JP4049891B2 - トランスを用いてトリガ放電を発生させる蒸着装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は蒸着装置に関し、特に、同軸型真空アーク蒸着源を有する蒸着装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
金属や誘電体材料等の薄膜は、半導体装置や液晶表示装置に不可欠なものとなっており、スパッタリング法、蒸着法、CVD法等の種々の薄膜形成方法が開発されている。
【0003】
それらの形成方法のうち、膜厚制御性に優れ、高品質の薄膜を形成できることから、近年では同軸型真空アーク蒸着源を用いた蒸着装置が注目されている。
【0004】
図4を参照し、符号110は、従来技術の蒸着装置であり、真空槽101を有している。真空槽101底面には、同軸型真空アーク蒸着源103が配置されており、天井側には基板ホルダ105が配置されている。
【0005】
同軸型真空アーク蒸着源103の模式的な断面図を図3(a)に示す。
この同軸型真空アーク蒸着源103は、円筒形形状のアノード電極130を有しており、該アノード電極130内には、カソード部140が配置されている。
カソード部140は、絶縁管141と、トリガ電極142と、蒸着材料143と、取付台145とを有している。
【0006】
絶縁管141は、円筒形形状にされており、取付台145と蒸着材料143は円柱形形状に成形され、絶縁管141内部に挿入されている。
絶縁管141内部では、取付台145は奥側に、蒸着材料143は先端付近に配置されており、蒸着材料143の下端部は、取付台145の上端部に密着固定され、上端部は絶縁管141先端から突き出されている。
【0007】
絶縁管141の先端には、リング形形状のトリガ電極142が装着されており、従って、蒸着材料143側面とトリガ電極142表面とは、非接触の状態で近接配置されている。
【0008】
真空槽101の外部には、トリガ電源120とアーク電源147とが配置されている。各電源120、147の負電位側の端子は、それぞれ取付台145に共通に接続されている。他方、トリガ電源120の正電位側の端子はトリガ電極142に接続されており、アーク電源147の正電位側の端子はアノード電極130に接続されている。
【0009】
この蒸着装置110を用いて薄膜を形成する場合には、基板108を基板ホルダ105に保持させ、真空槽101内部を真空排気しながら基板108を加熱する。
【0010】
基板108が所定温度まで昇温した後、アーク電源147を起動し、アノード電極130に正電圧を印加し、蒸着材料143に、取付台145を介して負電圧を印加する。
【0011】
トリガ電源120内には、直流電圧源121とコンデンサ122と抵抗123とスパークギャップ124が設けられており、コンデンサ122の一端とスパークギャップ124の一端は互いに接続され(直列接続)、スパークギャップ124の他端はトリガ電源120の正電位側の端子にされ、コンデンサ122の他端は負電位側の端子にされている。
【0012】
従って、コンデンサ122から見た場合、スパークギャップ124が有するギャップと、トリガ電極142と蒸着材料143との間のギャップとは直列になっている。
【0013】
トリガ電源120内では、直流電圧源121と定刻123とが直列接続された回路が、コンデンサ122に対して並列接続されており、直流電圧源121は、抵抗123で電流制限された状態で、コンデンサ122を充電するように構成されている。
【0014】
トリガ電極142と蒸着材料143との間のギャップは絶縁管141の厚みと等しく、非常に小さい。しかも、トリガ電極142と蒸着材料143との間の耐圧は絶縁管141表面で沿面放電が生じる電圧であるから、トリガ電極142と蒸着材料143との間の耐圧は、スパークギャップ124の耐圧に比べて非常に低い。
【0015】
従って、直流電圧源121が起動され、コンデンサ122への充電が開始され、コンデンサ122の電圧が次第に上昇し、スパークギャップ124の耐圧以上の電圧になると、スパークギャップ124内で放電が発生し、それに伴ってトリガ電極142と蒸着材料143の間にトリガ放電が発生する。
【0016】
図3(b)の符号i1は、トリガ放電によって流れたトリガ電流を示しており、そのトリガ電流i1により、蒸着材料143側面が部分的に蒸発し、蒸着材料143の蒸気が放出され、アノード電極130内の圧力が上昇する。
