JP4053633B2 - トナージェットプリンター - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
マイクロエレクトロメカニカルシステム(MENS)技術で作られた2次元プリントセルアレイを利用して個々のトナー粒子を操作することにより画像をプリントするために用いられる、トナージェットプリンターおよびその方法に関する。トナー粒子は各々のプリントセル内に静電力によって配置される。各々のセルは電子的にアドレスされ、マイクロアクチュエータによりコントロールされた機械的力と電気的力との組み合わせにより1つのアドレスから1つ以上のトナー粒子が基体に向けて射出される。そのように、静電転写を補助するために機械的なアシスト(助力)が加えられる。プリンタは高速印刷、二次元印刷が可能である。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
周知の技術として、US特許NO. 4743926、4814796、4860036、及び4876561のようなダイレクト静電プリンターが知られているが、これは中間転写ドラムを排除したものである。これらはすべてスクミドリン(Schmidlin) の発明で、本願と同じ出願人に譲渡されたものである。ノズル、サスペンションビーム(梁)、ヒンジ及びダイアグラムのような基本的な電気機械的構造として利用されるマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)もまた知られている。これらはUS特許NO.5418418、5239222、5313451、5444191、5526172、5083857、5457493、4956619に含まれている。これらは実行可能で重要なコンポーネントでの使用にも十分安心できるものである。近年におけるMEMS技術の急速な進歩により、さまざまな分野での商品が開発された。これらのうちの一つがインクジェットプリンターである。しかし、今日まで、それらの技術はゼログラフィック(電子写真式)印刷技術には適用されなかった。
【0003】
【課題を解決するための手段】
この発明は、トナージェットプリンター及び二次元プリントセルを使って個々のトナー粒子を操作することにより画像印刷を行うために用いられる方法に関する。トナー粒子は1つ又はそれ以上のプリントセル内に選択的もしくは非選択的に充填される。粒子は静電力によってプリントセルに引きつけられる。それから、各々のセルが電子的にアドレスされて、アドレスされたセルから1つ又はそれ以上のトナー粒子がバイモルフ素子などのマイクロアクチュエータに制御される機械的及び電気的な力の組み合わせによって基体表面へ向かうよう機械的に射出する。すると基体に加えられた電荷が射出されたトナー粒子を基体に接触するよう引きつける。そのようにマイクロアクチュエータは、静電転写と協働する効果的な機械的アシストを提供する。
【0004】
本発明はことに基体に印刷するためのトナージェットプリンターに関する。このトナージェットプリンターは、個々にサイズが決められたトナー粒子供給部を有し、該トナー粒子供給部および画像を受け取る基体の下に相対的に位置決め可能なプリントセルの2次元セルアレーを有し、ここで各々のプリントセルは、トナー粒子供給部から1つ又はそれ以上のトナー粒子を収容できるサイズとされる窪みを該セルアレーのフロントサイドに形成するノズルを有し、該窪みの底にオリフィスを有し、窪みの下方に設置されたマイクロアクチュエータを有し、該アクチュエータはオリフィスに隣接して設けられ、該ノズル窪みの可動底壁を形成する該オリフィスを実質的にふさぐサイズとされた可動アクチュエータ素子を含み、該アクチュエータは引っ込み状態と解放状態とに移動可能であり、さらに該プリントセルは、該アクチュエータの下方に配置される電極を有し、該マイクロアクチュエータの該引き込み状態と解放状態との間で前記マイクロアクチュエータの作動を制御するためのアドレスロジックを有し、該基体が該セルアレーのフロントサイドに向き合う位置にきたときに該アクチュエータ素子を解放状態にすることにより2次元アレーの1つ又はそれ以上のプリントセルからのトナー粒子の射出を制御する。
【0005】
好適には、マイクロアクチュエータは、片持ち梁もしくはねじり梁の形状をしたバイモルフ素子である。しかし、ラッチメカニズムを有する水平スプリングもまた使用可能である。機械的な力がトナーをプリントセルの窪みから十分な高さまで射出させると引き続き今度は用紙の静電荷がトナーを引っ張るようになる。これは所要静電力を節約し、また適用範囲と効率とを高める。さらに、もし十分な力がマイクロアクチュエータによって提供されると、静電荷アシストなしでもマイクロアクチュエータ単独で射出が達成される。
【0006】
【発明の実施の形態】
