JP4094202B2 - 単結晶引き上げ装置及び単結晶引き上げ方法 - Google Patents
単結晶引き上げ装置及び単結晶引き上げ方法 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコンなどの単結晶を引き上げるための単結晶引き上げ装置及び単結晶引き上げ方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、種結晶(シード)の下に細いダッシュネック(以下、ネック部)を形成し、次いでネック部の下に直接、大口径及び大重量の単結晶(ボディ部)を形成する方法では、ネック部が単結晶の大重量の荷重に耐えきれずに破断する恐れがある。そこで、これを防止する方法として、ネック部の下に径拡大部を形成し、径拡大部の下に径小部(くびれ部)を形成し、このくびれ部の上の径拡大部を爪状の径拡大部支持部材により支持することにより、単結晶を所定の速度で引き上げながら、荷重をネック部から径拡大部に徐々に移行して、径拡大部支持に完全に移行した後に径拡大部支持のみにより引き上げる方法が提案されている。
【0003】
この方法を実現する機構としては、例えば特公平7−515号公報、特開平7−172981号公報、特開平11−92279号公報などに示されるように、チャンバの上に設けられた種結晶引き上げ機構の上にさらに径拡大部引き上げ機構を設け、これらの種結晶引き上げ機構、すなわちネック荷重による引き上げと径拡大部引き上げ機構の各引き上げ速度を同期させる方法が知られている。
【0004】
図4は、上記特開平11−92279号公報に示された単結晶引き上げ装置装置の複数の実施の形態の1つを示す側面図である。図4において、引き上げシャフト1の先端には種結晶ホルダ2が取り付けられ、種結晶ホルダ2には種結晶3が取り付けられる。シャフト1は静止部分であり、かつ成長させる単結晶7と石英ルツボ15を格納する真空室を構成するメカニカルチャンバ18に対して上下動可能な第1構造体24に設けられたモータ28により回転可能に配されている。第1構造体24は雌ネジが内部に設けられているネジ部26(ナット部)を有し、このネジ部26はメカニカルチャンバ18に取り付けられているモータ20により回転する雄ネジ付きロッド22と螺合している。したがって、モータ20の回転により、第1構造体24及び、これに取り付けられているモータ28とシャフト1は石英ルツボ15に対して上下に移動可能である。すなわち、引き上げシャフト1は第1構造体24に回動可能に取り付けられ、第1構造体24に載置されたモータ28によりシャフト1が回転する構成となっている。第1構造体24の下方には、シャフト1に固定されて、シャフト1と共に回転する回転基板34A(第2構造体)が設けられている。この回転基板34Aは、第1構造体24に対して常に上下方向位置は一定である。
【0005】
回転基板34Aにはモータ30が載置され、ネジ付きロッド32を回転させる構成となっている。ネジ付きロッド32は回転基板34Aに対して上下方向に移動可能であり、かつ回転可能に保持された支持体シャフト72に回転可能に保持された雌ネジ部36に螺合している。したがって、回転基板34Aに取り付けられたモータ30が回転することにより、支持体シャフト72が回転基板34A並びに第1構造体24に対して上下動する。
【0006】
支持体シャフト72はメカニカルチャンバ18の上部にベアリング82を介して回転可能に取り付けられている回転テーブル80を介してメカニカルチャンバ18の内部に伸長していて、その下端には皿状部材である支持体70が取り付けられている。図4において、回転基板34Aにはバランスウエイト90が、その調整ネジ92と共に設けられ、また、回転テーブル80にはシール部材84、86、88が設けられている。また、引き上げシャフト1には緩衝装置60が設けられている。
【0007】
図4の従来の装置は次のように動作する。引き上げの準備が完了すると、まず、モータ20を運転して、第1構造体24を下降させ、よってシャフト1を図中下方に引き下げて種結晶3を石英るつぼ15内のSi融液10の表面に対して浸漬させてなじませる。このとき、支持体70は先端がSi融液10に接触しない位置に待機し、また、支持体70は、引き上げ中の径拡大部12に接触しないように非支持位置にある。
【0008】