その結果、アノード電極130と蒸着材料143との間の絶縁耐圧が低下し、蒸着材料143の側面と、アノード電極130との間でアーク放電が発生する。
【0017】
アーク放電によって、アノード電極130内周面から蒸着材料143側面に向けてアーク電流i2が流れると、アーク電流i2は大電流であるため、蒸着材料143側面が溶融し、トリガ放電のときよりも大量の蒸気が放出される。
【0018】
蒸着材料143と取付台145とは円柱形形状に成形されているため、アーク電流i2は、カソード部140内を直線的に流れる。
アーク電流i2が流れることにより磁界が形成されると、その磁界は、正電荷に対してアーク電流i2の向きとは反対方向、即ち、真空槽1内に向ける方向の力Fを及ぼす。
【0019】
蒸着材料143から成る蒸気中には、正に帯電した微小粒子151が含まれているため、蒸着材料143側面から様々な方向に飛び出した微小粒子151は力Fの影響を受け、アノード電極130の開口部149から真空槽101内に向けて放出される。
【0020】
蒸着材料143の延長線上には基板108が位置しており、真空槽101内に放出された微小粒子151は基板108方向に飛行し、基板108に到達すると、その表面に薄膜を成長させる。
【0021】
ところで、アーク電流i2が流れると、微小粒子151の他に、蒸着材料143の構成物質から成る巨大粒子152も同時に放出されるが、その巨大粒子152は、無電荷であるか、電荷を有していても、電荷量に比べて質量が大きいので、力Fによる曲げ量が少なく、その結果、巨大粒子152はアノード電極130の内周面に付着し、真空槽101内には放出されない。
【0022】
このように、アーク電流i2が流れている間に、微小粒子151が薄膜を成長させるが、アーク電流i2は大電流であるため、アーク電源147の消耗が大きく、アーク電源147の出力電圧がアーク放電を維持できなくなる程度まで低下すると、自動的にアーク放電は停止する。
【0023】
従って、1回のトリガ放電によって放出される微小粒子151の量は、アーク電源147の電源能力によって決まるので、必要なだけトリガ放電を繰り返し発生させることで、所望膜厚の薄膜を形成できる。
【0024】
上記のような蒸着装置110は、トリガ放電の回数によって膜厚を精密に制御することができ、しかも、巨大粒子152が基板108に到達せず、良質の薄膜を形成できることから、Ta、NiFe、Cu、Co、FeMn等の、高性能磁気薄膜を製造する場合に盛んに用いられている。
【0025】
ところが上記基板108表面に形成された薄膜を精密に分析してみると、蒸着材料143以外の物質が不純物として検出される場合がある。
その不純物を同定してみると、トリガ電極142を構成している金属物質と同じ金属物質であり、従って、不純物はトリガ電極142に由来すると考えられる。近年では、薄膜の高純度化、高品質化が増々求められているため、形成される薄膜中に上記のような不純物を混入させない蒸着装置が求められている。
【0026】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、同軸型真空アーク蒸着源により、高純度の薄膜を形成できる技術を提供することにある。
【0027】
【課題を解決するための手段】
上記のように、トリガ放電はアーク放電を誘起するために必要であるが、従来のようなトリガ電源120では、トリガ放電が発生した後、コンデンサ122の電圧が低下し、一旦トリガ電流がゼロになると、トリガ放電は終了するものと考えられていた。
【0028】
本発明の発明者等は、コンデンサ122やスパークギャップ124を用いたトリガ電源120には、コンデンサ122の容量性成分の他、配線が有する誘導性成分により、トリガ電極142とトリガ電源120の間に共振回路が形成されてしまい、トリガ電極142に交流電流が流れていることを見出した。
【0029】
交流電流が流れる場合、電流がトリガ電極142から蒸着材料143に向けて流れる間は、蒸着材料143が蒸発するが、それとは逆に、電流がトリガ電極142に流れ込むと、トリガ電極142を構成する物質が放出され、アーク電流が形成する磁界により、基板108方向に飛ばされ、薄膜中に混入してしまうことが分かった。
上記のような不都合を防止するためには、共振回路が形成されないようにすればよく、そのためにはコンデンサ122を用いないトリガ電源が必要となる。