図1のように、本発明によるトナージェットプリンターは、プリントセル12の2次元アレー10を含む。図2に示すように、各プリントセル12は、シリコンもしくはガラス基体16をバルクマイクロマシニングすることで形成される窪みを画定するノズル14を有する。プリントセルの正面18は印刷方向及び基体(用紙)Pと向き合う。形成された画像に十分な濃度をあたえるために、好適にはこのプリントセルの窪みに複数のトナー粒子が収容できるようセルの大きさを定めることがよい。しかし、本発明は一つのセルに1トナー粒子のみで実施してもよい。好適には、窪みは各辺が10〜20ミクロン長の四角形で、4つの窪みアレイから1画素300〜600dpi の画像をマッピングすることができる。5〜7ミクロンの典型的なトナー粒子を使うと、ひとつの窪みに約6個の粒子が収容できる。
【0007】
基体16の底にはスルーホール20が形成されている。プリントセル基体16の真下にあるマイクロアクチュエータアレー22は、各のプリントセルの窪み14の可動底を形成する。マイクロアクチュエータ22は、周知のいくつかのマイクロエレクトロメカニカルシステムコンポーネンツの形をとることができるが、好適には片持ち素子もしくはトーションビーム(ねじりばり)素子のようなバイモルフ素子を含むことが望ましい。
【0008】
図中の片持ちばりアクチュエータの適例において、アクチュエータ22は、各プリントセル12ごとに個別のアドレス回路26と電極28を有するベース基体24で構成される。該電極28と基体24との間には絶縁層30が配置される。スペーサ32がアクチュエータキャビティ34を画定し、またスペーサ32の上に形成された薄い変形可能金属層36を電極28から離間させるために設けられる。比較的厚い、マスクパターン形成された金属層38が薄い金属層36の上に設けられる。各キャビティ34の上に、可動片持ちばり40がアクチュエータ素子として設置されている。この素子は好適には窪み14の底壁部分に対応し底壁部分を形成するサイズとされる。したがって、窪み14が四角形の底ならば、片持ちばり40は窪みの底を実質的にふさぐサイズとされた実質的に四角形である必要がある。
【0009】
片持ちばり40は、厚い金属層38の1カ所もしくはそれ以上のエッジ部42を選択的に除去して薄い層36のみを残すことにより、形成される。この残った薄い層36が片持ちばりとして機能する。片持ちばり40の残りの部分は厚い層38が残っているため剛性が高いままである。薄い層36を含む片持ちばり40は可変空隙キャパシタの可動プレートとして機能する。
【0010】
特定の適用に従ってたわみ量や速度を確保するために、該片持ちばり40の長さ、幅、厚み、材質及び重量が選択的に調節される。好適には、下方へのたわみ速度は遅く、上方へのたわみ速度は早くして充填射出特性を向上する。また、該たわみ速度は、たとえば電極をアドレスするのに使う波形を制御することによるエアギャップに生成された電界によって可変的に制御される。US特許NO.5,418,418によれば、その全技術が参考として本明細書に含まれるのだが、のこぎり波を使うと一方向にゆっくり変形し、反対には素早く変形することが開示されている。窪みからトナー粒子を基体Pに射出するのを助けるためにはたわみ量が十分でなければならない。このときの最低必要なたわみ量は、トナー粒子の大きさと使用された窪みの大きさに依存して変化する。しかしながら、この構造によれば約10°のたわみが達成されると思われる。
【0011】
あるいはまた、図3及び図4に示すように、トーションビーム(ねじりばり)マイクロアクチュエータ素子42が設けられてもよい。これらは片持ちばり40と同様に作用し、同じような素子は同じ参照番号が記されている;しかし、これらのアクチュエータは回転軸46について対称的に該素子を支持している。このように互いに反対の極性に帯電した2つの電極のうち、一方の電極は該アクチュエータ素子の一方の側を上方に反発させ、他方の電極は該アクチュエータ素子の他方の側を下方へ引きつける。このようなアクチュエータがどのようにして製造されるかをより理解するために、US特許 NO.5,526,172 、4,956,619 、5,490,009 、及び 5,083,857 の開示を参照すればよい。これらはその全技術が参考として本発明に含まれている。
【0012】
図5及び6で、プリントセルアレー10の各プリントセル12は確立されたバルクマイクロマシニングの技術によって形成される。図5は、シリコン(Si(100))ウエハ16上へのプリントセルノズル14の製造を示している。該Si(100)ウエハ16は裏側に薄いP+層46を有する。オープニング48が最初にフォトリソグラフィーによりエッチングされる。次に、異方性エッチングにより切頭ピラミッド状の窪み14がP+層46に達するまで形成される。基体16の底部からスルーホール20が露出するようにP+層46を除去することができる。あるいは、P+層46をエッチングして、マイクロアクチュエータ22に対応する大きさのオリフィス52を形成することもできる。
【0013】
