JP4088137B2 - 導電性微粒子および異方導電材料 - Google Patents
導電性微粒子および異方導電材料 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4088137B2 JP4088137B2 JP2002329892A JP2002329892A JP4088137B2 JP 4088137 B2 JP4088137 B2 JP 4088137B2 JP 2002329892 A JP2002329892 A JP 2002329892A JP 2002329892 A JP2002329892 A JP 2002329892A JP 4088137 B2 JP4088137 B2 JP 4088137B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fine particles
- plating layer
- conductive fine
- conductive
- gold
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 title claims description 187
- 239000004020 conductor Substances 0.000 title claims description 32
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 133
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 94
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 92
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 92
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 68
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 68
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 60
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 44
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 36
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 34
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 33
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 25
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 22
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 21
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 claims description 15
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 description 36
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 33
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 22
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 16
- -1 For example Substances 0.000 description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 description 14
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 12
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 12
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 12
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 11
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 10
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000007771 core particle Substances 0.000 description 8
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 229910000361 cobalt sulfate Inorganic materials 0.000 description 7
- 229940044175 cobalt sulfate Drugs 0.000 description 7
- KTVIXTQDYHMGHF-UHFFFAOYSA-L cobalt(2+) sulfate Chemical compound [Co+2].[O-]S([O-])(=O)=O KTVIXTQDYHMGHF-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 7
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 7
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 7
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 7
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 7
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 6
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 5
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 5
- ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-N phosphinic acid Chemical compound O[PH2]=O ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 1,2-Divinylbenzene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1C=C MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001509 sodium citrate Substances 0.000 description 4
- NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K sodium citrate Chemical compound O.O.[Na+].[Na+].[Na+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 4
- KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 5-[3-(trifluoromethyl)phenyl]-2h-tetrazole Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC(C2=NNN=N2)=C1 KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- 239000004342 Benzoyl peroxide Substances 0.000 description 3
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 3
- 235000019400 benzoyl peroxide Nutrition 0.000 description 3
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 3
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 3
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 3
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000003223 protective agent Substances 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 3
- 229910001379 sodium hypophosphite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UAJRSHJHFRVGMG-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-4-methoxybenzene Chemical compound COC1=CC=C(C=C)C=C1 UAJRSHJHFRVGMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ICSNLGPSRYBMBD-UHFFFAOYSA-N 2-aminopyridine Chemical compound NC1=CC=CC=N1 ICSNLGPSRYBMBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N Benzoylperoxide Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001994 activation Methods 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 2
- QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N butyl prop-2-enoate;methyl 2-methylprop-2-enoate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.COC(=O)C(C)=C.CCCCOC(=O)C=C QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012986 chain transfer agent Substances 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 150000001993 dienes Chemical class 0.000 description 2
- FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N ethenoxyethane Chemical compound CCOC=C FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MLFHJEHSLIIPHL-UHFFFAOYSA-N isoamyl acetate Chemical compound CC(C)CCOC(C)=O MLFHJEHSLIIPHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L nickel sulfate Chemical compound [Ni+2].[O-]S([O-])(=O)=O LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910000363 nickel(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229940059574 pentaerithrityl Drugs 0.000 description 2
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 2
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- HELHAJAZNSDZJO-OLXYHTOASA-L sodium L-tartrate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O HELHAJAZNSDZJO-OLXYHTOASA-L 0.000 description 2
- 239000001433 sodium tartrate Substances 0.000 description 2
- 229960002167 sodium tartrate Drugs 0.000 description 2
- 235000011004 sodium tartrates Nutrition 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 2
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 1
- PSBDWGZCVUAZQS-UHFFFAOYSA-N (dimethylsulfonio)acetate Chemical compound C[S+](C)CC([O-])=O PSBDWGZCVUAZQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BJQFWAQRPATHTR-UHFFFAOYSA-N 1,2-dichloro-4-ethenylbenzene Chemical compound ClC1=CC=C(C=C)C=C1Cl BJQFWAQRPATHTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CORMBJOFDGICKF-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-trimethoxy 2-vinyl benzene Natural products COC1=CC(OC)=C(C=C)C(OC)=C1 CORMBJOFDGICKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KOMNUTZXSVSERR-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(prop-2-enyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound C=CCN1C(=O)N(CC=C)C(=O)N(CC=C)C1=O KOMNUTZXSVSERR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QOVCUELHTLHMEN-UHFFFAOYSA-N 1-butyl-4-ethenylbenzene Chemical compound CCCCC1=CC=C(C=C)C=C1 QOVCUELHTLHMEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KTZVZZJJVJQZHV-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-4-ethenylbenzene Chemical compound ClC1=CC=C(C=C)C=C1 KTZVZZJJVJQZHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OVGRCEFMXPHEBL-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxypropane Chemical compound CCCOC=C OVGRCEFMXPHEBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVGCCRAIYFQZQM-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-2,4,5-trimethylbenzene Chemical compound CC1=CC(C)=C(C=C)C=C1C SVGCCRAIYFQZQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEVVKKAVYQFQNV-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-2,4-dimethylbenzene Chemical compound CC1=CC=C(C=C)C(C)=C1 OEVVKKAVYQFQNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NVZWEEGUWXZOKI-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-2-methylbenzene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C=C NVZWEEGUWXZOKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XKMDZVINHIFHLY-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-3,5-dimethylbenzene Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C=C)=C1 XKMDZVINHIFHLY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JZHGRUMIRATHIU-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-3-methylbenzene Chemical compound CC1=CC=CC(C=C)=C1 JZHGRUMIRATHIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHFHDVDXYKOSKI-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-4-ethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=C(C=C)C=C1 WHFHDVDXYKOSKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRXKVEIJEXJBFF-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)-3-methylbutane-1,4-diol Chemical compound OCC(C)C(CO)(CO)CO BRXKVEIJEXJBFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYGWHHGCAGTUCH-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-cyano-4-methylpentan-2-yl)diazenyl]-2,4-dimethylpentanenitrile Chemical compound CC(C)CC(C)(C#N)N=NC(C)(C#N)CC(C)C WYGWHHGCAGTUCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFSSYGZIYMAAOC-UHFFFAOYSA-N 2-butylperoxy-2-ethylhexanoic acid Chemical compound CCCCOOC(CC)(C(O)=O)CCCC AFSSYGZIYMAAOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003541 2-chlorobenzoyl group Chemical group ClC1=C(C(=O)*)C=CC=C1 0.000 description 1
- PDELBHCVXBSVPJ-UHFFFAOYSA-N 2-ethenyl-1,3,5-trimethylbenzene Chemical compound CC1=CC(C)=C(C=C)C(C)=C1 PDELBHCVXBSVPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBWWINQJTZYDFK-UHFFFAOYSA-N 2-ethenyl-1,4-dimethylbenzene Chemical compound CC1=CC=C(C)C(C=C)=C1 DBWWINQJTZYDFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 1