次いで所定時間経過後にモータ20を先程とは逆回転させて、第1構造体24を上昇させ、種結晶3を比較的速い速度で上方に引き上げることにより、種結晶3の下に直径が3〜4mmの小径のネック部11を形成させ、次いで引き上げ速度を比較的遅くしてネック部11の下に支持用の径拡大部12を形成した後、引き上げ速度を比較的速くして、径拡大部12の下にくびれ部を形成させ、次いで結晶本体部分7の形成を開始させる。
【0009】
次いでモータ30を回転させて支持体70が径拡大部12の下方に位置する高さとする。その後、モータ40を回転させて、支持体シャフト72を所定位置まで回転させ、支持体70が径拡大部12の真下に位置するようにする。次にモータ30を更に回転させて支持体70を上昇させ、引き上げシャフト1の上昇速度より速い速度とする。こうして支持体70が径拡大部12の下端を保持すると、モータ30を停止する。その後は、モータ20により第1構造体24と回転基板34A(第2構造体)が一体となって上昇するので、種結晶3と支持体70は完全に同一の速度にて上昇することとなる。
【0010】
図2はネック荷重による引き上げにおけるネックへの荷重W1と径拡大部支持による径拡大部への荷重W2の経時変化を示している。なお、結晶重量Wは引き上げ時間tに略比例して増加する。図2において、時刻t1まではネック荷重による引き上げのみを行い、このためネック荷重による引き上げでの荷重W1も時間tに比例して増加する(W1=W、W2=0)。そして、時刻t1から径拡大部支持を開始して時刻t1、t2の間に徐々にネック荷重による引き上げから径拡大部支持への荷重移動を開始すると、この間では時間tの経過とともに荷重W1が減少し、径拡大部支持による荷重W2が増加する。次いで時刻t2において荷重移動を完了すると、この後は実線で示すようにW1=0、W2=Wとなる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の装置のように荷重移動を行い、単一の駆動源により種結晶引き上げ機構と、径拡大部引き上げ機構を一体として、各引き上げ速度を同期させて引き上げる場合、荷重移動完了時点t2において爪状部材が荷重により下方に変形することがある。この変形により、図2において破線W1’、W2’で示すように上記の荷重増加分が径拡大部支持側に印加されずに種結晶部支持側に印加され(W1’>0、W2’<W2)、これにより引き上げ速度が変化したり、引き上げ中の結晶が振動などして不具合が発生するという問題点がある。なお、この不具合は爪状部材が0.1mm程度変形すると発生する。
【0012】
なお、この問題点を解決する方法として、例えば特開平11−92279号公報には上記の荷重増加分を径拡大部引き上げ機構側に移行させるために、種結晶を引き上げる機構側に伸張部材を設ける方法が提案されている。しかしながら、この方法では、その分コストが高価になり、また、その機構を取り付けるために装置設計上大きな制約となるという問題点がある。
【0013】
本発明は上記従来例の問題点に鑑み、種結晶引き上げ機構と径拡大部引き上げ機構を同期させる構成において、特別な機構を設けることなく荷重をネック荷重による引き上げから径拡大部支持に徐々に移行する際の荷重増加分がネック部に印加されることなく、確実に径拡大部支持部材に印加されるようにすることができる単結晶引き上げ装置及び単結晶引き上げ方法を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するために、ネック荷重による引き上げから径拡大部支持に完全に移行して、前記径拡大部支持による荷重が100%となるべき時点で、径拡大部支持部材の引き上げ速度を相対的に所定の引き上げ速度より速くするようにしたものである。
【0015】
すなわち本発明によれば、溶融結晶を保持可能なルツボの上方で種結晶を支持する種結晶ホルダを回転させる回転手段と、前記種結晶ホルダを速度制御しつつ引き上げることにより前記種結晶を引き上げる種結晶引き上げ手段と、前記種結晶ホルダと共に回転可能で、かつ前記種結晶ホルダの上下方向の移動に伴って上下方向に移動可能であって、前記種結晶引き上げ手段による引き上げにより前記種結晶の下方に形成される径拡大部の下端を下方から支持する支持手段と、前記支持手段を前記種結晶ホルダに対して上下方向に位置制御し、かつ位置制御中以外のときは、前記種結晶引き上げ手段の動力を伝達することにより前記支持手段を前記種結晶ホルダと一体的に上下動させる結晶保持位置制御手段と、前記支持手段を前記径拡大部の下端を支持しない第1の位置と前記径拡大部の下端を支持する第2の位置との間で移動させる支持手段移動手段とを有する単結晶引き上げ装置において、
