JP4773304B2 - 検査装置および検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、各導体パターンの電気的検査に際して、所定の向きに沿って複数の信号線が並設された平形の接続ケーブルを介して検査対象の各導体パターン間に直流電圧を印加して電気的パラメータを測定する検査装置および検査方法に関するものである。

この種の検査方法に従って導体パターンを検査する検査装置として、複数のプローブ（プローブピン）を検査対象の回路基板における導体パターン（回路パターン）に接触させた状態において所定の電気的検査を実行する検査装置が特開２００３−６６０８８号公報に開示されている。この検査装置では、接続ケーブル（プリント配線基板）を介して各プローブと判定部とが相互に電気的に接続されて、接続ケーブルの各信号線および各プローブを介して判定部から各導体パターンに検査用信号を出力することにより、回路基板の導通、断線、絶縁および短絡等を検査する構成が採用されている。この場合、この検査装置では、上記の接続ケーブルとして、複数の信号線が所定の方向で並設されたフレキシブル回路基板（平形の接続ケーブル）が採用されている。

この検査装置を用いて、例えば検査対象の回路基板における各導体パターン間の絶縁を検査する際には、図５に示すように、各プローブ３ａｘ〜３ｈｘを検査対象基板１０ｘの各導体パターンＰａｘ〜Ｐｈｘに接触させる。なお、以下の説明においては、従来の検査装置に関連する構成要素、および検査対象の各構成要素に対して符号の末尾に「ｘ」を付して説明する。また、本発明についての理解を容易とするために、導体パターンＰａｘ〜Ｐｈｘの８つを有する検査対象基板１０ｘを対象としてプローブ３ａｘ〜３ｈｘの８本を使用して電気的検査を実行する例について説明する。この場合、この検査装置では、８本の導体パターンＰａｘ〜Ｐｈｘを対象とする絶縁検査に際して、判定部が、各信号線５ａｘ〜５ｈｘの判定部に対する接続態様を３回に亘って切り替えて、その都度、各導体パターンＰａｘ〜Ｐｈｘ間に直流電圧を印加することで、各導体パターンＰａｘ〜Ｐｈｘの相互間の絶縁状態を検査する。

具体的には、判定部は、図示しない接続切替部を制御して、一例として信号線５ａｘ，５ｃｘ，５ｅｘ，５ｇｘを高電位（Ｈレベル）に接続すると共に、信号線５ｂｘ，５ｄｘ，５ｆｘ，５ｈｘを低電位（Ｌレベル）に接続することにより、信号線５ａｘ，５ｃｘ，５ｅｘ，５ｇｘと信号線５ｂｘ，５ｄｘ，５ｆｘ，５ｈｘとの間に直流電圧を印加する。この際に、例えば導体パターンＰａｘ，Ｐｂｘ間に絶縁不良が生じている場合には、プローブ３ａｘ，３ｂｘの間を電流が導通する。したがって、判定部は、直流電圧を印加した状態において、プローブ３ａｘ，３ｃｘ，３ｅｘ，３ｇｘとプローブ３ｂｘ，３ｄｘ，３ｆｘ，３ｈｘとの間を基準値を超える電流が導通するか否かに基づき、導体パターンＰａｘ，Ｐｃｘ，Ｐｅｘ，Ｐｇｘと導体パターンＰｂｘ，Ｐｄｘ，Ｐｆｘ，Ｐｈｘとの相互間の絶縁を検査する。

次いで、図６に示すように、判定部は、一例として信号線５ａｘ，５ｂｘ，５ｅｘ，５ｆｘを高電位（Ｈレベル）に接続すると共に、信号線５ｃｘ，５ｄｘ，５ｇｘ，５ｈｘを低電位（Ｌレベル）に接続することにより、信号線５ａｘ，５ｂｘ，５ｅｘ，５ｆｘと信号線５ｃｘ，５ｄｘ，５ｇｘ，５ｈｘとの間に直流電圧を印加する。この際に、例えば導体パターンＰｂｘ，Ｐｃｘ間に絶縁不良が生じている場合には、プローブ３ｂｘ，３ｃｘの間を電流が導通する。したがって、判定部は、直流電圧を印加した状態において、プローブ３ａｘ，３ｂｘ，３ｅｘ，３ｆｘとプローブ３ｃｘ，３ｄｘ，３ｇｘ，３ｈｘとの間を基準値を超える電流が導通するか否かに基づき、導体パターンＰａｘ，Ｐｂｘ，Ｐｅｘ，Ｐｆｘと導体パターンＰｃｘ，Ｐｄｘ，Ｐｇｘ，Ｐｈｘとの相互間の絶縁を検査する。

続いて、図７に示すように、判定部は、信号線５ａｘ〜５ｄｘを高電位（Ｈレベル）に接続すると共に、信号線５ｅｘ〜５ｈｘを低電位（Ｌレベル）に接続することにより、信号線５ａｘ〜５ｄｘと信号線５ｅｘ〜５ｈｘとの間に直流電圧を印加する。この際に、例えば導体パターンＰｄｘ，Ｐｅｘ間に絶縁不良が生じている場合には、プローブ３ｄｘ，３ｅｘの間を電流が導通する。したがって、判定部は、直流電圧を印加した状態において、プローブ３ａｘ〜３ｄｆとプローブ３ｅｘ〜３ｈｘとの間を基準値を超える電流が導通するか否かに基づき、導体パターンＰａｘ〜Ｐｄｘと導体パターンＰｅｘ〜Ｐｈｘとの相互間の絶縁を検査する。以上の一例の検査により、検査対象基板１０ｘ上の各導体パターンＰａｘ〜Ｐｈｘの相互間の絶縁が検査される。
特開２００３−６６０８８号公報（第４−８頁、第１−４図）

ところが、従来の検査装置には、以下の問題点が存在する。すなわち、従来の検査装置では、各導体パターンＰａｘ〜Ｐｈｘに接触させるプローブ３ａｘ〜３ｈｘと判定部との間を、フレキシブル回路基板（複数の信号線５ａｘ〜５ｈｘが所定の方向で並設された平形の接続ケーブル）を用いて電気的に接続する構成が採用されている。この場合、図５に示すように、例えば導体パターンＰａｘ，Ｐｃｘ，Ｐｅｘ，Ｐｇｘと導体パターンＰｂｘ，Ｐｄｘ，Ｐｆｘ，Ｐｈｘとの相互間の絶縁検査に際して信号線５ａｘ，５ｃｘ，５ｅｘ，５ｇｘと信号線５ｂｘ，５ｄｘ，５ｆｘ，５ｈｘとの間に直流電圧を印加したときには、信号線５ａｘ，５ｂｘの間、信号線５ｂｘ，５ｃｘの間、信号線５ｃｘ，５ｄｘの間、信号線５ｄｘ，５ｅｘの間、信号線５ｅｘ，５ｆｘの間、信号線５ｆｘ，５ｇｘの間および信号線５ｇｘ，５ｈｘの間に線間浮遊容量Ｃ１ｘ〜Ｃ７ｘが生じる。なお、以下の説明において、信号線５ａｘ〜５ｈｘを区別しないときには、信号線５ｘともいう。