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- KFGFVPMRLOQXNB-UHFFFAOYSA-N 3,5,5-trimethylhexanoyl 3,5,5-trimethylhexaneperoxoate Chemical compound CC(C)(C)CC(C)CC(=O)OOC(=O)CC(C)CC(C)(C)C KFGFVPMRLOQXNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IWTYTFSSTWXZFU-UHFFFAOYSA-N 3-chloroprop-1-enylbenzene Chemical compound ClCC=CC1=CC=CC=C1 IWTYTFSSTWXZFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATVJXMYDOSMEPO-UHFFFAOYSA-N 3-prop-2-enoxyprop-1-ene Chemical compound C=CCOCC=C ATVJXMYDOSMEPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLBJTVDPSNHSKJ-UHFFFAOYSA-N 4-Methylstyrene Chemical compound CC1=CC=C(C=C)C=C1 JLBJTVDPSNHSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUSNOPLQVRUIIM-UHFFFAOYSA-N 4-amino-2-(4,4-dimethyl-2-oxoimidazolidin-1-yl)-n-[3-(trifluoromethyl)phenyl]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C1NC(C)(C)CN1C(N=C1N)=NC=C1C(=O)NC1=CC=CC(C(F)(F)F)=C1 FUSNOPLQVRUIIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PMZXJPLGCUVUDN-UHFFFAOYSA-N 4-ethenyl-1,2-dimethylbenzene Chemical compound CC1=CC=C(C=C)C=C1C PMZXJPLGCUVUDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-N Carbamic acid Chemical compound NC(O)=O KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004641 Diallyl-phthalate Substances 0.000 description 1
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004606 Fillers/Extenders Substances 0.000 description 1
- 239000004354 Hydroxyethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920000663 Hydroxyethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- YIVJZNGAASQVEM-UHFFFAOYSA-N Lauroyl peroxide Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)OOC(=O)CCCCCCCCCCC YIVJZNGAASQVEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LSDPWZHWYPCBBB-UHFFFAOYSA-N Methanethiol Chemical class SC LSDPWZHWYPCBBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYCMBHHDWRMZGG-UHFFFAOYSA-N Methylacrylonitrile Chemical compound CC(=C)C#N GYCMBHHDWRMZGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 229920001283 Polyalkylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 229920002367 Polyisobutene Polymers 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical compound C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RMKZLFMHXZAGTM-UHFFFAOYSA-N [dimethoxy(propyl)silyl]oxymethyl prop-2-enoate Chemical compound CCC[Si](OC)(OC)OCOC(=O)C=C RMKZLFMHXZAGTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 229920001893 acrylonitrile styrene Polymers 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- GZCGUPFRVQAUEE-SLPGGIOYSA-N aldehydo-D-glucose Chemical compound OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C=O GZCGUPFRVQAUEE-SLPGGIOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000002280 amphoteric surfactant Substances 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 230000003712 anti-aging effect Effects 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N bis(prop-2-enyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC=C QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N but-3-enoic acid;ethene Chemical compound C=C.OC(=O)CC=C DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FACXGONDLDSNOE-UHFFFAOYSA-N buta-1,3-diene;styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC1=CC=CC=C1.C=CC1=CC=CC=C1 FACXGONDLDSNOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N di-tert-butyl peroxide Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical class OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KPVWDKBJLIDKEP-UHFFFAOYSA-L dihydroxy(dioxo)chromium;sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O.O[Cr](O)(=O)=O KPVWDKBJLIDKEP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- YPTUAQWMBNZZRN-UHFFFAOYSA-N dimethylaminoboron Chemical compound [B]N(C)C YPTUAQWMBNZZRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012674 dispersion polymerization Methods 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 238000007720 emulsion polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- MEGHWIAOTJPCHQ-UHFFFAOYSA-N ethenyl butanoate Chemical compound CCCC(=O)OC=C MEGHWIAOTJPCHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GLVVKKSPKXTQRB-UHFFFAOYSA-N ethenyl dodecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)OC=C GLVVKKSPKXTQRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFSIMBWBBOJPJG-UHFFFAOYSA-N ethenyl octadecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OC=C AFSIMBWBBOJPJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N fluoroethene Chemical compound FC=C XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MSYLJRIXVZCQHW-UHFFFAOYSA-N formaldehyde;6-phenyl-1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound O=C.NC1=NC(N)=NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 MSYLJRIXVZCQHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 125000003976 glyceryl group Chemical group [H]C([*])([H])C(O[H])([H])C(O[H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012760 heat stabilizer Substances 0.000 description 1
- PYGSKMBEVAICCR-UHFFFAOYSA-N hexa-1,5-diene Chemical group C=CCCC=C PYGSKMBEVAICCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diol Chemical compound OCCCCCCO XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012493 hydrazine sulfate Substances 0.000 description 1
- 229910000377 hydrazine sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 235000019447 hydroxyethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 150000002462 imidazolines Chemical class 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 229940117955 isoamyl acetate Drugs 0.000 description 1