単結晶の引き上げ工程で、ネック部に前記単結晶の荷重がかかるネック荷重による引き上げから前記径拡大部支持による引き上げに完全に移行して、前記径拡大部支持による荷重が100%となるべき時点で、相対的に前記径拡大部支持部材の引き上げ速度を前記ネック荷重による引き上げ速度より速くし、かつ所定の時間が経過した後又は所定の距離だけ引き上げた後、元の所定の引き上げ速度に戻す速度制御手段を、
有することを特徴とする単結晶引き上げ装置が提供される。
【0016】
また本発明によれば、溶融結晶を保持可能なルツボの上方で種結晶を支持する種結晶ホルダを回転させる回転手段と、前記種結晶ホルダを速度制御しつつ引き上げることにより前記種結晶を引き上げる種結晶引き上げ手段と、前記種結晶ホルダと共に回転可能で、かつ前記種結晶ホルダの上下方向の移動に伴って上下方向に移動可能であって、前記種結晶引き上げ手段による引き上げにより前記種結晶の下方に形成される径拡大部の下端を下方から支持する支持手段と、前記支持手段を前記種結晶ホルダに対して上下方向に位置制御し、かつ位置制御中以外のときは、前記種結晶引き上げ手段の動力を伝達することにより前記支持手段を前記種結晶ホルダと一体的に上下動させる結晶保持位置制御手段と、前記支持手段を前記径拡大部の下端を支持しない第1の位置と前記径拡大部の下端を支持する第2の位置との間で移動させる支持手段移動手段とを有する単結晶引き上げ装置を用いた単結晶引き上げ方法において、
単結晶の引き上げ工程で、ネック部に前記単結晶の荷重がかかるネック荷重による引き上げから前記径拡大部支持による引き上げに完全に移行して、前記径拡大部支持による荷重が100%となるべき時点で、相対的に前記径拡大部支持部材の引き上げ速度を前記ネック荷重による引き上げ速度より速くするステップと、
所定の時間が経過した後又は所定の距離だけ引き上げた後、元の所定の引き上げ速度に戻すステップとを、
有することを特徴とする単結晶引き上げ方法が提供される。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図1は本発明に係る単結晶引き上げ装置の一実施形態を示す構成図、図2はネック荷重による引き上げの場合の荷重と径拡大部支持による荷重の経時変化を示すグラフである。
【0018】
図1において、結晶引き上げシャフト(単にシャフトともいう)1の下端にはシードホルダ2が取り付けられ、シードホルダ2にはシード(種結晶)3が取り付けられている。シャフト1はコントローラ16と昇降用モータM1及び不図示の回転用モータにより、シード3が多結晶の融液10に浸漬するまで下降した後、回転しながら引き上げられる。また、後述する径拡大部支持部材4はコントローラ16と昇降用モータM2及び不図示の回転用モータにより昇降、回転する。なお、図1及び後述する図3では、シードホルダ2を引き上げる構成と、径拡大部支持部材4を引き上げる構成が分離されて示されているが、これらは、従来技術の構成を示す図4と同様に、相互に連関し、基本的に一体となって連動するよう構成されている。
【0019】
このシャフト1の引き上げ速度v1は、シード3の下に細いネック部11が形成され、ネック部11の下に径拡大部12が形成され、径拡大部12の下に径小部(くびれ)13が形成され、径小部13の下に円筒形のボディ部14の一部が形成されるように制御され、径に略反比例する。径が一定のボディ部14の形成中の引き上げ速度v1は、温度などの要件に応じて若干変化するが、ここでは説明を簡略にするために常に一定速度(v1=v0)として説明する。
【0020】
