にスループットが向上する。

これらの実施形態では、ガラス基板ＤＵＴは、ＴＶ、モニタ、タブレット、携帯電話、または他のデバイス等のＬＣＤ／ＯＬＥＤの特徴を含むガラスのシート全体である。テストされるパネルの数は、フィーチャの構成に依存する。

図１は、システム１００の一実施形態の図である。空気テーブル１０２は、ガラス基板１０１等を保持する。空気テーブル１０２は、レールチャックレット１０３のアレイを含む。レールチャックレット１０３は、エアベアリングとしてガスを放出する開口部を有する。これにより、ガラス基板１０１をレールチャックレット１０３の上方に浮上させることができる。ガラス基板１０１を支持する８つのチャックレット１０３が図１に示されているが、より多いまたはより少ないチャックレット１０３が可能である。

チャックレット１０３は、平行レールのアレイに配置することができる。チャックレット１０３は中空とすることができ、ガラス基板１０１などの平坦な大型薄板ガラスを支持するように正確に位置合わせすることができる。チャックレット１０３は、クロスブレース１０８などのクロスブレース上に載ることができる。真空クランプ１０９は、回転及び整列スライド上に取り付けることができる。エッジセンサ（図示せず）は、ガラス基板１０１のエッジを検出するために使用される。チャックレット１０３は、エアベアリング（そのようなものは、ガラス基板１０１の下側の反対側の面における開口である）を使用し、一端で横真空プレナムに結合され、それによって、試験されるガラス基板１０１を支持するためのグリルを形成する。チャックレット１０３は、ガス源および／またはポンプと流体連通することができる。

この構成は、ガラス基板１０１がカメラ１０４の下に位置決めされている間にガラス基板１０１の垂直位置を正確に制御し安定させるために、真空クランプ１０９ならびに関連する回転および位置合わせスライドと組み合わせてチャックレット１０３内の空気ベアリングを使用する。

空気テーブル１０２の上方にはカメラ１０４が配置されている。カメラ１０４（または他のペイロード）は、ガラス基板１０１の上面の幅を横切る方向に移動するように構成される。例えば、カメラ１０４は、Ｘ方向に移動することができる。カメラ１０４は、空気テーブル１０２を覆って延在する固定ビーム１０５上に搭載されてもよい。アクチュエータ（図示せず）を使用して、カメラ１０４は、固定ビーム１０５に対してＸ方向、Ｙ方向、および／またはＺ方向に移動することができる。画像および情報は、ガラス基板１０１の検査および／またはガラス基板１０１上の欠陥の分類に使用することができる。これは、カメラ１０４と電子通信するプロセッサによって実行されてもよい。

基板ハンドラ１０６は、空気テーブル１０２上のカメラ１０４の下にガラス基板１０１を搬送するために使用することができる。プローブバー１０７は、基板ハンドラ１０６を用いて移動することができる。例えば、アクチュエータは、基板ハンドラ１０６に沿ってプローブバー１０７を移動させることができる。基板ハンドラ１０６は、プローブバー１０７のためのレールまたは他のトラックを含むことができる。基板ハンドラ１０６はまた、ガラス基板１０１を操縦するのを助けるために、ガラス基板１０１の側面（すなわち、上面と底面との間である）またはガスジェットのためのグリッパを含むことができる。

プローブバー１０７は、図２および図３に示されるグリッパ１１０を含むことができる。グリッパ１１０は、ガラス基板１０１がカメラ１０４の下に搬送されるときにガラス基板１０１の縁部および／または底部に接触することができる。各グリッパ１１０は、真空によってガラス基板１０１の表面に適用される。各グリッパ１１０は、ガラス基板１０１の表面に吸引または真空を適用するための１つまたは複数の開口を含むことができる。グリッパ１１０は、真空ポンプと流体連通することができる。１つのグリッパ１１０のみが示されているが、２つ以上の別個のグリッパ１１０は、プローブバー１０７とのアセンブリの一部であり得る。

ガラス基板１０１のプロービングおよび把持は同時に行うことができる。グリッパ１１０およびプローブバー１０７のプローブは両方とも、運動軸上にある。ガラスの把持は、ＤＵＴ全体が繰り返し把持及び把持解除することなく移動することを可能にすることができ、これは、全体的なＴＡＣＴ時間を短縮する。

図１に戻ると、プローブバー１０７は、空気テーブル１０２の上に配置され、システム１００を使用してガラス基板１０１の動きと統合することができる。プローブバー１０７は、グリッパ１１０などでガラス基板１０１の底面を把持するように構成される。底面は、Ｚ方向においてカメラ１０４に面する上面の反対側であってもよい。これにより、ガラス基板１０１の下面を空気テーブル１０２に露出させることができる。プローブバー１０７は、ガラス基板１０１とともにカメラ１０４の下に搬送することができる。プローブバー１０７は、Ｘ方向に空気テーブルにわたって延在することができる。プローブバー１０７のＸ方向の幅は、ガラス基板１０１のＸ方向の幅と同様であってもよい。

プローブバー１０７は、電気的試験を受けるデバイスに駆動信号を送達するために使用することができる。例えば、ガラス基板１０１は、ガラスまたはポリマー基板上に画定されたＬＣＤまたはＯＬＥＤディスプレイパネルであってもよい。プロービングアセンブリの以前の設計は、プローブとＤＵＴ上のプローブパッドとの間の接触を可能にするために垂直および／または水平運動を提供する専用軸上に取り付けられたプローブを含んだ。これらの設計は、基板またはプローブの動作中にプローブがＤＵＴと接触しないことを必要とする。

本開示の実施形態は、ガラス基板１０１の運動中のプロービングを可能にする。これは、図２および図３に示すように、プロービングおよび基板ハンドリングを単一のアセンブリに組み合わせることによって可能となる。ガラス基板１０１の運動は、運動中にガラス基板１０１を把持する直線軸上の単一のプローブバー１０７または複数の平坦なバーによって提供することができる。平坦なバーはまた、ＤＵＴとの接触中にプローブのための支持構造としての役割を果たし、ガラス基板１０１のたるみを防止する。アクチュエータによって作動されるばね荷重プローブピンの力およびクランプ力の間に加えられる力は、ガラス基板１０１にたるみを引き起こし得る。チャックレット１０３は、ガラス基板１０１の底部を支持することができる。

プローブバー１０７は、１つ以上のプローブブロック１１１を含む。各プローブブロック１１１は、プローブピン１１２を含む。プローブピン１１２は、ガラス基板１０１に接触可能である。プローブブロック１１１は、支持体１１３上に配置されている。支持体１１３、プローブブロック１１１、およびグリッパ１１０は、アクチュエータによって１つのアセンブリで一緒に搬送されるように構成される。

プローブバー１０７は、１つ以上のアクチュエータ１１４を含むか、またはそれに接続することができる。アクチュエータ１１４は、プローブブロック１１１およびプローブピン１１２をガラス基板に対して圧縮することができる。したがって、アクチュエータ１１４は、Ｚ方向の運動を可能にすることができる。アクチュエータ１１４または他のアクチュエータは、プローブバーをＹ方向に移動させることができる。

グリッパ１１０は、ガラス基板１０１の幅にわたって延在することができる。真空ポンプ（図示せず）および管類を使用して、真空をグリッパ１１０に提供することができる。グリッパ１１０は、プローブバーがレールチャックレット１０３上でガラス基板１０１を移動させる間にガラス基板１０１を保持するために使用することができる。

プローブバーユニットは、所与のパネル列の検査中に一方向（例えば、Ｙ方向の前方）に移動することができるが、パネルの次の列または次のガラス基板１０１に切り替えるときに反対方向に移動することができる。複数のプローブバーユニットの場合、１つのユニットを使用してパネルのリーディング側をプローブし、別のユニットを使用してトレーリング側をプローブすることができる。このパネル行からパネル行への動きは順次であり、一方のユニットがガラス基板１０１を保持し、他方のユニットが移動する。

ある例では、プローブバーユニットを使用して、薄い可撓性基板を「伸張」し、それが垂れ下がるのを防ぐことができる。これにより、ＡＣを用いた試験中に、より均一な作動距離を確保することができる。

プローブバー１０７の使用は、プローブが動作中にＤＵＴから解放される必要がないので、ＴＡＣＴ時間及び信頼性の利点を提供する。さらに、フラットバー支持体は、均一性の改善に加えて、ＤＵＴの完全検査中のプロービング力の変動の低減を提供する。また、プローブバー１０７は、表裏の基板ハンドラ軸とプローブバー軸とを組み合わせたものであるため、２つで必要な軸数を減らしてコストを節約できる。

電圧撮像光学サブシステム（ＶＩＯＳ）を使用するフラットパネルディスプレイの電気的検査は、ＤＵＴがセンサ表面に対して平坦または平行であることを必要とし得る。以前の設計は、検査プロセス中に真空によって平坦な表面上にフラットパネルディスプレイ基板を固定することを含んでいた。システム１００は、接触を必要とせずに平坦なＤＵＴを得るために真空予荷重法を導入することによって、ガラス基板１０１を平坦な表面上に固定する必要性を低減する。システム１００は、ガラス基板１０１がＤＵＴの単位検査ごとに固定および解放されないことがあるので、より良好なスループットを提供することができる。これは、ロールツーロール検査および他のプロセス関連用途の可能性を開く。

さらに、システム１００は、図４に示されるような複数の変位センサを使用して、ＤＵＴの底面の局所垂直変位をリアルタイムで監視することができる。センサは、図４では、六角形および異なるサイズの円によって表され、プローブバー１０７とのアセンブリの一部であり得る。あらゆる部位でのＣＡＥフレーム（すなわち、較正画像が取得され、標準として使用される）の取得をスキップすることができ、これは、より速いＴＡＣＴ時間を促進することができる。あらゆる部位でＣＡＥフレームを測定する代わりに、準静的較正は、ＶＩＯＳの不均一性を補正することができる。モジュレータ、イルミネータ、光学系、センサは、部位毎に変化しない傾向がある。測定値のリアルタイムモデルベースの補正は、測定されたガラスフライハイト値に基づくことができる。これは、ギャップオフラインの関数として画像強度を測定し、このデータの信頼できるモデルを構築することによって達成することができる。各センサピクセルに必要な補正は、測定されたガラス平坦度値からの各センサピクセルからのギャップ値の双線形補間によって得ることができる。システム１００の実施形態は、走査ベースの用途（例えば、ＶＩＯＳまたは静電感知）に特に魅力的であり得、ＣＡＬ画像のリアルタイム測定は、センサが絶えず動いているため、単純に不可能である。

ある例では、線形可変変位トランスデューサ（ＬＶＴＤ）センサを使用して、ガラス基板の変位を測定することができる。

図５は、方法２００のフローチャートの実施形態である。方法２００は、２０１において、図１～図３のプローブバーなどのプローブバーをガラス基板の底面に取り付けるステップを含む。２０２において、プローブバーを備えた空気テーブルを使用して、ガラス基板をカメラの下に搬送することができる。空気テーブルは、レールチャックレットのアレイを含む。レールチャックレットの各々は、空気ベアリングとしてガスを放出するように構成することができる開口を有する。２０３において、搬送中にプローブバーを用いてガラス基板に駆動信号が送られる。信号は、ガラス基板が動いている間に、またはガラス基板がカメラの下で一時的に静止している間に送達することができる。２０４において、カメラは、ガラス基板の上面の幅にわたって移動される。ガラス基板の上面は底面の反対側にある。

カメラは、ガラス基板を検査するために使用することができる。カメラは、ガラス基板の搬送中にガラス基板の上面から距離を置いて配置することができる。

プローブバーは、ディスプレイの行全体が検査されるまで、プロービングサイクル中にグリッパを解放することなく移動することができる。したがって、システムは、各ガラス移動でプローブを持ち上げることなく、連続的な検査サイクルを提供することができる。グリッパは、ガラス基板に接触することができ、プローブピンは、搬送中にガラス基板に接触したままであり得る。グリッパおよびプローブピンは、ガラス基板の一部または全体の検査が完了した後に解放または係合解除することができる。

空気テーブルは、カメラ１０４の下にガラス基板１０１を浮上させることができる。空気テーブルは、ガラス基板１０１がカメラ１０４の下に位置決めされている間、および／またはカメラ１０４による撮像中に停止されてもよい。グリッパ１１０およびプローブピン１１２は、カメラ１０４による撮像中に取り付けられたままであり得る。カメラ１０４による撮像後、空気テーブルを再作動させてガラス基板１０１を再配置することができる。例えば、ガラス基板１０１は、ガラス基板１０１内の新しい行がカメラ１０４の下に位置付けられるように移動されてもよい。

本開示の実施形態は、任意の平坦で周期的にパターン形成された媒体の検査に適用可能であるが、実施形態は、それらの製造の様々な段階におけるＴＦＴアレイの高スループットのインライン検査に特に有用であり得る。

本開示は、１つ以上の特定の実施形態に関して説明されたが、本開示の他の実施形態が、本開示の範囲から逸脱することなく行われ得ることが理解されるであろう。したがって、本開示は、添付の特許請求の範囲及びその妥当な解釈によってのみ限定されると見なされる。

Claims (15)

1. システムであって、
   ガラス基板を保持するように構成された空気テーブルであって、前記空気テーブルは、レールチャックレットのアレイを含み、前記レールチャックレットの各々は、エアベアリングとしてガスを放出するように構成された開口を有する、空気テーブルと、
   前記空気テーブル上に配置されたカメラであって、前記カメラを使用して撮像される前記ガラス基板の上面の幅を横切る方向に移動するように構成される、カメラと、
   グリッパと、前記カメラの下に搬送されるように構成されたプローブバーとを含み、前記グリッパは、前記上面の反対側の前記ガラス基板の底面を把持するように構成され、前記プローブバーは、複数のプローブピンを介して前記ガラス基板に駆動信号を供給する、アセンブリと、
   カメラの下にアセンブリを搬送するように構成された少なくとも１つのアクチュエータと、
   を備えるシステム。
2. 前記プローブバーは、前記空気テーブルにわたって延在することを特徴とする請求項１に記載のシステム。
3. 前記グリッパは、真空力を用いて前記ガラス基板を把持することを特徴とする請求項１に記載のシステム。
4. 前記グリッパは、前記ガラス基板の幅にわたって延在することを特徴とする請求項１に記載のシステム。
5. 複数の変位センサが前記アセンブリ上に配置されることをさらに含む請求項１に記載のシステム。
6. 方法であって、
   プローブバーをガラス基板の底面に取り付けるステップと、
   前記プローブバーを有する空気テーブルを使用してカメラの下にガラス基板を搬送するステップであって、前記空気テーブルは、レールチャックレットのアレイを含み、前記レールチャックレットの各々は、空気ベアリングとしてガスを放出するように構成された開口を有する、ステップと、
   前記ガラス基板の搬送中に、前記プローブバーを用いて複数のプローブピンを介して前記ガラス基板に駆動信号を供給するステップと、
   前記ガラス基板の上面の幅にわたってカメラを移動させるステップであって、上面は底面の反対側にある、ステップと、
   を備える方法。
7. 前記ガラス基板の搬送中に、前記ガラス基板の上面からある距離に配置されたカメラで前記ガラス基板を検査することをさらに含む請求項６に記載の方法。
8. 前記プローブピンは、前記ガラス基板の全体について検査が完了した後、前記ガラス基板から外されることを特徴とする請求項７に記載の方法。
9. 前記プローブバーは、前記ガラス基板全体について検査が完了した後、前記ガラス表面の底面から除去されることをさらに含む請求項７に記載の方法。
10. 前記プローブピンは、前記ガラス基板上のパネルの列の検査が完了した後、前記ガラス基板から係合解除されることを特徴とする請求項７に記載の方法。
11. 検査が完了した後、前記ガラス基板上のパネルの列について、前記ガラス表面の底面から前記プローブバーを除去することをさらに含む請求項７に記載の方法。
12. 前記カメラからのデータを用いて前記ガラス基板の欠陥を分類することをさらに含む請求項６に記載の方法。
13. 搬送中及び供給中に前記プローブバーとのアセンブリを用いて前記ガラス基板の底面を真空把持することをさらに含む請求項６に記載の方法。
14. 検査後の真空把持の解除は、前記ガラス基板全体について完了することをさらに含む請求項１３に記載の方法。
15. 検査後の真空把持の解除は、前記ガラス基板上のパネルの列について完了することをさらに含む請求項１３に記載の方法。
    

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