- 239000004611 light stabiliser Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N methyl vinyl ether Chemical compound COC=C XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000013008 moisture curing Methods 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N neopentyl glycol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002815 nickel Chemical class 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- HDBWAWNLGGMZRQ-UHFFFAOYSA-N p-Vinylbiphenyl Chemical compound C1=CC(C=C)=CC=C1C1=CC=CC=C1 HDBWAWNLGGMZRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZMLDXWLZKKZVSS-UHFFFAOYSA-N palladium tin Chemical compound [Pd].[Sn] ZMLDXWLZKKZVSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L palladium(II) chloride Chemical compound Cl[Pd]Cl PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- DBSDMAPJGHBWAL-UHFFFAOYSA-N penta-1,4-dien-3-ylbenzene Chemical compound C=CC(C=C)C1=CC=CC=C1 DBSDMAPJGHBWAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006340 pentafluoro ethyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 1
- 229940083254 peripheral vasodilators imidazoline derivative Drugs 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920001195 polyisoprene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920000346 polystyrene-polyisoprene block-polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- XTFKWYDMKGAZKK-UHFFFAOYSA-N potassium;gold(1+);dicyanide Chemical compound [K+].[Au+].N#[C-].N#[C-] XTFKWYDMKGAZKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- SCUZVMOVTVSBLE-UHFFFAOYSA-N prop-2-enenitrile;styrene Chemical compound C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 SCUZVMOVTVSBLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012086 standard solution Substances 0.000 description 1
- 125000004079 stearyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 1
- 229920000468 styrene butadiene styrene block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229940117986 sulfobetaine Drugs 0.000 description 1
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 238000010557 suspension polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 125000000383 tetramethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 239000012974 tin catalyst Substances 0.000 description 1
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002023 trifluoromethyl group Chemical group FC(F)(F)* 0.000 description 1
- JRSJRHKJPOJTMS-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(2-phenylethenyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=CC1=CC=CC=C1 JRSJRHKJPOJTMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRPURDFRFHUDSP-UHFFFAOYSA-N tris(prop-2-enyl) benzene-1,2,4-tricarboxylate Chemical compound C=CCOC(=O)C1=CC=C(C(=O)OCC=C)C(C(=O)OCC=C)=C1 GRPURDFRFHUDSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930195735 unsaturated hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004034 viscosity adjusting agent Substances 0.000 description 1
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Conductive Materials (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性微粒子およびその導電性微粒子を用いた異方導電材料に関する。
【0002】
【従来の技術】
導電性微粒子は、バインダー樹脂や粘接着剤等と混合(混練)することにより、例えば、異方導電性ペースト、異方導電性インク、異方導電性粘接着剤、異方導電性フィルム(異方導電性シートも含む)等の異方導電材料として広く用いられている。
【0003】
これらの異方導電材料は、例えば、液晶表示ディスプレイ、パーソナルコンピュータ、携帯電話等の電子機器において、基板同士を電気的に接続したり、半導体素子等の小型部品を基板に電気的に接着したりするために、相対向する基板や電極端子の間に挟み込んで、圧着することにより使用されている。
【0004】
上記異方導電材料に用いられる導電性微粒子としては、従来より、金、銀、ニッケル等の金属粒子が一般的に用いられてきたが、金属粒子は、比重が大きく、形状も不定形であるため、バインダー樹脂中や粘接着剤中に不均一な状態で存在(分散)しやすくなり、得られる異方導電材料の導電性にムラを生じさせる原因になるという問題点がある。
【0005】
このため、金属粒子の代わりに、粒子径の均一なガラスビーズ、グラスファイバー、プラスチックボールなどの芯材粒子の表面に例えば無電解メッキ法により金属メッキを施して、金属メッキ層(導電層)を形成させた導電性微粒子が広く用いられるようになってきている。
【0006】
しかし、芯材粒子の表面に無電解メッキ法により金属メッキ層を形成させた導電性微粒子においては、一般的に芯材粒子から金属メッキ層が剥離しやすく、圧着時に金属メッキ層の破壊が生じて、電気抵抗が増大するという問題点がある。
【0007】
また、芯材粒子は一般的に微粒子であるため、芯材粒子の表面に金属メッキを施す際に、芯材粒子同士の凝集が生じやすく、後工程で物理的な力を加えて凝集を解砕する工程、いわゆる単粒子化工程が必要となるが、この単粒子化工程において、メッキ剥離やメッキ破壊を生じやすいという問題点がある。
【0008】
芯材粒子と金属メッキ層との密着性を高める方法として、一般的には種々の酸化剤等を用いて非導電性の芯材粒子をエッチングして、その表面に微小な凹凸を形成させ、その凹凸のアンカー効果(投錨効果)により密着性を高めるという手法が採られるが、芯材粒子として樹脂微粒子を用いる場合には、樹脂微粒子自身が酸化剤等に曝されることによって脆化するため、樹脂微粒子が本来有している芯材粒子としての耐圧性能等の低下を避けられないという問題点がある。
【0009】
このような問題点を解決するために、例えば、微細孔を有する樹脂微粒子(芯材粒子)に金属メッキ層を形成することにより、その微細孔のアンカー効果で金属メッキ層との密着性を向上させる導電性微粒子の製造方法が開示されている(例えば、特許文献1参照。)。
【0010】
しかし、上記製造方法の場合、密着性の優れた金属メッキ層を有する導電性微粒子を得ることはできるものの、樹脂微粒子の深部に至るまで微細孔が開孔しているため、芯材粒子として必要な機械的強度を高くすることができず、得られる導電性微粒子が圧着時に破壊されやすいという問題点がある。
【0011】
また、金属メッキ層中にリンを1.5〜4重量%の割合で含有させることによって耐食性を向上させ、金属メッキ層と樹脂微粒子との密着性を高めた導電性微粒子が開示されている(例えば、特許文献2参照。)。
【0012】
しかし、上記導電性微粒子の場合、金属メッキ層の変質は確かに少なくなるものの、金属メッキ層中のリン含有量が低くなると引っ張り応力が大きくなるため、圧着により凝集した導電性微粒子を解砕するための単粒子化工程において、メッキ剥離やメッキ破壊を生じやすいという問題点がある。
【0013】
このような金属メッキ層の剥離や破壊は、異方導電材料として用いた場合に導通性(導電性)不良や導通安定性(導電安定性)不良を来す原因となり、異方導電材料の導通信頼性(導電信頼性)を損ねるものである。
【0014】
このように、近年の電子機器の急激な進歩や発展に伴って要求されている異方導電材料の導通信頼性のさらなる向上を十分に満たす導電性微粒子は実用化されていないのが現状である。
【0015】
【特許文献1】
特公平6−89068号公報
【特許文献2】
特許第2507381号公報
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、上記問題点に鑑み、金属メッキ層と樹脂微粒子(芯材粒子)との密着性が優れ、圧着時や単粒子化工程において圧縮荷重などの物理的応力が負荷されてもメッキ剥離やメッキ破壊を生じにくく、したがって長期間にわたって優れた導通信頼性を発現する異方導電材料を得ることができる導電性微粒子、および、上記導電性微粒子を用いた異方導電材料を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明(本発明)による導電性微粒子は、樹脂微粒子の表面に金属メッキ層が形成されてなる導電性微粒子であって、上記金属メッキ層が、リン1〜10重量%およびコバルト0.1〜5重量%を含有し、かつ、上記金属メッキ層が、ニッケルメッキ層であることを特徴とする。
【0019】
請求項2に記載の発明による導電性微粒子は、上記請求項1に記載の導電性微粒子において、さらに表面に金メッキ層が形成されてなることを特徴とする。
