JP4045592B2 - プラズマエッチング用シリコン電極板 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、多結晶シリコンまたは一方向凝固柱状晶シリコンからなるパーティクル発生の少ないプラズマエッチング用シリコン電極板に関するものであり、特に単結晶シリコン電極板では作製することが極めて困難な直径:400mm以上の大口径を有するパーティクル発生の少ないプラズマエッチング用シリコン電極板に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体集積回路を製造する際に、シリコンウエハ上に形成された層間絶縁膜をエッチングする必要があるが、この層間絶縁膜付きシリコンウエハ(以下、ウエハと呼ぶ)をエッチングするためにプラズマエッチング用シリコン電極板が使用されている。そのプラズマエッチング用シリコン電極板は、図6の一部断面概略説明図に示されるように、単結晶、多結晶、または一方向凝固柱状晶のシリコンからなるシリコン電極基板11の厚さ方向に平行に貫通細孔ガス穴5が設けられた構造を有している。このプラズマエッチング用シリコン電極板9は真空容器(図示せず)内のほぼ中央に固定し、一方、架台6の上にシリコンウエハ4を載置し、エッチングガス7を貫通細孔ガス穴5を通してシリコンウエハ4に向って流しながら高周波電圧を印加することによりシリコン電極基板11とシリコンウエハ4の間にプラズマ8を発生させ、このプラズマ8がウエハ4に作用してウエハ4の表面をエッチングするようになっている。かかるプラズマエッチング操作を行うとプラズマエッチング用シリコン電極板9も同時にエッチングされ、特にシリコン電極基板11の厚さ方向に平行に設けられている貫通細孔ガス穴5のプラズマ8に接する面の貫通細孔ガス穴5が最も早く下広がりに拡大消耗し、そのためにプラズマエッチング用シリコン電極板9の交換を頻繁に行わなければならない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
近年、プラズマエッチング操作により大型のウエハをプラズマエッチングすることができるように、プラズマエッチング装置はますます大型化する傾向にある。この大型のプラズマエッチング装置に使用される電極板は単結晶シリコン電極基板で構成されることが好ましいが、単結晶シリコン電極基板の直径は単結晶シリコンインゴットを輪切りにして作られるところから単結晶シリコンインゴットの径によって制限される。ところが、民生用の単結晶シリコンインゴットの径は最大でも300mmであるところから、単結晶シリコンインゴットから作製される単結晶シリコン電極基板の直径も300mm以下に制限され、それ以上の大きな直径を有する大型の単結晶シリコン電極基板を作ることはコスト的にも高くなって難しい。
【0004】
したがって、400mm以上の大口径を有するプラズマエッチング用シリコン電極板は、通常は、溶融・凝固法により製造される多結晶シリコンインゴットまたは一方向凝固柱状晶インゴットを切断して多結晶シリコン電極基板または一方向凝固柱状晶シリコン電極基板を作製し、これら電極基板に穴あけ加工することにより作製していた。これら多結晶シリコン電極基板または一方向凝固柱状晶シリコン電極基板は比較的簡単に大口径のシリコン電極基板を作製することができるから、その価格は格段に安価である。
【0005】
しかし、かかる多結晶シリコン電極基板で作製したプラズマエッチング用シリコン電極板は、図4の一部断面図に示されるように、多結晶シリコン電極基板11に形成された貫通細孔ガス穴5の壁面に多結晶粒界12が露出しているために、多結晶粒13が粒界12に沿って剥がれ落ち、それがパーティクル14となるのでパーティクル発生率が高く、したがって、不良品発生率が高いという欠点がある。
また、一方向凝固柱状晶シリコン電極基板で作製したプラズマエッチング用シリコン電極板も、図5の一部断面図に示されるように、貫通細孔ガス穴5の壁面に柱状晶粒界15が露出しているために、柱状晶16が柱状晶粒界15に沿って剥がれ落ち、それがパーティクル14となるので不良品が発生するという欠点がある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明者等は、かかる観点から、大口径のプラズマエッチング用シリコン電極板であってもパーティクル発生の一層少ないプラズマエッチング用シリコン電極板を得るべく研究を行った。その結果、