【0030】
本発明は上記知見に基いて創作されたものであり、請求項1記載の発明は、アノード電極と蒸着材料との間に電圧を印加した状態で、トリガ電極と前記蒸着材料との間にトリガ放電を発生させ、前記アノード電極と前記蒸着材料との間にアーク放電を誘起させ、前記蒸着材料を蒸発させ、成膜対象物表面に薄膜を形成する蒸着装置であって、一次巻線と二次巻線とが磁気結合されたトランスと、パルス電圧を発生させるパルス電源とを有し、前記一次巻線に前記パルス電圧を印加し、前記二次巻線に誘起された電圧を前記トリガ電極と前記蒸着材料との間に印加し、前記トリガ放電を発生させるように構成されたことを特徴とする。
【0031】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の蒸着装置であって、前記一次巻線と前記二次巻線の巻数比は、前記二次巻線が、前記一次巻線に印加された電圧を増幅するように設定されていることを特徴とする。
【0032】
本発明は上記のように構成されており、アノード電極と蒸着材料との間に電圧を印加した状態で、トリガ電極と蒸着材料との間にトリガ放電を発生させ、アノード電極と蒸着材料との間にアーク放電を誘起させ、アーク電極と対向する蒸着材料の側面部分を蒸発させ、アーク電極に向けて飛行する正のイオンをアーク電流が形成する磁界で曲げ、アーク電極の開放口から真空槽内に放出させ、成膜対象物表面に到達させて薄膜を成長させるようになっている。
【0033】
そして、本発明の蒸着装置は、一次巻線と二次巻線とが磁気結合されたトランスと、パルス電圧を発生させるパルス電源とを有しており、一次巻線にパルス電圧を印加し、二次巻線に誘起された電圧をトリガ電極と蒸着材料との間に印加することでトリガ放電を発生させるように構成されている。
【0034】
従って、トリガ電流が流れる経路中に容量性成分が存在せず、共振回路が形成されないので、トリガ電極に交流電流は流れず、トリガ電極を構成する物質が真空槽内に放出されないようになっている。
【0035】
また、トランス内では、一次巻線の巻数と二次巻線の巻数が、二次巻線が、一次巻線に印加された電圧を増幅するように比率が設定されている。従って、パルス電源の負担が少なく、容易にトリガ放電を発生させられるようになっている。
【0036】
【発明の実施の形態】
図1を参照し、符号10は本発明の蒸着装置であり、真空槽1を有している(真空槽1の全体は図示しない)。真空槽1の底壁には、同軸型真空アーク蒸着源3が配置されている。
同軸型真空アーク蒸着源3は、底板48と、アノード電極30と、カソード部40とを有しており、底板48は真空槽1の底壁に固定されている。
【0037】
アノード電極30は、円筒形形状の金属材料で構成されており、下端を底板48上に固定され、上端の開放部分を真空槽1天井側に向けられている。
カソード部40は、絶縁管41と、取付台45と、蒸着材料43と、トリガ電極42とを有している。絶縁管41は、円筒形形状にされており、取付台45と蒸着材料43は円柱形形状に成形され、絶縁管41内部に挿入されている。
【0038】
絶縁管41内部では、取付台45は奥側に、蒸着材料43は先端付近に配置されており、蒸着材料43の下端部は、取付台45の上端部に密着固定され、上端部は、絶縁管41先端から突き出されている。
【0039】
トリガ電極42は、リング形形状に形成されており、絶縁管41の先端に装着されている。従って、蒸着材料43側面とトリガ電極42表面とは、非接触の状態で近接配置されている。
【0040】
真空槽1の外部には、トリガ電源20とアーク電源47が配置されており、各電源20、47の負電位側の端子は、取付台45を介して蒸着材料43に共通に接続され、トリガ電源20の正電位側の端子はトリガ電極42に接続され、アーク電源47の正電位側の端子はアノード電極30に接続されている。
【0041】
トリガ電源20は、パルス電圧を発生させるパルス電源21と、トランス22(パルストランス)を有している。トランス22内には、一次巻線22aと、該一次巻線22aと磁気結合した二次巻線22bとが設けられており、一次巻線22aの両端はパルス電源21の正電位側の端子と負電位側の端子にそれぞれ接続されている。
【0042】