【0020】
請求項3に記載の発明による導電性微粒子は、上記請求項1または2に記載の導電性微粒子において、樹脂微粒子が、平均粒子径が0.5〜100μmであり、粒子径の変動係数(Cv値)が10%以下であり、かつ、10%K値が1000〜15000MPaであることを特徴とする。
【0021】
また、請求項4に記載の発明(本発明)による異方導電材料は、上記請求項1〜3のいずれか1項に記載の導電性微粒子を用いて作製されていることを特徴とする。
【0022】
本発明の導電性微粒子は、後述する樹脂微粒子(芯材粒子)の表面に例えば無電解メッキ法により金属メッキ層(導電層)が形成されてなる。
【0023】
上記金属としては、特に限定されるものではないが、例えば、ニッケル、金、銀、銅、コバルト等が挙げられ、なかでも、導電性とコストとのバランスに優れることから、ニッケルが好適に用いられる。これらの金属は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
【0024】
一般的に、無電解メッキ法による金属メッキ層の形成工程は、エッチング工程、触媒化工程(活性化工程)および無電解メッキ工程の3工程からなる。
【0025】
エッチング工程は、例えば、クロム酸、硫酸−クロム酸混合液、過マンガン酸溶液などの酸化剤;塩酸、硫酸などの強酸;水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどの強アルカリ溶液等を用いて、樹脂微粒子の表面に微小な凹凸を形成させ、その凹凸のアンカー効果によって金属メッキ層の密着性を向上させる工程である。しかし、エッチング工程は、必ずしも必須の工程ではなく、過度のエッチングによって樹脂微粒子を脆化させたり、樹脂微粒子の有する本来の機械的強度等を損なったりする恐れがある場合には省略することも可能である。
【0026】
触媒化工程(活性化工程)は、樹脂微粒子の表面に次工程の無電解メッキ工程で施す無電解メッキの起点となりうる触媒層を形成させるとともに、この触媒層を活性化させる工程である。触媒層を活性化させることにより、無電解メッキ工程における金属の析出が促進される。上記触媒化工程で用いられる触媒としては、特に限定されるものではないが、例えば、市販のアミン錯塩系触媒のようなアルカリ触媒(アルカリキャタリスト)等が挙げられる。これらの触媒は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
【0027】
触媒化工程の具体的な方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、塩化パラジウムと塩化スズとからなる溶液に樹脂微粒子を浸漬した後、硫酸、塩酸などの酸や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ溶液で活性化して、パラジウムを樹脂微粒子表面に析出させる方法や、硫酸パラジウムと2−アミノピリジンとからなる溶液にエッチングした樹脂微粒子を浸漬した後、ジメチルアミノボランなどの還元剤を含む溶液で活性化して、パラジウムを樹脂微粒子表面に析出させる方法等が挙げられる。これらの方法は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
【0028】
無電解メッキ工程は、触媒層が形成され活性化された樹脂微粒子を、次亜リン酸や錯化剤の存在下で、金属塩を含有する溶液中に浸漬し、形成された触媒層を起点として樹脂微粒子の表面に金属を析出させ、金属メッキ層を形成させる工程である。
【0029】
本発明の導電性微粒子に形成される金属メッキ層は、特に限定されるものではないが、ニッケルメッキ層であることが好ましい。上記無電解メッキ工程において、触媒層が形成され活性化された樹脂微粒子を、次亜リン酸や錯化剤の存在下で、ニッケル塩を含有する溶液中に浸漬し、形成された触媒層を起点として樹脂微粒子の表面にニッケルを析出させることにより、ニッケルメッキ層を形成させることができる。上記無電解メッキ工程を次亜リン酸や錯化剤の存在下で行うことにより、金属メッキ層、好ましくはニッケルメッキ層にリンが合金の形で取り込まれる。
【0030】
本発明の導電性微粒子は、金属メッキ層がリン1〜10重量%を含有していることが必要であり、好ましくはリン2〜8重量%を含有していることである。
【0031】
金属メッキ層にリンを含有させることにより、金属メッキ層は適度な可撓性を有するものとなり、樹脂微粒子に対する密着性がより向上する。
【0032】
金属メッキ層のリン含有率が1重量%未満であると、金属メッキ層の結晶性が高くなりすぎて可撓性が不十分となり、樹脂微粒子に対する密着性向上効果を十分に得られなくなり、逆に金属メッキ層のリン含有率が10重量%を超えると、得られる導電性微粒子の導電性が著しく低下する。
【0033】
金属メッキ層におけるリンの含有率は、金属メッキ液の組成やpH、無電解メッキ条件等を変えることにより、任意に制御することができる。例えば、次亜リン酸や錯化剤の量を増やせば、一般的にリンの含有率は高くなり、逆に次亜リン酸や錯化剤の量を減らせば、一般的にリンの含有率は低くなる。
【0034】
本発明の導電性微粒子は、金属メッキ層がコバルト0.1〜5重量%を含有していることが必要であり、好ましくはコバルト0.5〜4重量%を含有していることである。
【0035】
金属メッキ層にコバルトを含有させることにより、金属メッキ層は適度な被膜強度を有するものとなり、樹脂微粒子に対する密着性がさらに向上する。
【0036】
金属メッキ層のコバルト含有率が0.1重量%未満であると、金属メッキ層の被膜強度が不十分となって、樹脂微粒子に対する密着性向上効果を十分に得られなくなり、逆に金属メッキ層のコバルト含有率が5重量%を超えると、金属メッキ層の被膜強度が強くなりすぎて、物理的な応力が加わった際にメッキ剥離やメッキ破壊を生じやすくなったり、また、保磁力が強くなるので、得られる導電性微粒子が磁性を有した場合、導電性微粒子同士の凝集が起こりやすくなる。
【0037】
金属メッキ層にコバルトを含有させる方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、無電解金属メッキ液に硫酸コバルトなどのコバルト含有化合物を添加し、金属とともにコバルトを共沈させる方法等が挙げられる。金属メッキ層におけるコバルトの含有率は、無電解金属メッキ液中の金属/コバルト比を変えることにより、任意に制御することができる。例えば、金属/コバルト比を大きくすれば、一般的にコバルトの含有率は低くなり、逆に金属/コバルト比を小さくすれば、一般的にコバルトの含有率は高くなる。
【0038】
本発明の導電性微粒子を構成する金属メッキ層の厚みは、特に限定されるものではないが、0.005〜1μmであることが好ましく、より好ましくは0.01〜0.5μmである。
【0039】
金属メッキ層の厚みが0.005μm未満であると、十分な導電性を得られなくなることがあり、逆に金属メッキ層の厚みが1μmを超えると、得られる導電性微粒子の比重が高くなりすぎたり、芯材粒子として用いられる樹脂微粒子が本来有している機械的強度や弾性回復率等の物性が十分に発現されなくなることがある。
【0040】
本発明の導電性微粒子は、導電性や耐食性をより向上させるために、さらに上記金属メッキ層、好ましくはニッケルメッキ層が形成された表面に金メッキ層が形成されていることが好ましい。
【0041】
金属メッキ層が形成された表面に金メッキ層を形成する方法は、特に限定されるものではなく、例えば、無電解金メッキ法、置換金メッキ法、スパッタリング等の公知の各種金メッキ法で良い。これらの金メッキ法は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
【0042】
上記金メッキ層の厚みは、特に限定されるものではないが、0.005〜1μmであることが好ましく、より好ましくは0.01〜0.5μmである。
【0043】
金メッキ層の厚みが0.005μm未満であると、金のメッキムラ(被覆ムラ)を生じやすくなって、導電性や耐食性の向上効果を十分に得られなくなることがあり、逆に金メッキ層の厚みが1μmを超えると、得られる導電性微粒子の比重が高くなりすぎて、バインダー樹脂や粘接着剤等に混合して異方導電材料を作製する際に沈降や凝集等を生じやすくなり、作業性や得られる異方導電材料の性能が不十分となることがある。
【0044】
本発明の導電性微粒子は、芯材粒子として樹脂微粒子を用いる。
【0045】
本発明で用いられる樹脂微粒子は、平均粒子径が0.5〜100μmであり、粒子径の変動係数(Cv値)が10%以下であり、かつ、10%K値が1000〜15000MPaであることが好ましい。
【0046】
本発明で用いられる樹脂微粒子は、平均粒子径が0.5〜100μmであることが好ましく、より好ましくは1〜20μmである。なお、上記平均粒子径とは、以下の方法で測定される平均粒子径を意味する。
〔平均粒子径の測定方法〕
レーザー回折散乱を利用した粒度分析計を用いて、導電性微粒子の粒子径を測定し、中心粒子径をもって平均粒子径とする。なお、上記粒度分析計の具体例としては、特に限定されるものではないが、例えば、日機装社製の商品名「マイクロトラックUPA粒度分析計」等が挙げられる。
【0047】
樹脂微粒子の平均粒子径が0.5μm未満であると、金属メッキ層を形成する際に樹脂微粒子同士の凝集が起こりやすくなって、得られる導電性微粒子が隣接する電極間でショートを引き起こしやすくなることがあり、逆に樹脂微粒子の平均粒子径が100μmを超えると、得られる導電性微粒子の金属メッキ層が剥離しやすくなって、この導電性微粒子を用いて作製した異方導電材料の導通信頼性が損なわれることがある。
【0048】
本発明で用いられる樹脂微粒子は、粒子径の変動係数(Cv値)が10%以下であることが好ましい。なお、上記粒子径の変動係数(Cv値)は、下記計算式に示すように、粒子径の標準偏差を平均粒子径で除し、100を乗ずることによって算出される。
粒子径のCv値(%)=(粒子径の標準偏差/平均粒子径)×100
【0049】
樹脂微粒子の粒子径の変動係数(Cv値)が10%を超えると、得られる導電性微粒子と電極との接触面積にばらつきが生じやすくなって、異方導電材料の導通信頼性が損なわれることがある。
【0050】
本発明で用いられる樹脂微粒子は、10%K値が1000〜15000MPaであることが好ましく、より好ましくは2000〜10000MPaである。なお、上記10%K値とは、以下の方法で測定される10%K値を意味する。
〔10%K値の測定方法〕
微小圧縮試験器(例えば、島津製作所社製の商品名「PCT−200」)を用いて、圧縮速度0.27g/秒、最大圧縮荷重10gの条件で、樹脂微粒子を直径50μmのダイアモンド製円柱からなる平滑圧子端面で圧縮し、下記計算式により10%K値を算出する。
10%K値(MPa)=(3/√2)×F×S-3/2×R-1/2
ここで、F:樹脂微粒子の10%圧縮変形時における圧縮荷重(kg)
S:樹脂微粒子の10%圧縮変形時における圧縮変位(mm)
R:樹脂微粒子の半径(mm)
【0051】
樹脂微粒子の10%K値が1000MPa未満であると、得られる導電性微粒子の機械的強度が不十分となって、この導電性微粒子を用いて作製した異方導電材料を圧縮変形させた時に導電性微粒子の破壊が生じ、異方導電材料としての機能を果たさなくなることがあり、逆に樹脂微粒子の10%K値が15000MPaを超えると、得られる導電性微粒子が異方導電材料中において電極を傷つけることがある。
【0052】
また、本発明で用いられる樹脂微粒子は、弾性回復率が20%以上であることが好ましく、より好ましくは40%以上である。なお、上記弾性回復率とは、樹脂微粒子に1gfの荷重を負荷した後の弾性回復率を意味する。