また、図６に示すように、導体パターンＰａｘ，Ｐｂｘ，Ｐｅｘ，Ｐｆｘと導体パターンＰｃｘ，Ｐｄｘ，Ｐｇｘ，Ｐｈｘとの相互間の絶縁検査に際して信号線５ａｘ，５ｂｘ，５ｅｘ，５ｆｘと信号線５ｃｘ，５ｄｘ，５ｇｘ，５ｈｘとの間に直流電圧を印加したときには、信号線５ｂｘ，５ｃｘの間、信号線５ｄｘ，５ｅｘの間および信号線５ｆｘ，５ｇｘの間に線間浮遊容量Ｃ１１ｘ〜Ｃ１３ｘが生じる。さらに、図７に示すように、導体パターンＰａｘ〜Ｐｄｘと導体パターンＰｅｘ〜Ｐｈｘとの相互間の絶縁検査に際して信号線５ａｘ〜５ｄｘと信号線５ｅｘ〜５ｈｘとの間に直流電圧を印加したときには、信号線５ｄｘ，５ｅｘの間に線間浮遊容量Ｃ２１ｘが生じる。

この場合、この種の検査装置では、上記の各信号線５ａｘ〜５ｈｘの長さが数ｍ程度と非常に長いため、上記の線間浮遊容量Ｃ１ｘ〜Ｃ７ｘ，Ｃ１１ｘ〜Ｃ１３ｘ，Ｃ２１ｘが比較的大きな容量となっている。このため、各信号線５ａｘ〜５ｈｘ間に直流電圧を印加した際には、上記の線間浮遊容量Ｃ１ｘ〜Ｃ７ｘ，Ｃ１１ｘ〜Ｃ１３ｘ，Ｃ２１ｘがチャージされるまで、高電位に接続されている各信号線５ｘと低電位に接続されている各信号線５ｘとの間に比較的大きな電流が導通することとなる。したがって、直流電圧を印加した直後に電流値を測定した場合、各導体パターンＰａｘ〜Ｐｈｘ間が正常に絶縁されている状態であったとしても、基準値を超える電流が測定されて、いずれかの導体パターンＰｘ，Ｐｘ間に絶縁不良が生じていると誤判定を招くおそれがある。

このため、従来の検査装置では、上記の線間浮遊容量Ｃ１ｘ〜Ｃ７ｘ，Ｃ１１ｘ〜Ｃ１３ｘ，Ｃ２１ｘへのチャージに際して導通する電流に起因していずれかの導体パターンＰｘ，Ｐｘ間に絶縁不良が生じているとの誤判定が生じるのを回避するために、直流電圧の印加を開始してから、高電位に接続されている各信号線５ｘと低電位に接続されている各信号線５ｘとの間が十分にチャージされるまで待機した後に電流を測定し、その測定結果に基づいて絶縁検査する構成が採用されている。したがって、従来の検査装置には、線間浮遊容量Ｃ１ｘ〜Ｃ７ｘ，Ｃ１１ｘ〜Ｃ１３ｘ，Ｃ２１ｘへのチャージが完了するまでの待機時間が長いことに起因して、すべての導体パターンＰａｘ〜Ｐｈｘの絶縁検査を完了するまでの時間が非常に長いという問題点がある。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、導体パターン間の絶縁検査に要する検査時間を短縮し得る検査装置および検査方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の検査装置は、所定の向きに沿って複数の信号線が並設された平形の接続ケーブルを介して検査対象の各導体パターン間に直流電圧を印加して電気的パラメータを測定する測定部と、前記各信号線と高電位および低電位のいずれかの電位との接続を切り替える切替部と、Ｎ（Ｎは、４以上の整数）本の前記導体パターンを検査する際に、前記切替部を制御して前記各信号線の接続切替えを（（Ｍ−１）＜ｌｏｇ_２Ｎ≦Ｍ（Ｍは整数））の条件を満たすＭ回行うと共に、当該各切り替えた状態において前記高電位に接続された当該各導体パターンと前記低電位に接続された当該各導体パターンとの間の前記電気的パラメータを前記測定部に測定させて当該Ｎ本の導体パターンについての電気的検査を実行する制御部とを備え、前記制御部は、前記Ｍ回の各電気的検査において、前記切替部を制御して、前記各信号線のうちの前記所定の向きで隣接して検査対象の一対の前記導体パターンに接続されている一対の信号線の一方を前記高電位および前記低電位のいずれか一方の電位に接続させると共に当該一方の信号線に対して前記所定の向きとは逆向き側において隣接する他の信号線が存在するときには当該他の信号線を当該いずれか一方の電位に接続させ、かつ前記一対の信号線の他方を前記高電位および前記低電位のいずれか他方の電位に接続させると共に当該他方の信号線に対して前記所定の向き側において隣接する他の信号線が存在するときには当該他の信号線を当該いずれか他方の電位に接続させる。

また、請求項２記載の検査装置は、請求項１記載の検査装置において、前記制御部は、前記Ｎ（Ｎは、２^Ｍで表される８以上の整数）本の前記導体パターンを検査する際に、第Ｌ（Ｌは１からＭの各々）の前記電気的検査において、２^{（Ｍ−Ｌ）}対の前記導体パターンを検査対象として当該各電気的検査を順不同で実行し、当該第Ｌ（Ｌは１）の電気的検査において、前記切替部を制御して両端のＬ本の前記各信号線を前記いずれか一方の電位に接続させると共に残りの（Ｎ−２×Ｌ）本の前記各信号線を当該２^{（Ｍ−Ｌ）}対の導体パターンを検査可能に前記いずれかの電位に接続させ、当該第Ｌ（Ｌは２から（Ｍ−１）の各々）の電気的検査において、当該切替部を制御して両端において隣接する２^{（Ｌ−１）}本の前記各信号線を当該いずれか一方の電位に接続させると共に残りの隣接する（Ｎ−２×２×（Ｌ−１））本の前記各信号線を当該２^{（Ｍ−Ｌ）}対の導体パターンを検査可能に当該いずれかの電位に接続させ、当該第Ｌ（ＬはＭ）の電気的検査において、当該切替部を制御して一方の端側で隣接する２^{（Ｌ−１）}本の前記各信号線を当該いずれか一方の電位に接続させると共に他方の端側で隣接する２^{（Ｌ−１）}本の前記各信号線を前記いずれか他方の電位に接続させる。