図6は、ガラス基体16上のノズル14の製造を示している。エッチングストップ層(Sin)54が基体16の裏面に付着されている。該ガラス基体16の表面にはエッチングマスク56が形成される。該エッチングマスク56に適切な穴58をあけ、そこからオーバーエッチングにより洞穴状の窪み14が形成される。エッチングストップ層54は基体16の底部にスルーホール20を形成するように除去される。あるいはまた、パターン形成とエッチングでエッチングストップ(Sin)54にオリフィス52を形成してあらかじめ定まった大きさの窪みの底部がマイクロアクチュエータにマッチ(対応)するようにすることができる。
【0014】
組み立てられ機械加工されたプリントセルは、印刷プレートとして作用する図1に示すような2次元アレーを形成する。プレート10のサイズは自由だが、好適には一パスで1ページ全部を印刷する大きさが望まれる。したがって、プレートは少なくとも標準の8.5"x 11" もしくはA4サイズのような特定サイズの用紙の印刷領域程度の寸法を有していなければならない。
【0015】
マイクロアクチュエータアレー22は、当業界で知られているように、トランジスタースイッチ(能動アドレス)もしくは多重ローコラム(行列)信号(受動アドレス)により、制御される。図7は、該プリントセルアレー10を選択的もしくは非選択的にトナーで充填させるさまざまな方法を図示している。
【0016】
充填は、プレート10をトナー粒子50の供給源(単なるトナーホッパー58で良い)の下に相対的に位置合わせすることにより行われる。好適な非選択的充填の実施の形態においては、各アクチュエータが引き込められ、各セルが1つもしくは複数のトナー粒子で充填される。充填は、静電力が粒子を窪みに落とそうとする力によって達成される。しかし、軽くて小粒なトナー粒子が静電力によりプリントセルの表面18に付着するトラブルを避けるため、プリントセルを充填する際に図7に示すように従来のトナーキャリアミキサ60と磁気ブラシ62が使われることができる。磁気トナー粒子を使うと、残留粒子は周知のゼログラフィック磁気ブラシでクリーニングされることができる。あるいはまた、セルアレー上を真空クリーナを備えるトナー雲チャンバを通過させることによってトナー粒子の充填及びクリーニングを行うことができる。
【0017】
トナー供給部を固定してプリントセルアレーを可動にしても、その反対に設定してもどちらでもかまわない。しかし、位置合わせするためには、プリントセルアレーを固定してトナー供給部をプリントセルアレーに対して可動にすることが好適である。このためにはプリントセルアレー10を固定設置して、トナー供給部を可動キャリッジ(図7)にとりつければよい。もしくは、図8のように、一部68にトナー供給部を含む割り出し(indexing) エンドレス搬送ベルト72、及び別の部分70には基体P搬送メカニズム74を設ければよい。
【0018】
作動中は、搬送ベルト72は、トナー供給部64の下にトナー部68がくるように前進する。ベルトに加えられた静電荷により、ベルト上のトナーは一定の高さを保つ。あるいは、周知のドクター/メータリング(計量)ブレードを利用してトナー高さを調節することもできる。次にベルト72は、トナー部分68がプリントセルアレー10に隣接し、その上になるように回転される。
【0019】
すべてのプリントセルのマイクロアクチュエータが起動(アドレス)されると、以下2つの作業が行われる:1)図2の下半分に示されるように、静電引力により可動アクチュエータ部材が下げられ;2)図2に示すように、静電引力によってトナー粒子50がベルトの68部分のベルト表面72からプリントセルアレー10の個々の窪み14の中へ引きつけられ保持される。それから、ベルト72は再び回転されて用紙Pが搬送メカニズム74からベルト72の70部分へ送り込まれる。一方、該用紙Pがベルト72へ受け取られる前に、ベルト72は帯電デバイス76によって、あらかじめ定まった電荷(たとえば陽極電荷)に帯電される。このようにして帯電された用紙Pを載せた帯電ベルトが回転されてプリントセルアレーの真上の位置で静止される(図8)。
【0020】
印刷されるべき所望の画像に対応する特定のプリントセルにはアドレスされた対応アクチュエータが配備され、引き込まれたアクチュエータが解放されて図4に示すようにプリントセルの窪み内のトナー粒子が基体Pに射出される。(アクチュエータの)解放は、バイモルフ素子の実施形態(図9)において電極28に印加される電圧の極性を反転することによって達成される。さらに後者の有利なことに、この解放によって発生される静電荷がトナー粒子と同極であるため、トナー粒子の物理的な射出を補助することである。画像が形成されると、クリーナが、アレーに残留する不要粒子を除去するか、あるいは起動されなかったセルの残留トナー粒子が、次の充填までこれらのセルに保留される。下流に配置されたフューザにより、トナーが用紙に永久的に固着される。
【0021】
あるいはまた、印刷したい画像に対応するプリントセルをアドレスすることによって充填を選択的に行うことができる。こうしてこれらのプリントセル内においてのみ、選択アクチュエータ素子を引き込み静電荷を発生させることができる。該アレーの上を真空クリーナ66もしくは磁気ブラシが通過することにより、非選択セルの全トナー粒子を含む余分なトナーが除去される。続いて用紙Pがアレー上を通過するときにはすべてのマイクロアクチュエータがアドレスされて起動され、解放される。しかし選択されたセルのみにトナー粒子が配置されている場合、やはり所望の画像が得られるのである。
