JP4068248B2 - 基板の絶縁検査装置及びその絶縁検査方法 - Google Patents

基板の絶縁検査装置及びその絶縁検査方法 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント回路基板などに形成された配線パターン間の絶縁状態の良否を検査する基板の絶縁検査装置及びその絶縁検査方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、プリント回路基板(Printed Circuit Board)に配線パターンを形成したときには、電子部品などを実装する前に、基板検査装置を用いて導通検査や絶縁検査等を行うことにより、配線パターンの形成が正常に行われたか否かの検査が行われている。
【0003】
図9は検査対象のプリント回路基板の一例を示す図である。同図において、番号1〜18は、基板検査装置に入力される検査ポイント番号である。また、一般に、検査ポイント番号がマークされた箇所を「ネットピン」と称し、互いに導通する複数のネットピンの集合を「検査ネット」と称し、単独のネットピンからなる場合には「シングルピン」と称する。したがって、図9のプリント回路基板20では、検査ネットの個数をN、シングルピンの個数をS、互いに絶縁された配線パターンの個数をMとすると、N=6,S=4,M=N+S=10になっている。以下、図9のプリント回路基板20に対する導通検査および絶縁検査について、順番に説明する。
【0004】
図10は図9のプリント回路基板20の検査ネットリスト及び導通検査の対象となるネットピンを示す図である。導通検査では、同一検査ネット内におけるネットピン同士の導通状態を検査する必要があるので、図10に示すように、合計8通りの接続状態によって検査完了となる。なお、検査ポイント番号15〜18はシングルピンであるので、導通検査を行う必要はない。
【0005】
一方、絶縁検査は検査ネットを代表するヘッドピンを設定し、ヘッドピンの間の絶縁状態によって絶縁検査が行われる。すなわち、各検査ネットを代表するヘッドピンを一対の電極に接続し、一方の電極に電気信号を印加したときの他方の電極の電気信号のレベルによって各電極に接続されたヘッドピンの間の絶縁状態が判定される。
例えば、各検査ネット内で検査ポイント番号が最小のネットピンをヘッドピンとする。なお、シングルピンは、それ自身がヘッドピンになる。従って、図9のプリント回路基板20には、図中に示すように、合計10個のヘッドピンP1〜P10が存在することになる。
【0006】
図11は従来の絶縁検査の手順を説明する図である。同図において、各ヘッドピンに接続する電極を例えば「●」マークは正極とし、「○」マークは負極とする。従来の絶縁検査では、図11に示すように、一対の電極への接続状態が1ピン対多ピンで行われていた。すなわち、1回目は、ヘッドピンP1を正極に接続するとともに、ヘッドピンP2〜P10を負極に接続して検査を行い、2回目は、ヘッドピンP2を正極に接続するとともに、ヘッドピンP3〜P10を負極に接続して検査を行っていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来の絶縁検査では、一対の電極への接続状態が1ピン対多ピンで行われていたので、配線パターンの個数をMとすると、検査回数Cは、
【0008】
【数1】
C=M−1
になる。すなわち、図9のプリント回路基板ではC=9になる。なお、上記説明においては理解を助けるために配線パターンの個数Mを「10」に限定しているが、一般のプリント回路基板では、M=500〜2000であるので、C=499〜1999になり、非常に多くの検査回数が必要になり、絶縁検査に長時間を要することになってしまう。
【0009】
本発明は、上記問題を解決するもので、絶縁検査を行うための接続状態の切替回数を減少させて絶縁検査時間の短縮を可能にする基板の絶縁検査装置及びその絶縁検査方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、M(Mは5以上の整数)個の配線パターンが形成された基板において、上記各配線パターン上の所定位置にそれぞれ設定された第1番から第M番までの代表ピンの間の絶縁状態を検査することにより、上記各配線パターン間の絶縁状態を検査する基板の絶縁検査装置であって、上記第1番から第M番までの代表ピンにそれぞれ電気的に接続可能な第1電極及び第2電極と、上記第1、第2電極と上記各代表ピンとの接続状態の切替を制御する切替制御手段と、上記第1電極及び上記第2電極のうちの一方の電極に所定の電気信号を印加したときの他方の電極の電気信号のレベルに基づいて、上記各電極に接続された代表ピンの間の絶縁状態が良か不良かを上記接続状態の切替ごとに判定する絶縁判定手段とを備え、上記切替制御手段は、最初の接続状態として、第1番及び第2番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第3番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続し、2回目の接続状態として、第2番〜第4番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第1番及び第5番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続し、3回目以降の接続状態として、2回目の接続状態から上記第1電極に接続する代表ピンをそれぞれ第M番側に向けて2個ずつスライドさせるとともに、そのスライドされた上記第1電極に接続する代表ピンに対して第1番側に隣接する1個の代表ピン及び第M番側の全ての代表ピンを上記第2電極に接続し、上記第1電極に接続する代表ピンの個数が3個未満になった接続状態で切替を終了するものであることを特徴としている。
【0011】
この構成によれば、基板に形成されたM(Mは5以上の整数)個の配線パターン上の所定位置にそれぞれ設定された第1番から第M番までの代表ピンと、各代表ピンにそれぞれ電気的に接続可能な第1電極及び第2電極との接続状態の切替が制御され、第1電極及び第2電極のうちの一方の電極に所定の電気信号を印加したときの他方の電極の電気信号のレベルに基づいて、各電極に接続された代表ピンの間の絶縁状態が良か不良かが接続状態の切替ごとに判定される。
【0012】
ここで、最初の接続状態として、第1番及び第2番の代表ピンが第1電極に接続されるとともに、第3番〜第M番の代表ピンが第2電極に接続される。また、2回目の接続状態として、第2番〜第4番の代表ピンが第1電極に接続されるとともに、第1番及び第5番〜第M番の代表ピンが第2電極に接続される。また、3回目以降の接続状態として、2回目の接続状態から第1電極に接続する代表ピンがそれぞれ第M番側に向けて2個ずつスライドされるとともに、そのスライドされた第1電極に接続する代表ピンに対して第1番側に隣接する1個の代表ピン及び第M番側の全ての代表ピンが第2電極に接続される。そして、第1電極に接続する代表ピンの個数が3個未満になった接続状態で切替が終了される。
【0013】
これによって、全ての代表ピンの間の絶縁状態の判定を行うための接続状態の切替回数が低減されることとなり、絶縁検査時間が短縮される。
【0014】
また、請求項2の発明は、M(Mは6以上の整数)個の配線パターンが形成された基板において、上記各配線パターン上の所定位置にそれぞれ設定された第1番から第M番までの代表ピンの間の絶縁状態を検査することにより、上記各配線パターン間の絶縁状態を検査する基板の絶縁検査装置であって、上記第1番から第M番までの代表ピンにそれぞれ電気的に接続可能な第1電極及び第2電極と、上記第1、第2電極と上記各代表ピンとの接続状態の切替を制御する切替制御手段と、一方の電極に所定の電気信号を印加したときの他方の電極の電気信号のレベルに基づいて、上記各電極に接続された代表ピンの間の絶縁状態が良か不良かを上記接続状態の切替ごとに判定する絶縁判定手段とを備え、上記切替制御手段は、最初の接続状態として、第1番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第2番及び第3番の代表ピン又は第2番〜第M番の全ての代表ピンを上記第2電極に接続し、2回目の接続状態として、最初の接続状態で第2番及び第3番の代表ピンのみを上記第2電極に接続したときは第1番〜第3番の代表ピンを、最初の接続状態で第2番〜第M番の全ての代表ピンを上記第2電極に接続したときは第2番及び第3番の代表ピンを、それぞれ上記第1電極に接続するとともに、第4番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続し、3回目の接続状態として、第3番〜第5番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第2番及び第6番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続し、4回目以降の接続状態として、3回目の接続状態から上記第1電極に接続する代表ピンをそれぞれ第M番側に向けて2個ずつスライドさせるとともに、そのスライドされた上記第1電極に接続する代表ピンに対して第1番側に隣接する1個の代表ピン及び第M番側の全ての代表ピンを上記第2電極に接続し、上記第1電極に接続する代表ピンの個数が3個未満になった接続状態で切替を終了するものであることを特徴としている。
【0015】
この構成によれば、基板に形成されたM(Mは6以上の整数)個の配線パターン上の所定位置にそれぞれ設定された第1番から第M番までの代表ピンと、各代表ピンにそれぞれ電気的に接続可能な第1電極及び第2電極との接続状態の切替が制御され、第1電極及び第2電極のうちの一方の電極に所定の電気信号を印加したときの他方の電極の電気信号のレベルに基づいて、各電極に接続された代表ピンの間の絶縁状態が良か不良かが接続状態の切替ごとに判定される。
【0016】
ここで、例えば、最初の接続状態として、第1番の代表ピンが第1電極に接続されるとともに、第2番及び第3番の代表ピンが第2電極に接続されたときは、2回目の接続状態として、第1番〜第3番の代表ピンが第1電極に接続されるとともに、第4番〜第M番の代表ピンが第2電極に接続される。
【0017】
一方、例えば、最初の接続状態として、第1番の代表ピンが第1電極に接続されるとともに、第2番〜第M番の全ての代表ピンが第2電極に接続されたときは、2回目の接続状態として、第2番及び第3番の代表ピンが第1電極に接続されるとともに、第4番〜第M番の代表ピンが第2電極に接続される。
【0018】
そして、3回目の接続状態として、第3番〜第5番の代表ピンが第1電極に接続されるとともに、第2番及び第6番〜第M番の代表ピンが第2電極に接続される。また、4回目以降の接続状態として、3回目の接続状態から第1電極に接続する代表ピンがそれぞれ第M番側に向けて2個ずつスライドされるとともに、そのスライドされた第1電極に接続する代表ピンに対して第1番側に隣接する1個の代表ピン及び第M番側の全ての代表ピンが第2電極に接続される。そして、第1電極に接続する代表ピンの個数が3個未満になった接続状態で切替が終了される。
【0019】
これによって、全ての代表ピンの間の絶縁状態の判定を行うための接続状態の切替回数が低減されることとなり、絶縁検査時間が短縮される。
【0020】
また、請求項3の発明は、M(Mは5以上の整数)個の配線パターンが形成された基板において、上記各配線パターン上の所定位置にそれぞれ設定された第1番から第M番までの代表ピンの間の絶縁状態を検査することにより、上記各配線パターン間の絶縁状態を検査する基板の絶縁検査方法であって、上記第1番から第M番までの代表ピンにそれぞれ電気的に接続可能な第1電極及び第2電極と上記各代表ピンとを接続した状態で、上記第1電極及び上記第2電極のうちの一方の電極に所定の電気信号を印加したときの他方の電極の電気信号のレベルに基づいて、上記各電極に接続された代表ピンの間の絶縁状態が良か不良かの判定を行うもので、以下の工程(1)及び(2)をこの順序で実行した後、上記第1電極に接続する代表ピンの個数が3個未満になるまで以下の工程(3)を繰り返すようにしたことを特徴としている。
【0021】
(1)第1番及び第2番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第3番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程、
(2)第2番〜第4番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第1番及び第5番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程、
(3)上記第1電極に接続する代表ピンをそれぞれ第M番側に向けて2個ずつスライドさせるとともに、そのスライドされた上記第1電極に接続する代表ピンに対して第1番側に隣接する1個の代表ピン及び第M番側の全ての代表ピンを上記第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程。
【0022】
この方法によれば、基板に形成されたM(Mは5以上の整数)個の配線パターン上の所定位置にそれぞれ設定された第1番から第M番までの代表ピンと、各代表ピンにそれぞれ電気的に接続可能な第1電極及び第2電極とが接続された状態で、第1電極及び第2電極のうちの一方の電極に所定の電気信号を印加したときの他方の電極の電気信号のレベルに基づいて、各電極に接続された代表ピンの間の絶縁状態が良か不良かの判定が行われる。
【0023】
このとき、第1番及び第2番の代表ピンを第1電極に接続するとともに、第3番〜第M番の代表ピンを第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程(1)及び第2番〜第4番の代表ピンを第1電極に接続するとともに、第1番及び第5番〜第M番の代表ピンを第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程(2)がこの順序で実行された後、第1電極に接続する代表ピンをそれぞれ第M番側に向けて2個ずつスライドさせるとともに、そのスライドされた第1電極に接続する代表ピンに対して第1番側に隣接する1個の代表ピン及び第M番側の全ての代表ピンを第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程(3)が、第1電極に接続する代表ピンの個数が3個未満になるまで繰り返される。
【0024】
これによって、全ての代表ピンの間の絶縁状態の判定を行うための接続状態の切替回数が低減されることとなり、絶縁検査時間が短縮される。
【0025】
また、請求項4の発明は、M(Mは6以上の整数)個の配線パターンが形成された基板において、上記各配線パターン上の所定位置にそれぞれ設定された第1番から第M番までの代表ピンの間の絶縁状態を検査することにより、上記各配線パターン間の絶縁状態を検査する基板の絶縁検査方法であって、上記第1番から第M番までの代表ピンにそれぞれ電気的に接続可能な第1電極及び第2電極と上記各代表ピンとを接続した状態で、上記第1電極及び上記第2電極のうちの一方の電極に所定の電気信号を印加したときの他方の電極の電気信号のレベルに基づいて、上記各電極に接続された代表ピンの間の絶縁状態が良か不良かの判定を行うもので、以下の工程(1)、(2)及び(3)をこの順序で実行した後、上記第1電極に接続する代表ピンの個数が3個未満になるまで以下の工程(4)を繰り返すようにしたことを特徴としている。
【0026】
(1)第1番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第2番及び第3番の代表ピン又は第2番〜第M番の全ての代表ピンを上記第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程、
(2)上記工程(1)で第2番及び第3番の代表ピンのみを上記第2電極に接続したときは第1番〜第3番の代表ピンを、上記工程(1)で第2番〜第M番の全ての代表ピンを上記第2電極に接続したときは第2番及び第3番の代表ピンを、それぞれ上記第1電極に接続するとともに、第4番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程、
(3)第3番〜第5番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第2番及び第6番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程、
(4)上記第1電極に接続する代表ピンをそれぞれ第M番側に向けて2個ずつスライドさせるとともに、そのスライドされた上記第1電極に接続する代表ピンに対して第1番側に隣接する1個の代表ピン及び第M番側の全ての代表ピンを上記第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程。
【0027】
この方法によれば、基板に形成されたM(Mは6以上の整数)個の配線パターン上の所定位置にそれぞれ設定された第1番から第M番までの代表ピンと、各代表ピンにそれぞれ電気的に接続可能な第1電極及び第2電極とが接続された状態で、第1電極及び第2電極のうちの一方の電極に所定の電気信号を印加したときの他方の電極の電気信号のレベルに基づいて、各電極に接続された代表ピンの間の絶縁状態が良か不良かの判定が行われる。
【0028】
このとき、第1番の代表ピンを第1電極に接続するとともに、第2番及び第3番の代表ピン又は第2番〜第M番の全ての代表ピンを第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程(1)、この工程(1)で第2番及び第3番の代表ピンのみを第2電極に接続したときは第1番〜第3番の代表ピンを、工程(1)で第2番〜第M番の全ての代表ピンを第2電極に接続したときは第2番及び第3番の代表ピンを、それぞれ第1電極に接続するとともに、第4番〜第M番の代表ピンを第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程(2)、及び第3番〜第5番の代表ピンを第1電極に接続するとともに、第2番及び第6番〜第M番の代表ピンを第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程(3)がこの順序で実行された後、第1電極に接続する代表ピンをそれぞれ第M番側に向けて2個ずつスライドさせるとともに、そのスライドされた第1電極に接続する代表ピンに対して第1番側に隣接する1個の代表ピン及び第M番側の全ての代表ピンを第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程(4)が、第1電極に接続する代表ピンの個数が3個未満になるまで繰り返される。
【0029】
これによって、全ての代表ピンの間の絶縁状態の判定を行うための接続状態の切替回数が低減されることとなり、絶縁検査時間が短縮される。
【0030】
【発明の実施の形態】
図1は本発明に係る基板の絶縁検査装置の一実施形態の電気的構成を示すブロック図である。
この基板の絶縁検査装置30は、正極41と、負極42と、接続部50と、制御手段60とを備え、検査対象のプリント回路基板20における各配線パターン間の絶縁状態の良否を検査するものである。
【0031】
検査対象のプリント回路基板20は、本実施形態では、上記図9に示すものとする。すなわち、検査ポイント番号1〜18のネットピンを有し、各検査ネット内で検査ポイント番号が最小のネットピンをヘッドピンとする。ネットピンは、配線パターン上の所定位置、例えば端部に設定されたものである。
【0032】
すなわち、検査ネット1−2−4のネットピン1をヘッドピンP1とし、検査ネット3−6のネットピン3をヘッドピンP2とし、検査ネット5−9−10のネットピン5をヘッドピンP3とし、検査ネット7−8のネットピン7をヘッドピンP4とし、検査ネット11−12のネットピン11をヘッドピンP5とし、検査ネット13−14のネットピン13をヘッドピンP6とする。
【0033】
また、シングルピンは、それ自身がヘッドピンになり、シングルピン15,16,17,18は、それぞれヘッドピンP7,P8,P9,P10とする。
【0034】
このように、ヘッドピンは、各検査ネット及びシングルピンを代表する代表ピンを構成する。従って、検査ネットの個数をN、シングルピンの個数をS、互いに絶縁された配線パターンの個数をMとすると、ヘッドピンの個数はMで、配線パターンの個数に等しくなる。上述したように、図9のプリント回路基板20では、N=6,S=4,M=N+S=10である。
【0035】
図1に戻って、接続部50は、プローブB1〜B10と、トランジスタなどからなるスイッチ部51とを備えている。プローブB1〜B10は、プリント回路基板20のヘッドピンP1〜P10にそれぞれ接触可能に構成されている。スイッチ部51は、トランジスタなどからなり、プローブB1〜B10と正極41又は負極42との接続をそれぞれオンオフするものである。
【0036】
この接続部50により、プローブB1〜B10をヘッドピンP1〜P10にそれぞれ接触させた状態でスイッチ部51が切り替えられると、ヘッドピンP1〜P10と正極41又は負極42との接続状態が切り替えられる。
【0037】
なお、プローブB1〜B10は、ヘッドピンP1〜P10に直接接触しなくてもよく、例えば静電的に結合するなどのように、ヘッドピンP1〜P10に電気的に接続されるように構成されていればよい。
【0038】
制御手段60は、CPUや電子回路などから構成されるもので、機能ブロックとして、切替制御手段61、絶縁判定手段62及び不良解析制御手段63を備えている。切替制御手段61は、スイッチ部51の接続状態を切り替える機能を有するもので、切替手順については後述する。
【0039】
絶縁判定手段62は、機能ブロックとして、信号印加手段71、信号検出手段72及びレベル判定手段73を備えている。信号印加手段71は、接続部51を介して正極41に接続されたヘッドピンに所定レベルの電気信号を印加するもので、信号検出手段72は、電気信号印加時に、接続部51を介して負極42に接続されたヘッドピンの電気信号のレベルを検出するものである。
【0040】
レベル判定手段73は、信号検出手段72により検出された電気信号のレベルと予め設定されたレベルとを比較して、正極41に接続されたヘッドピンと負極42に接続されたヘッドピンとの間の絶縁状態を判定するものである。
【0041】
本実施形態では、例えば、信号印加手段71は電気信号として所定レベルの電圧を印加し、信号検出手段72は電気信号として電流のレベルを検出する。そして、レベル判定手段73は、電圧レベルと電流レベルとから抵抗値を求め、この抵抗値が所定レベル以上のときに絶縁状態が良であり、所定レベル未満のときに絶縁状態が不良であると判定する。
【0042】
不良解析制御手段63は、絶縁検査において不良が検出されたときに、不良箇所を特定する不良解析処理を行うもので、その内容については後述する。
【0043】
ヘッドピンP1〜P10は代表ピンを構成し、正極41は第1電極及び第2電極のうちの一方の電極を構成し、負極42は他方の電極を構成する。
【0044】
次に、図2のフローチャートに沿って、図3を参照しながら、切替制御手段61によるヘッドピンP1〜P10と正極41及び負極42との接続状態の切替について説明する。図2は接続状態の切替手順を示すフローチャートである。図3は各ヘッドピンに接続する電極の接続状態の切替を説明する図で、各ヘッドピンに対応する「●」マークは正極41に接続した状態を示し、「○」マークは負極42に接続した状態を示している。
【0045】
図2において、まず、第1番及び第2番のヘッドピンP1,P2が正極41に接続されるとともに、第3番〜第M(Mは5以上の整数で、本実施形態では例えばM=10)番のヘッドピンP3〜P10が負極42に接続された状態で(ステップ#100)、絶縁状態が判定される(ステップ#110)。すなわち、図3における第1回の検査が行われる。
【0046】
そして、不良でなければ(ステップ#110でNO)、次いで、第2番〜第4番のヘッドピンP2〜P4が正極41に接続されるとともに、第1番及び第5番〜第M番のヘッドピンP1,P5〜P10が負極42に接続された状態で(ステップ#120)、絶縁状態が判定される(ステップ#130)。すなわち、図3における第2回の検査が行われる。
【0047】
そして、不良でなければ(ステップ#130でNO)、次いで、正極41に接続されるヘッドピンが第M番に向けて2個分だけそのままスライドされ(ステップ#140)、続いて、このスライドによって正極41に接続されるヘッドピンが3個か否かが判別され(ステップ#150)、3個であれば(ステップ#150でYES)、その第M番側にヘッドピンが残っているか否かが判別される(ステップ#160)。
【0048】
図3において、例えば第2回の検査から第3回の検査に移るとき、正極41に接続されるヘッドピンが第M番に向けて2個分だけそのままスライドされると、正極41に接続されるヘッドピンは、ヘッドピンP2〜P4からヘッドピンP4〜P6に切り替えられる。これによって正極41に接続されるヘッドピンの個数は3個のままになり、第M番側にヘッドピンP7〜P10が残ることとなる。また、第3回の検査から第4回の検査に移るときも同様である。
【0049】
図2に戻って、第M番側にヘッドピンが残っていれば(ステップ#160でYES)、正極41に接続される3個のヘッドピンに隣接する第1番側の1個のヘッドピンと3個のヘッドピンの第M番側の全てのヘッドピンとが負極42に接続される(ステップ#170)。すなわち、図3における第3回及び第4回の接続状態になる。
【0050】
一方、正極41に接続される3個のヘッドピンの第M番側にヘッドピンが残っていなければ(ステップ#160でNO)、3個のヘッドピンに隣接する第1番側の1個のヘッドピンが負極42に接続される(ステップ#180)。すなわち、図3における第5回の接続状態になる。
【0051】
次いで、この接続状態で絶縁状態が判定され(ステップ#190)、不良でなければ(ステップ#190でNO)、ステップ#140に戻って、以上の手順が繰り返される。
【0052】
一方、ステップ#150において、正極41に接続されるヘッドピンが3個でなければ(ステップ#150でNO)、隣接する第1番側の1個のヘッドピンが負極42に接続される(ステップ#200)。すなわち、図3における第6回の接続状態になる。
【0053】
この状態で絶縁状態が判定され(ステップ#210)、不良でなければ(ステップ#210でNO)、終了する。
【0054】
そして、ステップ#110,#130,#190,#210において、それぞれ絶縁状態が不良と判定されれば(ステップ#110,#130,#190,#210でNO)、後述する不良解析処理(ステップ#220,#230,#240,#250)が実行された後に、次のステップ、すなわちステップ#110,#130,#190,#210でYESのときの次のステップに移行する。
【0055】
次に、図3を用いて、この接続状態の切替によって、全てのヘッドピンの組合せの絶縁検査が可能になるという点について説明する。
第1回の検査では、ヘッドピンP1,P2とヘッドピンP3〜P10との間の絶縁状態の検査が行われる。なお、ヘッドピンP1とヘッドピンP2との間の絶縁状態は不明のままである。
【0056】
第2回の検査では、ヘッドピンP2〜P4とヘッドピンP1,P5〜P10との間の絶縁状態の検査が行われる。従って、この検査結果が良好であれば、ヘッドピンP1とヘッドピンP2との間の絶縁状態が良好であることが確認されたことになり、ヘッドピンP1,P2の絶縁検査は完了となる。なお、ヘッドピンP3とヘッドピンP4との間の絶縁状態は不明のままである。
【0057】
第3回の検査では、ヘッドピンP4〜P6とヘッドピンP3,P7〜P10との間の絶縁状態の検査が行われる。従って、この検査結果が良好であれば、ヘッドピンP3とヘッドピンP4との間の絶縁状態が良好であることが確認されたことになり、ヘッドピンP3,P4の絶縁検査は完了となる。なお、ヘッドピンP5とヘッドピンP6との間の絶縁状態は不明のままである。
【0058】
同様に、第4回の検査では、検査結果が良好であれば、ヘッドピンP5とヘッドピンP6との間の絶縁状態が良好であることが確認されたことになり、ヘッドピンP5,P6の絶縁検査は完了となる。また、第5回の検査では、検査結果が良好であれば、ヘッドピンP7とヘッドピンP8との間の絶縁状態が良好であることが確認されたことになり、ヘッドピンP7,P8の絶縁検査は完了となる。
【0059】
そして、第6回の検査において検査結果が良好であれば、第5回の検査では不明であったヘッドピンP9とヘッドピンP10との間の絶縁状態が良好であることが確認されたことになり、ヘッドピンP9,P10の絶縁検査は完了となる。
【0060】
このように、正極41に接続するヘッドピンを隣接する3個とし、これを2個ずつ第M番側に向けてスライドさせるとともに、第1番側に隣接する1個のヘッドピンを負極42に接続することにより、前回の検査で不明であったヘッドピンの絶縁状態を確認することができる。
【0061】
これによって、第2回〜第6回の検査においてヘッドピンの絶縁検査が2個ずつ完了して合計6回の検査で絶縁検査が完了することになり、従来の検査回数9回に比べると、大幅に検査回数を減少させることができる。
【0062】
ここで、本実施形態において、ヘッドピンの個数をMとしたときの検査回数Cについて説明する。
【0063】
上述したように、第2回〜最終回の検査において、2個ずつ完了するので、ヘッドピンの個数Mが偶数の場合には、検査回数Cは、
【0064】
【数2】
C=M/2+1
となる。上記数2の右辺第2項は、第1回の検査に相当する。
【0065】
一方、ヘッドピンの個数Mが奇数の場合には、第(M−2)番と第(M−1)番のヘッドピンの絶縁検査が完了する回数において、第M番のヘッドピンの絶縁検査が不明となる対象のヘッドピンが存在しないので、第(M−2)番と第(M−1)番のヘッドピンの絶縁検査が完了する回数が最終回となる。従って、ヘッドピンの個数Mが奇数の場合には、ヘッドピンが(M−1)個の場合の検査回数に等しくなる。そこで、検査回数Cは、
【0066】
【数3】
C=(M−1)/2+1
となる。
【0067】
上述したように、通常、M=500〜2000であるので、本実施形態によれば、C=251〜1001になり、従来の上記数1に比べて約半分と、大幅に検査回数を減少することができる。
【0068】
また、導通検査と絶縁検査では、通常、絶縁検査の検査時間が導通検査の検査時間の2〜3倍程度要するため、絶縁検査の高速化の実現が、検査装置の高速化に寄与する。従って、基板検査に要するコストの低減を図ることができ、これによって基板の生産コストの低減を図ることができる。
【0069】
次に、不良解析制御手段63による不良解析処理について説明する。
図1、図2で説明したように、絶縁検査において不良が検出されると、不良解析処理に移行して不良箇所を特定する不良解析処理が実行された後に、絶縁検査に復帰する。
【0070】
すなわち、従来の絶縁検査において、例えば図11の1回目の検査が不良の場合には、負極42に接続するヘッドピンが、例えばヘッドピンP2〜P5からなるグループと、ヘッドピンP6〜P10からなるグループとに分割されて、ヘッドピンP1との間で絶縁不良となっているヘッドピンが含まれるグループが特定され、次にそのグループを更に小グループに分割して、最終的に、ヘッドピンP1との間で絶縁不良となっているヘッドピンを特定する不良解析処理が実行される。そして、不良解析処理が終了すると絶縁検査に復帰して、2回目以降の絶縁検査が実行される。
【0071】
一方、本実施形態において、例えば図3の1回目の検査が不良の場合には、負極42に接続するヘッドピンP3〜P10をグループに分割する前に、ヘッドピンP1,P2のいずれのヘッドピンとの間で絶縁不良になっているのかを検出するための検査が必要になる。従って、本実施形態によれば、不良解析処理のための検査回数が従来に比べて1回増加することとなる。
【0072】
しかし、上述したように、一般にM=500〜2000であり、C=251〜1001に対して1回だけ増加するだけである。また、プリント回路基板の製造の歩留まりは高いので、不良解析処理が実行される頻度は非常に少なく、不良解析処理のための検査が1回増加することによる影響が大きなものになることはない。
【0073】
次に、図4〜図6を用いて、接続状態の切替手順が上記実施形態と異なる変形形態について説明する。図4、図5は変形形態における接続状態の切替手順を示すフローチャートである。図6は変形形態における各ヘッドピンに接続する電極の接続状態の切替を説明する図で、各ヘッドピンに対応する「●」マークは正極41に接続した状態を示し、「○」マークは負極42に接続した状態を示している。
【0074】
図4において、まず、第1番のヘッドピンP1が正極41に接続されるとともに、第2番及び第3番のヘッドピンP2,P3が負極42に接続された状態で(ステップ#300)、絶縁状態が判定される(ステップ#310)。すなわち、図6における第1回の検査が行われる。
【0075】
そして、不良でなければ(ステップ#310でNO)、次いで、第1番〜第3番のヘッドピンP1〜P3が正極41に接続されるとともに、第4番〜第M(Mは6以上の整数で、本変形形態では例えばM=10)番のヘッドピンP4〜P10が負極42に接続された状態で(ステップ#320)、絶縁状態が判定される(ステップ#330)。すなわち、図6における第2回の検査が行われる。
【0076】
そして、不良でなければ(ステップ#330でNO)、図5において、第3番〜第5番のヘッドピンP3〜P5が正極41に接続されるとともに、第2番及び第6番〜第M番のヘッドピンP2,P6〜P10が負極42に接続された状態で(ステップ#340)、絶縁状態が判定される(ステップ#350)。すなわち、図6における第3回の検査が行われる。
【0077】
ステップ#360以降は、上記実施形態における図2のステップ#140以降と全く同様の手順になる。
すなわち、ステップ#360〜#380は、図6における例えば第3回の検査から第4回の検査に移るときに相当し、正極41に接続されるヘッドピンが第M番に向けて2個分だけそのままスライドされると、正極41に接続されるヘッドピンは、ヘッドピンP1〜P3からヘッドピンP3〜P5に切り替えられる。これによって正極41に接続されるヘッドピンの個数は3個のままになり、第M番側にヘッドピンP6〜P10が残ることとなる。また、第4回の検査から第5回の検査に移るときも同様である。
【0078】
また、ステップ#380,#390は、図6における第4回及び第5回の接続状態に相当し、ステップ#370,#420は、図6における第6回の接続状態に相当する。
【0079】
次に、図6を用いて、この接続状態の切替によって、全てのヘッドピンの組合せの絶縁検査が可能になるという点について説明する。
第1回の検査では、ヘッドピンP1とヘッドピンP2,P3との間の絶縁状態の検査が行われる。
【0080】
第2回の検査では、ヘッドピンP1〜P3とヘッドピンP4〜P10との間の絶縁状態の検査が行われる。これによって、ヘッドピンP1の絶縁検査は完了となる。なお、ヘッドピンP2とヘッドピンP3との間の絶縁状態は不明のままである。
【0081】
第3回の検査では、ヘッドピンP3〜P5とヘッドピンP2,P6〜P10との間の絶縁状態の検査が行われる。従って、この検査結果が良好であれば、ヘッドピンP2とヘッドピンP3との間の絶縁状態が良好であることが確認されたことになり、ヘッドピンP2,P3の絶縁検査は完了となる。なお、ヘッドピンP4とヘッドピンP5との間の絶縁状態は不明のままである。
【0082】
同様に、第4回の検査では、検査結果が良好であれば、ヘッドピンP4とヘッドピンP5との間の絶縁状態が良好であることが確認されたことになり、ヘッドピンP4,P5の絶縁検査は完了となる。
【0083】
また、第5回の検査では、検査結果が良好であれば、ヘッドピンP6とヘッドピンP7との間の絶縁状態が良好であることが確認されたことになり、ヘッドピンP6,P7の絶縁検査は完了となる。なお、第5回の検査では、ヘッドピンP8とヘッドピンP9との間の絶縁状態は不明のままであるが、ヘッドピンP10の絶縁検査は完了となっている。
【0084】
そして、第6回の検査において検査結果が良好であれば、第5回の検査では不明であったヘッドピンP8とヘッドピンP9との間の絶縁状態が良好であることが確認されたことになり、ヘッドピンP8,P9の絶縁検査は完了となる。
【0085】
このように、正極41に接続するヘッドピンを隣接する3個とし、これを2個ずつ第M番側に向けてスライドさせるとともに、第1番側に隣接する1個のヘッドピンを負極42に接続することにより、前回の検査で不明であったヘッドピンの絶縁状態を確認することができる。
【0086】
これによって、第2回の検査において第1番のヘッドピンの絶縁検査が完了し、第3回〜第6回の検査においてヘッドピンの絶縁検査が2個ずつ完了し、第5回の検査において第10番のヘッドピンの絶縁検査が完了して、合計6回の検査で絶縁検査が完了することになり、従来の検査回数9回に比べると、上記実施形態と同様に大幅に検査回数を減少させることができる。
【0087】
なお、図4のステップ#300,#320は、図7に示す手順で行うようにしてもよい。すなわち、第1回及び第2回の絶縁検査は、図6に代えて、図8に示すような接続状態で行うようにしてもよい。
図8における第1回の絶縁検査(図7のステップ#300)では、第1番のヘッドピンP1を正極41に接続するとともに、第2番〜第M番のヘッドピンP2〜P10を負極42に接続する。また、第2回の絶縁検査(図7のステップ#320)では、第2番及び第3番のヘッドピンP2,P3を正極41に接続するとともに、第4番〜第M番のヘッドピンP4〜P10を負極42に接続する。そして、第3回以降は、図4〜図6と同様の接続状態で検査を行う。
【0088】
すなわち、本変形形態では、第1回の検査において第2番〜第M番のヘッドピンP2〜P10を負極42に接続することにより第1番のヘッドピンP1に対する絶縁検査が完了したときは、第2回の検査において第1番のヘッドピンP1を正極41に接続する必要がない。
【0089】
次に、本変形形態において、ヘッドピンの個数をMとしたときの検査回数Cについて説明する。
まず、ヘッドピンの個数Mが偶数の場合には、上述したように、第2回の検査において第1番のヘッドピンの検査が完了し、第3回〜第C回の検査において2個ずつ完了する。ここで、第C回の検査において第(M−2)番と第(M−1)番のヘッドピンの絶縁検査が完了し、第(C−1)回の検査において第M番のヘッドピンの検査が完了するので、検査回数Cは、
【0090】
【数4】
C=(M−2)/2+2
となる。上記数4の右辺第2項は、第1回及び第2回の検査に相当する。
【0091】
一方、ヘッドピンの個数Mが奇数の場合には、第(M−1)番と第M番のヘッドピンの絶縁検査が完了する回数が最終回となる。従って、ヘッドピンの個数Mが奇数の場合には、ヘッドピンが(M+1)個の場合の検査回数に等しくなる。そこで、検査回数Cは、
【0092】
【数5】
C=(M−1)/2+2
となる。
【0093】
上述したように、通常、M=500〜2000であるので、本実施形態によれば、C=251〜1001になり、上記実施形態と同様に、大幅に検査回数を減少することができる。
【0094】
なお、検査対象のプリント回路基板20の配線パターンの形状は、図9に限られず、任意の形状を検査対象とすることができる。
【0095】
また、図3、図6、図8では、「●」マークを正極41に接続した状態を示すものとし、「○」マークを負極42に接続した状態を示すものとしているが、これに限られず、「●」マークを負極42に接続した状態を示すものとし、「○」マークを正極41に接続した状態を示すものとしてもよい。
【0096】
上述したように、本発明では、上記数2、数3及び数4、数5に示されるように、一対の電極への接続状態が、基本的に2ピン対多ピンの絶縁検査になっている。
【0097】
例えば図3において、第1回の検査で2ピン対多ピンの検査を行い、このため2ピン間の絶縁状態は不明になっている。第2回以降の検査では、次の2ピン対多ピンの検査を行うとともに、前回に不明であった2ピン間の絶縁検査を行っている。すなわち、第1回の検査では、ヘッドピンP1,P2対残りのピン間の検査を行い、ヘッドピンP1,P2間の絶縁状態は不明になっている。そして、第2回の検査では、次のヘッドピンP3,P4対残りのピン間の検査を行うとともに、ヘッドピンP1,P2間の検査を行っている。これによって、第2回以降の検査において、それぞれ2ピンずつ検査が完了している。
【0098】
また、例えば図6、図8において、第1回及び第2回の検査でヘッドピンP1の検査を完了させるとともに、第2回の検査で2ピン対多ピンの検査を行い、このため2ピン間の絶縁状態は不明になっている。第3回以降の検査では、次の2ピン対多ピンの検査を行うとともに、前回に不明であった2ピン間の絶縁検査を行っている。すなわち、第2回の検査では、ヘッドピンP2,P3対残りのピン間の検査を行い、ヘッドピンP2,P3間の絶縁状態は不明になっている。そして、第3回の検査では、次のヘッドピンP4,P5対残りのピン間の検査を行うとともに、ヘッドピンP2,P3間の検査を行っている。これによって、第3回以降の検査において、それぞれ2ピンずつ検査が完了している。
【0099】
このように、本発明によれば、基本的に2ピン対多ピンの絶縁検査を行うことによって、接続状態の切替回数、すなわち検査回数を従来に比べて大幅に減少させることができる。
【0100】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1、3の発明によれば、基板に形成されたM(Mは5以上の整数)個の配線パターン上の所定位置にそれぞれ設定された第1番から第M番までの代表ピンと、各代表ピンにそれぞれ電気的に接続可能な第1電極及び第2電極との接続状態を切り替え、第1電極及び第2電極のうちの一方の電極に所定の電気信号を印加したときの他方の電極の電気信号のレベルに基づいて、各電極に接続された代表ピンの間の絶縁状態が良か不良かを接続状態の切替ごとに判定するときに、最初の接続状態として、第1番及び第2番の代表ピンを第1電極に接続するとともに、第3番〜第M番の代表ピンを第2電極に接続し、2回目の接続状態として、第2番〜第4番の代表ピンを第1電極に接続するとともに、第1番及び第5番〜第M番の代表ピンを第2電極に接続し、3回目以降の接続状態として、2回目の接続状態から第1電極に接続する代表ピンをそれぞれ第M番側に向けて2個ずつスライドさせるとともに、そのスライドされた第1電極に接続する代表ピンに対して第1番側に隣接する1個の代表ピン及び第M番側の全ての代表ピンを第2電極に接続し、第1電極に接続する代表ピンの個数が3個未満になった接続状態で切替を終了するようにしたので、全ての代表ピンの間の絶縁状態の判定を行うための接続状態の切替回数を低減することができ、これによって絶縁検査時間を短縮することができる。
【0101】
また、請求項2、4の発明によれば、基板に形成されたM(Mは6以上の整数)個の配線パターン上の所定位置にそれぞれ設定された第1番から第M番までの代表ピンと、各代表ピンにそれぞれ電気的に接続可能な第1電極及び第2電極との接続状態を切り替え、第1電極及び第2電極のうちの一方の電極に所定の電気信号を印加したときの他方の電極の電気信号のレベルに基づいて、各電極に接続された代表ピンの間の絶縁状態が良か不良かを接続状態の切替ごとに判定するときに、最初の接続状態として、第1番の代表ピンを第1電極に接続するとともに、第2番及び第3番の代表ピン又は第2番〜第M番の全ての代表ピンを第2電極に接続し、2回目の接続状態として、最初の接続状態で第2番及び第3番の代表ピンのみを第2電極に接続したときは第1番〜第3番の代表ピンを、最初の接続状態で第2番〜第M番の全ての代表ピンを第2電極に接続したときは第2番及び第3番の代表ピンを、それぞれ第1電極に接続するとともに、第4番〜第M番の代表ピンを第2電極に接続し、3回目の接続状態として、第3番〜第5番の代表ピンを第1電極に接続するとともに、第2番及び第6番〜第M番の代表ピンを第2電極に接続し、4回目以降の接続状態として、3回目の接続状態から第1電極に接続する代表ピンをそれぞれ第M番側に向けて2個ずつスライドさせるとともに、そのスライドされた第1電極に接続する代表ピンに対して第1番側に隣接する1個の代表ピン及び第M番側の全ての代表ピンを第2電極に接続し、第1電極に接続する代表ピンの個数が3個未満になった接続状態で切替を終了するようにしたので、全ての代表ピンの間の絶縁状態の判定を行うための接続状態の切替回数を低減することができ、これによって絶縁検査時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る基板の絶縁検査装置の一実施形態の電気的構成を示すブロック図である。
【図2】接続状態の切替手順を示すフローチャートである。
【図3】各ヘッドピンに接続する電極の接続状態の切替を説明する図で、各ヘッドピンに対応する「●」マークは正極に接続した状態を示し、「○」マークは負極に接続した状態を示している。
【図4】変形形態における接続状態の切替手順を示すフローチャートである。
【図5】変形形態における接続状態の切替手順を示すフローチャートである。
【図6】変形形態における各ヘッドピンに接続する電極の接続状態の切替を説明する図で、各ヘッドピンに対応する「●」マークは正極に接続した状態を示し、「○」マークは負極に接続した状態を示している。
【図7】図4の変形手順を示すフローチャートである。
【図8】図6の変形接続状態を説明する図である。
【図9】検査対象のプリント回路基板の一例を示す図である。
【図10】図9のプリント回路基板の検査ネットリスト及び導通検査の対象となるネットピンを示す図である。
【図11】従来の絶縁検査の手順を説明する図である。
【符号の説明】
30 基板の絶縁検査装置
41 正極
42 負極
50 接続部
60 制御手段
61 切替制御手段
62 絶縁判定手段
63 不良解析制御手段
71 信号印加手段
72 信号検出手段
73 レベル判定手段

Claims (4)

  1. M(Mは5以上の整数)個の配線パターンが形成された基板において、上記各配線パターン上の所定位置にそれぞれ設定された第1番から第M番までの代表ピンの間の絶縁状態を検査することにより、上記各配線パターン間の絶縁状態を検査する基板の絶縁検査装置であって、
    上記第1番から第M番までの代表ピンにそれぞれ電気的に接続可能な第1電極及び第2電極と、
    上記第1、第2電極と上記各代表ピンとの接続状態の切替を制御する切替制御手段と、
    上記第1電極及び上記第2電極のうちの一方の電極に所定の電気信号を印加したときの他方の電極の電気信号のレベルに基づいて、上記各電極に接続された代表ピンの間の絶縁状態が良か不良かを上記接続状態の切替ごとに判定する絶縁判定手段とを備え、
    上記切替制御手段は、
    最初の接続状態として、第1番及び第2番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第3番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続し、
    2回目の接続状態として、第2番〜第4番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第1番及び第5番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続し、
    3回目以降の接続状態として、2回目の接続状態から上記第1電極に接続する代表ピンをそれぞれ第M番側に向けて2個ずつスライドさせるとともに、そのスライドされた上記第1電極に接続する代表ピンに対して第1番側に隣接する1個の代表ピン及び第M番側の全ての代表ピンを上記第2電極に接続し、
    上記第1電極に接続する代表ピンの個数が3個未満になった接続状態で切替を終了するものであることを特徴とする基板の絶縁検査装置。
  2. M(Mは6以上の整数)個の配線パターンが形成された基板において、上記各配線パターン上の所定位置にそれぞれ設定された第1番から第M番までの代表ピンの間の絶縁状態を検査することにより、上記各配線パターン間の絶縁状態を検査する基板の絶縁検査装置であって、
    上記第1番から第M番までの代表ピンにそれぞれ電気的に接続可能な第1電極及び第2電極と、
    上記第1、第2電極と上記各代表ピンとの接続状態の切替を制御する切替制御手段と、
    一方の電極に所定の電気信号を印加したときの他方の電極の電気信号のレベルに基づいて、上記各電極に接続された代表ピンの間の絶縁状態が良か不良かを上記接続状態の切替ごとに判定する絶縁判定手段とを備え、
    上記切替制御手段は、
    最初の接続状態として、第1番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第2番及び第3番の代表ピン又は第2番〜第M番の全ての代表ピンを上記第2電極に接続し、
    2回目の接続状態として、最初の接続状態で第2番及び第3番の代表ピンのみを上記第2電極に接続したときは第1番〜第3番の代表ピンを、最初の接続状態で第2番〜第M番の全ての代表ピンを上記第2電極に接続したときは第2番及び第3番の代表ピンを、それぞれ上記第1電極に接続するとともに、第4番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続し、
    3回目の接続状態として、第3番〜第5番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第2番及び第6番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続し、
    4回目以降の接続状態として、3回目の接続状態から上記第1電極に接続する代表ピンをそれぞれ第M番側に向けて2個ずつスライドさせるとともに、そのスライドされた上記第1電極に接続する代表ピンに対して第1番側に隣接する1個の代表ピン及び第M番側の全ての代表ピンを上記第2電極に接続し、
    上記第1電極に接続する代表ピンの個数が3個未満になった接続状態で切替を終了するものであることを特徴とする基板の絶縁検査装置。
  3. M(Mは5以上の整数)個の配線パターンが形成された基板において、上記各配線パターン上の所定位置にそれぞれ設定された第1番から第M番までの代表ピンの間の絶縁状態を検査することにより、上記各配線パターン間の絶縁状態を検査する基板の絶縁検査方法であって、
    上記第1番から第M番までの代表ピンにそれぞれ電気的に接続可能な第1電極及び第2電極と上記各代表ピンとを接続した状態で、上記第1電極及び上記第2電極のうちの一方の電極に所定の電気信号を印加したときの他方の電極の電気信号のレベルに基づいて、上記各電極に接続された代表ピンの間の絶縁状態が良か不良かの判定を行うもので、
    以下の工程(1)及び(2)をこの順序で実行した後、上記第1電極に接続する代表ピンの個数が3個未満になるまで以下の工程(3)を繰り返すようにしたことを特徴とする基板の絶縁検査方法。
    (1)第1番及び第2番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第3番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程、
    (2)第2番〜第4番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第1番及び第5番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程、
    (3)上記第1電極に接続する代表ピンをそれぞれ第M番側に向けて2個ずつスライドさせるとともに、そのスライドされた上記第1電極に接続する代表ピンに対して第1番側に隣接する1個の代表ピン及び第M番側の全ての代表ピンを上記第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程。
  4. M(Mは6以上の整数)個の配線パターンが形成された基板において、上記各配線パターン上の所定位置にそれぞれ設定された第1番から第M番までの代表ピンの間の絶縁状態を検査することにより、上記各配線パターン間の絶縁状態を検査する基板の絶縁検査方法であって、
    上記第1番から第M番までの代表ピンにそれぞれ電気的に接続可能な第1電極及び第2電極と上記各代表ピンとを接続した状態で、上記第1電極及び上記第2電極のうちの一方の電極に所定の電気信号を印加したときの他方の電極の電気信号のレベルに基づいて、上記各電極に接続された代表ピンの間の絶縁状態が良か不良かの判定を行うもので、
    以下の工程(1)、(2)及び(3)をこの順序で実行した後、上記第1電極に接続する代表ピンの個数が3個未満になるまで以下の工程(4)を繰り返すようにしたことを特徴とする基板の絶縁検査方法。
    (1)第1番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第2番及び第3番の代表ピン又は第2番〜第M番の全ての代表ピンを上記第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程、
    (2)上記工程(1)で第2番及び第3番の代表ピンのみを上記第2電極に接続したときは第1番〜第3番の代表ピンを、上記工程(1)で第2番〜第M番の全ての代表ピンを上記第2電極に接続したときは第2番及び第3番の代表ピンを、それぞれ上記第1電極に接続するとともに、第4番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程、
    (3)第3番〜第5番の代表ピンを上記第1電極に接続するとともに、第2番及び第6番〜第M番の代表ピンを上記第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程、
    (4)上記第1電極に接続する代表ピンをそれぞれ第M番側に向けて2個ずつスライドさせるとともに、そのスライドされた上記第1電極に接続する代表ピンに対して第1番側に隣接する1個の代表ピン及び第M番側の全ての代表ピンを上記第2電極に接続した状態で上記判定を行う工程。
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