(イ)図2の断面図に示されるように、径の大きな穴からなる大径穴部21と前記大径穴部21の径よりも小さい径の穴からなる小径穴部22からなるガス穴部開口部2を有する多結晶シリコン電極基板1を作製し、このガス穴部開口部2に、径の大きな部分の大径部31と前記大径部31の径よりも小さい径を有する部分の小径部32からなりさらに貫通細孔ガス穴5を有する単結晶シリコンからなるガス穴パーツ3を着脱自在にはめ込んで図1の断面図に示されるプラズマエッチング用多結晶シリコン電極板を作製し、このプラズマエッチング用多結晶シリコン電極板を用いてウエハをプラズマエッチングすると、単結晶シリコンからなるガス穴パーツの貫通細孔ガス穴には結晶粒界が露出していないので、結晶粒界に沿って剥がれ落ちる結晶粒がなく、そのためにパーティクル発生が極めて少なくなる、
(ロ)図3の断面図に示されるように、ガス穴部開口部2を有する一方向凝固柱状晶シリコン電極基板10を作製し、このガス穴部開口部2に単結晶シリコンからなる貫通細孔ガス穴5を有するガス穴パーツ3を着脱自在にはめ込んで図3の断面図に示されるプラズマエッチング用一方向凝固柱状晶シリコン電極板を作製し、このプラズマエッチング用一方向凝固柱状晶シリコン電極板を用いてウエハをプラズマエッチングすると、単結晶シリコンからなるガス穴パーツの貫通細孔ガス穴には結晶粒界が露出していないので、結晶粒界に沿って剥がれ落ちる結晶粒がなく、そのためにパーティクル発生が極めて少なくなる、
という知見を得たのである。
【0007】
この発明は、かかる知見に基づいてなされたものであって、
多結晶シリコンまたは一方向凝固柱状晶シリコンからなり径の大きな穴からなる大径穴部と前記大径穴部の径よりも小さい径の穴からなる小径穴部からなるガス穴部開口部を有するシリコン電極基板と、このガス穴部分開口部に、径の大きな部分の大径部と前記大径部の径よりも小さい径を有する部分の小径部からなりさらに貫通細孔ガス穴を有する単結晶シリコンからなるガス穴パーツをはめ込んでなるプラズマエッチング用シリコン電極板であって、前記ガス穴部開口部にはめ込まれた前記ガス穴パーツは交換可能であるプラズマエッチング用シリコン電極板、に特徴を有するものである。
【0008】
この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板を図面に基づいて一層詳細に説明する。
図1は、この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板の断面説明図であり、図2はその組立て前の断面説明図である。図2において、1は多結晶シリコン電極基板、2は多結晶シリコン電極基板1に形成されたガス穴部開口部、3はガス穴パーツであり、ガス穴パーツ3は単結晶シリコンで構成されている。多結晶シリコン電極基板1には、図2に示されるように、ガス穴部開口部2が形成されているがこのガス穴部開口部2は径の大きな穴からなる大径穴部21と前記大径穴部21の径よりも小さい径の穴からなる小径穴部22とで構成されている。
一方、ガス穴パーツ3は径の大きな部分の大径部31と前記大径部31の径よりも小さい径を有する部分の小径部32からなりさらに貫通細孔ガス穴5を有している。このガス穴パーツ3をガス穴部開口部2にはめ込むと、ガス穴パーツ3の大径部31はガス穴部開口部2の大径穴部21に嵌合し、ガス穴パーツ3の小径部32はガス穴部開口部2の小径穴部22に嵌合するようになっており、プラズマエッチング用シリコン電極板をプラズマエッチング装置に装着した場合に、ガス穴パーツ3が脱落しないようになっている。また、嵌合したガス穴パーツ3は消耗した場合に交換可能となっている。
【0009】
図3は、この発明のプラズマエッチング用一方向凝固柱状晶シリコン電極板の断面説明図であり、このプラズマエッチング用一方向凝固柱状晶シリコン電極板は一方向凝固柱状晶シリコンインゴットから作製した一方向凝固柱状晶シリコン電極基板10が使用されている。この一方向凝固柱状晶シリコン電極基板10にはガス穴部開口部2が設けられており、このガス穴部開口部2に貫通細孔ガス穴5を有し単結晶シリコンで構成されているガス穴パーツ3が装着されている。図3におけるこの発明のプラズマエッチング用シリコン電極板を構成する一方向凝固柱状晶シリコン電極基板10に設けられたガス穴部開口部2は図1及び図2で説明したガス穴部開口部2および貫通細孔ガス穴5を有し単結晶シリコンで構成されているガス穴パーツ3と形状及び構造は同じであるから、その作用についての説明は省略する。