【0053】
樹脂微粒子の弾性回復率が20%未満であると、得られる導電性微粒子を用いて作製した異方導電材料を圧縮した際に導電性微粒子が変形して元に戻らなくなり、導通不良(接続不良)を起こすことがある。
【0054】
本発明で用いられる樹脂微粒子の製造方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、乳化重合法、懸濁重合法、シード重合法、分散重合法、分散シード重合法等が挙げられ、いずれの製造方法が採られても良い。
【0055】
上記樹脂微粒子の種類としては、好ましくは上記平均粒子径、粒子径の変動係数(Cv値)、10%K値、弾性回復率等の特性を満たすものであれば良く、特に限定されるものではないが、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイソブチレンなどのオレフィン系樹脂;ポリスチレンなどのスチレン系樹脂;ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどの塩化ビニル系樹脂;ポリメチル(メタ)アクリレートなどのアクリル系樹脂;ポリブタジエン、ポリイソプレンなどの共役ジエン系樹脂;フェノールホルムアルデヒド樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂、ベンゾグアナミンホルムアルデヒド樹脂、尿素ホルムアルデヒド樹脂などの縮合系樹脂;ポリアルキレンテレフタレート、ポリスルホン、ポリカーボネート、ポリアミド等からなる樹脂微粒子が挙げられ、なかでも、導電性微粒子の芯材粒子として必要な任意の機械的強度や弾性回復率等の物性を有する樹脂微粒子を得やすいことから、エチレン性不飽和基を有する重合性単量体の1種類もしくは2種類以上を(共)重合させて得られる樹脂からなる樹脂微粒子が好適に用いられる。これらの樹脂微粒子は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。なお、上記(メタ)アクリレートとはアクリレートまたはメタクリレートを意味し、上記(共)重合とは単独重合または共重合を意味する。
【0056】
エチレン性不飽和基を有する重合性単量体を重合させて樹脂微粒子を得る場合、非架橋性単量体と架橋性単量体とを併用して共重合させることにより、樹脂微粒子を得ることが好ましい。架橋性単量体を併用することにより、得られる樹脂微粒子のゲル分率が向上して、樹脂微粒子ひいては導電性微粒子の機械的強度、弾性回復率、耐熱性等がより優れたものとなる。
【0057】
非架橋性単量体としては、特に限定されるものではないが、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、β−メチルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−エチルスチレン、2,4−ジメチルスチレン、2,5−ジメチルスチレン、3,4−ジメチルスチレン、3,5−ジメチルスチレン、2,4,5−トリメチルスチレン、2,4,6−トリメチルスチレン、p−n−ブチルスチレン、p−t−ブチルスチレン、p−n−ヘキシルスチレン、p−n−オクチルスチレン、p−n−ドデシルスチレン、p−メトキシスチレン、p−フェニルスチレン、p−クロロスチレン、クロロメチルスチレン、3,4−ジクロルスチレンなどのスチレン系単量体;アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、無水マレイン酸などのカルボン酸系単量体;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレートなどのアルキル(メタ)アクリレート系単量体;2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、ポリオキシエチレン(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレートなどの酸素原子含有(メタ)アクリレート系単量体;アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどの不飽和ニトリル系単量体;メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテルなどのビニルエーテル系単量体;酢酸ビニル、酪酸ビニル、ラウリン酸ビニル、ステアリン酸ビニルなどのビニルエステル系単量体;エチレン、プロピレン、イソプレン、ブタジエンなどの不飽和炭化水素系単量体;塩化ビニル、フッ化ビニル、トリフルオロメチル(メタ)アクリレート、ペンタフルオロエチル(メタ)アクリレートなどのハロゲン基含有単量体等が挙げられ、なかでもスチレン系単量体が好適に用いられ、とりわけスチレンが特に好適に用いられる。これらの非架橋性単量体は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
【0058】
また、架橋性単量体としては、特に限定されるものではないが、例えば、ジビニルベンゼン、ジビニルトルエンなどの多官能ビニル系単量体;テトラメチレンジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレンオキシドジ(メタ)アクリレート、テトラエチレンオキシドジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンジ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、テトラメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、グリセールジ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレートなどの多官能(メタ)アクリレート系単量体;ビニルトリメトキシシラン、トリメトキシシリルスチレン、γ−(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシランなどのシラン含有系単量体;トリアリルイソシアヌレート、トリアリルトリメリテート、ジアリルフタレート、ジアリルアクリルアミド、ジアリルエーテルなどのアリル基含有系単量体;ブタジエン、イソプレンなどの共役ジエン系単量体等が挙げられる。これらの架橋性単量体は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
【0059】
非架橋性単量体と架橋性単量体とを併用する場合の架橋性単量体の使用量は、特に限定されるものではないが、架橋性単量体5重量%以上を含有することが 好ましく、より好ましくは架橋性単量体20重量%以上を含有することである。
【0060】
架橋性単量体の使用量が5重量%未満であると、得られる樹脂微粒子のゲル分率が十分に向上せず、前記10%K値や弾性回復率が不十分となったり、重合中に樹脂微粒子が粒子形状を保持できず、異形のものとなったり、樹脂微粒子同士の合着が起こって、前記平均粒子径や粒子径の変動係数(Cv値)が大きくなりすぎることがある。
【0061】
上記樹脂微粒子の製造に際しては、必要に応じて、重合開始剤、高分子保護剤(保護コロイド)、分散安定剤、膨潤助剤、連鎖移動剤、粘度調整剤、着色剤(染料や顔料等)、消泡剤等の各種添加剤の1種類もしくは2種類以上が用いられても良い。
【0062】
重合開始剤としては、特に限定されるものではないが、例えば、過酸化ベンゾイル、過酸化ラウロイル、オルソクロロ過酸化ベンゾイル、オルソメトキシ過酸化ベンゾイル、3,5,5−トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、ジ−t−ブチルパーオキサイドなどの有機過酸化物;アゾビスイソブチロニトリル、アゾビスシクロヘキサカルボニトリル、アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)などのアゾ系化合物等が挙げられる。これらの重合開始剤は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
【0063】
上記重合開始剤の使用量は、特に限定されるものではないが、前記重合性単量体の合計量100重量部に対して、重合開始剤0.1〜10重量部であることが好ましい。重合性単量体の合計量100重量部に対する重合開始剤の使用量が0.1重量部未満であると、重合反応が円滑に進行しないことがあり、逆に重合性単量体の合計量100重量部に対する重合開始剤の使用量が10重量部を超えると、得られる樹脂微粒子の重合度(分子量)が低くなりすぎて、樹脂微粒子ひいてと導電性微粒子の機械的強度や耐熱性が不十分となることがある。
【0064】
高分子保護剤(保護コロイド)としては、特に限定されるものではないが、例えば、ポリビニルアルコール、ヒドロキシエチルセルロースなどの水溶性高分子が挙げられる。これらの高分子保護剤(保護コロイド)は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
【0065】
分散安定剤としては、特に限定されるものではないが、例えば、カルボン酸塩、スルホン酸塩、硫酸エステル塩、リン酸エステル塩などの陰イオン性界面活性剤;脂肪族アミン塩、脂肪族4級アンモニウム塩などの陽イオン性界面活性剤;カルボキシベタイン、スルホベタイン、アミノカルボン酸塩、イミダゾリン誘導体などの両性界面活性剤;エーテル型、エーテルエステル型、エステル型、含窒素型などの非イオン性界面活性剤等が挙げられる。これらの分散安定剤は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
【0066】
膨潤助剤としては、シード重合法または分散シード重合法において、シード粒子(種粒子)への吸着もしくは吸収を促進させうるものであれば良く、特に限定されるものではないが、例えば、エタノールなどのアルコール類や酢酸イソアミル等が挙げられる。これらの膨潤助剤は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
【0067】
連鎖移動剤としては、特に限定されるものではないが、例えば、アルキルメルカプタンなどのメルカプタン系化合物等が挙げられる。これらの連鎖移動剤は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。
【0068】
次に、本発明の異方導電材料は、上述した本発明の導電性微粒子を用いて作製されている。
【0069】
上記異方導電材料としては、例えば、異方導電性ペースト、異方導電性インク、異方導電性粘接着剤、異方性導電性フィルム、電磁波シールド用導電材、導電接続構造体等が挙げられるが、これらの異方導電材料のみに限定されるものではなく、導電性微粒子を用いて作製されるものであれば如何なる異方導電材料であっても良い。
【0070】
本発明の異方導電材料の作製方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、絶縁性のバインダー樹脂中や絶縁性の粘接着剤中に本発明の導電性微粒子を添加し、均一に混合して分散させ、例えば、異方導電性ペースト、異方導電性インク、異方導電性粘接着剤等とする方法や、絶縁性のバインダー樹脂中や絶縁性の粘接着剤中に本発明の導電性微粒子を添加し、均一に混合して導電性組成物を作製した後、この導電性組成物を必要に応じて有機溶媒中に均一に溶解(分散)させるか、または、加熱溶融させて、例えば離型紙や離型フィルムなどの離型材の離型処理面に所定のフィルム厚みとなるように塗工し、必要に応じて乾燥や冷却等を行って、例えば、異方導電性フィルム等とする方法等が挙げられ、作製しようとする異方導電材料の種類に対応して、適宜の作製方法を採れば良い。また、絶縁性のバインダー樹脂や絶縁性の粘接着剤と本発明の導電性微粒子とを、混合することなく、別々に用いて異方導電材料としても良い。