他方、二次巻線22bの一端は、トリガ電源20の正電位側の端子にされており、従って、トリガ電極42に接続されている。二次巻線22bの他端はパルス電源21の負電位側の端子と接続され、その部分がトリガ電源20の負電位側の端子にされており、従って、二次巻線22bの他端は、取付台45を介して蒸着材料43に接続されている。
【0043】
上記のような構成の蒸着装置10を用い、蒸着材料43を構成する物質の薄膜を形成する場合、真空槽1内に基板8を配置し、内部を真空排気しながら基板8を所定温度まで昇温させた後、アーク電源47を起動し、アノード電極30と蒸着材料43の間に100V程度の電圧を印加しておく(印加電圧の極性は、アノード電極30側が正電圧である)。
その状態でパルス電源21を動作させ、一次巻線22aの両端にパルス電圧を印加する。
【0044】
トランス22内では、一次巻線22aと二次巻線22bの巻数比は10倍に設定されており、一次巻線22aの両端に印加された電圧の10倍の電圧が二次巻線22bの両端に現れるようになっている。
【0045】
一次巻線22aに印加されたパルス電圧のピーク値が200Vであった場合、二次巻線22bには、2kVの電圧が現れ、その電圧がトリガ電極42と蒸着材料43の間に印加される(極性はトリガ電極42側が正電圧である)。
【0046】
2kVの電圧値は、トリガ電極42と蒸着材料43との間で、絶縁管41表面上で沿面放電を発生させるのに十分な大きさであり、従って、二次巻線22bに現れた電圧により、トリガ電極42と蒸着材料43との間にトリガ放電が発生し、トリガ電極42から蒸着材料43に向けてトリガ電流が流れる。
【0047】
トリガ電流が流れ、蒸着材料43が一部蒸発すると、アノード電極30内の圧力が上昇し、その結果、アノード電極30と蒸着材料43の間にアーク放電が誘起される。
【0048】
アーク放電によって流れるアーク電流は1000〜1500A程度の大電流であり、そのアーク電流によって蒸着材料43側面が溶融し、蒸着材料43を構成する物質が蒸気となって大量に放出される。その蒸気中に含まれる正に帯電した微小粒子51には、アーク電流が流れる方向とは逆向きの力が加わるので、アーク電極30の開放口から真空槽1内に放出され、基板8方向に向けて飛行し、その表面に付着して薄膜を成長させる。
アーク電源47が消耗し、アーク放電が終了すると、アーク電源47の回復を待ってトリガ放電を発生させ、アーク放電を誘起させて薄膜を成長させる。
【0049】
このように、必要な回数だけ繰り返しトリガ放電を発生させ、薄膜が所望の膜厚に形成された後、基板8を真空槽1外に搬出し、他の基板を搬入すると、薄膜形成作業を続行することができる。
【0050】
上記のトリガ電源20を用いてトリガ放電を発生させる場合、トリガ電源20内にはコンデンサは設けられておらず、共振回路は形成されていない。従って、トリガ放電が生じた際に、トリガ電極42に交流電流は流れず、トリガ電極42を構成する物質が蒸発することもない。
【0051】
図2(a)は、上記トリガ電源20を用いた場合にトリガ電極42に流れる電流を示したグラフである。トリガ電極43には、交流電流は流れていない。
同図(b)は、従来技術のトリガ電源120を用いた場合のトリガ電極142に流れる電流を示したグラフである。コンデンサ122の容量の影響で共振回路が形成され、トリガ放電の発生初期に、ごく短時間の間、トリガ電極142に交流電流が流れていることが分かる。
【0052】
以上説明したように、本発明の蒸着装置を用いれば、トリガ電極43に交流電流が流れず、形成される薄膜中にトリガ電極43を構成する物質が混入することはない。
【0053】
なお、上記トランス22にはパルストランスを用いた。通常の電源用トランスは、一次巻線に印加された正弦波を二次巻線に伝達するために設計されているのに対し、パルストランスは、一次巻線22aに印加されたパルス電圧の波形を歪めずに二次巻線22bに伝達できるように設計されている。従って、トリガ電極42に加えられるパルス電圧のdV/dtの値が大きく、トリガ放電が発生しやすくなっている。
【0054】
また、このトランス22では、二次巻線22bにトリガ電流が流れるため、大電流を流せる設計になっている。
このように、本発明のトランス22では、トリガ電極42に高電圧のパルス電圧を印加でき、大電流のトリガ電流を流せるものが適している。
【0055】
【発明の効果】
本発明によれば、同軸型真空アーク蒸着源を用い、より高純度の薄膜を形成することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一例の蒸着装置
【図2】(a):本発明の蒸着装置のトリガ電極に流れる電流を示すグラフ
(b):従来技術の蒸着装置のトリガ電極に流れる電流を示すグラフ
【図3】(a)、(b):同軸型真空アーク蒸着源の動作原理を説明するための図
【図4】同軸型真空アーク蒸着源を用いた従来技術の蒸着装置を説明するための図
【符号の説明】
1……真空槽 3……同軸型真空アーク蒸着源 8……成膜対象物 10……蒸着装置 20……トリガ電源 21……パルス電源 22……トランス 22a……一次巻線 22b……二次巻線 30……アノード電極
42……トリガ電極 43……蒸着材料
Claims (2)
- アノード電極と蒸着材料との間に電圧を印加した状態で、トリガ電極と前記蒸着材料との間にトリガ放電を発生させ、前記アノード電極と前記蒸着材料との間にアーク放電を誘起させ、前記蒸着材料を蒸発させ、成膜対象物表面に薄膜を形成する蒸着装置であって、
一次巻線と二次巻線とが磁気結合されたトランスと、
パルス電圧を発生させるパルス電源とを有し、
前記一次巻線に前記パルス電圧を印加し、前記二次巻線に誘起された電圧を前記トリガ電極と前記蒸着材料との間に印加し、前記トリガ放電を発生させるように構成されたことを特徴とする蒸着装置。 - 前記一次巻線と前記二次巻線の巻数比は、前記二次巻線が、前記一次巻線に印加された電圧を増幅するように設定されていることを特徴とする請求項1記載の蒸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17194298A JP4049891B2 (ja) | 1998-06-18 | 1998-06-18 | トランスを用いてトリガ放電を発生させる蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17194298A JP4049891B2 (ja) | 1998-06-18 | 1998-06-18 | トランスを用いてトリガ放電を発生させる蒸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000001770A JP2000001770A (ja) | 2000-01-07 |
JP4049891B2 true JP4049891B2 (ja) | 2008-02-20 |
Family
ID=15932675
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17194298A Expired - Lifetime JP4049891B2 (ja) | 1998-06-18 | 1998-06-18 | トランスを用いてトリガ放電を発生させる蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4049891B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009242825A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Ulvac Japan Ltd | 同軸型真空アーク蒸着源を用いた金属材料の埋め込み方法 |
JP5133359B2 (ja) * | 2010-02-01 | 2013-01-30 | 株式会社アルバック | 蒸着源 |
CN107837989B (zh) * | 2017-12-08 | 2023-03-10 | 沈阳天通电气有限公司 | 变压器用散热器内腔的真空汲漆和真空速干漆设备及工艺 |
-
1998
- 1998-06-18 JP JP17194298A patent/JP4049891B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000001770A (ja) | 2000-01-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050221 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071102 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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