ここまでは、シャフト1のみ(ネック部支持のみ)により引き上げられる(図2においてW1=W、W2=0)。この後、径拡大部12の下のくびれ部13に対して、径拡大部支持部材4を上昇させ、過渡的にシャフト1と同じ引き上げ速度v2=v1(及び同じ回転速度)で係合させ、その後、径拡大部支持部材4の引き上げ速度v2をシャフト1の引き上げ速度v1より速くなるよう制御してネック部支持から径拡大部支持に徐々に移行させる(図2においてW1+W2=W)。そして、本発明では、荷重移動を完了してW1=0、W2=Wとなるべき時刻t2において、径拡大部支持部材4が荷重により変形してもW1=0、W2=Wとなるように、所定の加速度で又は所定の時間あるいは所定の距離だけ、相対的に径拡大部支持部材4の引き上げ速度v2をシャフト1の引き上げ速度v1より速くし、所定の時間が経過した後又は所定の距離だけ引き上げた後、元の所定速度v0に戻す。
【0021】
なお、相対的に径拡大部支持部材4の引き上げ速度v2をシャフト1の引き上げ速度v1より速くする方法の一例として、シャフト1は一定の引き上げ速度に維持(v1=v0)したままで、径拡大部支持部材4の引き上げ速度v2を速くする(v2>v0)方法がある。すなわち、所定の加速度で又は所定の時間あるいは所定の距離だけ、径拡大部支持部材4の引き上げ速度を通常時の所定の引き上げ速度より速くするのである。なお、図1中に点線で示すように、シード3がシードホルダ2の上方向にのみ移動自在になるよう構成することは好ましい態様である。また、他の例として図3に示すように、シードホルダ2aをシャフト1の代わりに結晶引き上げワイヤ(単にワイヤともいう)1aにより支持することもできる。この場合、W1=0、W2=Wとなるべき時刻t2において、ワイヤ1aの引き上げ速度v1を0にするとともに、所定の加速度で又は所定の時間あるいは所定の距離だけ、径拡大部支持部材4の引き上げ速度v2を所定速度v0より速くし、一定時間が経過すると元の所定速度v0に戻す。すなわち、所定の減速度で又は所定の時間あるいは所定の距離だけ、ネック荷重による引き上げ速度を減速するか、前記ネック荷重による引き上げを停止する
【0022】
また、W1=0、W2=Wとなるべき時刻t2を検出する方法としては、シャフト1(又はワイヤ1a)側と径拡大部支持部材4側の両方又は一方に重量センサを設ける。なお、重量センサをシャフト1(又はワイヤ1a)側のみに設ける場合にはW1=0を検出すればよい。また、径拡大部支持部材4の引き上げ速度v2を所定速度v0より速くする所定の加速度又は所定の時間あるいは所定の距離は、例えば荷重移行完了時点t2における荷重W2毎にあらかじめ求めておき、径拡大部支持部材4側に設けられた重量センサによりこれを検出して決定することができる。
【0023】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、ネック荷重による引き上げから径拡大部支持に完全に移行して、径拡大部支持による荷重が100%となるべき時点で径拡大部支持部材の引き上げ速度を相対的に、所定の引き上げ速度より速くするようにしたので、特別な機構を設けることなく荷重をネック部支持から径拡大部支持に徐々に移行する際の荷重増加分がネック部に印加されることなく、確実に径拡大部支持部材に印加されるようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る単結晶引き上げ装置の一実施形態を示す構成図である。
【図2】ネック荷重による引き上げによる荷重と径拡大部支持による荷重の経時変化を示すグラフである。
【図3】図1の単結晶引き上げ装置の変形例を示す構成図である。
【図4】従来の単結晶引き上げ装置の一例を示す側面図である。
【符号の説明】
1 結晶引き上げシャフト
1a 結晶引き上げワイヤ
2、2a シードホルダ
3 シード(種結晶)
4 径拡大部支持部材
10 融液
11 ネック部
12 径拡大部
13 くびれ部
14 ボディ部
16 コントローラ
M1,M2 モータ
Claims (10)
- 溶融結晶を保持可能なルツボの上方で種結晶を支持する種結晶ホルダを回転させる回転手段と、前記種結晶ホルダを速度制御しつつ引き上げることにより前記種結晶を引き上げる種結晶引き上げ手段と、前記種結晶ホルダと共に回転可能で、かつ前記種結晶ホルダの上下方向の移動に伴って上下方向に移動可能であって、前記種結晶引き上げ手段による引き上げにより前記種結晶の下方に形成される径拡大部の下端を下方から支持する支持手段と、前記支持手段を前記種結晶ホルダに対して上下方向に位置制御し、かつ位置制御中以外のときは、前記種結晶引き上げ手段の動力を伝達することにより前記支持手段を前記種結晶ホルダと一体的に上下動させる結晶保持位置制御手段と、前記支持手段を前記径拡大部の下端を支持しない第1の位置と前記径拡大部の下端を支持する第2の位置との間で移動させる支持手段移動手段とを有する単結晶引き上げ装置において、