また、請求項３記載の検査方法は、所定の向きに沿って複数の信号線が並設された平形の接続ケーブルを介して検査対象の各導体パターン間に直流電圧を印加して電気的パラメータを測定する測定処理と、前記各信号線と高電位および低電位のいずれかの電位との接続を切り替える切替え処理とを実行してＮ（Ｎは、４以上の整数）本の前記導体パターンについての電気的検査を実行する際に、前記切替え処理を（（Ｍ−１）＜ｌｏｇ_２Ｎ≦Ｍ（Ｍは整数））の条件を満たすＭ回行うと共に、当該各切り替えた状態において前記測定処理として前記高電位に接続された当該各導体パターンと前記低電位に接続された当該各導体パターンとの間の前記電気的パラメータを測定する検査方法であって、
前記Ｍ回の各電気的検査において、前記切替え処理として、前記各信号線のうちの前記所定の向きで隣接して検査対象の一対の前記導体パターンに接続されている一対の信号線の一方を前記高電位および前記低電位のいずれか一方の電位に接続すると共に当該一方の信号線に対して前記所定の向きとは逆向き側において隣接する他の信号線が存在するときには当該他の信号線を当該いずれか一方の電位に接続し、かつ前記一対の信号線の他方を前記高電位および前記低電位のいずれか他方の電位に接続すると共に当該他方の信号線に対して前記所定の向き側において隣接する他の信号線が存在するときには当該他の信号線を当該いずれか他方の電位に接続する。

また、請求項４記載の検査方法は、請求項３記載の検査方法において、前記Ｎ（Ｎは、２^Ｍで表される８以上の整数）本の前記導体パターンを検査する際に、第Ｌ（Ｌは１からＭの各々）の前記電気的検査において２^{（Ｍ−Ｌ）}対の前記導体パターンを検査対象として当該各電気的検査を順不同で実行し、当該第Ｌ（Ｌは１）の電気的検査において、前記切替え処理として両端のＬ本の前記各信号線を前記いずれか一方の電位に接続すると共に残りの（Ｎ−２×Ｌ）本の前記各信号線を当該２^{（Ｍ−Ｌ）}対の導体パターンを検査可能に前記いずれかの電位に接続し、当該第Ｌ（Ｌは２から（Ｍ−１）の各々）の電気的検査において、当該切替え処理として両端において隣接する２^{（Ｌ−１）}本の前記各信号線を当該いずれか一方の電位に接続すると共に残りの隣接する（Ｎ−２×２×（Ｌ−１））本の前記各信号線を当該２^{（Ｍ−Ｌ）}対の導体パターンを検査可能に当該いずれかの電位に接続し、当該第Ｌ（ＬはＭ）の電気的検査において、当該切替え処理として一方の端側で隣接する２^{（Ｌ−１）}本の前記各信号線を当該いずれか一方の電位に接続すると共に他方の端側で隣接する２^{（Ｌ−１）}本の前記各信号線を前記いずれか他方の電位に接続する。

請求項１記載の検査装置および請求項３記載の検査方法では、（（Ｍ−１）＜ｌｏｇ_２Ｎ≦Ｍ（Ｍは整数））の条件を満たすＭ回の各電気的検査において、接続ケーブルの各信号線のうちの所定の向きで隣接して検査対象の一対の導体パターンに接続されている一対の信号線の一方を高電位および低電位のいずれか一方の電位に接続すると共に一方の信号線に対して所定の向きとは逆向き側において隣接する他の信号線が存在するときには他の信号線を上記のいずれか一方の電位に接続し、かつ一対の信号線の他方を高電位および低電位のいずれか他方の電位に接続すると共に他方の信号線に対して所定の向き側において隣接する他の信号線が存在するときには他の信号線を上記のいずれか他方の電位に接続する。

したがって、請求項１記載の検査装置および請求項３記載の検査方法によれば、Ｍ回の各電気的検査のすべてにおいて、上記の一方の信号線と、その一方の信号線に対して所定の向きとは逆向き側において隣接する他の信号線との間に線間浮遊容量が生じることがなく、また、上記の他方の信号線と、その他方の信号線に対して所定の向き側において隣接する他の信号線との間に線間浮遊容量が生じることがないため、絶縁検査に際して直流電圧を印加した際に、各信号線間の線間浮遊容量へのチャージに要する時間を十分に短縮することができる。これにより、直流電圧の印加を開始してから十分に短い時間だけ待機しただけで電流値を測定したとしても、線間浮遊容量のチャージに起因する電流値を検出して各導体パターン間に絶縁不良が生じているとの誤判定を招くことなく、結果として、十分に短時間で各導体パターンの絶縁検査を行うことができる。

また、請求項２記載の検査装置および請求項４記載の検査方法では、Ｎ（Ｎは、２^Ｍで表される８以上の整数）本の導体パターンを検査する際に、第Ｌ（Ｌは１からＭの各々）の電気的検査において２^{（Ｍ−Ｌ）}対の導体パターンを検査対象として各電気的検査を順不同で実行し、第Ｌ（Ｌは１）の電気的検査において、両端のＬ本の各信号線を高電位および低電位のいずれか一方の電位に接続すると共に残りの（Ｎ−２×Ｌ）本の各信号線を２^{（Ｍ−Ｌ）}対の導体パターンを検査可能に高電位および低電位のいずれかの電位に接続し、第Ｌ（Ｌは２から（Ｍ−１）の各々）の電気的検査において、両端において隣接する２^{（Ｌ−１）}本の各信号線を上記のいずれか一方の電位に接続すると共に残りの隣接する（Ｎ−２×２×（Ｌ−１））本の各信号線を２^{（Ｍ−Ｌ）}対の導体パターンを検査可能に上記のいずれかの電位に接続し、第Ｌ（ＬはＭ）の電気的検査において、一方の端側で隣接する２^{（Ｌ−１）}本の各信号線を上記のいずれか一方の電位に接続すると共に他方の端側で隣接する２^{（Ｌ−１）}本の各信号線を高電位および低電位のいずれか他方の電位に接続する。

したがって、請求項２記載の検査装置および請求項４記載の検査方法によれば、Ｍ回の各電気的検査のすべてにおいて、各信号線間に生じる線間浮遊容量を十分に小さくすることができる。これにより、各導体パターンの絶縁検査に要する時間を十分に短縮することができる。具体的には、例えば、８つの導体パターンを検査対象として、かつ各導体パターン間の線間浮遊容量が互いに等しいＣとしたときには、従来の検査装置では、１１×Ｃの線間浮遊容量をチャージする充電時間を要していたのに対して、この回路基板検査装置１では、７×Ｃの線間浮遊容量をチャージする充電時間まで短縮することができる。なお、検査対象の導体パターンの数が多くなればなるほど、充電時間を短縮することができるのは勿論である。

