JP4117175B2 - 回転角検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、外部磁界の変化に応じて大きな抵抗変化を示すGMR素子を用いた回転角検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
【0003】
図4は従来の回転角検出装置の要部を示す平面図、図5は磁気検出部の回路構成図である。
【0004】
図4に示す回転角検出装置は、回転角出力として2系統の出力が可能な回転角検出装置である。
【0005】
図4に示すように、従来の回転角検出装置1では、基板(図示せず)上が、互いに垂直に交差するX軸とY軸の仮想軸線によって4つのブロック(領域)A、B、CおよびDに分けられている。ブロックAには一対の巨大磁気抵抗効果素子(以下、GMR素子)G1,G2が配置され、ブロックBには一対のGMR素子G3,G4が配置され、ブロックCには一対のGMR素子G5,G6が配置され、ブロックDには一対のGMR素子G7,G8が配置されている。
【0006】
4つのブロックA、B、CおよびDと対面する位置には、円盤またはリング状の回転体2が設けられており、前記回転体2はX軸とY軸との原点Oを中心として図示α1およびα2方向に回転自在とされている。
【0007】
前記回転体2の外周部には前記原点Oに対し対称となる位置に磁石M1,M2が設けられている。前記一方の磁石M1は内周側がN極に、他方の磁石M2は内周側がS極に着磁されている。よって、回転体2では磁石M1のN極から磁石M2のS極に向かう磁界が発生しており、この磁界中に前記各ブロックAないしDのGMR素子G1ないしG8が設けられている。
【0008】
図4および図5では、各GMR素子内の固定磁性層の固定磁化の向きを矢印eで示している。図4に示すように1つのブロック内に設けられた一対のGMR素子の固定磁化の向きeは同じである。またAブロックとBブロック、CブロックとDブロックは固定磁化の向きeが互いに同じであるが、A,BブロツクとC,Dブロックとでは異なっている。
【0009】
前記GMR素子G1ないしG8は、図5に示すように結線されることにより2つのホイートストーンブリッジ回路を構成している。第1のホイートストーンブリッジ回路は、ブロックAのGMR素子G1,G2とブロックCのGMR素子G5,G6とで構成され、第2のホイートストーンブリッジ回路は、ブロックBのGMR素子G3,G4とブロックDのGMR素子G7,G8とで構成されている。
【0010】
第1のホイートストーンブリッジ回路では、GMR素子G1とG5の接続部分に所定の電源電圧Vが印加され、GMR素子G1とG5の接続部分が接地されている。GMR素子G1とG6との接続部およびGMR素子G2とG5との接続部が出力端子T1、T2となっている。
【0011】
同様に第2のホイートストーンブリッジ回路では、GMR素子G3とG7の接続部分に所定の電源電圧Vが印加され、GMR素子G7とG4の接続部分が接地されている。GMR素子G3とG8との接続部およびGMR素子G7とG4の接続部が出力端子T3、T4となっている。
【0012】
前記回転体2がα1又はα2方向に回転させられと、その回転角度に応じて前記磁界の向きが変化する。そして、前記磁界がGMR素子G1ないしG8が形成された基板と平行な面内で回転すると、GMR素子G1ないしG8内に設けられたフリー磁性層(図示せず)の磁化の向きが、回転する磁石M1,M2の磁界の向きに応じて変化する。その結果、GMR素子G1ないしG8の抵抗R1ないしR8が前記回転体2の回転角に対して周期的に変化する。
【0013】
前記GMR素子G1とG6、GMR素子G2とG5、GMR素子G3とG8およびGMR素子G4とG7は、固定磁化の向きが互いに逆向きであるために、抵抗R1とR6、抵抗値R2とR5、抵抗値R3とR8および抵抗値R4とR7の間では磁石の回転による互いの変化が逆となる。
【0014】
よって、第1のブロック回路の出力端子T1とT2との間の差動出力、および第2のブロック回路の出力端子T1とT2との間の差動出力は、前記回転体2の回転角度をθとして表すとき、ともにθを変数とするsinθ関数として得ることができる。
【特許文献1】
特開平11−51694号公報
【特許文献2】
特開平11−51695号公報
【特許文献3】
特開2000−35470号公報
【特許文献4】
特開2000−35471号公報