【0010】
このようにして作製したプラズマエッチング用多結晶シリコン電極板およびプラズマエッチング用一方向凝固柱状晶シリコン電極板は、貫通細孔ガス穴を有するガス穴パーツはパーティクル発生の少ない単結晶シリコンにより作られているために、シリコン電極基板が多結晶シリコンまたは一方向凝固柱状晶シリコンで構成されていてもパーティクル発生の少ないプラズマエッチング用シリコン電極板が得られるのである。
【0011】
【発明の実施の形態】
実施例1
直径:440mmを有する多結晶シリコンインゴットを用意し、このインゴットをダイヤモンドソーにより切り出した後、研削加工およびポリッシング加工を施して直径:420mm、厚さ:5mmを有する多結晶シリコン電極基板1を作製した。この多結晶シリコン電極基板1に図2に示されるように直径:4mmの大径穴部21と直径:2mmの小径穴部22からなるガス穴部開口部2を形成した。
さらに、細い直径:150mmの単結晶シリコンインゴットを用意し、この単結晶シリコンインゴットから切り出して直径:4mmの大径部31と直径:2mmの小径部32を有し、中心部に直径:0.5mmの貫通細孔ガス穴5を形成した単結晶シリコンからなるガス穴パーツ3を作製した。
【0012】
このようにして得られた単結晶シリコンからなるガス穴パーツ3を図1に示されるようにガス穴部開口部2にはめ込むことにより本発明プラズマエッチング用シリコン電極板(以下、本発明電極板1という)を作製した。
【0013】
従来例1
さらに、先に作製した直径:420mm、厚さ:5mmの寸法を有する多結晶シリコン電極基板に直径:0.5mmの貫通細孔ガス穴を形成することにより従来プラズマエッチング用多結晶シリコン電極板(以下、従来電極板1という)を作製した。
さらに、予めCVD法によりSiO2 層を表面に形成した直径:200mmのウエハを用意した。
【0014】
この本発明電極板1および従来電極板1をそれぞれプラズマエッチング装置にセットし、さらにSiO2 層を形成したウエハをプラズマエッチング装置にセットし、
チャンバー内圧力:10-1Torr、
エッチングガス組成:90sccmCHF3 +4sccmO2 +150sccmHe、
高周波電力:2kW、
周波数:20kHz、
の条件で、ウエハ表面のSiO2 層のプラズマエッチングを行ない、300時間経過後のそれぞれの時点でのウエハに付着した直径:0.2μm以上の大きさのパーティクル発生数を測定し、その結果を表1に示した。
【0015】
【表1】
【0016】
表1に示される結果から、本発明電極板1を使用してウエハ表面に形成されたパーティクルの数は従来電極板1を使用してウエハ表面に形成されたパーティクルの数に比べて格段に少ないことが分かる。
【0017】
実施例2
直径:500mmの一方向凝固柱状晶シリコンインゴットを用意し、このインゴットをダイヤモンドハンドソーにより厚さ:5mmに輪切り切断した後、研削加工およびポリッシング加工を施して直径:480mm、厚さ:5mmの寸法を有する一方向凝固柱状晶シリコン電極基板を作製し、この一方向凝固柱状晶シリコン電極基板に、実施例1と同様にして直径:4mmの大径穴部21と直径:2mmの小径穴部22からなるガス穴部開口部2を形成した。
【0018】
さらに、実施例1で用意した直径:4mmの大径部31と直径:2mmの小径部32からなり直径:0.5mmの貫通細孔ガス穴5を形成してなる単結晶シリコンで構成されたガス穴パーツ3を作製した。このガス穴パーツ3をガス穴部開口部2にはめ込むことにより本発明プラズマエッチング用一方向凝固柱状晶シリコン電極板(以下、本発明電極板2という)を作製した。
【0019】
さらに、先に作製した直径:480mm、厚さ:5mmの寸法を有する一方向凝固柱状晶シリコン電極基板に直径:0.5mmの貫通細孔ガス穴を形成することにより従来プラズマエッチング用一方向凝固柱状晶シリコン電極板(以下、従来電極板2という)を作製した。
さらに、予めCVD法によりSiO2 層を表面に形成した直径:200mmのウエハを用意した。