【0071】
絶縁性のバインダー樹脂としては、特に限定されるものではないが、例えば、酢酸ビニル系樹脂、塩化ビニル系樹脂、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂等のビニル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリアミド系樹脂などの熱可塑性樹脂;エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂およびこれらの硬化剤からなる硬化性樹脂;スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体、これらの水素添加物等の熱可塑性ブロック共重合体、スチレン−ブタジエン共重合ゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリル−スチレンブロック共重合ゴムなどのエラストマー類(ゴム類)等が挙げられる。これらの絶縁性のバインダー樹脂は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。また、上記硬化性樹脂は、常温硬化型、熱硬化型、光硬化型、湿気硬化型等のいずれの硬化形態であっても良い。
【0072】
絶縁性の粘接着剤としては、特に限定されるものではないが、例えば、上記絶縁性のバインダー樹脂を主成分としてなる粘接着剤や、公知の各種粘接着剤等が挙げられる。これらの絶縁性の粘接着剤は、単独で用いられても良いし、2種類以上が併用されても良い。また、上記絶縁性のバインダー樹脂および絶縁性の粘接着剤は、それぞれ単独で用いられても良いし、両者が併用されても良い。
【0073】
本発明の異方導電材料には、絶縁性のバインダー樹脂および/または絶縁性の粘接着剤、および、本発明の導電性微粒子に加えるに、本発明の課題達成を阻害しない範囲で必要に応じて、例えば、増量剤、軟化剤(可塑剤)、粘接着性向上剤、酸化防止剤(老化防止剤)、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、着色剤、難燃剤、有機溶媒等の各種添加剤の1種類もしくは2種類以上が添加されていても良い。
【0074】
【作用】
本発明の導電性微粒子は、樹脂微粒子(芯材粒子)の表面に金属メッキ層が形成されてなる導電性微粒子であって、上記金属メッキ層が特定量のリンおよび特定量のコバルトを含有しているので、金属メッキ層は適度な可撓性と適度な被膜強度とを兼備し、樹脂微粒子に対して優れた密着性を有するものとなるため、物理的応力が負荷されてもメッキ剥離やメッキ破壊を生じにくく、長期間にわたって優れた導通信頼性を発現する異方導電材料を得るに適する。
【0075】
また、本発明の導電性微粒子は、上記金属メッキ層をニッケルメッキ層とすることにより、上記性能がより優れたものとなる。
【0076】
また、本発明の導電性微粒子は、さらに表面に金メッキ層を形成することにより、より優れた導電性やより優れた耐食性を発現するものとなる。さらに、本発明の導電性微粒子は、特定の平均粒子径、特定の粒子径の変動係数(Cv値)および特定の10%K値を有する樹脂微粒子を用いることにより、さらに優れた導電性やより優れた機械的強度を発現するものとなる。
【0077】
本発明の異方導電材料は、上記本発明の導電性微粒子を用いて作製されているので、長期間にわたって優れた導通信頼性を発現する。
【0078】
【発明の実施の形態】
本発明をさらに詳しく説明するため以下に実施例を挙げるが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。
【0079】
(実施例1)
ジビニルベンゼンを主成分(主単量体)としてなり、表面に少量の水酸基を有し、かつ、前記方法で測定した平均粒子径が5μmであり、粒子径の変動係数(Cv値)が4.9%であり、10%K値が4900MPaであり、弾性回復率が60%である樹脂微粒子(商品名「ミクロパールSP−205」、積水化学工業社製)10gを、超音波洗浄機を用いて、パラジウム−錫系触媒(商品名「キャタリスト44」、シプレイ社製)5重量%を含有する塩酸水溶液100ml中に分散させた後、濾紙で微粒子を濾別し、さらに10重量%塩酸水溶液中に分散させてパラジウムを活性化させた。この微粒子を水洗した後、再度、蒸留水500mlを加えて十分に分散させ、微粒子懸濁液を調製した。この微粒子懸濁液を60℃で攪拌しながら、硫酸ニッケル0.23mol/L、硫酸コバルト0.02mol/L、次亜リン酸ナトリウム0.50mol/Lおよびクエン酸ナトリウム0.50mol/Lを含有してなり、pHをアンモニア水を用いて8.5に調整した無電解ニッケルメッキ液を徐々に添加し、無電解ニッケルメッキを行った。ニッケルメッキ層の厚みがおおよそ0.1μmになった時点で無電解ニッケルメッキ液の添加をやめ、濾紙で微粒子を濾別して、十分に水洗した後、乾燥させて、表面にニッケルメッキ層が形成された導電性微粒子(以下、「ニッケルメッキ導電性微粒子」と記す)を作製した。
【0080】
次いで、上記で得られたニッケルメッキ導電性微粒子を5g/Lのシアン化金カリウムを含有する置換金メッキ液(商品名「IM−gold ST」、日本高純度化学社製)中に投入し、80℃で攪拌しながら置換金メッキ層の厚みがおよそ0.04μmになるまで置換金メッキを行って、表面にさらに金メッキ層が形成された導電性微粒子(以下、「金メッキ導電性微粒子」と記す)を作製した。
【0081】
(実施例2)
無電解ニッケルメッキ液中における硫酸コバルトの量を0.01mol/Lとしたこと以外は実施例1の場合と同様にして、ニッケルメッキ導電性微粒子および金メッキ導電性微粒子を作製した。
【0082】
(実施例3)
クエン酸ナトリウム0.50mol/Lの代わりに、酒石酸ナトリウム1.00mol/Lを含有させた無電解ニッケルメッキ液を用いたこと以外は実施例1の場合と同様にして、ニッケルメッキ導電性微粒子および金メッキ導電性微粒子を作製した。
【0083】
(実施例4)
硫酸コバルトの量を0.01mol/Lとし、クエン酸ナトリウム0.50mol/Lの代わりに、酒石酸ナトリウム1.00mol/Lを含有させた無電解ニッケルメッキ液を用いたこと以外は実施例1の場合と同様にして、ニッケルメッキ導電性微粒子および金メッキ導電性微粒子を作製した。
【0084】
(比較例1)
無電解ニッケルメッキ液中に硫酸コバルトを含有させなかったこと以外は実施例1の場合と同様にして、ニッケルメッキ導電性微粒子および金メッキ導電性微粒子を作製した。
【0085】
(比較例2)
無電解ニッケルメッキ液中における硫酸コバルトの量を0.05mol/Lとしたこと以外は実施例1の場合と同様にして、ニッケルメッキ導電性微粒子および金メッキ導電性微粒子を作製した。
【0086】
(比較例3)
次亜リン酸ナトリウム0.50mol/Lの代わりに、ジメチルアミノボラン0.05mol/Lを含有させた無電解ニッケルメッキ液を用いたこと以外は実施例1の場合と同様にして、ニッケルメッキ導電性微粒子および金メッキ導電性微粒子を作製した。
【0087】
(比較例4)
硫酸ニッケル0.23mol/L、硫酸コバルト0.02mol/L、次亜リン酸ナトリウム0.50mol/L、クエン酸ナトリウム0.50mol/Lおよびホウ酸0.50mol/Lを含有してなり、pHを水酸化ナトリウムを用いて7.0に調整した無電解ニッケルメッキ液を用いたこと以外は実施例1の場合と同様にして、ニッケルメッキ導電性微粒子および金メッキ導電性微粒子を作製した。
【0088】
実施例1〜実施例4および比較例1〜比較例4で得られたニッケルメッキ導電性微粒子の特性(▲1▼ニッケルメッキ層の厚み、▲2▼リン含有率、▲3▼コバルト含有率、▲4▼解砕破壊率)を以下の方法で測定した。その結果は表1に示すとおりであった。
【0089】
▲1▼ニッケルメッキ層の厚み
ニッケルメッキ導電性微粒子0.5gを精秤し、硝酸を加えてニッケルメッキ層を完全に溶解させた後、この溶液を用いて、ICP発光分析にて、ニッケル(Ni)、リン(P)およびコバルト(Co)の重量を測定し、下記計算式によりニッケルメッキ層の厚み(Ni層厚)を算出した。
Ni層厚(μm)=(ρp×WNi×D)/{6×ρNi×(100−WNi)}
ここで、ρp:樹脂微粒子の比重
ρNi:ニッケルメッキ層の比重
D:樹脂微粒子の平均粒子径(μm)
WNi:ニッケルメッキ導電性微粒子に占めるNi、PおよびCoの含有率(重量%)
▲2▼リン含有率
▲1▼の場合と同様の操作を行い、下記計算式によりリン含有率を算出した。
リン含有率(重量%)=P重量/(Ni重量+P重量+Co重量)×100
▲3▼コバルト含有率
▲1▼の場合と同様の操作を行い、下記計算式によりコバルト含有率を算出した。
コバルト含有率(重量%)=Co重量/(Ni重量+P重量+Co重量)×100 ▲4▼解砕破壊率
ニッケルメッキ導電性微粒子1gをメノウ製乳鉢に採取し、3分間緩やかに攪拌した後、光学顕微鏡にて任意の微粒子1000個を観察し、ニッケルメッキ層の1/2以上が剥離している微粒子の割合(個数%)を計測した。
【0090】
次に、実施例1〜実施例4および比較例1〜比較例4で得られた金メッキ導電性微粒子の特性(▲5▼ニッケルメッキ層の厚み、▲6▼金メッキ層の厚み)を以下の方法で測定した。その結果は表1に示すとおりであった。
【0091】
▲5▼ニッケルメッキ層の厚み、および、▲6▼金メッキ層の厚み
金メッキ導電性微粒子0.5gを精秤し、60重量%硝酸5mlおよび37重量%塩酸10mlからなる混合液を加えてニッケルメッキ層および金メッキ層を完全に溶解させた後、硫酸ヒドラジンの飽和水溶液20mlを加えて、80℃で1時間加熱し、金を沈殿させた。この沈殿した金を含む溶液を濾紙で濾別し、濾紙のままルツボに入れ、900℃で2時間焼却して、金を回収した。回収された金の重量を測定し、金メッキ導電性微粒子に占める金含有率(WAu)を算出した。また、濾液は正確に200mlにメスアップし、弱酸性下で、Cu−PANを指示薬として0.01mol/LのEDTA標準液にてニッケル含有率(WNi)を算出した。得られた金含有率およびニッケル含有率を用いて、下記計算式によりニッケルメッキ層の厚み(Ni層厚)および金メッキ層の厚み(Au層厚)を算出した。
Ni層厚(μm)=(ρp×WNi×D)/{6×ρNi×(100−WAu−WNi)}
Au層厚(μm)=(ρp×WAu×D)/{6×ρAu×(100−WAu−WNi)}
ここで、ρp:樹脂微粒子の比重
ρAu:金メッキ層の比重
ρNi:ニッケルメッキ層の比重
WAu:金メッキ導電性微粒子に占める金含有率(重量%)
WNi:金メッキ導電性微粒子に占めるニッケル含有率(重量%)
D:樹脂微粒子の平均粒子径(μm)
【0092】
次いで、実施例1〜実施例4および比較例1〜比較例4で得られた金メッキ導電性微粒子の性能(▲7▼導電性、▲8▼導電性破壊率)を以下の方法で測定した。その結果は表1に示すとおりであった。
【0093】
▲7▼導電性
微小圧縮電気抵抗測定器(商品名「PCT−200改」、島津製作所社製)を用いて金メッキ導電性微粒子を圧縮し、粒子径を20%圧縮した時点で接触抵抗値を測定した。この測定は金メッキ導電性微粒子20個について実施し、その平均値を導電性(接触抵抗値:Ω/個)とした。
▲8▼導電性破壊率