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来の回転角検出装置1では、GMR素子が1ブロック内に平行に並べられた1対のGMR素子を基本単位として形成されるものであるため、図5に示すように各GMR素子を組み合わせてホイートストーンブリッジ回路を構成すると、第1のブロック回路ではGMR素子G1とGMR素子G6との中心P1、およびGMR素子G2とGMR素子G5との中心P2が回転体2の中心である原点Oに一致しないものとなる。同様に第2のブロック回路ではGMR素子G3とGMR素子G8との中心、およびGMR素子G4とGMR素子G7との中心も原点Oに一致しないものとなる。
【0016】
このため、磁石M1,M2からGMR素子G1とGMR素子G6に対し同じ大きさ及び向きの磁界が印加されなくなる。同様に、GMR素子G2とGMR素子G5、GMR素子G3とGMR素子G8、GMR素子G4とGMR素子G7に対し、異なる大きさ及び向きの磁界が加わるようになる。
【0017】
よって、回転角度θに対する各抵抗R1ないしR8の変化の割合が異なるため、第1のホイートストーンブリッジ回路から検出される差動出力である正弦波の形、および第2のホイートストーンブリッジ回路から検出される差動出力である正弦波の形がくずれ、回転検出装置1の検出精度を低下させるという問題があった。
【0018】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、GMR素子の最適な組み合わせとすることにより、第1のホイートストーンブリッジ回路と第2のホイートストーンブリッジ回路から検出される回転角度の検出精度を高精度とした回転検出装置を提供することを目的としている。
【0019】
【課題を解決するための手段】
本発明は、回転軸と、複数のGMR素子が設けられた固定部と、磁場を形成して前記固定部に対面して回転する回転部と、前記GMR素子を結線して形成したホイートストーンブリッジ回路と、を備えた回転検出装置において、
前記回転軸の中心を原点とし、この原点において互いに垂直に交差する仮想軸線をX軸およびY軸としたときに、
前記X軸とY軸とによって区分けされる4つのブロックのそれぞれに一対のGMR素子が設けられており、
全てのブロックにおいて、1つのブロック内に設けられた一対のGMR素子はY軸から等距離の位置にあり且つY軸方向に間隔を空けて配置されており、4つのブロックのうちの前記原点を挟んで対向する位置にあるブロックでは、その一方のブロック内に設けられた一対のGMR素子と他方のブロック内に設けられた一対のGMR素子とが、前記原点に対して互いに180度の回転対称となる位置に配置されており、
前記ホイートストーンブリッジ回路が2組設けられ、それぞれの組の前記ホイートストーンブリッジ回路では、前記原点を挟んで対向する位置にあるブロックの一方のブロック内で前記原点に近い位置に設けられたGMR素子と他方のブロック内で前記原点に近い位置に設けられたGMR素子とが直列接続された抵抗列と、一方のブロック内で前記原点から離れた位置に設けられたGMR素子と他方のブロック内で前記原点から離れた位置に設けられたGMR素子とが直列接続された抵抗列とを有し、
2つの前記抵抗列が並列接続されて、一方の抵抗列の2つのGMR素子の中間点と、他方の抵抗列の2つのGMR素子の中間点とから検知出力が得られることを特徴とするものである。
【0020】
上記においては、前記GMR素子の固定磁化の向きは、1つのブロック内の一対のGMR素子間では同じ方向であり、且つ前記原点に関して対称となるブロック間では互いに逆向きに形成されているものである。
【0021】
本発明の回転角検出装置では、各ブロックに配置された各GMR素子を最適な組み合わとすることにより、磁場を形成する磁石の中心と、原点を介して対向するGMR素子間の中心とを一致させることができるようになり、ホイートストーンブリッジ回路を構成するGMR素子の抵抗値が回転角度に応じて正確に変化するようになる。よって、回転角度の検出精度を高めることができる。
【0022】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の回転検出装置を示す断面図、図2は図1のII−II線における平面図、図3は磁気検出部の回路構成を示し、Aは第1のホイートストーンブリッジ回路、Bは第2のホイートストーンブリッジ回路である。
【0023】
本発明の回転角検出装置は、図1に示すように、ケース20内に、ケース20に固定された平板状の基板(固定部)21と、基板21と互いに平行に対向して、フェライト等からなる円板状の磁石22を有する回転部とを有している。回転部に設けられた磁石22は、基板21の対向面にN極とS極が分極されて着磁されており、N極とS極を結ぶ方向が径方向である。