【0020】
この本発明電極板2および従来電極板2をそれぞれプラズマエッチング装置にセットし、さらにSiO2 層を形成したウエハをプラズマエッチング装置にセットし、
チャンバー内圧力:10-1Torr、
エッチングガス組成:90sccmCHF3 +4sccmO2 +150sccmHe、
高周波電力:2kW、
周波数:20kHz、
の条件で、ウエハ表面のSiO2 層のプラズマエッチングを行ない、300時間経過後のそれぞれの時点でのウエハウエハに付着した直径:0.2μm以上の大きさのパーティクル発生数を測定し、その結果を表2に示した。
【0021】
【表2】
【0022】
表2に示される結果から、本発明電極板2を使用してウエハ表面に形成されたパーティクルの数は従来電極板2を使用してウエハ表面に形成されたパーティクルの数に比べて格段に少ないことが分かる。
【0023】
【発明の効果】
上述の実施例1および2からも明らかなように、この発明の大口径を有しかつパーティクル発生が少ないプラズマエッチング用シリコン電極板を使用すると、大口径を有するところから大型のウエハをエッチングすることができ、さらに単結晶プラズマエッチング用シリコン電極板とほぼ同じ程度に不良品発生率を減らすことができ、さらにガス穴パーツは小口径の安価な単結晶インゴットから作製することができ、さらにガス穴パーツが消耗したら交換することができるのでコストを安く抑えることができるところから、半導体装置産業の発展に大いに貢献しうるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板を説明するための断面説明図である。
【図2】 この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板の製造方法を説明するための断面説明図である。
【図3】 この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板を説明するための断面説明図である。
【図4】 従来のプラズマエッチング用シリコン電極板の貫通細孔ガス穴における消耗状態を説明するための断面説明図である。
【図5】 従来のプラズマエッチング用シリコン電極板の貫通細孔ガス穴における消耗状態を説明するための断面説明図である。
【図6】 プラズマエッチング用シリコン電極板の使用状態を説明するための断面説明図である。
【符号の説明】
1 多結晶シリコン電極基板
2 ガス穴部開口部
21 大径穴部
22 小径穴部
3 ガス穴パーツ
30 ガス穴パーツ
4 ウエハ
5 貫通細孔ガス穴
6 架台
7 エッチングガス
8 プラズマ
9 プラズマエッチング用シリコン電極板
10 一方向凝固柱状晶シリコン電極基板
11 シリコン電極基板
12 多結晶粒界
13 多結晶粒
14 パーティクル
15 柱状晶粒界
16 柱状晶
Claims (3)
- 径の大きな穴からなる大径穴部と前記大径穴部の径よりも小さい径の穴からなる小径穴部からなるガス穴部開口部を有する多結晶シリコン電極基板と、このガス穴部分開口部に、径の大きな部分の大径部と前記大径部の径よりも小さい径を有する部分の小径部からなりさらに貫通細孔ガス穴を有する単結晶シリコンからなるガス穴パーツをはめ込んでなるプラズマエッチング用シリコン電極板であって、前記ガス穴部開口部にはめ込まれた前記ガス穴パーツは交換可能であることを特徴とするプラズマエッチング用シリコン電極板。
- 径の大きな穴からなる大径穴部と前記大径穴部の径よりも小さい径の穴からなる小径穴部からなるガス穴部開口部を有する一方向凝固柱状晶シリコン電極基板と、このガス穴部分開口部に、径の大きな部分の大径部と前記大径部の径よりも小さい径を有する部分の小径部からなりさらに貫通細孔ガス穴を有する単結晶シリコンからなるガス穴パーツをはめ込んでなるプラズマエッチング用シリコン電極板であって、前記ガス穴部開口部にはめ込まれた前記ガス穴パーツは交換可能であることを特徴とするプラズマエッチング用シリコン電極板。
- 前記プラズマエッチング用シリコン電極板は直径:400mm以上の大口径を有することを特徴とする請求項1または2記載のプラズマエッチング用シリコン電極板。
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