微小圧縮電気抵抗測定器「PCT−200改」を用いて金メッキ導電性微粒子20個を圧縮し、粒子径を50%圧縮した時点でそれぞれの接触抵抗値を測定した。この接触抵抗値が10Ω以上であった金メッキ導電性微粒子を光学顕微鏡で観察したところ、メッキ層の剥離や破壊が発生していた。上記メッキ層の剥離や破壊が発生していた金メッキ導電性微粒子の比率を求め、導電性破壊率(個数%)とした。
【0094】
【表1】
【0095】
表1から明らかなように、本発明による実施例1〜実施例4のニッケルメッキ導電性微粒子を用いて作製した金メッキ導電性微粒子は、いずれも接触抵抗値が低く、優れた導電性を発現した。また、上記金メッキ導電性微粒子は、いずれもメッキ剥離やメッキ破壊を起こしにくく、導電性破壊率が低かった。
【0096】
これに対し、ニッケルメッキ層がコバルトを含有していなかった比較例1のニッケルメッキ導電性微粒子を用いて作製した金メッキ導電性微粒子、ニッケルメッキ層のコバルト含有率が5重量%を超えていた比較例2のニッケルメッキ導電性微粒子を用いて作製した金メッキ導電性微粒子およびニッケルメッキ層がリンを含有していなかった比較例3のニッケルメッキ導電性微粒子を用いて作製した金メッキ導電性微粒子は、いずれもメッキ剥離やメッキ破壊を起こしやすく、導電性破壊率が高かった。また、ニッケルメッキ層のリン含有率が10重量%を超えていた比較例4のニッケルメッキ導電性微粒子を用いて作製した金メッキ導電性微粒子は、接触抵抗値が高く、導電性が劣っていた。
【0097】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の導電性微粒子は、金属メッキ層と樹脂微粒子(芯材粒子)との密着性が優れ、圧着時や単粒子化工程において圧縮荷重などの物理的応力が負荷されてもメッキ剥離やメッキ破壊を生じにくく、したがって長期間にわたって優れた導通信頼性を発現する異方導電材料を得ることができるので、例えば、異方導電性ペースト、異方導電性インク、異方導電性粘接着剤、異方導電性フィルム等の各種異方導電材料用として好適に用いられる。
【0098】
また、本発明の異方導電材料は、上記本発明の導電性微粒子を用いて作製されているので、長期間にわたって優れた導通信頼性を発現しうるものであり、例えば、液晶表示ディスプレイ、パーソナルコンピュータ、携帯電話などの電子機器や半導体素子等の電気的接続用として好適に用いられる。
Claims (4)
- 樹脂微粒子の表面に金属メッキ層が形成されてなる導電性微粒子であって、上記金属メッキ層が、リン1〜10重量%およびコバルト0.1〜5重量%を含有し、かつ、上記金属メッキ層が、ニッケルメッキ層であることを特徴とする導電性微粒子。
- さらに表面に金メッキ層が形成されてなることを特徴とする請求項1に記載の導電性微粒子。
- 樹脂微粒子が、平均粒子径が0.5〜100μmであり、粒子径の変動係数(Cv値)が10%以下であり、かつ、10%K値が1000〜15000MPaであることを特徴とする請求項1または2に記載の導電性微粒子。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の導電性微粒子を用いて作製されていることを特徴とする異方導電材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002329892A JP4088137B2 (ja) | 2002-11-13 | 2002-11-13 | 導電性微粒子および異方導電材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002329892A JP4088137B2 (ja) | 2002-11-13 | 2002-11-13 | 導電性微粒子および異方導電材料 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004165019A JP2004165019A (ja) | 2004-06-10 |
JP4088137B2 true JP4088137B2 (ja) | 2008-05-21 |
Family
ID=32807759
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002329892A Expired - Lifetime JP4088137B2 (ja) | 2002-11-13 | 2002-11-13 | 導電性微粒子および異方導電材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4088137B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4451760B2 (ja) * | 2004-11-09 | 2010-04-14 | 財団法人秋田県資源技術開発機構 | 球状NiP微小粒子の製造方法および異方性導電フィルム用導電粒子の製造方法 |
JP2006169623A (ja) * | 2004-11-22 | 2006-06-29 | Hitachi Maxell Ltd | 機能性粒子及びその製造方法 |
JP4530818B2 (ja) * | 2004-11-26 | 2010-08-25 | 日華化学株式会社 | 導電性布帛の製造方法 |
KR100667374B1 (ko) * | 2004-12-16 | 2007-01-10 | 제일모직주식회사 | 이방전도성 접속부재용 고분자 수지 미립자, 전도성 미립자 및 이를 포함한 이방 전도성 접속재료 |
JP2006206985A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | C Uyemura & Co Ltd | 無電解ニッケル−リンめっき皮膜及び無電解ニッケル−リンめっき浴 |
KR100719802B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2007-05-18 | 제일모직주식회사 | 이방 전도 접속용 고신뢰성 전도성 미립자 |
JP5446191B2 (ja) * | 2007-10-02 | 2014-03-19 | 日立化成株式会社 | 無電解めっき樹脂粒子の製造方法 |
JP5358328B2 (ja) * | 2009-07-16 | 2013-12-04 | デクセリアルズ株式会社 | 導電性粒子、並びに異方性導電フィルム、接合体、及び接続方法 |
JP5421982B2 (ja) * | 2011-12-22 | 2014-02-19 | 積水化学工業株式会社 | 導電性微粒子、異方性導電材料、及び、接続構造体 |
JP6047711B2 (ja) * | 2012-02-08 | 2016-12-21 | 石原ケミカル株式会社 | 無電解ニッケル及びニッケル合金メッキ方法、並びに当該メッキ用の前処理液 |
CN110494930B (zh) * | 2017-03-29 | 2021-10-01 | 昭和电工材料株式会社 | 导电粒子的分选方法、电路连接材料、连接结构体及其制造方法、以及导电粒子 |
-
2002
- 2002-11-13 JP JP2002329892A patent/JP4088137B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004165019A (ja) | 2004-06-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4920698B2 (ja) | 異方性導電接続用導電性粒子 | |
KR100650284B1 (ko) | 도전성능이 우수한 고분자 수지 미립자, 전도성 미립자 및이를 포함한 이방 전도성 접속재료 | |
US8129023B2 (en) | Polymer particles, conductive particles, and an anisotropic conductive packaging materials containing the same | |
JP4563110B2 (ja) | 導電性微粒子の製造方法 | |
JP4052832B2 (ja) | 導電性微粒子、導電性微粒子の製造方法及び異方性導電材料 | |
JP4088137B2 (ja) | 導電性微粒子および異方導電材料 | |
JP2000319309A (ja) | 重合体微粒子及びその製造方法、液晶表示素子用スペーサ、導電性微粒子 | |
KR101713015B1 (ko) | 그래핀이 코팅된 도전입자 및 이를 포함하는 도전 재료 | |
JP2008059914A (ja) | 樹脂微粒子及び導電性微粒子 | |
JP2003313304A (ja) | 導電性微粒子、導電性微粒子の製造方法及び電子部品の接合材料 | |
JP2001216841A (ja) | 導電性微粒子及び導電接続構造体 | |
JP4642286B2 (ja) | 合成樹脂微粒子、導電性微粒子及び異方導電性材料組成物 | |
JP4278374B2 (ja) | 導電性微粒子、導電性微粒子の製造方法および導電材料 | |
JP3898510B2 (ja) | 導電性微粒子及び異方性導電材料 | |
KR100722152B1 (ko) | 이방 전도 접속용 단분산성 고분자 수지 미립자 및 전도성미립자 | |
JP2019207889A (ja) | 導電粒子及びその利用 | |
KR100667376B1 (ko) | 이방전도성 접속부재용 고분자 수지 미립자, 전도성 미립자 및 이를 포함한 이방 전도성 접속재료 | |
JP4662748B2 (ja) | 導電性微粒子及び異方性導電材料 | |
CN105070351A (zh) | 一种柔韧导电微球及其应用 | |
KR101298101B1 (ko) | 도전입자, 이를 포함하는 도전 재료 | |
JP4050086B2 (ja) | 導電性粒子、導電性材料および異方性導電膜 | |
JP2004362838A (ja) | 導電性微粒子及び異方性導電材料 | |
JP4714719B2 (ja) | 導電性微粒子の製造方法 | |
KR100667375B1 (ko) | 이방전도성 접속부재용 고분자 수지 미립자, 전도성 미립자 및 이를 포함한 이방 전도성 접속재료 | |
JP2005327509A (ja) | 導電性微粒子及び異方性導電材料 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050818 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071023 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080130 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080222 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110228 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4088137 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120229 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130228 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140228 Year of fee payment: 6 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |