JP2004079959A - プラズマエッチング用シリコン電極板 - Google Patents
プラズマエッチング用シリコン電極板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004079959A JP2004079959A JP2002241962A JP2002241962A JP2004079959A JP 2004079959 A JP2004079959 A JP 2004079959A JP 2002241962 A JP2002241962 A JP 2002241962A JP 2002241962 A JP2002241962 A JP 2002241962A JP 2004079959 A JP2004079959 A JP 2004079959A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma etching
- electrode plate
- silicon
- silicon electrode
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【課題】従来よりも長時間エッチングレートの均一性を保つことができるプラズマエッチング用シリコン電極板を提供する。
【解決手段】単結晶シリコン、多結晶シリコンまたは一方向凝固組織を有する柱状晶シリコンからなりガス穴部開口部2を有するシリコン電極基板1と、このガス穴部分開口部2に炭化珪素からなる貫通細孔ガス穴5を有するガス穴パーツ3をはめ込んでなるプラズマエッチング用シリコン電極板10であって、前記ガス穴部開口部2にはめ込まれた前記ガス穴パーツ3は交換可能である。
【選択図】 図1
【解決手段】単結晶シリコン、多結晶シリコンまたは一方向凝固組織を有する柱状晶シリコンからなりガス穴部開口部2を有するシリコン電極基板1と、このガス穴部分開口部2に炭化珪素からなる貫通細孔ガス穴5を有するガス穴パーツ3をはめ込んでなるプラズマエッチング用シリコン電極板10であって、前記ガス穴部開口部2にはめ込まれた前記ガス穴パーツ3は交換可能である。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、長時間プラズマエッチングを行っても均一なエッチングを行うことの出来るプラズマエッチング用シリコン電極板に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体集積回路を製造する際に、シリコンウエハ上に形成された層間絶縁膜をエッチングする必要があるが、この層間絶縁膜付きシリコンウエハ(以下、ウエハと呼ぶ)をエッチングするためにプラズマエッチング用シリコン電極板が使用されている。そのプラズマエッチング用シリコン電極板9は、図4の一部断面概略説明図に示されるように、単結晶シリコン、多結晶シリコン、または一方向凝固組織を有する柱状晶シリコンからなるシリコン電極基板11の厚さ方向に平行に貫通細孔ガス穴5が設けられた構造を有している。このプラズマエッチング用シリコン電極板9は真空容器(図示せず)内のほぼ中央に固定し、一方、架台6の上にウエハ4を載置し、エッチングガス7を貫通細孔ガス穴5を通してウエハ4に向って流しながら高周波電圧を印加することによりシリコン電極基板1とウエハ4の間にプラズマ8を発生させ、このプラズマ8がウエハ4に作用させてウエハ4の表面をエッチングするようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
かかるウエハ4のプラズマエッチング操作を長時間行うと、プラズマエッチング用シリコン電極板9も同時にエッチングされ、特にシリコン電極基板11の厚さ方向に平行に設けられている貫通細孔ガス穴5は、一部断面説明図である図5に示されるように、プラズマに接する面の貫通細孔ガス穴5が下広がりになるように拡大消耗し、さらに、その消耗の程度もプラズマの濃度差によって差が生じ、プラズマ濃度の最も高い中心部に位置する貫通細孔ガス穴は周辺部に位置する貫通細孔ガス穴に比べて消耗が激しく、そのためにウエハ4の表面のエッチングレートが中心部と周辺部とで不均一になる。この現象は、長時間プラズマエッチングを行うほど顕著になり、特に、近年、プラズマ8の密度を均一に保持しウエハ4のエッチングレートを均一に保つことが要求される場合では、一枚のプラズマエッチング用シリコン電極板9を使用する時間が極めて短く限定されており、プラズマエッチング用シリコン電極板9の消耗量が少ないにもかかわらず早期に交換しなければならない。そして交換したプラズマエッチング用シリコン電極板9はスクラップとなるために無駄な使い方がなされている。