以下、本発明に係る検査装置および検査方法の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、回路基板検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。

図１に示す回路基板検査装置１は、本発明に係る検査方法に従って検査対象基板１０（図２〜４参照）を電気的に検査する検査装置であって、プローブ保持部２、Ｎ本のプローブ３ａ〜３Ｎ、測定部４、接続ケーブル５、切替部６、制御部７および記憶部８を備えている。この場合、この回路基板検査装置１は、検査対象基板１０に形成されている導体パターンＰ（図２〜４参照）の数に応じて、例えば１０００本程度のプローブ３ａ〜３Ｎを備えて構成されているが、本発明についての理解を容易とするために、一例として、検査対象基板１０に８つの導体パターンＰ（Ｐａ〜Ｐｈ）が形成され、この導体パターンＰａ〜Ｐｈの相互間の絶縁をプローブ３ａ〜３ｈ（Ｎ＝８の例）を用いて検査する例について以下に説明する。

プローブ保持部２は、プローブ３ａ〜３ｈの基端部を保持する。プローブ３ａ〜３ｈは、いわゆる伸縮型のピンプローブであって、その基端部がプローブ保持部２によって保持されると共に接続ケーブル５および切替部６を介して測定部４に電気的に接続される。なお、図２〜４では、本発明についての理解を容易とするために、各プローブ３ａ〜３ｈが横一列に並んだ状態を図示しているが、実際には、プローブ３ａ〜３ｈを接触させるべき各導体パターンＰａ〜Ｐｈの検査対象基板１０上における位置に対応する位置においてプローブ保持部２によって保持されている。測定部４は、制御部７からの制御信号Ｓ２に従い、後述するように、接続ケーブル５を介してプローブ３ａ〜３ｈに検査用信号としての直流電圧を印加した状態において、高電位に接続されているプローブ３と低電位に接続されているプローブ３との間を導通する電流を測定して、その測定値Ｄ１を制御部７に出力する。

接続ケーブル５は、プローブ３ａ〜３ｈの本数（この例では、８本）に応じた数の信号線５ａ〜５Ｎ（この例では、信号線５ａ〜５ｈの８本）が横一列に並設された（所定の向きに沿って並設された）いわゆるフラットケーブル（本発明における平形ケーブル）であって、信号線５ａ〜５ｈの各一端部がプローブ３ａ〜３ｈに接続される共に、他端部が切替部６を介して測定部４に電気的に接続される。なお、図２〜４では、同図における左から右への向きが本発明における「所定の向き」に相当する。切替部６は、図１に示すように、別個独立して切り替えが可能なスイッチ６ａ〜６Ｎ（この例では、スイッチ６ａ〜６ｈの８つ）を備え、制御部７からの制御信号Ｓ１に従い、信号線５ａ〜５ｈのうちの所定の４本を測定部４から測定用信号を出力する高電位側端子（本明細書では単に高電位（Ｈレベル）ともいう）に接続すると共に、信号線５ａ〜５ｈのうちの他の４本を測定部４から測定用信号を出力する低電位側端子（本明細書では単に低電位（Ｌレベル）ともいう）に接続する。

制御部７は、回路基板検査装置１を総括的に制御する。具体的には、制御部７は、切替部６を制御して各信号線５ａ〜５ｈを測定部４の高電位および低電位のいずれかに接続させる接続切替え処理を実行する。この場合、制御部７は、Ｎ（この例では、Ｎ＝８）本の導体パターンＰａ〜Ｐｈを検査する際に、切替部６を制御して上記の接続切替え処理を（（Ｍ−１）＜ｌｏｇ_２Ｎ≦Ｍ（Ｍは整数））の条件を満たすＭ（この例では、Ｍ＝３）回実行する。また、制御部７は、測定部４を制御して、導体パターンＰａ〜Ｐｈ間に直流電圧を印加させた状態において高電位に接続されているプローブ３と低電位に接続されているプローブ３との間を導通する電流値（電気的パラメータの一例）を測定させる測定処理を実行させる。さらに、制御部７は、測定部４から出力された測定値Ｄ１と記憶部８に記憶されている検査用基準データＤ２とに基づき、各導体パターンＰａ〜Ｐｈ間の絶縁状態を電気的に検査する。記憶部８は、上記の検査用基準データＤ２や制御部７の動作プログラムなどを記憶する。

次に、回路基板検査装置１による検査対象基板１０の検査方法について、図面を参照して説明する。

まず、図２に示すように、各プローブ３ａ〜３ｈを検査対象基板１０の各導体パターンＰａ〜Ｐｈに接触させる。次いで、制御部７は、切替部６を制御して測定部４に対する信号線５ａ〜５ｈの接続を切り替える上記の接続切替え処理と、測定部４を制御して上記の測定処理を実行させて測定値Ｄ１を出力させる処理とを３回に亘って実行することで、導体パターンＰａ〜Ｐｈの相互間の絶縁状態を電気的に検査する。

具体的には、第１回目の電気的検査として、制御部７は、切替部６に制御信号Ｓ１を出力することにより、一例として信号線５ａ，５ｄ，５ｅ，５ｈを高電位（Ｈレベル）に接続すると共に、信号線５ｂ，５ｃ，５ｆ，５ｇを低電位（Ｌレベル）に接続させる。この接続形態では、信号線５ａ，５ｂ、信号線５ｃ，５ｄ、信号線５ｅ，５ｆおよび信号線５ｇ，５ｈがそれぞれ本発明における「一対の信号線」に相当する。また、この接続形態では、信号線５ｂ，５ｄ，５ｆが本発明における「一方の信号線に対して所定の向きとは逆向き側において隣接する他の信号線」に相当し、信号線５ｃ，５ｅ，５ｇが本発明における「他方の信号線に対して所定の向き側において隣接する他の信号線」に相当する。さらに、この第１回目の電気的検査を本発明における「第Ｌ（Ｌ＝１）の電気的検査」とした場合、信号線５ａおよび信号線５ｅが本発明における「Ｌの信号線」（この例では、１本）に相当し、信号線５ｂ〜５ｇが本発明における「（Ｎ−２×Ｌ）本の信号線」（この例では、６本）に相当する。

次いで、制御部７は、測定部４に制御信号Ｓ２を出力することにより、切替部６の各スイッチ６ａ〜６ｈを介して高電位側に接続された信号線５ａ，５ｄ，５ｅ，５ｈと、低電位側に接続された信号線５ｂ，５ｃ，５ｆ，５ｇとの間に一例として、所定電圧の直流電圧を検査用信号として印加させる。続いて、測定部４は、信号線５ａ〜５ｈ間に生じる線間浮遊容量へのチャージが完了するまでの所定時間だけ待機した後に、プローブ３ａ，３ｄ，３ｅ，３ｈとプローブ３ｂ，３ｃ，３ｆ，３ｇとの間を導通する電流値を測定して測定値Ｄ１を制御部７に出力する（本発明における「測定処理」の実行）。

この場合、この回路基板検査装置１では、第１回目の電気的に検査に際して接続ケーブル５およびプローブ３ａ〜３ｈを介して各導体パターンＰａ〜Ｐｈ間に直流電圧を印加した状態において、信号線５ａ，５ｂの間、信号線５ｃ，５ｄの間、信号線５ｅ，５ｆの間および信号線５ｇ，５ｈの間に線間浮遊容量Ｃ１〜Ｃ４が生じる。その一方で、信号線５ｂ，５ｃが互いに同電位に接続され、信号線５ｄ，５ｅが互いに同電位に接続され、かつ信号線５ｆ，５ｇが互いに同電位に接続されているため、信号線５ｂ，５ｃの間、信号線５ｄ，５ｅの間および信号線５ｆ，５ｇの間に線間浮遊容量が生じない。このため、上記の線間浮遊容量Ｃ１〜Ｃ４の合成容量が、従来の検査装置における第１回目の電気的検査（図５参照）時に信号線５ａｘ〜５ｈｘ間に生じる線間浮遊容量Ｃ１ｘ〜Ｃ７ｘの合成容量よりも十分に小さくなっており、短時間でチャージが完了する。したがって、測定部４は、従来の検査装置における第１回目の電気的検査のときよりも短い所定時間だけ待機した後に電流値を測定する。

一方、制御部７は、測定部４から出力された測定値Ｄ１と記憶部８に記憶されている検査用基準データＤ２とに基づき、測定部４によって測定された電流値が基準値以内の値であるか否かを判定する。この際に、例えば導体パターンＰａ，Ｐｂ間に絶縁不良が生じている場合には、プローブ３ａ，３ｂの間を電流が導通する。したがって、制御部７は、直流電圧を印加した状態において、プローブ３ａ，３ｄ，３ｅ，３ｈとプローブ３ｂ，３ｃ，３ｆ，３ｇとの間を基準値を超える電流が導通するか否かに基づき、導体パターンＰａ，Ｐｄ，Ｐｅ，Ｐｈと導体パターンＰｂ，Ｐｃ，Ｐｆ，Ｐｇとの相互間の絶縁を検査する。具体的には、制御部７は、基準値を超える電流が導通したときには、導体パターンＰａ，Ｐｂの間、導体パターンＰｃ，Ｐｄの間、導体パターンＰｅ，Ｐｆの間および導体パターンＰｇ，Ｐｈの間のいずれかに絶縁不良が生じている（短絡が生じている）と判別し、電流が基準値以下のときには、いずれにも短絡が生じておらず良好な絶縁状態であると判別する。これにより、検査対象基板１０についての第１回目の電気的検査が完了する。

次いで、制御部７は、導体パターンＰａ〜Ｐｈに対するプローブ３ａ〜３ｈの接続を維持した状態において、第２回目の電気的検査として、切替部６に制御信号Ｓ１を出力することにより、図３に示すように、一例として信号線５ａ，５ｂ，５ｇ，５ｈを高電位（Ｈレベル）に接続すると共に、信号線５ｃ〜５ｆを低電位（Ｌレベル）に接続させる。この接続形態では、信号線５ｂ，５ｃおよび信号線５ｆ，５ｇがそれぞれ本発明における「一対の信号線」に相当する。また、この接続形態では、信号線５ａおよび信号線５ｃ〜５ｅが本発明における「一方の信号線に対して所定の向きとは逆向き側において隣接する他の信号線」に相当し、信号線５ｄ〜５ｆおよび信号線５ｈが本発明における「他方の信号線に対して所定の向き側において隣接する他の信号線」に相当する。さらに、この第２回目の電気的検査を本発明における「第Ｌ（Ｌ＝２〜（Ｍ−１）：この例では、Ｌ＝２）の電気的検査」とした場合、信号線５ａ，５ｂおよび信号線５ｇ，５ｈが本発明における「両端において隣接する２^{（Ｌ−１）}本の信号線」（この例では、２本）に相当し、信号線５ｃ〜５ｆが本発明における「（Ｎ−２×２×（Ｌ−１））本の信号線」（この例では、４本）に相当する。

続いて、制御部７は、測定部４に制御信号Ｓ２を出力することにより、切替部６の各スイッチ６ａ〜６ｈを介して高電位側に接続された信号線５ａ，５ｂ，５ｇ，５ｈと、低電位側に接続された信号線５ｃ〜５ｆとの間に直流電圧を印加させる。また、測定部４は、信号線５ａ〜５ｈ間に生じる線間浮遊容量へのチャージが完了するまでの所定時間だけ待機した後に、プローブ３ａ，３ｂ，３ｇ，３ｈとプローブ３ｃ〜３ｆとの間を導通する電流値を測定して測定値Ｄ１を制御部７に出力する（本発明における「測定処理」の実行）。

この場合、この回路基板検査装置１では、第２回目の電気的に検査に際して接続ケーブル５およびプローブ３ａ〜３ｈを介して各導体パターンＰａ〜Ｐｈ間に直流電圧を印加した状態において、信号線５ｂ，５ｃの間および信号線５ｆ，５ｇの間に線間浮遊容量Ｃ１１，Ｃ１２が生じる。その一方、信号線５ａ，５ｂが互いに同電位に接続され、信号線５ｃ〜５ｆが互いに同電位に接続され、かつ信号線５ｇ，５ｈが互いに同電位に接続されているため、信号線５ａ，５ｂの間、信号線５ｃ，５ｄの間、信号線５ｄ，５ｅの間、信号線５ｅ，５ｆの間および信号線５ｇ，５ｈの間に線間浮遊容量が生じない。

このため、信号線５ｄ，５ｅの間に線間浮遊容量が生じていない分だけ、上記の線間浮遊容量Ｃ１１，Ｃ１２の合成容量が、従来の検査装置における第２回目の電気的検査（図６参照）時に信号線５ａｘ〜５ｈｘ間に生じる線間浮遊容量Ｃ１１ｘ〜Ｃ１３ｘの合成容量よりも十分に小さくなっており、短時間でチャージが完了する。したがって、測定部４は、従来の検査装置における第２回目の電気的検査のときよりも短い所定時間だけ待機した後に電流値を測定する。一方、制御部７は、測定部４から出力された測定値Ｄ１と記憶部８に記憶されている検査用基準データＤ２とに基づき、上記したように、測定部４によって測定された電流値が基準値以内の値であるか否かを判定する。これにより、検査対象基板１０についての第２回目の電気的検査が完了する。

次いで、制御部７は、導体パターンＰａ〜Ｐｈに対するプローブ３ａ〜３ｈの接続を維持した状態において、第３回目の電気的検査として、切替部６に制御信号Ｓ１を出力することにより、図４に示すように、一例として信号線５ａ〜５ｄを高電位（Ｈレベル）に接続すると共に、信号線５ｅ〜５ｈを低電位（Ｌレベル）に接続させる。この接続形態では、信号線５ｄ，５ｅが本発明における「一対の信号線」に相当する。また、この接続形態では、信号線５ａ〜５ｃが本発明における「一方の信号線に対して所定の向きとは逆向き側において隣接する他の信号線」に相当し、信号線５ｆ〜５ｈが本発明における「他方の信号線に対して所定の向き側において隣接する他の信号線」に相当する。さらに、この第３回目の電気的検査を本発明における「第Ｌ（Ｌ＝Ｍ）の電気的検査」とした場合、信号線５ａ〜５ｄが本発明における「一方の端側で隣接する２^{（Ｌ−１）}の各信号線」（この例では、４本）に相当し、信号線５ｅ〜５ｈが本発明における「他方の端側で隣接する２^{（Ｌ−１）}の各信号線」（この例では、４本）に相当する。

続いて、制御部７は、測定部４に制御信号Ｓ２を出力することにより、切替部６の各スイッチ６ａ〜６ｈを介して高電位側に接続された信号線５ａ〜５ｄと、低電位側に接続された信号線５ｅ〜５ｈとの間に直流電圧を印加させる。また、測定部４は、信号線５ａ〜５ｈ間に生じる線間浮遊容量へのチャージが完了するまでの所定時間だけ待機した後に、プローブ３ａ〜３ｄとプローブ３ｅ〜３ｈとの間を導通する電流値測定して測定値Ｄ１を制御部７に出力する（本発明における「測定処理」の実行）。

この場合、この回路基板検査装置１では、第３回目の電気的に検査に際して接続ケーブル５およびプローブ３ａ〜３ｈを介して各導体パターンＰａ〜Ｐｈ間に直流電圧を印加した状態において、信号線５ｄ，５ｅの間に線間浮遊容量Ｃ２１が生じる。この線間浮遊容量Ｃ２１は、従来の検査装置における第３回目の電気的検査（図７参照）時に信号線５ａｘ〜５ｈｘ間に生じる線間浮遊容量Ｃ２１ｘと同等となっている。したがって、測定部４は、従来の検査装置における第３回目の電気的検査のときと同等の時間だけ待機した後に電流値を測定する。一方、制御部７は、測定部４から出力された測定値Ｄ１と記憶部８に記憶されている検査用基準データＤ２とに基づき、測定部４によって測定された電流値が基準値以内の値であるか否かを判定する。これにより、検査対象基板１０についての第３回目の電気的検査が完了する。

以上の３回に亘る検査により、検査対象基板１０上のすべての導体パターンＰａ〜Ｐｈの相互間の絶縁状態が検査される。具体的には、上記の３回の検査のすべてにおいて、基準値を超える電流値が測定されなかったときに、制御部７は、すべての導体パターンＰａ〜Ｐｈの相互間が良好な絶縁状態であると判別して、検査対象基板１０を良品と判定して一連の検査処理を終了する。

このように、この回路基板検査装置１による検査対象基板１０の検査方法では、（（Ｍ−１）＜ｌｏｇ_２Ｎ≦Ｍ（Ｍは整数））の条件を満たすＭ回（この例では、３回）の各電気的検査（例えば、上記の１回目の検査）において、接続ケーブル５の各信号線５ａ〜５ｈのうちの所定の向きで隣接して検査対象の一対の導体パターンＰａ〜Ｐｈに接続されている一対の信号線（例えば、信号線５ｂ，５ｃ）の一方（例えば、信号線５ｂ）を高電位および低電位のいずれか一方の電位（例えば、高電位）に接続すると共に一方の信号線に対して所定の向きとは逆向き側において隣接する他の信号線が存在するときには他の信号線（この例では、信号線５ａ）を上記のいずれか一方の電位（この例では、高電位）に接続し、かつ一対の信号線の他方（この例では、信号線５ｃ）を高電位および低電位のいずれか他方の電位（この例では、低電位）に接続すると共に他方の信号線に対して所定の向き側において隣接する他の信号線が存在するときには他の信号線（この例では、信号線５ｄ）を上記のいずれか他方の電位（この例では、低電位）に接続する。

したがって、この回路基板検査装置１による検査対象基板１０の検査方法によれば、Ｍ回の各電気的検査のすべてにおいて、上記の一方の信号線と、その一方の信号線に対して所定の向きとは逆向き側において隣接する他の信号線との間に線間浮遊容量が生じることがなく、また、上記の他方の信号線と、その他方の信号線に対して所定の向き側において隣接する他の信号線との間に線間浮遊容量が生じることがないため、絶縁検査に際して直流電圧を印加した際に、信号線５ａ〜５ｈ間の線間浮遊容量へのチャージに要する時間を十分に短縮することができる。これにより、直流電圧の印加を開始してから十分に短い時間だけ待機しただけで電流値を測定したとしても、線間浮遊容量のチャージに起因する電流値を検出して導体パターンＰａ〜Ｐｈ間に絶縁不良が生じているとの誤判定を招くことなく、結果として、十分に短時間で導体パターンＰａ〜Ｐｈの絶縁検査を行うことができる。

また、この回路基板検査装置１による検査対象基板１０の検査方法では、Ｎ（Ｎは、２^Ｍで表される８以上の整数：この例は、Ｎ＝８）本の導体パターンＰａ〜Ｐｈを検査する際に、第Ｌ（Ｌは１からＭの各々：この例では、Ｍ＝３）の電気的検査において、２^{（Ｍ−Ｌ）}対（この例では、１対〜３対）の導体パターンを検査対象として各電気的検査を順不同で実行し、第Ｌ（Ｌは１）の電気的検査（例えば、上記の第１回目の検査）において、両端のＬの各信号線（この例では、信号線５ａ，５ｈ）を高電位および低電位のいずれか一方の電位（この例では、高電位）に接続すると共に残りの（Ｎ−２×Ｌ）本の各信号線（この例では、信号線５ｂ〜５ｇの６本）を２^{（Ｍ−Ｌ）}対の導体パターン（この例では、導体パターンＰａ，Ｐｂ、Ｐｃ，Ｐｄ、Ｐｅ，Ｐｆ、Ｐｇ，Ｐｈの４対の導体パターン）を検査可能に高電位および低電位のいずれかの電位に接続し、第Ｌ（Ｌは２から（Ｍ−１）の各々）の電気的検査（例えば、上記の第２回目の検査）において、両端において隣接する２^{（Ｌ−１）}本の各信号線（この例では、信号線５ａ，５ｂおよび信号線５ｇ，５ｈ）を上記のいずれか一方の電位（この例では、高電位）に接続すると共に残りの隣接する（Ｎ−２×２×（Ｌ−１））本の各信号線（この例では、信号線５ｃ〜５ｆの４本）を２^{（Ｍ−Ｌ）}対の導体パターン（この例では、導体パターンＰｂ，Ｐｃ、Ｐｆ，Ｐｇの２対の導体パターン）を検査可能に上記のいずれかの電位に接続し、第Ｌ（ＬはＭ）の電気的検査（例えば、上記の第３回目の検査）において、一方の端側で隣接する２^{（Ｌ−１）}本の各信号線（この例では、信号線５ａ〜５ｄの４本）を上記のいずれか一方の電位（この例では、高電位）に接続すると共に他方の端側で隣接する２^{（Ｌ−１）}本の各信号線（この例では、信号線５ｅ〜５ｈの４本）を高電位および低電位のいずれか他方の電位（この例では、低電位）に接続する。

したがって、この回路基板検査装置１による検査対象基板１０の検査方法によれば、Ｍ回の各電気的検査のすべてにおいて、信号線５ａ〜５ｈ間に生じる線間浮遊容量を十分に小さくすることができる。これにより、導体パターンＰａ〜Ｐｈの絶縁検査に要する時間を十分に短縮することができる。具体的には、例えば、８つの導体パターンＰａ〜Ｐｈを検査対象として、かつ各導体パターンＰａ〜Ｐｈ間の線間浮遊容量が互いに等しいＣ１としたときには、従来の検査装置では、１１×Ｃ１の線間浮遊容量をチャージする充電時間を要していたのに対して、この回路基板検査装置１では、７×Ｃ１の線間浮遊容量をチャージする充電時間まで短縮することができる。なお、検査対象の導体パターンの数が多くなればなるほど、充電時間を短縮することができるのは勿論である。

なお、本発明は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、導体パターンＰａ〜Ｐｈの８つを検査対象とする３回の電気的検査時における各回毎の高電位および低電位のいずれかに対する信号線５ａ〜５ｈの接続形態は、上記のように例示した接続形態に限定されない。例えば、上記の第３回目の電気的検査（図４参照）を最初に実行すると共に上記の第１回目（図２参照）の電気的検査を最後に実行する構成や、上記の第２回目の電気的検査（図５参照）を最初に実行すると共に上記の第１回目の電気的検査（図２参照）を最後に実行する構成を採用することができる。このように、本発明における第Ｌの電気的検査や第Ｍの電気的検査を実行する順序を適宜変更した（つまり順不同とした）としても、本発明のように信号線５ａ〜５ｈを高電位および低電位に接続することによって、Ｍ回の電気的検査の各回毎の線間浮遊容量を十分に小さくすることができる結果、絶縁検査に要する時間を十分に短縮することができる。

また、プローブ３ａ〜３ｈを備えた回路基板検査装置１について説明したが、本発明における検査装置の構成はこれに限定されず、例えば、検査対象基板に配設された接続コネクタに対して、接続ケーブル５の一端部に設けた接続コネクタを挿入して検査対象基板上の導体パターンと接続ケーブル５とを接続して電気的検査を実行する構成を採用することができる。また、８（２^３）本の導体パターンＰａ〜Ｐｈを検査対象とする例について説明したが、これに限らず、より多くの本数の（例えば２^４，２^５，２^６等）導体パターンを検査対象とすることができる。

具体的には、例えば、２^４＝１６本の導体パターンを検査対象とした場合、本発明のＭ回の検査として、４回の電気的検査を実行する。この際には、本発明における第Ｌ（Ｌ＝１）の検査時には、本発明における切替え処理として、測定ケーブル５の各信号線を端部側から順に「Ｈ、Ｌ、Ｌ、Ｈ、Ｈ、Ｌ、Ｌ、Ｈ、Ｈ、Ｌ、Ｌ、Ｈ、Ｈ、Ｌ、Ｌ、Ｈ（Ｈは高電位、Ｌは低電位を表す）」のように接続し、本発明における第Ｌ（Ｌ＝２から（Ｍ−１）の各々：例えば、Ｌ＝２）の検査時には、本発明における切替え処理として、各信号線を端部側から順に「Ｈ、Ｈ、Ｌ、Ｌ、Ｌ、Ｌ、Ｈ、Ｈ、Ｈ、Ｈ、Ｌ、Ｌ、Ｌ、Ｌ、Ｈ、Ｈ」のように接続し、本発明における第Ｌ（Ｌ＝２から（Ｍ−１）の各々：例えば、Ｌ＝３）の検査時には、本発明における切替え処理として、各信号線を端部側から順に「Ｈ、Ｈ、Ｈ、Ｈ、Ｌ、Ｌ、Ｌ、Ｌ、Ｌ、Ｌ、Ｌ、Ｌ、Ｈ、Ｈ、Ｈ、Ｈ」のように接続し、本発明における第Ｌ（Ｌ＝Ｍ：この例では、Ｌ＝４）の検査時には、本発明における切替え処理として、各信号線を端部側から順に「Ｈ、Ｈ、Ｈ、Ｈ、Ｈ、Ｈ、Ｈ、Ｈ、Ｌ、Ｌ、Ｌ、Ｌ、Ｌ、Ｌ、Ｌ、Ｌ」のように接続することで、各電気的検査時において信号線の間に生じる線間浮遊容量を十分に小さくすることができる。

回路基板検査装置１の構成を示すブロック図である。 回路基板検査装置１による第１回目の絶縁検査時における各信号線５ａ〜５ｈの各電位への接続形態と、信号線５ａ〜５ｈ間に生じる線間浮遊容量Ｃ１〜Ｃ４との関係について説明するための説明図である。 回路基板検査装置１による第２回目の絶縁検査時における各信号線５ａ〜５ｈの各電位への接続形態と、信号線５ａ〜５ｈ間に生じる線間浮遊容量Ｃ１１，Ｃ１２との関係について説明するための説明図である。 回路基板検査装置１による第３回目の絶縁検査時における各信号線５ａ〜５ｈの各電位への接続形態と、信号線５ａ〜５ｈ間に生じる線間浮遊容量Ｃ２１との関係について説明するための説明図である。 従来の検査装置による第１回目の絶縁検査時における各信号線５ａｘ〜５ｈｘの各電位への接続形態と、信号線５ａｘ〜５ｈｘ間に生じる線間浮遊容量Ｃ１ｘ〜Ｃ７ｘとの関係について説明するための説明図である。 従来の検査装置による第２回目の絶縁検査時における各信号線５ａｘ〜５ｈｘの各電位への接続形態と、信号線５ａｘ〜５ｈｘ間に生じる線間浮遊容量Ｃ１１ｘ〜Ｃ１３ｘとの関係について説明するための説明図である。 従来の検査装置による第３回目の絶縁検査時における各信号線５ａｘ〜５ｈｘの各電位への接続形態と、信号線５ａｘ〜５ｈｘ間に生じる線間浮遊容量Ｃ２１ｘとの関係について説明するための説明図である。

符号の説明

１ 回路基板検査装置
２ プローブ保持部
３ａ〜３Ｎ プローブ
４ 測定部
５ 接続ケーブル
５ａ〜５Ｎ 信号線
６ 切替部６
６ａ〜６Ｎ スイッチ
７ 制御部
１０ 検査対象基板
Ｃ１〜Ｃ４，Ｃ１１，Ｃ１２，Ｃ２１ 線間浮遊容量
Ｄ１ 測定値
Ｄ２ 検査用基準データ
Ｐａ〜Ｐｈ 導体パターン
Ｓ１，Ｓ２ 制御信号

Claims (4)

1. 所定の向きに沿って複数の信号線が並設された平形の接続ケーブルを介して検査対象の各導体パターン間に直流電圧を印加して電気的パラメータを測定する測定部と、前記各信号線と高電位および低電位のいずれかの電位との接続を切り替える切替部と、Ｎ（Ｎは、４以上の整数）本の前記導体パターンを検査する際に、前記切替部を制御して前記各信号線の接続切替えを（（Ｍ−１）＜ｌｏｇ_２Ｎ≦Ｍ（Ｍは整数））の条件を満たすＭ回行うと共に、当該各切り替えた状態において前記高電位に接続された当該各導体パターンと前記低電位に接続された当該各導体パターンとの間の前記電気的パラメータを前記測定部に測定させて当該Ｎ本の導体パターンについての電気的検査を実行する制御部とを備え、
   前記制御部は、前記Ｍ回の各電気的検査において、前記切替部を制御して、前記各信号線のうちの前記所定の向きで隣接して検査対象の一対の前記導体パターンに接続されている一対の信号線の一方を前記高電位および前記低電位のいずれか一方の電位に接続させると共に当該一方の信号線に対して前記所定の向きとは逆向き側において隣接する他の信号線が存在するときには当該他の信号線を当該いずれか一方の電位に接続させ、かつ前記一対の信号線の他方を前記高電位および前記低電位のいずれか他方の電位に接続させると共に当該他方の信号線に対して前記所定の向き側において隣接する他の信号線が存在するときには当該他の信号線を当該いずれか他方の電位に接続させる検査装置。
2. 前記制御部は、前記Ｎ（Ｎは、２^Ｍで表される８以上の整数）本の前記導体パターンを検査する際に、第Ｌ（Ｌは１からＭの各々）の前記電気的検査において、２^{（Ｍ−Ｌ）}対の前記導体パターンを検査対象として当該各電気的検査を順不同で実行し、当該第Ｌ（Ｌは１）の電気的検査において、前記切替部を制御して両端のＬ本の前記各信号線を前記いずれか一方の電位に接続させると共に残りの（Ｎ−２×Ｌ）本の前記各信号線を当該２^{（Ｍ−Ｌ）}対の導体パターンを検査可能に前記いずれかの電位に接続させ、当該第Ｌ（Ｌは２から（Ｍ−１）の各々）の電気的検査において、当該切替部を制御して両端において隣接する２^{（Ｌ−１）}本の前記各信号線を当該いずれか一方の電位に接続させると共に残りの隣接する（Ｎ−２×２×（Ｌ−１））本の前記各信号線を当該２^{（Ｍ−Ｌ）}対の導体パターンを検査可能に当該いずれかの電位に接続させ、当該第Ｌ（ＬはＭ）の電気的検査において、当該切替部を制御して一方の端側で隣接する２^{（Ｌ−１）}本の前記各信号線を当該いずれか一方の電位に接続させると共に他方の端側で隣接する２^{（Ｌ−１）}本の前記各信号線を前記いずれか他方の電位に接続させる請求項１記載の検査装置。
3. 所定の向きに沿って複数の信号線が並設された平形の接続ケーブルを介して検査対象の各導体パターン間に直流電圧を印加して電気的パラメータを測定する測定処理と、前記各信号線と高電位および低電位のいずれかの電位との接続を切り替える切替え処理とを実行してＮ（Ｎは、４以上の整数）本の前記導体パターンについての電気的検査を実行する際に、前記切替え処理を（（Ｍ−１）＜ｌｏｇ_２Ｎ≦Ｍ（Ｍは整数））の条件を満たすＭ回行うと共に、当該各切り替えた状態において前記測定処理として前記高電位に接続された当該各導体パターンと前記低電位に接続された当該各導体パターンとの間の前記電気的パラメータを測定する検査方法であって、
   前記Ｍ回の各電気的検査において、前記切替え処理として、前記各信号線のうちの前記所定の向きで隣接して検査対象の一対の前記導体パターンに接続されている一対の信号線の一方を前記高電位および前記低電位のいずれか一方の電位に接続すると共に当該一方の信号線に対して前記所定の向きとは逆向き側において隣接する他の信号線が存在するときには当該他の信号線を当該いずれか一方の電位に接続し、かつ前記一対の信号線の他方を前記高電位および前記低電位のいずれか他方の電位に接続すると共に当該他方の信号線に対して前記所定の向き側において隣接する他の信号線が存在するときには当該他の信号線を当該いずれか他方の電位に接続する検査方法。
4. 前記Ｎ（Ｎは、２^Ｍで表される８以上の整数）本の前記導体パターンを検査する際に、第Ｌ（Ｌは１からＭの各々）の前記電気的検査において２^{（Ｍ−Ｌ）}対の前記導体パターンを検査対象として当該各電気的検査を順不同で実行し、当該第Ｌ（Ｌは１）の電気的検査において、前記切替え処理として両端のＬ本の前記各信号線を前記いずれか一方の電位に接続すると共に残りの（Ｎ−２×Ｌ）本の前記各信号線を当該２^{（Ｍ−Ｌ）}対の導体パターンを検査可能に前記いずれかの電位に接続し、当該第Ｌ（Ｌは２から（Ｍ−１）の各々）の電気的検査において、当該切替え処理として両端において隣接する２^{（Ｌ−１）}本の前記各信号線を当該いずれか一方の電位に接続すると共に残りの隣接する（Ｎ−２×２×（Ｌ−１））本の前記各信号線を当該２^{（Ｍ−Ｌ）}対の導体パターンを検査可能に当該いずれかの電位に接続し、当該第Ｌ（ＬはＭ）の電気的検査において、当該切替え処理として一方の端側で隣接する２^{（Ｌ−１）}本の前記各信号線を当該いずれか一方の電位に接続すると共に他方の端側で隣接する２^{（Ｌ−１）}本の前記各信号線を前記いずれか他方の電位に接続する請求項３記載の検査方法。

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