JP4070949B2 - ウェーハ、エピタキシャルウェーハ及びそれらの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、品質の安定したシリコンウェーハ、エピタキシャルウェーハ及びそれらの製造方法に関する。
【0002】
【関連技術】
デバイス製作工程における加熱処理によって材料のシリコンウェーハの電気特性がシリコンウェーハ中の不純物元素やシリコンウェーハに付着した不純物元素によって変化し、これがデバイス不良の原因となるので、これを避ける事はデバイスの高度化と共にますます重要となり、デバイス生産における大きな課題となっている。
【0003】
その方策の一つとして、図10に示すごとく、シリコンウェーハWの背面に多結晶シリコン層〔PBS(Poly Back Seal)膜〕62を形成し、このPBS膜中に存在する結晶粒界を不純物元素の吸収源として利用する方法が実用化されており、背面にPBS膜を形成した、所謂PBS膜付きのウェーハやエピタキシャルウェーハが製品として利用されている。
【0004】
IIIB族元素の中の特にボロンはシリコンにP型導電性を賦与し、かつその導電率を所定の値に調整するために、積極的に活用されるが、他方、シリコンウェーハを取り扱う雰囲気やウェーハの処理工程で用いられる装置、材料等からウェーハに付着するボロンは熱処理工程中にシリコンウェーハ内部に拡散し、ウェーハの所定の電気特性を乱す外乱要因となるので、雰囲気やこれらの装置、材料等からのボロンによる汚染は極力防止することが求められる。
【0005】
仮にシリコンウェーハ表面に1×1010atoms/cm2のボロンが付着した場合、これがウェーハ表面から内部(深さ1μm程度)に拡散すると、電気抵抗率の値で数ohm・cmに相当するので、バルクの電気抵抗率の値が1ohm・cm以上のウェーハでは、デバイスが作り込まれるウェーハ表面層の電気特性にかなりの変動を来す。
【0006】
また、PBS膜付きウェーハや同じくPBS膜付きエピタキシャルウェーハの場合には、PBS膜を形成するべきウェーハ表面に付着したボロンはPBS膜形成工程やその後のエピタキシャル層成長工程での加熱処理の際に主にPBS膜中に拡散する。また、エピタキシャル層を成長させるべき基板面にボロンが付着すると層の成長時の加熱によってこれらのボロン元素は基板とエピタキシャル層の界面からそれぞれの内部へ拡散する。これらが原因で基板の電気抵抗率が数ohm・cm以上のエピタキシャルウェーハを用いるデバイスで所定の特性が得られないことが起こることがある。
【0007】
さらに、エピタキシャルウェーハの製造におけるエピタキシャル層成長時には、背面のPBS膜が特にウェーハ周縁部において、成長室内の成分ガスによってエッチングされて膜厚の不整化や表面の荒れが生じることがあり、これを防止する目的でPBS膜の上にさらにCVD(Chemical Vapor Deposition)法によってシリコン酸化物の膜(CVDシリコン酸化物膜)を形成することが行われるが、このCVD工程においても前述と同様にボロンによる汚染が生じると、この工程、ならびにその後のエピタキシャル層成長工程におけるウェーハの温度上昇によって付着したボロンは主としてPBS中に拡散し、前述と同様、デバイス特性に悪影響を与える。
【0008】
上述した従来の問題点をPBS膜付エピタキシャルウェーハの場合を例にとってさらに具体的に説明する。図10は従来のPBS膜付エピタキシャルウェーハの製造工程を示す説明図で、(a)はシリコンウェーハW、(b)はシリコンウェーハWに多結晶シリコン層62を形成した状態、(c)は次のエピタキシャル層成長工程における上述したエッチングを防止するため(b)のシリコンウェーハWの背面の多結晶シリコン層(PBS膜)62上にさらにCVDシリコン酸化物膜64を形成した状態、(d)はシリコンウェーハの表面の多結晶シリコン層62を鏡面研磨により除去した状態及び(e)は(d)の状態からシリコンウェーハの表面にエピタキシャル層66を形成した状態をそれぞれ示す。
【0009】
この従来の背面PBS膜付エピタキシャルウェーハの製造においては、まず、シリコンウェーハWと多結晶シリコン層(PBS膜)62の界面70にボロンBが付着し、汚染が発生する〔図10(b)〕。次に、多結晶シリコン層62とCVD膜64の界面72にボロンBの汚染が発生する〔図10(c)〕。シリコンウェーハWの表面の多結晶シリコン層62を除去した後〔図10(d)〕、さらに、エピタキシャル層成長工程(高温熱処理)を経ると、それぞれの界面70,72に存在していたボロンBは主としてPBS膜62の内部に拡散し、PBS膜62の全体を汚染し、ボロン汚染されたPBS膜62aとなってしまう〔図10(e)〕。
【0010】
一方、従来の半導体ウェーハの処理、例えば洗浄、搬送、保管、成膜等を行うクリーンルーム等(洗浄機、ウェーハ保管庫、成膜装置等を含む)では、ウェーハに接触する雰囲気中に存在するボロンがウェーハ表面にどの程度付着するかについて両者の間の定量的な関係は全く不明であった。よって、ウェーハに接触する雰囲気中のボロン濃度をどのような値に管理すればウェーハ上に付着するボロン量をデバイス特性を阻害しない値以下に抑制することができるかが全く不明で高品質ウェーハの製造におけるボロン汚染の防止を効果的に実施することが困難であった。すなわち、工程中のウェーハ上に付着したボロン量の測定には多大な時間を要するため、その結果を装置側に直ちにフィードバックできず、ボロン汚染を防止するための管理をオンラインで実施することが不可能であった。したがって、ウェーハ上のボロン量の測定によってボロン汚染防止の管理を行っている限り、安定した品質のウェーハを作ることは困難であった。
【0011】
また、従来の半導体ウェーハの処理、例えば洗浄、搬送、保管、成膜等を行うクリーンルーム(洗浄機、ウェーハ保管庫、成膜装置等を含む)において使用するエアフィルタは、一般にガラス繊維でできており、ウェーハの処理の際に雰囲気中にフッ化水素ガス等の腐食性ガスが存在すると、この付着によりボロンが雰囲気中に溶出することが知られている。
【0012】
たとえば、クリーンルームの空調設備としては、図11に示すような構成が使われている。図11において12はクリーンルーム14を構成する空調設備で、該クリーンルーム14内には各種のウェーハ処理室、図示例の場合には、CVD処理室16、CVD炉体室18、PBS膜形成室20、PBS炉体室22が設けられている。上記各室16,18,20,22には1又は複数のエア流入口が設けられており、各エア流入口にはエアフィルタ16a,16b,18a,20a,20b,22aが設置されている。
【0013】
それぞれのウェーハ処理室には各種のウェーハ処理装置が配備されている。例えば、該CVD処理室16には、CVD処理前洗浄機24、乾燥機26及び保管用クリーンブース28が配備されている。該CVD炉体室18には、CVD装置30が配置されている。該PBS膜形成室20には、PBS膜形成前洗浄機32、乾燥機34及び保管用クリーンブース36が配備されている。該PBS炉体室22には、PBS装置38が配置されている。上記各装置24,26,28,30,32,34,36,38のエア流入口にはエアフィルタ24a,26a,28a,30a,32a,34a,36a,38aが設置されている。39はクリーンルーム14の下流側に設けられたエアの排出用空間である。該エア排出用空間39は回収用パイプ43に接続されている。
【0014】
該クリーンルーム14の上流側には、上流から下流に向かって外調機40、不純物除去装置42及び空調機44が直列状に配置されている。該外調機40と不純物除去装置42とは第1エアパイプ46で接続され、該不純物除去装置42と空調機44とは第2エアパイプ48で接続されている。該空調機44と上記したクリーンルーム14の各室のエア流入口に設置された各エアフィルタ16a,16b,18a,20a,20b,22aとは第3エアパイプ50で接続されている。
【0015】
該外調機40はエア流入側にロールフィルタ99、中性能フィルタ52、エア流出側にファン54を有している。該不純物除去装置42は、NOx及びSOxを除去するためのケミカルフィルタから構成されている。該空調機44はエア流入側ファン56、次にプレフィルタ98、エア流出側に中性能フィルタ58を有している。
【0016】
上記のような構成を有する従来のクリーンルーム用空調設備12においては、外気は外調機40、不純物除去装置42及び空調機44を通り、ついで各エアフィルタ16a,16b,18a,20a,20b,22aを介して、CVD処理室16、CVD炉本体18、PBS膜形成室20、PBS炉本体22の内部にそれぞれ導入される。CVD処理は一般的には、薄膜材料を構成する一種又は数種の化合物ガス、単体ガスをウェーハ上に供給し、気相又はウェーハ表面での化学反応により所望の薄膜を形成させる処理をいうが、例えばPBS膜を形成したウェーハ背面にシリコン酸化物を蒸着してエピタキシャル工程におけるPBS膜のエッチング及びオートドープを防止する処理として適用することができる。
【0017】
各室に導入されたエアは、エアフィルタ24aを介して洗浄機24に、さらにエアフィルタ26aを介して乾燥機26に、エアフィルタ28aを介して保管用クリーンブース28に、エアフィルタ30aを介してCVD装置30に、エアフィルタ32aを介してPBS前洗浄機32に、エアフィルタ34aを介して乾燥機34に、エアフィルタ36aを介して保管用クリーンブース36に、及びエアフィルタ38aを介してPBS装置38内にそれぞれ導かれ、最後にエア排出用空間39に排出される。但し、洗浄機24,32からは一部直接排気されCVD装置30からは全量が排気される。エア排出用空間39に排出されたエアは供給量全体の約80%程度で、回収用パイプ43を経て第2エアパイプ48に戻されて再利用される。
【0018】
このような従来のクリーンルーム用空調設備においては、エアフィルタ16a,16b,18a,20a,20b,22a,24a,26a,28a,30a,32a,34a,36a,38aにはULPAフィルタ(例えば、日本無機株式会社製、NMO−320)が用いられるのが通常である。このULPAフィルタはボロンを除去する機能を有しないだけでなく、逆にボロンを放出するおそれがある。また、中性能フィルタ52及び58(例えば、日本無機株式会社製、ASTC−56−95)も同様にボロンを除去する機能を有しておらず、ボロンを放出するおそれのあるものである。したがって、このようなフィルタを組み込んだ従来のクリーンルーム用の空調設備ではクリーンルーム内の雰囲気中のボロン濃度を調整することは不可能であった。
【0019】
さらに、ボロンレスフィルタ(ボロンを放出しないエアフィルタ)及びボロン吸着フィルタ(ボロンを吸着するフィルタ)は知られているが、これらのフィルタを効果的に使用してウェーハへのボロンの付着量を所定の値以下に効率よく抑える良好な方策についてはいまだ提案されていないのが現状である。結合型基板の製造におけるクリーンルーム内の雰囲気中のボロンの悪影響について言及した文献はあるが、具体的な除去設備を実現することの困難性について指摘している(例えば、特許第2723787号公報)のみで、ボロンの有効な除去とクリーンルーム内の雰囲気中のボロン量を所定の範囲内に管理することには言及していない。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者らは、上述したウェーハ及びエピタキシャルウェーハについての問題点を解決するため、これらウェーハやエピタキシャルウェーハが接触する雰囲気中のボロン濃度と、その雰囲気中に置かれたこれらウェーハ表面に付着するボロンの量との間の関係を定量的に把握し、また、ボロンの付着量とそれによる各種の製品中のボロン濃度分布に与える影響を実験的に明らかにし、これらの知見に基づいて、環境からのボロンの汚染を抑制し、デバイス特性に悪影響を与えないシリコンウェーハ及びエピタキシャルウェーハを安定して製造することに成功した。
【0021】
本発明の第1の目的は、環境からのボロン汚染を抑制しデバイス特性に悪影響を与えない品質の安定したシリコンウェーハ、エピタキシャルウェーハ及びそれらの効果的な製造方法を提供することにある。
【0022】
本発明者らは、さらに上記した従来のクリーンルーム空調設備の問題点を解決すべく、クリーンルーム(洗浄機、ウェーハ保管庫、成膜装置等を含む)内の空気をインピンジャーにて純水中に溶解させ、それをICP−MS(誘導結合プラズマ質量分析法)にて分析する事により雰囲気中のボロン濃度を測定し、このボロン濃度とウェーハに吸着するボロン濃度の関係について鋭意検討を続けた結果、両者の間に一定の関係が存在することを見出すとともにクリーンルームの雰囲気中のボロン濃度を所定濃度以下に抑えることに成功した。
【0023】
本発明の第2の目的は、ウェーハ上へのボロン汚染を安価に防ぐことができるようにした雰囲気調整装置、クリーンルーム及びクリーンルーム用空調設備を提供することにある。
【0024】
【課題を解決するための手段】
上記第1の課題を解決するために、本シリコンウェーハの第1の態様は、表面の付着ボロンの量が1×1010atoms/cm2以下であることを特徴とする。
【0025】
本シリコンウェーハの第2の態様は、深さ0.5μm迄の表面層内におけるボロン濃度の該表面層直下のバルクシリコン中のボロンの濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であることを特徴とする。
【0026】
本シリコンウェーハの第3の態様は、多結晶シリコン層と単結晶シリコン層の界面を含む幅1μmの界面近傍層内におけるボロン濃度の該界面近傍層に外接するシリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下である多結晶層を一方の主面に有することを特徴とする。
【0027】
本発明のシリコンエピタキシャルウェーハの第1の態様は、単結晶シリコン基板の背面に多結晶シリコン層を有するシリコンエピタキシャルウェーハであって基板の単結晶シリコンと多結晶シリコン層の界面を含む幅1μmの界面近傍層内におけるボロン濃度の該近傍層に外接する基板シリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であることを特徴とする。
【0028】
本発明のシリコンウェーハの第4の態様は、CVDシリコン酸化物膜との界面近傍0.5μm内の単結晶シリコン層中のボロン濃度の該層に接するバルクシリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であるCVDシリコン酸化物膜を一方の主面に有することを特徴とする。
【0029】
本シリコンエピタキシャルウェーハの第1の態様は、基板の背面にCVDシリコン酸化物膜を有するシリコンエピタキシャルウェーハであってCVDシリコン酸化物膜との界面近傍0.5μm内の単結晶シリコン基板中のボロン濃度の該層に接する基板シリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であることを特徴とする。
【0030】
上記シリコンエピタキシャルウェーハにおいて、環境中のボロン汚染を有効に抑制し、多結晶層中のボロン濃度は、好ましくは5×1014atoms/cm3以下、より好ましくは3×1014atoms/cm3以下、最も好ましくは1×1014atoms/cm3以下である。
【0031】
本発明のシリコンウェーハの第1の態様は、単結晶シリコン層の一方の主面に多結晶シリコン層と該多結晶シリコン層上にCVDシリコン酸化物膜を有するシリコンウェーハであって、多結晶シリコン層と単結晶シリコン層の界面を含む幅1μmの界面近傍層内におけるボロン濃度の該界面近傍層に外接するシリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であり、シリコン酸化物膜と多結晶シリコン層との界面を含む幅0.5μmの界面近傍多結晶シリコン層中のボロン濃度の該近傍多結晶シリコン層に外接する多結晶シリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であることを特徴とする。
【0032】
本発明のシリコンエピタキシャルウェーハの第2の態様は、基板の背面に多結晶シリコン層と該多結晶シリコン層上にCVDシリコン酸化物膜を有するシリコンエピタキシャルウェーハであって、多結晶シリコン層と単結晶シリコン層の界面を含む幅1μmの界面近傍層内におけるボロン濃度の該界面近傍層に外接するシリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であり、シリコン酸化物膜と多結晶シリコン層との界面を含む幅0.5μmの界面近傍多結晶シリコン層中のボロン濃度の該近傍多結晶シリコン層に外接する多結晶シリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であることを特徴とする。
【0033】
上記シリコンウェーハにおいて、単結晶シリコンバルク中のボロンの濃度が1×1016atoms/cm3以下である製品に対して特に有効である。
【0034】
上記シリコンエピタキシャルウェーハにおいて、基板中のボロンの濃度が1×1016atoms/cm3以下である製品に対して特に有効である。
【0035】
本発明のシリコンウェーハの製造方法の第1の態様は、上記したシリコンウェーハを製造するにあたり、ボロン濃度が15ng/m3以下の雰囲気で処理、保管等の取り扱いを行うことを特徴とする。
【0036】
本発明のシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法の第1の態様は、上記したシリコンエピタキシャルウェーハを製造するにあたり、ボロン濃度が15ng/m3以下の雰囲気で処理、保管等の取り扱いを行うことを特徴とする。
【0037】
本発明のシリコンウェーハの製造方法の第2の態様は、上記したシリコンウェーハを製造するにあたり、多結晶シリコン層の形成をボロン濃度が15ng/m3以下の雰囲気で行うことを特徴とする。
【0038】
本発明のシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法の第2の態様は、上記したシリコンエピタキシャルウェーハを製造するにあたり、多結晶シリコン層の形成をボロン濃度が15ng/m3以下の雰囲気で行うことを特徴とする。
【0039】
本発明のシリコンウェーハの製造方法の第3の態様は、上記したシリコンウェーハを製造するにあたり、CVDシリコン酸化物膜の成膜をボロン濃度が15ng/m3以下の雰囲気で行うことを特徴とする。
【0040】
本発明のシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法の第3の態様は、上記したシリコンエピタキシャルウェーハを製造するにあたり、CVDシリコン酸化物膜の成膜をボロン濃度が15ng/m3以下の雰囲気で行うことを特徴とする。
【0041】
本発明のシリコンウェーハの製造方法の第4の態様は、上記したシリコンウェーハを製造するにあたり、ボロンの付着量を1×1010atoms/cm2以下に抑制した表面に多結晶層を形成することを特徴とする。
【0042】
本発明のシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法の第4の態様は、上記したシリコンエピタキシャルウェーハを製造するにあたり、ボロンの付着量を1×1010atoms/cm2以下に抑制した表面に多結晶層を形成することを特徴とする。
【0043】
本雰囲気調整設備は、雰囲気中のボロン濃度を15ng/m3以下とすることを特徴とする。
【0044】
本クリーンルームは、クリーンルームの雰囲気中のボロン濃度が15ng/m3以下であることを特徴とする。
【0045】
本クリーンルーム用空調設備は、ボロンレスフィルタとボロン吸着フィルタを有する空調機と、雰囲気中のボロン濃度が15ng/m 3 以下であるクリーンルームと、ボロンレスフィルタを有する1または複数のウェーハ処理装置とを有し、雰囲気ガスが該空調機と該クリーンルームと該ウェーハ処理装置の間を循環するように構成されたことを特徴とする。
【0046】
上記クリーンルーム用空調設備において、ボロンレスフィルタとボロン吸着フィルタを設けるのが好ましい。
【0047】
上記クリーンルーム用空調設備において、ウェーハ処理装置の内圧がクリーンルーム内圧より高く、該クリーンルーム内圧が外部圧より高く調整されるのが好適である。ここで外部圧とはクリーンルームの外側に隣接するサービスルーム(作業員の着替えや製品の搬入搬出等に用いられる部屋)や廊下における圧力をいい、外気圧ともいわれる。
【0048】
本ウェーハの製造方法は、上記したウェーハを製造するにあたり、上記クリーンルーム用空調設備を用いて実施することを特徴とする。
【0049】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面中、図1〜図3に基づいて説明するが、この実施の形態は例示的に示されるもので、本発明の発明思想から逸脱しない限り、種々の変形が可能なことはいうまでもない。
【0050】
図1は本発明による各種シリコンウェーハ製法の1例として背面PBS膜付きシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法を示すフローチャートで、図2はそのエピタキシャルウェーハの製造手順を示す説明図である。
【0051】
図1において、100はエピタキシャルウェーハ用の基板であるシリコンウェーハ製造工程で、シリコン単結晶インゴットを常法により、スライス、面取り、ラップ、エッチング、アニール等の各工程を経てシリコンウェーハWが製造される。
【0052】
所望に応じてこの段階でシリコンウェーハWを取り出すことも可能であり、また、取り出したシリコンウェーハWの片面もしくは両面を鏡面研磨して鏡面研磨シリコンウェーハを得ることも可能である。本発明においては、この鏡面研磨後の洗浄、乾燥、保管(包装)工程を後述する雰囲気中のボロン濃度が15ng/m3以下という極めて低いクリーンルーム中で行うことによって表面の付着ボロンの量が1×1010atoms/cm2以下、あるいは深さ0.5μmまでの表面層内におけるボロン濃度の該表面層直下のバルクシリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下といったボロン汚染のないシリコンウェーハを得ることができる。
【0053】
102は、PBS膜形成工程で、例えば真空度0.2〜1Torr、600〜700℃で原料のSiH4を分解して、上記基板シリコンウェーハに多結晶シリコンを析出させて、厚さ0.5〜2μmのPBS膜62を形成する。本発明においては、このPBS膜形成工程を後述する雰囲気中のボロン濃度が15ng/m3以下という極めて低いクリーンルーム中で行うのが特徴である。これによってシリコンウェーハWと多結晶シリコン層(PBS膜)62の界面70におけるボロン汚染を抑制することができる。
【0054】
所望に応じて、この段階でシリコンウェーハWを取り出すことも可能である。この場合、上記界面70におけるボロン汚染を抑制、即ち、多結晶シリコン層と単結晶シリコン層の界面を含む幅1μmの界面近傍層内におけるボロン濃度の該界面近傍層に外接するシリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であるようにした多結晶シリコン層62を設けたシリコンウェーハWを得ることができる〔図2(b)〕。
【0055】
取り出したシリコンウェーハWの片面を鏡面研磨して背面に低ボロン汚染の多結晶シリコン層62を設けた鏡面研磨シリコンウェーハを得ることも可能である。この得られたシリコンウェーハWは、多結晶シリコン層と単結晶シリコン層の界面を含む幅1μmの界面近傍層内におけるボロン濃度の該界面近傍層に外接するシリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下である多結晶シリコン層62を背面に有するものである。
【0056】
本発明においては、この鏡面研磨後の洗浄、乾燥、保管(包装)工程を後述する雰囲気中のボロン濃度が15ng/m3以下という極めて低いクリーンルーム中で行うことによって表面及び表面近傍にボロン汚染のない多結晶シリコン層付きのシリコンウェーハを得ることができる。この得られたシリコンウェーハWは、上記した多結晶シリコン層と単結晶シリコン層の界面近傍のボロン濃度の低減に加えて、多結晶シリコン層62の少なくとも一部におけるボロン濃度が5×1014atoms/cm3以下である多結晶層を背面に有するものである。
【0057】
104は、CVDシリコン酸化物膜の形成工程で、例えば大気圧下380〜500℃でSiH4及び酸素を用い、シリコンウェーハWの背面側のPBS膜62の上にシリコン酸化物を析出させ、膜厚0.2〜2μmのCVDシリコン酸化物膜64を形成する〔図2(c)〕。本発明においては、このCVDシリコン酸化物膜形成工程を後述する雰囲気中のボロン濃度が15ng/m3以下という極めて低いクリーンルームにおいて行うのが特徴である。
【0058】
これによって、PBS膜62とCVDシリコン酸化物膜64の界面72におけるボロン汚染を抑制、即ち、CVDシリコン酸化物膜と多結晶シリコン層との界面を含む幅0.5μmの界面近傍多結晶シリコン層中のボロン濃度の該近傍多結晶シリコン層に外接する多結晶シリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であるようにすることができる。
【0059】
ここで、所望に応じてPBS膜形成工程102を省略し、シリコンウェーハWの背面側にCVDシリコン酸化物膜64を本発明の方法に従って直接形成することも可能である。このシリコンウェーハは、CVDシリコン酸化物膜との界面近傍0.5μm内の単結晶シリコン層中のボロン濃度の該層に接するバルクシリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であるCVDシリコン酸化物膜を背面に有するものである。
【0060】
このウェーハにエピタキシャル層を形成してエピタキシャルウェーハとすることも可能である。このエピタキシャルウェーハは、CVDシリコン酸化物膜との界面近傍0.5μm内の単結晶シリコン基板中のボロン濃度の該層に接する基板シリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であるものである。
【0061】
106は、エピタキシャル層成長工程で、シリコンウェーハWの表面の多結晶シリコン層62を例えば鏡面研磨によって除去した後〔図2(d)〕、背面にPBS膜62及びCVDシリコン酸化物膜64を有するシリコンウェーハWの表面に例えば大気圧下1000〜1200℃でSiHCl3とH2の混合気体を流して厚さ3〜15μmのエピタキシャル層66を形成する。この時、界面70,72におけるボロン汚染が本発明の方法に従ってその付着量を1×1010atoms/cm2以下に抑制されているとPBS膜62へのボロン拡散は多結晶層中のボロン濃度(例えば3×1014atoms/cm3)に影響を与えない。
【0062】
108は、背面PBS膜付エピタキシャルウェーハ取出し工程で、ボロン汚染が極力抑制された背面PBS膜付エピタキシャルウェーハ68を得ることができる〔図2(e)〕。
【0063】
次に、本発明のシリコンウェーハ及びシリコンエピタキシャルウェーハの製造を行うために好適に用いられる本クリーンルーム及びその空調設備の実施の形態を図3とともに説明する。
【0064】
この実施の形態は1例として示されるもので、本発明の発明思想から逸脱しない限り、種々の変形が可能なことはいうまでもない。図3において図11と同一の構成又は類似の構成は同一の符号によって示され、その構成作用についての再度の説明は省略する。
【0065】
図3に示した本クリーンルーム用空調設備12aは、図11に示した従来のクリーンルーム用空調設備12とフィルタ構成以外は全く同様の構成であり、フィルタ構成以外については必要な場合を除いて再度の説明は省略する。
【0066】
本クリーンルーム用空調設備12aの眼目は、従来設備12におけるエアフィルタ16a,16b,18a,20a,20b,22a,24a,26a,28a,30a,32a,34a,36a,38aに代えてボロンレスフィルタ16x,16y,18x,20x,20y,22x,24x,26x,28x,30x,32x,34x,36x,38xを用い、さらに中性能フィルタ52,58に代えてボロンレス中性能フィルタ52x,58xを用い、プレフィルタ98、ロールフィルタ99に代えてボロンレスプレフィルタ98x、ボロンレスロールフィルタ99xを用い、その上、外調機40のボロンレス中性能フィルタ52xの下流側にボロン吸着フィルタ40xを設け、空調機44のボロンレス中性能フィルタ58xの下流側にボロン吸着フィルタ44xを設けたことである。
【0067】
上記のような構成を有する本クリーンルーム用空調設備12aにおいては、外気は外調機40、不純物除去装置42及び空調機44を通り、ついで各ボロンレスフィルタ16x、16y、18x、20x、20y、22xを介して、CVD処理室16、CVD炉体室18、PBS膜形成室20、PBS炉体室22の内部にそれぞれ導入される。
【0068】
各室に導入されたエアは、ボロンレスフィルタ24xを介して洗浄機24に、さらにボロンレスフィルタ26xを介して乾燥機26に、ボロンレスフィルタ28xを介して保管用クリーンブース28に、ボロンレスフィルタ30xを介してCVD装置30に、ボロンレスフィルタ32xを介してPBS前洗浄機32に、ボロンレスフィルタ34xを介して乾燥機34に、ボロンレスフィルタ36xを介して保管用クリーンブース36に、及びボロンレスフィルタ38xを介してPBS装置38内にそれぞれ導かれ、最後にエア排出用空間39に排出される。
【0069】
例えば、洗浄機24,32からは一部のエアは直接排気され、CVD装置30からは全て排気される。エア排出用空間39に達したエアは供給量全体の約80%となり、回収用パイプ43を通って第2エアパイプ48に戻され、再利用される。
【0070】
上記したような本クリーンルーム用空調設備12aを用いることによって、クリーンルーム14内の雰囲気のボロン濃度を15ng/m3以下に設定することが可能である。
【0071】
上記ボロンレスエアフィルタ16x,16y,18x,20x,20y,22xとしては、具体的にはボロンフリーULPAフィルタ(日本無機株式会社製、ATMMF−31−P−B)を用い、ボロンレス中性能フィルタ52x,58xとしては、ボロンレス中性能フィルタ(日本無機株式会社製、EML−56−90)を用い、ボロンレスロールフィルタ99xとしては(日本無機株式会社製、DSR−340R−TH−C−2)を用い、さらにボロン吸着フィルタ40x,44xとしては、ボロン吸着フィルタ(日本無機株式会社製、ACS−31−Q−b)を用いればよい。
【0072】
【実施例】
以下に本発明の実施例を挙げて説明するが、これらの実施例は例示的に示されるもので、限定的に解釈されるものではないことはいうまでもない。
【0073】
(実験例1:ボロン濃度が15ng/m3以下の雰囲気の形成)
図3に示したクリーンルーム用空調設備(各フィルタとしては、具体例として例示した製品名のものを使用した)を用い、外調機の風量を7000m3/hr、圧力を大気圧に対し20〜30mmH2Oの加圧、空調機の風量を37500m3/hr、圧力を大気圧に対し25〜35mmH2Oの加圧とし、及びクリーンルームの室内圧を外部圧に対し3.0〜4.0mmH2O高い圧力に設定し、フィルタ前後のボロン濃度を測定した。その結果を表1に示したように、フィルタ後のエア中のボロン濃度はいずれも15ng/m3以下に制御されていた。また、クリーンルーム内のパーティクルは0であった。
【0074】
【表1】
【0075】
なお、空気中のボロン濃度の測定は次のように行なった。
ボロン回収方法:
・純水溶解(インピンジャーを用いたエア吸引方式)
・サンプリング前回収用純水量−−20ml
・サンプリング後回収純水量−−−約17.5ml
・吸引流量−−−−−−−−−1リットル/min
・吸引時間−−−−−−−−−4hrs
・ボロン分析法:ICP−MS(誘導結合プラズマ質量分析法)
・使用機器−− MICROMASS社製、PLASMATRACE 2
空気中のボロン濃度は、測定値に測定液量を乗じて質量を求め、採気量で除することにより算出した。
【0076】
(実施例1:実験例1の雰囲気下におけるPBS膜形成処理)
〈試料〉
シリコンウェーハ、直径200mm、CZ−P型、8−15Ω・cm、結晶軸〈100〉
〈PBS膜形成工程〉
前洗浄:SC−1(アンモニア、過酸化水素、水)→希フッ酸洗浄→SC−2(塩酸、過酸化水素、水)→スピン乾燥
PBS処理:(温度)650℃、(時間)3.5時間、(反応ガス)モノシラン、(膜厚)1.2μm
【0077】
実験例1のクリーンルーム雰囲気下(ボロン濃度4〜13ng/m3)において、上記試料を用い、上記条件にてPBS膜形成を行った。試料中のボロン濃度の測定をSIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy, 二次イオン質量分析装置:IMS−4F、メーカー:仏カメカ社)を用いて行い、その結果を図4に示した。図4から明らかなように、PBS膜中のボロン濃度は1×1014atoms/cm3以下であり、PBS膜と基板シリコンの境界を含む幅1μmの界面近傍層内におけるボロン濃度(約6×1014atoms/cm3)はこの近傍層に外接する基板単結晶シリコン中のボロン濃度(約1×1015atoms/cm3)より低く(増分はマイナス)、同じく外接するPBS層中のボロン濃度(約1×1014atoms/cm3)に対して、その差は5×1014atoms/cm3である。
【0078】
(比較例1:従来の雰囲気下におけるPBS膜形成)
従来の雰囲気下(ボロン濃度50〜80ng/m3)において、実施例1と同様の試料を用い、同一の条件にてPBS膜形成を行った。試料中のボロン濃度の測定を実施例1と同様に行って、その結果を図5に示した。図4と図5のボロン濃度の分布の差が雰囲気中のボロン濃度の差に基づくボロンによる汚染の影響を示しており、図5ではPBS膜中のボロン濃度は界面近傍で急激に上昇して、最大値は約6×1016atoms/cm3でありPBS層と基板シリコンとの境界を含む幅1μmの界面近傍層内のボロン濃度は約3×1016atoms/cm3で外接するPBS層及びシリコン単結晶に対する濃度の増加は1×1015atoms/cm3をはるかに超えている。
【0079】
(実施例2:実験例1の雰囲気下におけるPBS膜形成+CVD処理)
〈試料〉
シリコンウェーハ、直径200mm、CZ−P型、8−15Ω・cm、結晶軸〈100〉
〈PBS膜形成工程〉
前洗浄:SC−1(アンモニア、過酸化水素、水)→希フッ酸洗浄→SC−2(塩酸、過酸化水素、水)→スピン乾燥
PBS膜形成:(温度)650℃、(時間)3.5時間、(反応ガス)モノシラン 、(膜厚)1.2μm
【0080】
〈CVD処理工程〉
前洗浄:SC−1(アンモニア、過酸化水素、水)→希フッ酸洗浄→SC−2(塩酸、過酸化水素、水)→スピン乾燥
CVD処理:(温度)430℃、(時間)10分、(反応ガス)▲1▼モノシラン、▲2▼酵素、(膜厚)0.3μm
〈エピタキシャル工程〉
前洗浄:SC−1(アンモニア、過酸化水素、水)→SC−2(塩酸、過酸化水素、水)→IPA乾燥
エピタキシャル処理:(温度)1100℃、(時間)10分、(反応ガス)▲1▼トリクロロシラン▲2▼水素、(膜厚)5.0μm
【0081】
実験例1のクリーンルーム雰囲気下(ボロン濃度4〜13ng/m3)において、上記試料を用い、上記条件にてPBS膜形成及びCVDシリコン酸化物膜形成を行い、その後エピタキシャル膜成長を行った。裏面のCVDシリコン酸化物膜を20%HF溶液で溶解除去した後、試料のPBS膜及び基板単結晶シリコン中のボロン濃度の測定を実施例1と同様に行い、その結果を図6に示した。
【0082】
図6から明らかなように、ボロンがエピタキシャル膜形成時の加熱によって基板単結晶シリコンからPBS膜中に拡散していることが認められるが、PBS膜と基板単結晶シリコンとの境界を含む幅1μmの間のボロン濃度は約6×1014atoms/cm3で外接するPBS膜中のボロン濃度(約1×1014atoms/cm3)に対し、その増分は1×1015atoms/cm3より少なく、又外接する単結晶シリコン中のボロン濃度(約1×1015atoms/cm3)よりむしろ低く、ウェーハの処理中におけるボロンの汚染のレベルは低く抑えられていることが確認された。
【0083】
(比較例2:従来の雰囲気下におけるPBS膜形成+実験例1の雰囲気下におけるCVD処理)
従来の雰囲気下(ボロン濃度50〜80ng/m3)において、実施例2と同様の試料を用い、同一の条件にてPBS膜形成を行い、次に実験例1のクリーンルーム雰囲気下(ボロン濃度4〜13ng/m3)において、実施例2と同一の条件にてCVDシリコン酸化物膜形成を行い、その後エピタキシャル膜成長を行った。裏面のCVDシリコン酸化物膜を20%HF溶液で溶解除去した後、試料のPBS膜と基板単結晶シリコン中のボロン濃度の測定を実施例1と同様に行い、その結果を図7に示した。
【0084】
図7から明らかなように、PBS膜形成処理の前に試料の基板単結晶シリコンウェーハ表面に雰囲気中のボロンが付着し、これがエピタキシャル膜形成の際の加熱によってPBS膜中及び基板単結晶シリコン中に拡散するがPBS膜と基板単結晶シリコンとの境界を含む幅1μmの界面近傍層内のボロン濃度は平均約3×1016atoms/cm3で外接する基板単結晶シリコン中の平均ボロン濃度約1.2×1015atoms/cm3及び外接するPBS膜中の平均ボロン濃度1×1016atoms/cm3に対し大幅に高い値を示している。
【0085】
PBS膜の厚さ0μm、すなわち、CVDシリコン酸化物膜との境界のボロン濃度は4×1014atoms/cm3でCVDシリコン酸化物膜形成段階での雰囲気中のボロン濃度を15ng/m3以下に抑制した結果、PBS膜中のボロン濃度1×1014atoms/cm3に近い値に抑制されていることが示される。
【0086】
(比較例3:実験例1の雰囲気下におけるPBS膜形成+従来の雰囲気下におけるCVD処理)
実験例1のクリーンルーム雰囲気下(ボロン濃度4〜13ng/m3)において、実施例2と同様の試料を用い、同一の条件にてPBS膜形成を行い、次に従来の雰囲気下(ボロン濃度50〜80ng/m3)において、実施例2と同一の条件にてCVDシリコン酸化物膜形成を行い、その後エピタキシャル膜成長を行った。裏面のCVDシリコン酸化物膜を20%HF水溶液で溶解除去した後、試料PBS膜および基板単結晶シリコン中のボロン濃度の測定を実施例1と同様に行い、その結果を図8に示した。
【0087】
図8から明らかなように、ボロン濃度の高い雰囲気中に付着したボロンがPBS膜とCVDシリコン酸化物膜の界面(図中深さ0μm)側からPBS膜内へ拡散し、深さ0.5μmまでのボロンの平均濃度は2×1015atoms/cm3と高い値を示し、深さ0.5μm以上のPBS膜中のボロンの平均濃度約8×1014atoms/cm3に対し大幅に増加している。一方、PBS膜形成は雰囲気中のボロンの濃度を15ng/cm3以下に抑えた状態で行ったので、PBS膜と基板単結晶シリコンとの境界を含む幅1μmの中のボロンの平均濃度は約1.5×1015atoms/cm3であり、外接する単結晶シリコン中のボロンの平均濃度(約2×1015atoms/cm3)以下の値に抑制されている。
【0088】
すなわち、基板単結晶シリコン表面に付着したボロン量は所定のボロン濃度に対し殆ど影響を与えない程度に少なく、PBS膜中へこの界面から拡散するボロンもPBS膜形成時の膜中のボロン濃度にほとんど影響を与えないことが知られる。
【0089】
(比較例4:従来の雰囲気下におけるPBS膜形成+CVD処理)
従来の雰囲気下(ボロン濃度50〜80ng/m3)において、実施例2と同様の試料を用い、同一の条件にてPBS膜形成を行い、次にその従来の雰囲気下のまま、実施例2と同一の条件にてCVDシリコン酸化物膜形成を行い、その後エピタキシャル膜成長を行った。裏面のCVDシリコン酸化物膜を20%HF水溶液で溶解除去した後、試料中のボロン濃度の測定を実施例1と同様に行い、その結果を図9に示した。
【0090】
図9から明らかなように、PBS膜中のボロン濃度はPBS膜と基板単結晶シリコンとの境界からの付着ボロンの拡散とCVDシリコン酸化物膜とPBS膜との界面(図中深さ0μm)からの付着ボロンの拡散によって、図7及び図8と比較しておよそ1桁以上の高い値を示しており、PBS膜と基板単結晶シリコンとの境界を含む幅1μmの間のボロンの平均濃度(約4×1015atoms/cm3)は外接する基板単結晶シリコン中のボロンの平均濃度(約1.5×1015atoms/cm3)に対し、およそ2.5×1015atoms/cm3も増加している。
【0091】
また、上記の実施例と比較例から明らかなように、雰囲気中のボロン濃度を15ng/m3以下に抑制して形成したPBS膜中のボロン濃度は膜の少なくとも一部において3×1014atoms/cm3以下であることが知られる。
【0092】
なお、図4〜図9において、中央の縦線は界面で、界面の左側はPBS膜、右側は基板単結晶シリコンである。図7、図8及び図9において、符号120はエピタキシャル層成長工程でのボロンの拡散方向を示す。
【0093】
(比較例5)
図11に示した従来のクリーンルーム空調設備(外調機ロールフィルタ:日本無機株式会社製AT−200−KS、外調機中性能フィルタ:日本無機株式会社製ASTC−56−95、空調機プレフィルタ:日本無機株式会社製DS−600−31−REA−20、空調機中性能フィルタ:日本無機株式会社製ASTC−56−95、クリーンルーム内ULPA:日本無機株式会社製NMO−320)を用い、外調機の風量7000m3/hrでその圧力を大気圧に対し10〜20mmH2Oの加圧状態、空調機の風量37500m3/hrでその圧力は大気圧に対し15〜25mmH2Oの加圧状態及びクリーンルームの室内圧を外部圧に対し3.0〜4.0mmH2O高い圧力に設定し、フィルタ前後のエア中のボロン濃度を実施例1と同様に測定し、表2に示した。
【0094】
表2の結果から明らかなごとく、従来設備によれば、フィルタ後のエア中のボロン濃度を15ng/m3以下に制御することは不可能であった。なお、クリーンルーム内のパーティクルは0であった。さらに、このクリーンルーム雰囲気中でウェーハ処理を行なったところ、ウェーハに吸着するボロン濃度を1×1015atoms/cm3以下に低減することは不可能であった。
【0095】
【表2】
【0096】
(実験例2)
実施例2と同様のシリコンウェーハに対して同様の条件で前洗浄を施した後、クリーンルーム(相対湿度:30〜50%、温度:25℃±3℃、圧力:外部圧+3〜5mmAq、ボロン濃度:60ng/m3)内に2時間放置した場合の放置時間とウェーハ表面のボロンの付着量の関係をSIMS(装置:IMS−4F、メーカー:仏カメカ社)を用いて調べ、図12に示した。図12から明らかなように、放置時間が1時間を越えると、ボロンの付着量が飽和状態となることを確認した。
【0097】
(実験例3)
室内雰囲気中のボロン濃度を5、10、30及び60ng/m3の4段階に変化させた点を除いて実験例2の雰囲気と同一条件のクリーンルーム内に実験例2と同様のウェーハを2時間放置し、それぞれの場合のウェーハ表面のボロンの付着量(atoms/cm2)を実験例2と同様にSIMSを用いて測定し、両者の間の関係を図13に示すように定量的に把握した。図13に明示されるように、環境雰囲気中のボロン濃度を15ng/m3以下とすれば、ウェーハ表面のボロン付着量が1×1010atoms/cm2以下に抑制されることがわかった。
【0098】
以上の実施例および比較例ではボロンが比較的低濃度にドープされたp型シリコンウェーハを用いたが、本発明はこれに限らずリンやヒ素、アンチモン等をドープしたn型のシリコンウェーハでも本発明は有効である。
【0099】
【発明の効果】
以上述べたごとく、本発明のシリコンウェーハ及びシリコンエピタキシャルウェーハでは、表面、PBS膜、基板単結晶シリコン、PBS膜とCVDシリコン酸化物膜、基板単結晶シリコンとエピタキシャル層との界面のボロン汚染量が所定濃度以下に抑制されているため、品質が安定し、デバイス特性に悪影響を与えることがないという効果が達成される。
【0100】
本発明のシリコンウェーハの製造方法及びシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法によれば、本発明の品質の安定したシリコンウェーハ及びシリコンエピタキシャルウェーハを安価でかつ効率よく製造できる利点がある。
【0101】
本発明の雰囲気調整設備及びクリーンルームによれば、雰囲気及びクリーンルーム雰囲気中のボロン濃度が所望濃度以下に制御されているので、ウェーハ上へのボロン付着を極めて低く抑えることができる。また、本発明のクリーンルーム用空調設備によれば、クリーンルーム雰囲気中のボロン濃度を大幅に低減することができ、ボロンによる汚染を抑制した各種のシリコンウェーハ、あるいはエピタキシャルウェーハを安定して生産できるという効果が達成される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のシリコンウェーハ及びシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法を示すフローチャートである。
【図2】 本発明のシリコンウェーハ及びシリコンエピタキシャルウェーハの製造手順を示す説明図で、(a)はシリコンウェーハ、(b)はシリコンウェーハに多結晶シリコン層を形成した状態、(c)は(b)のシリコンウェーハの背面の多結晶シリコン層(PBS膜)上にさらにCVDシリコン酸化物膜を形成した状態、(d)はシリコンウェーハの表面の多結晶シリコン層を除去した状態及び(e)は(d)の状態からシリコンウェーハの表面にエピタキシャル層を形成した状態をそれぞれ示す。
【図3】 本クリーンルーム用空調設備を示す概略説明図である。
【図4】 実施例1における試料の深さ方向に対する試料中のボロン濃度を示すグラフである。
【図5】 比較例1における試料の深さ方向に対する試料中のボロン濃度を示すグラフである。
【図6】 実施例2における試料の深さ方向に対する試料中のボロン濃度を示すグラフである。
【図7】 比較例2における試料の深さ方向に対する試料中のボロン濃度を示すグラフである。
【図8】 比較例3における試料の深さ方向に対する試料中のボロン濃度を示すグラフである。
【図9】 比較例4における試料の深さ方向に対する試料中のボロン濃度を示すグラフである。
【図10】 従来のシリコンウェーハ及びシリコンエピタキシャルウェーハの製造手順を示す説明図で、(a)はシリコンウェーハ、(b)はシリコンウェーハに多結晶シリコン層を形成した状態、(c)は(b)のシリコンウェーハの背面の多結晶シリコン層(PBS膜)上にさらにCVDシリコン酸化物膜を形成した状態、(d)はシリコンウェーハの表面の多結晶シリコン層を除去した状態及び(e)は(d)の状態からシリコンウェーハの表面にエピタキシャル層を形成した状態をそれぞれ示す。
【図11】 従来のクリーンルーム用空調設備の一例を示す概略説明図である。
【図12】 実験例2におけるウェーハの放置時間とウェーハボロン付着量との関係を示すグラフである。
【図13】 実験例3における環境雰囲気中のボロン濃度とシリコンウェーハ表面におけるボロン付着量の関係を示すグラフである。
Claims (16)
- 単結晶シリコン基板の背面に多結晶シリコン層を有するシリコンエピタキシャルウェーハであって、基板の単結晶シリコンと多結晶シリコン層の界面を含む幅1μmの界面近傍層内におけるボロン濃度の該近傍層に外接する基板シリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であることを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハ。
- 多結晶層の少なくとも一部におけるボロン濃度が5×1014atoms/cm3以下である多結晶層を背面に有することを特徴とする請求項1記載のシリコンエピタキシャルウェーハ。
- 単結晶シリコン層の一方の主面に多結晶シリコン層と該多結晶シリコン層上にCVDシリコン酸化物膜を有するシリコンウェーハであって、多結晶シリコン層と単結晶シリコン層の界面を含む幅1μmの界面近傍層内におけるボロン濃度の該界面近傍層に外接するシリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であり、シリコン酸化物膜と多結晶シリコン層との界面を含む幅0.5μmの界面近傍多結晶シリコン層中のボロン濃度の該近傍多結晶シリコン層に外接する多結晶シリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であることを特徴とするシリコンウェーハ。
- 基板の背面に多結晶シリコン層と該多結晶シリコン層上にCVDシリコン酸化物膜を有するシリコンエピタキシャルウェーハであって、多結晶シリコン層と単結晶シリコン層の界面を含む幅1μmの界面近傍層内におけるボロン濃度の該界面近傍層に外接するシリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であり、シリコン酸化物膜と多結晶シリコン層との界面を含む幅0.5μmの界面近傍多結晶シリコン層中のボロン濃度の該近傍多結晶シリコン層に外接する多結晶シリコン中のボロン濃度に対する増分が1×1015atoms/cm3以下であることを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハ。
- 単結晶シリコンバルク中のボロンの濃度が1×1016atoms/cm3以下であることを特徴とする請求項3記載のシリコンウェーハ。
- 基板中のボロンの濃度が1×1016atoms/cm3以下であることを特徴とする請求項1,2及び4のいずれか1項記載のシリコンエピタキシャルウェーハ。
- 請求項3又は5記載のシリコンウェーハを製造するにあたり、ボロン濃度が15ng/m3以下の雰囲気で当該シリコンウェーハの処理、保管等の取り扱いを行うことを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。
- 請求項1、2、4及び6のいずれか1項記載のシリコンエピタキシャルウェーハを製造するにあたり、ボロン濃度が15ng/m3以下の雰囲気で当該シリコンエピタキシャルウェーハの処理、保管等の取り扱いを行うことを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 請求項3記載のシリコンウェーハを製造するにあたり、多結晶シリコン層の形成をボロン濃度が15ng/m3以下の雰囲気で行うことを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。
- 請求項1、2、4及び6のいずれか1項記載のシリコンエピタキシャルウェーハを製造するにあたり、多結晶シリコン層の形成をボロン濃度が15ng/m3以下の雰囲気で行うことを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 請求項3又は5記載のシリコンウェーハを製造するにあたり、CVDシリコン酸化物膜の成膜をボロン濃度が15ng/m3以下の雰囲気で行うことを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。
- 請求項4又は6記載のシリコンエピタキシャルウェーハを製造するにあたり、CVDシリコン酸化物膜の成膜をボロン濃度が15ng/m3以下の雰囲気で行うことを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 請求項3又は5記載のシリコンウェーハを製造するにあたり、ボロンの付着量を1×1010atoms/cm2以下に抑制した表面に多結晶層を形成することを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。
- 請求項1、2、4及び6のいずれか1項記載のシリコンエピタキシャルウェーハを製造するにあたり、ボロンの付着量を1×1010atoms/cm2以下に抑制した表面に多結晶層を形成することを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 請求項1〜6のいずれか1項記載のウェーハを製造するにあたり、ボロンレスフィルタとボロン吸着フィルタを有する空調機と、雰囲気中のボロン濃度が15ng/m 3 以下であるクリーンルームと、ボロンレスフィルタを有する1または複数のウェーハ処理装置とを有し、雰囲気ガスが該空調機と該クリーンルームと該ウェーハ処理装置の間を循環するように構成されたクリーンルーム用空調設備を用いて実施することを特徴とするウェーハの製造方法。
- 前記ウェーハ処理装置の内圧がクリーンルーム内圧より高く、該クリーンルーム内圧が外部圧より高く調整されていることを特徴とする請求項15記載のウェーハの製造方法。
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