【0004】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明者等は、かかる観点から、長時間プラズマエッチングを行っても均一なエッチングを行うことの出来るプラズマエッチング用シリコン電極板を得るべく研究を行った。その結果、
図2の断面図に示されるように、ガス穴部開口部2を有するシリコン電極基板1を作製し、このガス穴部開口部2にシリコンに比べて消耗の少ない炭化珪素からなる貫通細孔ガス穴5を有するガス穴パーツ3をはめ込んで図1の断面図に示されるプラズマエッチング用シリコン電極板10を作製し、このプラズマエッチング用シリコン電極板10を用いてウエハをエッチングすると、シリコンに比べて消耗の少ない炭化珪素からなるガス穴パーツの貫通細孔ガス穴5は拡大消耗することが少なく、そのために長時間プラズマエッチングしてもエッチングの均一性が確保される、という知見を得たのである。
【0005】
この発明は、かかる知見に基づいてなされたものであって、
単結晶シリコン、多結晶シリコンまたは一方向凝固組織を有する柱状晶シリコンからなりガス穴部開口部を有するシリコン電極基板と、このガス穴部分開口部に炭化珪素からなる貫通細孔ガス穴を有するガス穴パーツをはめ込んでなるプラズマエッチング用シリコン電極板であって、前記ガス穴部開口部にはめ込まれた前記ガス穴パーツは交換可能であるプラズマエッチング用シリコン電極板、に特徴を有するものである。
【0006】
この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板を図面に基づいて一層詳細に説明する。
図1は、この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板の断面説明図であり、図2はその組立て前の断面説明図である。図2において、1はシリコン電極基板、2はシリコン電極基板に形成されたガス穴部開口部、3はガス穴パーツである。
シリコン電極基板1は単結晶シリコン、多結晶シリコンまたは一方向凝固組織を有する柱状晶シリコンからなり、ガス穴パーツ3は炭化珪素からなる。シリコン電極基板1には、図2に示されるように、ガス穴部開口部2が形成されている。このガス穴部開口部2は大径穴部21と小径穴部22からなり、一方、ガス穴パーツ3は大径部31、小径部32および貫通細孔ガス穴5からなり、この貫通細孔ガス穴5を有するガス穴パーツ3をガス穴部開口部2にはめ込むと、ガス穴パーツ3の大径部31はガス穴部開口部2の大径穴部21に嵌合し、ガス穴パーツ3の小径部32はガス穴部開口部2の小径穴部22に嵌合するようになっており、プラズマエッチング用シリコン電極板をプラズマエッチング装置に装着した場合に、ガス穴パーツ3が脱落しないようになっている。
【0007】
図3は、シリコン電極基板1にガス穴パーツ30を装着した別態様のこの発明のプラズマエッチング用シリコン電極板10である。図3におけるシリコン電極基板1に設けられたガス穴部開口部2は上広がりテーパを有しており、このテーパを有するガス穴部開口部2に、ガス穴部開口部2とは逆のテーパを有する炭化珪素からなるガス穴パーツを嵌合させたものである。その他の符号は先に図1または2で説明したのと同じであるからその説明は省略する。
このようにして作製したプラズマエッチング用シリコン電極板は、貫通細孔ガス穴を有するガス穴パーツが消耗の少ない炭化ケイ素により作られているために、長時間使用しても貫通細孔ガス穴の消耗が少なく、したがって、長時間使用してもエッチングレートの均一性を保つことができる。また、長時間使用して貫通細孔ガス穴が拡大消耗し、中心部と周辺部とのエッチングレート差が大きくなってその許容範囲を越えることがあれば、嵌合しているガス穴パーツを交換することにより簡単に解決することができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
実施例1
直径:280mmの単結晶シリコンインゴットを用意し、このインゴットをダイヤモンドバンドソーにより厚さ:5mmに輪切り切断し、直径:280mm、厚さ:5mmを有する寸法の単結晶シリコン電極基板を作製し、この単結晶シリコン電極基板に、図2に示される直径:4mmの大径穴部21と直径:2mmの小径穴部22のからなるガス穴部開口部2を形成した。
【0009】
