JP2005247671A - 単結晶引上装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ルツボ2の上方に配設され、上下方向に移動可能に構成された遮熱板4と、前記遮熱板4の内側に設置されたドープ剤容器5と、前記ドープ剤容器の内部に一端が位置し、他端が遮熱板の外側に導出されたドープ供給管7とを備え、前記遮熱板4が下方向に移動しシリコン融液に近づくことにより、前記ドープ剤容器5の内部に収容されたドープ剤8が昇温し、昇華したドープ剤が前記ドープ供給管7の他端からシリコン融液に供給される。
【選択図】 図1
Description
その際、シリコン単結晶の抵抗率は、シリコン融液中に混入しているドープ剤の量によって決定される。このため、ドープ剤をより好適な状態で添加することができる添加装置を備えた単結晶引上装置が数多く提案されている。
また、前記ドープ供給管55は開口を有する遮熱板54の内側に取り付けられ、その開口部は、ルツボ内側に臨むように配置されている。なお、図中、符号56はチャンバーである。
そして、この単結晶引上装置50では、ドープ剤供給治具51aから固体状のドープ剤が装置内に導入され、途中まで遮熱板54の内側を通り、最終的には遮熱板54の外側でシリコン融液に投入される。
この単結晶引上装置60は、ドープ剤である固体砒素63が収容される容器体本体61aと、放出管61bとからなる容器体61を備えている。この容器体61は、種結晶取付部分に取り付けられている。
そして、この単結晶引上装置60を用いて砒素ドーピングを行なうには、まず容器体61が、ルツボ64中のシリコン融液62の液面62a付近にまで降ろされる。前記容器体61がシリコン融液62の付近にまで降ろされると、シリコン融液液面62aからの輻射熱によって、容器体本体61a内の固体砒素63が昇華し、容器体本体61内に砒素ガスが充填する。そして、更に固体砒素61の昇華が進行すると、放出管61bを通って、放出管61bの下端から高速の砒素ガスが放出され、シリコン融液62中に砒素がドーピングされる。なお、図中、符号65は、外筒体であって、放出管61bの下端から放出された砒素ガスが拡散するのを抑制するものである。
また、飛散したドープ剤あるいはドープ剤投入時の跳ねによるシリコン融液が、遮熱板や石英ルツボ壁面に付着し、これが結晶育成中にはがれ落ちることで、単結晶の歩留まりを悪化させる要因となっていた。
更に、ドープ剤の蒸発がシリコン単結晶育成中のシリコン融液からも継続して起こるため、低抵抗の単結晶が得られないという問題があった。なお、結晶引き上げ中に固体状のドープ剤を液面に落下させると単結晶は有転位化するため、結晶育成中にドープ剤を補填することができないという課題があった。
また、容器体の取り出し作業の間、またシリコン単結晶の引き上げ作業の間に、ドープ剤がシリコン融液から蒸発し、所定の低抵抗結晶を得ることができないという課題があった。
更に、添加装置の構成上、単結晶引き上げ中にドープ剤を供給することができず、結晶育成中に、ドープ剤を補填することができないという課題があった。
したがって、固体状のドープ剤をシリコン融液に投入した場合のようなシリコン融液やドープ剤の飛散を抑制でき、またシリコン融液表面でのドープ剤の浮遊を抑制でき、シリコン融液に溶け込む量を安定化することができる。また、結晶育成中にもドープ剤を供給でき、蒸発したドープ剤を補填することができ、シリコン融液に溶け込む量を安定化することができる。更に、前記遮熱板を下方向に移動させることにより、昇華したドープ剤を簡単に供給できる。
このドープ剤容器5は密閉可能な逆円錐形状に形成され、その母線が前記遮熱板4の内面に接して取り付けられている。また、図2に示すように、保持部材6に形成された貫通孔6aに前記ドープ剤容器5を挿入し、ドープ剤容器5の上面部(最大径部)を把持することにより、ドープ剤容器5は保持部材6に固定される。また、前記保持部材6は爪部6bが形成され、前記遮蔽板4の鍔部4aの端部に係止、固定されるように構成されている。
したがって、ドープ剤容器5に収容されたドープ剤8が加熱されると、前記密閉されたドープ容器5の内に昇華したドープ剤8が充満し、前記ドープ供給管7を介して前記昇華したドープ剤8が前記ドープ供給管7の他端からシリコン融液Aに供給されるように構成されている。
これらレーザ加熱手段10、ミラー11、温度測定手段9は、必ずしも必要ではないが、このようにレーザ加熱手段10及び温度測定手段9を設けることにより、シリコン単結晶育成中に、ドープ剤8の温度を制御し、昇華したドープ剤8をシリコン融液に供給し、シリコン融液Aの表面aから蒸発するドープ剤濃度を補填することができる。
即ち、後述する遮蔽板の昇降装置20によって遮熱板4が上昇した位置にあり、ヒータ3及びルツボ2内のシリコン融液Aからの輻射熱によっては、ドープ剤容器5に収容されたドープ剤8が昇華温度まで達しない場合でも、レーザ加熱手段10により昇温させ、昇華したドープ剤8をシリコン融液Aに供給することができる。
この昇降装置20は、単結晶引上装置1のチャンバ内で、遮熱板4を上下移動させるのに用いられる。この遮熱板4は、チャンバ内に配置された支持ベース12に置かれている。
この支持ベース12は円盤形状であり、その内径は遮蔽板4の上部の径よりも大きく、遮蔽板4の鍔部4aの外径よりも小さい。そして、この支持ベース12は、遮蔽板4の最下位置に設けられており、この支持ベース12に載置された状態において、ドープ供給管7の下端部は、シリコン融液表面aに最も近接した状態におかれる。
このワイヤ21は図3に示すように、それぞれローラ23を経て、ワイヤ駆動機構24によって個別に巻上げ・繰出しされる。ローラ23は中央部が細い鼓型をしており、回転自在に支持されている。
まず、ルツボ2内に塊状の多結晶シリコンを充填すると共に、ドープ剤容器5内に所定量の砒素を収容し、前記ドープ剤容器5が取り付けられた遮熱板4を最上位置におく。その後、チャンバー内を所定の真空度に排気し、ヒータ3によりルツボ2内の多結晶シリコンを溶解し、ルツボ2内にシリコン融液Aを形成する。
ルツボ2内にシリコン融液Aが形成されると、昇降装置20により、遮熱板4を最下位置に下降させ、ドープ剤容器5に収容された砒素を昇温させ、昇華させる。
これにより、種結晶の下方に、砒素がドープされたシリコン単結晶が育成される。育成結晶は遮熱板4の内側を通り、プルチャンバー内に引き込まれる。なお、引き上げ時、ルツボ2は逆方向に回転すると共に、単結晶の引き上げに伴うルツボ2内の液面低下を相殺すべく上昇する。
また、単結晶育成中、遮熱板4を上昇させる等の理由により、所定の輻射熱が得られない場合には、レーザ加熱手段10の加熱により砒素を昇華させ、シリコン融液Aに供給する。これにより、結晶育成中に、砒素を補填することができ、シリコン融液に溶け込む量の安定化を図ることができる。
この理由は、本発明の装置を適用することによって、ドープ時のドープ材の飛散や、シリコン融液の輻射板への付着が抑えられ、結晶育成時にこれら異物が融液表面に落下し惹起される有転位化を防止する効果と考えられる。
また、図5に示すように、比較例に比べて低抵抗率の単結晶が得られることが認められた。従来例では結晶育成前にドープされたドープ材は一旦融液に溶け込むが、ドープされた瞬間から結晶育成中にかけて融液表面から連続的に蒸発し、その結果融液内のドープ材濃度は、偏析係数により融液に残留する濃度を下回ることになる。本発明を適用することにより、結晶育成中もドープ材を融液に溶け込ませることができ、より低抵抗の結晶を育成することが可能であった。
2 ルツボ
3 ヒータ
4 遮熱板
5 ドープ剤容器
6 保持部材
7 ドープ供給管
8 ドープ剤
9 温度測定手段
10 レーザ加熱手段
20 昇降装置
Claims (2)
- ルツボ内のシリコン融液に種結晶を接触させ、この種結晶を引き上げることでシリコン単結晶を成長させる単結晶引上装置において、
ルツボの上方に配設され、上下方向に移動可能に構成された遮熱板と、前記遮熱板の内側に設置されたドープ剤容器と、前記ドープ剤容器の内部に一端が位置し、他端が遮熱板の外側に導出されたドープ供給管とを備え、
前記遮熱板が下方向に移動しシリコン融液に近づくことにより、前記ドープ剤容器の内部に収容されたドープ剤が昇温し、昇華したドープ剤が前記ドープ供給管の他端からシリコン融液に供給されることを特徴とする単結晶引上装置。 - 前記ドープ剤容器に収容されたドープ剤の温度を測定する温度測定手段と、前記ドープ剤を加熱するレーザ加熱手段とを備え、
レーザ加熱手段及び温度測定手段とによりドープ剤温度を制御し、シリコン単結晶育成中に、昇華したドープ剤をシリコン融液に供給し、シリコン融液表面から蒸発するドープ剤濃度を補填することを特徴とする請求項1に記載された単結晶引上装置。
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