【0024】
非磁性材料からなる回転軸23は、回転部に固定され、ケース20の外側に突出し、回転軸23は前記ケース20に回転自在に支持されている。
【0025】
前記基板21の磁石22と対向する面には、巨大磁気抵抗効果素子(GMR(Giant Magneto resistive)素子)G1、G2、G3、G4、G5、G6、G7、G8が形成されている。
【0026】
図2に示すように、前記各GMR素子G1〜G8は、基板21上にX軸およびY軸(仮想軸線)によって区切られた4つのブロックA、B,C、D内にそれぞれ対をなして設けられている。図2に示すものでは、一対のGMR素子が、すべてX軸に平行に並べられているが、Y軸に対して平行に並べられたものであってもよい。
【0027】
なお、前記X軸とY軸とが交差する原点Oは、回転軸23の中心に一致しているとともに、磁石22の回転中心でもある。
【0028】
前記原点Oから近い位置に形成されたGMR素子G1,G3,G5およびG7は、前記原点Oからの距離がすべて同じであり、また原点Oから離れた位置に形成された前記GMR素子G2,G4,G6およびG8も前記原点Oから等距離の位置に形成されている。
【0029】
図2に示すように、ブロックAに設けられたGMR素子G1,G2とブロックBに設けられたGMR素子G3,G4はともに固定磁化の向き(図2,図3中に向きeとして示す)が−Y方向で同じである。またブロックCに設けられたGMR素子G5,G6とブロックDに設けられたGMR素子G7,G8はともに固定磁化の向きが+Y方向で同じである。
【0030】
前記ブロックA、Cに形成されたGMR素子G1,G2,G5,G6は、図3Aに示すような第1のホイートストーンブリッジ回路を構成している。
【0031】
図3Aに示すように、第1のホイートストーンブリッジ回路は、ともに原点Oに対して近い位置に形成され固定磁化の向きが互いに逆である一対のGMR素子G1とG5を、接続部8において直列接続し、ともに原点Oから離れた位置に形成され固定磁化の向きが互いに逆である一対のGMR素子G6とG2を接続部9において直列に接続し、さらに前記直列接続されたGMR素子G1,G5と前記直列接続されたGMR素子G6,G2とを並列接続したものである。GMR素子G1とG6の接続部は電源電圧Vに接続され、GMR素子G5とG2の接続部は接地されている。そして、前記接続部8,9には出力端子T1,T2が接続されており、出力端子T1と出力端子T2から差動出力を得られるようになっている。
【0032】
一方、ブロックBに形成された2つのGMR素子G3,G4と、ブロックDに形成された2つのGMR素子G7,G8とでは、固定磁化の方向が互いに逆向きである。前記GMR素子G3,G4の固定磁化は−Y方向であり、GMR素子G7,G8の固定磁化は+Y方向である。
【0033】
そして、図3Bに示すように、ブロックB、Dに形成された4個のGMR素子G3,G4,G7,G8により、前記ブロックA、Bに形成された4個のGMR素子G1,G2,G5,G6が接続された第1のホイートストーンブリッジ回路と同様な第2のホイートストーンブリッジ回路が形成されている。
【0034】
前記回転部の磁石22は、支持部材21に対向する面が着磁され、図1において符号Fで示す外部磁界を形成するが、前記各GMR素子では、磁石22で形成される磁界のうちの、ブロックA、B、C、Dの表面に平行な成分が検出される。
【0035】
図2に示すように、第1のホイートストーンブリッジ回路では、GMR素子G1とG5とを結ぶ仮想線の中点が原点Oに一致し、GMR素子G2とG6とを結ぶ仮想線の中点も原点Oに一致するようになる。すなわち、第1のホイートストーンブリッジ回路を構成するブロックAに形成されたGMR素子G1,G2と、ブロックCに形成されたGMR素子G5,G6とは、前記原点Oに関して互いに対称に配置されている。よって、GMR素子G1とG5では、常に磁石22から印加される外部磁界Fの大きさ及び向きが互いに等しくなり、GMR素子G2とG6でも常に磁石22から印加される外部磁界Fの大きさ及び向きが互いに等しくなる。
【0036】
同様に、第2のホイートストーンブリッジ回路を構成するブロックBに形成されたGMR素子G3,G4とブロックDに形成されたGMR素子G7,G8とは、前記原点Oに関してそれぞれ対称に配置されているので、GMR素子G3とG7及びGMR素子G4とG8に対し磁石22より印加される外部磁界Fの大きさ及び向きが互いに等しい。
【0037】
回転軸23が回転させられ磁石22が各GMR素子に対向しながら回転すると、磁石22の外部磁界Fは、基板21の面に平行な面内で回転して、各GMR素子が有するフリー磁性層の磁化の向きが、前記磁石22の磁界の回転の向きと一致するように変化する。
【0038】
GMR素子G1,G2,G3,G4,G5,G6,G7,G8は、GMR(Giant Magneto resistive)効果により、素子内のフリー磁性層の磁化の向きが固定磁化の向きeと一致したときに抵抗値が低下して、フリー磁性層の磁化の向きが固定磁化の向きeと逆向きであるときに抵抗値が上昇する。
【0039】
磁石22の回転角度θを、磁石22の外部磁界Fの向きと、ブロックAに形成されたGMR素子G1,G2の固定磁化の向き(−Y方向)との成す角度として表すと、基板21に形成されたGMR素子G1,G2の抵抗値R1,R2は、回転角度θが0°で最大となり、回転角度θが0°から時計回り方向に180°に向かうとき低下して、回転角度θが180°で最小となり、回転角度θが180°から360°に向かうとき上昇して、再び最大値となる。
【0040】
一方、ブロックCに形成されたGMR素子G5,G6に磁石22から印加される外部磁界Fの向き及び大きさは、ブロックAに形成されたGMR素子G1、G2に印加される外部磁界Fと同じあり、ブロックCに形成されたGMR素子G5,G6の固定磁化の向きは、ブロックAに形成されたGMR素子G1、G2の固定磁化の向きと逆である。よって、ブロックCに形成されたGMR素子G5,G6の抵抗値R5,R6の変化は、ブロックAに形成されたGMR素子G1,G2と逆になる。
【0041】
すなわち、ブロックCに形成されたGMR素子G5,G6の抵抗値R5,R6は、回転角度θが0°で最小となり、回転角度θが0°から時計回り方向に180°に向かうとき上昇して、回転角度θが180°で最大となる。そして、回転角度θが180°から360°に向かうとき低下して、再び最小値となる。
【0042】
前記フリー磁性層の磁化の向きの変化に応じて、第1のホイートストーンブリッジ回路では、ブロックAのGMR素子G1,G2の抵抗値R1,R2とブロックBのGMR素子G5,G6の抵抗値R5,R6とは互いに逆特性で変化するようになる。
【0043】
しかも、磁石22から印加される外部磁界Fの大きさ及び向きが等しいため、GMR素子G1とGMR素子G5の抵抗値R1,R5は等しい割合で変化し、GMR素子G2とGMR素子G6の抵抗値R2,R6も等しい割合で変化する。例えば、GMR素子G1,G2の抵抗値R1、R2が+20%増大した場合には、GMR素子G5,6の抵抗値R5、R6はそれぞれ−20%減少させられるように変化する。
【0044】
よって、磁石22が回転した場合でも、GMR素子G1の抵抗値R1とGMR素子G5の抵抗値R5との合成抵抗値は常に一定に維持され、GMR素子G2の抵抗値R2とGMR素子G6の抵抗値R6との合成抵抗値も常に一定に維持されるようになり、GMR素子G1、G2、G5、G6を流れる電流も一定となる。
【0045】
よって、磁石22の回転角度をθとして回転させると、GMR素子G1とG5側の出力端子T1と、GMR素子G2とG6側の出力端子T2から出力される出力波形は、互いに180°位相の異なるsinθ関数となる。
【0046】
そして、前記出力端子T1から出力される電圧と、出力端子T2から出力される電圧との差動出力(sinθ関数)が第1のホイートストーンブリッジ回路の出力とされる。
【0047】
ここで、第1のホイートストーンブリッジ回路からの差動出力は、ノイズ信号がキャンセルされたsinθ関数であるとともに、回転角に応じた高精度な出力信号である。
【0048】
また第2のホイートストーンブリッジ回路を構成するブロックBに形成されたGMR素子G3、G4、およびブロックDに形成されたGMR素子G7、G8は、固定磁化の方向eが第1のホイートストーンブリッジ回路を構成するブロックA、Cに形成されたGMR素子G1、G2およびGMR素子、G5、G6と同じである。
【0049】
さらに第2のホイートストーンブリッジ回路を構成するGMR素子G3とGMR素子G7とを結ぶ仮想線の中点が原点Oを通り、且つGMR素子G4とGMR素子G8とを結ぶ仮想線の中点も原点Oを通り、しかも原点Oに関して互いに対称の位置に形成されているため、磁石22から印加される外部磁界Fの大きさ及び向きが等しくなり、GMR素子G3とGMR素子G7の抵抗値R3と抵抗値R7は逆特性で等しい割合で変化し、GMR素子G4とGMR素子G8の抵抗値R4と抵抗値R8も逆特性で等しい割合で変化する。
【0050】
