JP4063206B2 - 半導体製造方法 - Google Patents
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Description
図1には本実施形態における半導体製造装置(ICウエハのトリマーとウエハ検査装置)を示す。本装置は、ウエハ検査用テスター10とレーザー装置20とトリマー用テスター30と共通プローバー40を具備している。レーザー装置20においてはレーザー発振器21が備えられている。共通プローバー40にはウエハステージ41が備えられ、ウエハステージ41にはウエハ1が載置される。このウエハステージ41はX,Y方向に移動することができるようになっている。また、ウエハステージ41上のウエハ1に対しレーザー装置20のレーザー発振器21の発するレーザービームを照射することができるようになっている。
図3はトリミング処理と検査処理のタイムチャートである。
これに対し本実施形態では、図1に示すように、トリマーとウエハ検査のプローバー40を共通化することで、図8においては2台必要だったものを1台にすることができる。プローバーが従来の2台から1台になるため、設備投資金額を抑制することができる。また、床面積も20〜30%低減することが可能となる。
(1)半導体製造装置として、ウエハ1内の複数のチップ形成領域2におけるパッド4に対し同時にプローブ針42a,42bを当てることができるプローバー40を有する。このプローバー40を用いて、プローブ針42a,42bを当てた複数のチップ形成領域2のうちの少なくとも一つのチップ形成領域2でトリミングを行うと同時に、プローブ針42a,42bを当てた複数のチップ形成領域2のうちの他のチップ形成領域2でトリミング後の検査を行う構成とした。よって、プローバー40によりウエハ1内の複数のチップ形成領域2におけるパッド4に対し同時にプローブ針42a,42bが当てられる。そして、プローブ針42a,42bを当てた複数のチップ形成領域2のうちの少なくとも一つのチップ形成領域2でトリミングが行われると同時に、プローブ針42a,42bを当てた複数のチップ形成領域2のうちの他のチップ形成領域2でトリミング後の検査が行われる。このようにしてトリミング用と検査用でプローバーを共通化して簡易な設備にてトリミングと検査を行うことができる。
図1においては、テスターとしてウエハ検査用テスター10とトリマー用テスター30の計2台使用しているが、マルチタスク処理が可能なテスターならば、図7に示すように、トリム/検査共用テスター50を用いてテスターを1台にすることも可能である。
Claims (4)
- プローバーを用いてウエハ(1)内の各チップ形成領域(2)でのトリミングを行うとともにウエハ状態での各チップ形成領域(2)の検査を行う半導体製造方法であって、
ウエハ(1)内の複数のチップ形成領域(2)におけるパッド(4)に対し同時にプローブ針(42a,42b)を当てた状態において、当該プローブ針(42a,42b)を当てた複数のチップ形成領域(2)のうちの少なくとも一つのチップ形成領域(2)のトリミング対象物(3)に対し所望の特性を得るべく当該トリミング対象物(3)をトリミングすると同時に、前記プローブ針(42a,42b)を当てた複数のチップ形成領域(2)のうちの他のチップ形成領域(2)でトリミング後の検査を行う第1工程と、
前記プローブ針(42a,42b)を、それまで当てていたパッド(2)から離して新たに、他の未トリミングのチップ形成領域(2)におけるパッド(4)、および、トリミング済みのチップ形成領域(2)におけるパッド(4)に当てる第2工程と、
を有することを特徴とする半導体製造方法。 - 請求項1に記載の半導体製造方法において、
前記第2工程において、前記プローブ針(42b)を、それまで当てていたパッド(2)から離して新たに、前記第1工程でトリミングを行った直後のチップ形成領域(2)におけるパッド(4)に当てるようにしたことを特徴とする半導体製造方法。 - 請求項1または2に記載の半導体製造方法において、
前記第2工程においてプローブ針(42a,42b)を新たにパッド(4)に当てるべく、前記第1工程での前記トリミングの終了と検査の終了のうちの遅い方に合わせてウエハ(1)の搬送を開始させるようにしたことを特徴とする半導体製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体製造方法において、
前記トリミングはレーザートリミングであることを特徴とする半導体製造方法。
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