【0022】
前述したどの実施形態においても、印刷は一回のパスで行えるが、さらに厚く濃い画像を形成するための多数パスも使えることが望ましい。さらに、最も単純な形式における本発明のトナージェットプリンターはモノクロ印刷であるが、同じセルアレーがハイライト印刷もしくはフルカラー印刷をすることができるので、複数の色も使える。これは第一の色で上述のように印刷することにより、実現される。それから、該アレーはクリーナで清掃されて別のカラートナーで充填される。この充填、清掃および印刷プロセスが何度も繰り返されることにより、同じセルアレーを使った多数のパスによるフルカラー印刷が実現する。
【0023】
あるいはまた、選択されたプリントセルアレーのサブセットを異なるカラーのトナー粒子でシーケンシャルに充填し1回のパスにより印刷する、マルチカラー印刷も行える。この実施の形態によれば 2×2マトリックスのプリントセルが1つの画像ピクセルにマッピングされる。各々のマトリックスはシアン、イエロー、マゼンタおよびブラック(CYMK)の各々のためのセルを含む。第一のトナー(たとえばシアン)による第一のパスでトナーはセルを充填でき、クリーニングによって起動されたシアンピクセル以外のすべてのセルからトナー粒子が除去される。起動セルは静電荷を帯びてアクチュエータを引き込まれた状態に保持し、選択された窪み内にトナー粒子を保持させる。こうして第一のカラーが選択的に充填される。このプロセスが他の各色(YMK)についても繰り返される。一旦充填されたセルは静電荷によりその充填が維持されるため、他のカラートナーがパスしても影響を受けない。すべてのカラーが充填されると、一回のパスで印刷することができるようになる。これは、極性を変えることで選択セルを起動し、マイクロアクチュエータが解放されてトナーが選択プリントセルから射出される前述の実施形態と同じである。
【0024】
本発明はこうした好適な実施形態に関して記載しているがこれらは例示であって本発明を制限するものではない。特許請求の範囲に定義される本発明の精神と範囲の範疇においてさまざまな変更を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】印刷プレートを形成する多数のプリントセルからなる2次元プリントセルアレーの図である。
【図2】本発明による個々のトナージェットプリントセル構造の側面断面図である。
【図3】別のプリントセルの実施形態の側面断面図である。
【図4】図3のプリントセル実施形態の平面図である。
【図5】 プリントセルのノズルおよびオリフィスの製造方法を図示したものである。
【図6】プリントセルのノズルおよびオリフィスの別の製造方法を図示したものである。
【図7】該印刷プレートの個々のプリントセルを充填する適例実施形態を図示したものである。
【図8】本発明によるプリントセルアレーを使った充填および印刷の適例実施形態を図示したものである。
【図9】印刷プレートを使った選択印刷の実施の形態を図示したものである。
【符号の説明】
10 2次元アレー
12 プリントセル
14 ノズル
22 マイクロアクチュエータ
28 電極
Claims (1)
- 基体に印刷するためのトナージェットプリンターであって、
トナー粒子供給部を有し、
該トナー粒子供給部および画像を受け取る基体の下に相対的に位置決め可能なプリントセルの2次元セルアレーを有し、
ここで各プリントセルは、
トナー粒子供給部から供給される1つ以上のトナー粒子を収容できるサイズとされた窪みを該セルアレーのフロントサイドに形成するノズルを有し、
該窪みの底にオリフィスを有し、
該窪みの下に設置されたマイクロアクチュエータを有し、該マイクロアクチュエータはオリフィスに隣接し該オリフィスをふさぐサイズとされた可動アクチュエータ素子としての片持ちばりを含み、該片持ちばりは該窪みの可動底壁を形成し、引っ込み状態と解放状態に移動可能であり、
さらに該プリントセルは、該マイクロアクチュエータの下方に配置される電極を有し、
該引っ込み状態と解放状態の間で該マイクロアクチュエータの作動を制御するためのアドレスロジックを有し、該基体が該セルアレーのフロントサイドに向き合う位置にきたときに該片持ちばりを解放状態にすると2次元アレーの1つ以上のプリントセルからのトナー粒子の射出を制御し、
前記片持ちばりが引っ込まれる時には、第1の極性を有する第1の電荷が前記電極に印加され、前記片持ちばりが解放される時には、前記第1の極性と反対する第2の極性を有する第2の電荷が前記電極に印加され、トナー粒子と同極である静電荷が前記マイクロアクチュエータの解放によって発生され、トナー粒子の機械的な射出は同極電荷間の電気的な反発力によって補助される、
トナージェットプリンター。
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