よって、磁石22の回転角度をθとして回転させると、第2のホイートストーンブリッジ回路においてもGMR素子G3とGMR素子G7側の出力端子T3と、GMR素子G4とGMR素子G8側の出力端子T4から出力される出力波形は、第1のホイートストーンブリッジ回路同様に互いに180°位相の異なるsinθ関数となる。よって、第2のホイートストーンブリッジ回路の差動出力は、ノイズ信号がキャンセルされたsinθ関数であるとともに、回転角度としても高精度である。
【0051】
以上のように、前記角度検出装置1では、GMR素子で構成された第1のホイートストーンブリッジ回路と第2のホイートストーンブリッジ回路とからともに検出精度の高い回転角度を得ることができる。
【0052】
なお、上記実施の形態では、第1、第2のホイートストーンブリッジを形成したが、ホイートストーンブリッジは一つだけでも良い。
【0053】
また、上記実施の形態では、磁石22を、円板状として説明したが、上記従来の技術で説明したように、リング状の回転体の原点Oに関して対称となるように磁石M1,M2を配置したものであってもよい。
【0054】
さらに、上記実施の形態では、GMR素子が基板21に設けられたもので説明したが、GMR素子はICチップ内に形成されているものであってもよく、この場合、回転角検出装置を小型化することが可能となる。
【0055】
【発明の効果】
以上のように本発明では、各GMR素子に対し、磁石から印加される磁界の大きさ及び向きを等しくできる。よって、ホイートストーンブリッジ回路を形成するGMR素子の抵抗値が同じ割合いで変化するようになるため、回転角度の検出を高精度とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の回転検出装置を示す断面図、
【図2】図1のII−II線における平面図、
【図3】磁気検出部の回路構成を示し、Aは第1のホイートストーンブリッジ回路、Bは第2のホイートストーンブリッジ回路、
【図4】従来の回転角検出装置の要部を示す平面図、
【図5】磁気検出部の回路構成図、
【符号の説明】
1 回転角検出装置
20 ケース
21 基板
22 磁石
23 回転軸
A、B,C、D ブロック
G1、G2、G3、G4、G5、G6、G7、G8 GMR素子
R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8 抵抗値
e 固定磁化の向き
T1,T2,T3,T4 出力端子
Claims (3)
- 回転軸と、複数のGMR素子が設けられた固定部と、磁場を形成して前記固定部に対面して回転する回転部と、前記GMR素子を結線して形成したホイートストーンブリッジ回路と、を備えた回転検出装置において、
前記回転軸の中心を原点とし、この原点において互いに垂直に交差する仮想軸線をX軸およびY軸としたときに、
前記X軸とY軸とによって区分けされる4つのブロックのそれぞれに一対のGMR素子が設けられており、
全てのブロックにおいて、1つのブロック内に設けられた一対のGMR素子はY軸から等距離の位置にあり且つY軸方向に間隔を空けて配置されており、4つのブロックのうちの前記原点を挟んで対向する位置にあるブロックでは、その一方のブロック内に設けられた一対のGMR素子と他方のブロック内に設けられた一対のGMR素子とが、前記原点に対して互いに180度の回転対称となる位置に配置されており、
前記ホイートストーンブリッジ回路が2組設けられ、それぞれの組の前記ホイートストーンブリッジ回路では、前記原点を挟んで対向する位置にあるブロックの一方のブロック内で前記原点に近い位置に設けられたGMR素子と他方のブロック内で前記原点に近い位置に設けられたGMR素子とが直列接続された抵抗列と、一方のブロック内で前記原点から離れた位置に設けられたGMR素子と他方のブロック内で前記原点から離れた位置に設けられたGMR素子とが直列接続された抵抗列とを有し、
2つの前記抵抗列が並列接続されて、一方の抵抗列の2つのGMR素子の中間点と、他方の抵抗列の2つのGMR素子の中間点とから検知出力が得られることを特徴とする回転角検出装置。 - 全てのGMR素子の固定磁化の向きが、Y軸と平行である請求項1記載の回転角検出装置。
- 前記GMR素子の固定磁化の向きは、1つのブロック内の一対のGMR素子間では同じ方向であり、且つ前記原点に関して対称となるブロック間では互いに逆向きに形成されている請求項1または2に記載の回転角検出装置。
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