単結晶の引き上げ工程で、ネック部に前記単結晶の荷重がかかるネック荷重による引き上げから前記径拡大部支持による引き上げに完全に移行して、前記径拡大部支持による荷重が100%となるべき時点で、相対的に前記径拡大部支持部材の引き上げ速度を前記ネック荷重による引き上げ速度より速くし、かつ所定の時間が経過した後又は所定の距離だけ引き上げた後、元の所定の引き上げ速度に戻す速度制御手段を、
有することを特徴とする単結晶引き上げ装置。 - 前記速度制御手段は、所定の加速度で又は所定の時間あるいは所定の距離だけ、前記径拡大部支持部材の引き上げ速度を前記所定の引き上げ速度より速くすることを特徴とする請求項1記載の単結晶引き上げ装置。
- 前記速度制御手段は、所定の減速度で又は所定の時間あるいは所定の距離だけ、前記ネック荷重による引き上げ速度を減速するか、前記ネック荷重による引き上げを停止することを特徴とする請求項1記載の単結晶引き上げ装置。
- 前記ネック荷重による引き上げでの前記ネックへかかる前記単結晶の荷重を検出する手段を備え、前記速度制御手段は、前記荷重が「0」となった時点を前記径拡大部支持による荷重が100%となるべき時点と判断することを特徴とする請求項1又は2記載の単結晶引き上げ装置。
- 溶融結晶を保持可能なルツボの上方で種結晶を支持する種結晶ホルダを回転させる回転手段と、前記種結晶ホルダを速度制御しつつ引き上げることにより前記種結晶を引き上げる種結晶引き上げ手段と、前記種結晶ホルダと共に回転可能で、かつ前記種結晶ホルダの上下方向の移動に伴って上下方向に移動可能であって、前記種結晶引き上げ手段による引き上げにより前記種結晶の下方に形成される径拡大部の下端を下方から支持する支持手段と、前記支持手段を前記種結晶ホルダに対して上下方向に位置制御し、かつ位置制御中以外のときは、前記種結晶引き上げ手段の動力を伝達することにより前記支持手段を前記種結晶ホルダと一体的に上下動させる結晶保持位置制御手段と、前記支持手段を前記径拡大部の下端を支持しない第1の位置と前記径拡大部の下端を支持する第2の位置との間で移動させる支持手段移動手段とを有する単結晶引き上げ装置を用いた単結晶引き上げ方法において、
単結晶の引き上げ工程で、ネック部に前記単結晶の荷重がかかるネック荷重による引き上げから前記径拡大部支持による引き上げに完全に移行して、前記径拡大部支持による荷重が100%となるべき時点で、相対的に前記径拡大部支持部材の引き上げ速度を前記ネック荷重による引き上げ速度より速くするステップと、
所定の時間が経過した後又は所定の距離だけ引き上げた後、元の所定の引き上げ速度に戻すステップとを、
有することを特徴とする単結晶引き上げ方法。 - 前記相対的に前記径拡大部支持部材の引き上げ速度を前記ネック荷重による引き上げ速度より速くするステップは、所定の加速度で又は所定の時間あるいは所定の距離だけ、前記径拡大部支持部材の引き上げ速度を所定の引き上げ速度より速くするかあるいは、所定の減速度で又は所定の時間あるいは所定の距離だけ、前記ネック荷重による引き上げ速度を減速するか、前記ネック荷重による引き上げを停止することを特徴とする請求項5記載の単結晶引き上げ方法。
- 前記所定の距離をあらかじめ決定しておき、前記径拡大部支持部材の位置をモニタリングすることにより前記径拡大部支持部材の引き上げのフィードバック制御を行うことを特徴とする請求項6記載の単結晶引き上げ方法。
- 前記径拡大部支持部材の移動速度と移動時間のみを制御することを特徴とする請求項6記載の単結晶引き上げ方法。
- 前記ネック荷重による引き上げでの前記単結晶の荷重を検出するステップと、
前記荷重が「0」となった時点を前記径拡大部支持による荷重が100%となるべき時点と判断するステップとを、
有することを特徴とする請求項5記載の単結晶引き上げ方法。 - 前記相対的に前記径拡大部支持部材の引き上げ速度を前記ネック荷重による引き上げ速度より速くするステップと、前記元の所定の引き上げ速度に戻すステップとを、複数回繰り返すことを特徴とする請求項5記載の単結晶引き上げ方法。
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