さらに、平均粒径:5μmを有する炭化ケイ素粉末を燒結することにより直径:4mmの大径部31と直径:2mmの小径部32を有する焼結体を作製し、この焼結体に直径:0.5mmの貫通細孔ガス穴5を形成して炭化ケイ素からなるガス穴パーツ3を作製した。このガス穴パーツ3をガス穴部開口部2にはめ込むことにより本発明プラズマエッチング用シリコン電極板(以下、本発明電極板という)1を作製した。
【0010】
さらに、先に作製した直径:280mm、厚さ:5mmの寸法を有する単結晶シリコン電極基板に直径:0.5mmの貫通細孔ガス穴を8mm間隔で形成することにより従来プラズマエッチング用シリコン電極板(以下、従来電極板1という)を作製した。
さらに、予めCVD法によりSiO2 層を表面に形成したウエハを用意した。
【0011】
この本発明電極板1および従来電極板1をそれぞれプラズマエッチング装置にセットし、さらにSiO2 層を形成したウエハをプラズマエッチング装置にセットし、
チャンバー内圧力:10−1Torr、
エッチングガス組成:90sccmCHF3 +4sccmO2 +150sccmHe、
高周波電力:2kW、
周波数:20kHz、
の条件で、ウエハ表面のSiO2 層のプラズマエッチングを行ない、エッチング開始直後、エッチング開始から50時間経過後、100時間経過後、150時間経過後、200時間経過後、250時間経過後、300時間経過後のそれぞれの時点でのウエハの最も深くエッチングされた中心部の深さ:Aを測定し、さらにウエハの最も浅くエッチングされた周辺部の深さ:Bを測定し、このAおよびBの測定値を(A−B)/B×100(%)の式に代入し求めた値(以下、エッチングレートという)を表1に示し、ウエハのプラズマエッチングの均一性を評価した。
【0012】
【表1】
【0013】
表1に示される本発明電極板1を使用してウエハ表面のSiO2 層をプラズマエッチングした結果と従来電極板1を使用してウエハ表面のSiO2 層をプラズマエッチングした結果を比較すると、本発明電極板1を使用して300時間プラズマエッチングした場合のエッチングレートは従来電極板1を使用して300時間プラズマエッチングした場合のエッチングレートに比べてその値が小さいところから、本発明電極板1は従来電極板1よりもウエハ表面を長時間プラズマエッチングを行うことができることがわかる。
【0014】
実施例2
溶融・凝固法により直径:300mmの多結晶シリコンインゴットを作製し、このシリコンインゴットをダイヤモンドバンドソーにより切断したのち、研削加工およびポリッシング加工を施して直径:280mm、厚さ:5mmを有する寸法の多結晶シリコン電極基板を作製し、この多結晶シリコン電極基板に、図2に示される直径:5mmの大径穴部21と直径:2.5mmの小径穴部22のからなるガス穴部開口部2を形成した。
【0015】
さらに、平均粒径:8μmを有する炭化ケイ素粉末を燒結することにより直径:5mmの大径部31と直径:2.5mmの小径部32からなる焼結体を作製し、この焼結体に直径:0.4mmの貫通細孔ガス穴5を形成して炭化ケイ素からなるガス穴パーツ3を作製した。このガス穴パーツ3をガス穴部開口部2にはめ込むことにより本発明電極板2を作製した。
【0016】
さらに、先に作製した直径:280mm、厚さ:5mmの寸法を有する多結晶シリコン電極基板に直径:0.4mmの貫通細孔ガス穴を10mm間隔で形成することにより従来電極板2を作製した。
さらに、予めCVD法によりSiO2 層を表面に形成したウエハを用意した。
【0017】
この本発明電極板2および従来電極板2をそれぞれプラズマエッチング装置にセットし、さらにSiO2 層を形成したウエハをプラズマエッチング装置にセットし、
チャンバー内圧力:10−1Torr、
エッチングガス組成:90sccmCHF3 +4sccmO2 +150sccmHe、
高周波電力:2kW、
周波数:20kHz、
の条件で、ウエハ表面のSiO2 層のプラズマエッチングを行ない、エッチング開始直後、エッチング開始から50時間経過後、100時間経過後、150時間経過後、200時間経過後、250時間経過後、300時間経過後のそれぞれの時点でのウエハの最も深くエッチングされた中心部の深さ:Aを測定し、さらにウエハの最も浅くエッチングされた周辺部の深さ:Bを測定し、このAおよびBの測定値を(A−B)/B×100(%)の式に代入し求めたエッチングレートを表2に示し、ウエハのプラズマエッチングの均一性を評価した。
【0018】
【表2】
【0019】
表2に示される本発明電極板2を使用してウエハ表面のSiO2 層をプラズマエッチングした結果と従来電極板2を使用してウエハ表面のSiO2 層をプラズマエッチングした結果を比較すると、本発明電極板1を使用して300時間プラズマエッチングした場合のエッチングレートは従来電極板2を使用して300時間プラズマエッチングした場合のエッチングレートに比べてその値が小さいところから、本発明電極板2は従来電極板2よりもウエハ表面を長時間プラズマエッチングを行うことができることがわかる。
【0020】
実施例3
直径:280mmの柱状晶シリコンインゴットを用意し、このインゴットをダイヤモンドバンドソーにより厚さ:5mmに輪切り切断し、直径:280mm、厚さ:5mmを有する寸法の柱状晶シリコン電極基板を作製し、この柱状晶シリコン電極基板に、図2に示される直径:6mmの大径穴部21と直径:3mmの小径穴部22のからなるガス穴部開口部2を形成した。
【0021】
さらに、平均粒径:3μmを有する炭化ケイ素粉末を燒結することにより直径:6mmの大径部31と直径:3mmの小径部32を有する焼結体を作製し、この焼結体に直径:0.45mmの貫通細孔ガス穴5を形成して炭化ケイ素からなるガス穴パーツ3を作製した。このガス穴パーツ3をガス穴部開口部2にはめ込むことにより本発明電極板3を作製した。
【0022】
さらに、先に作製した直径:280mm、厚さ:5mmの寸法を有する柱状晶シリコン電極基板に直径:0.45mmの貫通細孔ガス穴を12mm間隔で形成することにより従来電極板3を作製した。
さらに、予めCVD法によりSiO2 層を表面に形成したウエハを用意した。
【0023】
この本発明電極板3および従来電極板3をそれぞれプラズマエッチング装置にセットし、さらにSiO2 層を形成したウエハをプラズマエッチング装置にセットし、
チャンバー内圧力:10−1Torr、
エッチングガス組成:90sccmCHF3 +4sccmO2 +150sccmHe、
高周波電力:2kW、
周波数:20kHz、
の条件で、ウエハ表面のSiO2 層のプラズマエッチングを行ない、エッチング開始直後、エッチング開始から50時間経過後、100時間経過後、150時間経過後、200時間経過後、250時間経過後、300時間経過後のそれぞれの時点でのウエハの最も深くエッチングされた中心部の深さ:Aを測定し、さらにウエハの最も浅くエッチングされた周辺部の深さ:Bを測定し、このAおよびBの測定値を(A−B)/B×100(%)の式に代入し求めたエッチングレートを表3に示し、ウエハのエッチングの均一性を評価した。
【0024】
【表3】
【0025】
表3に示される本発明電極板3を使用してウエハ表面のSiO2 層をプラズマエッチングした結果と従来電極板3を使用してウエハ表面のSiO2 層をプラズマエッチングした結果を比較すると、本発明電極板3を使用して300時間プラズマエッチングした場合のエッチングレートは従来電極板3を使用して300時間プラズマエッチングした場合のエッチングレートに比べてその値が小さいところから、本発明電極板3は従来電極板3よりもウエハ表面を長時間プラズマエッチングを行うことができることがわかる。
【0026】
【発明の効果】
上述のように、この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板を使用すると、従来よりも長時間均一なプラズマエッチングを行うことができるところから、プラズマエッチングによるプラズマエッチング用シリコン電極板交換回数を大幅に減らすことができ、半導体装置産業の発展に大いに貢献しうるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板を説明するための断面説明図である。
【図2】この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板の製造方法を説明するための断面説明図である。
【図3】この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板を説明するための断面説明図である。
【図4】従来のプラズマエッチング用シリコン電極板の使用状態を説明するための一部断面概略説明図である。
【図5】従来のプラズマエッチング用シリコン電極板の貫通細孔ガス穴における消耗状態を説明するための断面説明図である。
【符号の説明】
1 シリコン電極基板
2 ガス穴部開口部
21 大径穴部
22 小径穴部
3 ガス穴パーツ
30 ガス穴パーツ
4 ウエハ
5 貫通細孔ガス穴
6 架台
7 エッチングガス
8 プラズマ
9 従来のプラズマエッチング用シリコン電極板
10 この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板
11 シリコン電極基板
【発明の属する技術分野】
この発明は、長時間プラズマエッチングを行っても均一なエッチングを行うことの出来るプラズマエッチング用シリコン電極板に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体集積回路を製造する際に、シリコンウエハ上に形成された層間絶縁膜をエッチングする必要があるが、この層間絶縁膜付きシリコンウエハ(以下、ウエハと呼ぶ)をエッチングするためにプラズマエッチング用シリコン電極板が使用されている。そのプラズマエッチング用シリコン電極板9は、図4の一部断面概略説明図に示されるように、単結晶シリコン、多結晶シリコン、または一方向凝固組織を有する柱状晶シリコンからなるシリコン電極基板11の厚さ方向に平行に貫通細孔ガス穴5が設けられた構造を有している。このプラズマエッチング用シリコン電極板9は真空容器(図示せず)内のほぼ中央に固定し、一方、架台6の上にウエハ4を載置し、エッチングガス7を貫通細孔ガス穴5を通してウエハ4に向って流しながら高周波電圧を印加することによりシリコン電極基板1とウエハ4の間にプラズマ8を発生させ、このプラズマ8がウエハ4に作用させてウエハ4の表面をエッチングするようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
かかるウエハ4のプラズマエッチング操作を長時間行うと、プラズマエッチング用シリコン電極板9も同時にエッチングされ、特にシリコン電極基板11の厚さ方向に平行に設けられている貫通細孔ガス穴5は、一部断面説明図である図5に示されるように、プラズマに接する面の貫通細孔ガス穴5が下広がりになるように拡大消耗し、さらに、その消耗の程度もプラズマの濃度差によって差が生じ、プラズマ濃度の最も高い中心部に位置する貫通細孔ガス穴は周辺部に位置する貫通細孔ガス穴に比べて消耗が激しく、そのためにウエハ4の表面のエッチングレートが中心部と周辺部とで不均一になる。この現象は、長時間プラズマエッチングを行うほど顕著になり、特に、近年、プラズマ8の密度を均一に保持しウエハ4のエッチングレートを均一に保つことが要求される場合では、一枚のプラズマエッチング用シリコン電極板9を使用する時間が極めて短く限定されており、プラズマエッチング用シリコン電極板9の消耗量が少ないにもかかわらず早期に交換しなければならない。そして交換したプラズマエッチング用シリコン電極板9はスクラップとなるために無駄な使い方がなされている。
【0004】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明者等は、かかる観点から、長時間プラズマエッチングを行っても均一なエッチングを行うことの出来るプラズマエッチング用シリコン電極板を得るべく研究を行った。その結果、
図2の断面図に示されるように、ガス穴部開口部2を有するシリコン電極基板1を作製し、このガス穴部開口部2にシリコンに比べて消耗の少ない炭化珪素からなる貫通細孔ガス穴5を有するガス穴パーツ3をはめ込んで図1の断面図に示されるプラズマエッチング用シリコン電極板10を作製し、このプラズマエッチング用シリコン電極板10を用いてウエハをエッチングすると、シリコンに比べて消耗の少ない炭化珪素からなるガス穴パーツの貫通細孔ガス穴5は拡大消耗することが少なく、そのために長時間プラズマエッチングしてもエッチングの均一性が確保される、という知見を得たのである。
【0005】
この発明は、かかる知見に基づいてなされたものであって、
単結晶シリコン、多結晶シリコンまたは一方向凝固組織を有する柱状晶シリコンからなりガス穴部開口部を有するシリコン電極基板と、このガス穴部分開口部に炭化珪素からなる貫通細孔ガス穴を有するガス穴パーツをはめ込んでなるプラズマエッチング用シリコン電極板であって、前記ガス穴部開口部にはめ込まれた前記ガス穴パーツは交換可能であるプラズマエッチング用シリコン電極板、に特徴を有するものである。
【0006】
この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板を図面に基づいて一層詳細に説明する。
図1は、この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板の断面説明図であり、図2はその組立て前の断面説明図である。図2において、1はシリコン電極基板、2はシリコン電極基板に形成されたガス穴部開口部、3はガス穴パーツである。
シリコン電極基板1は単結晶シリコン、多結晶シリコンまたは一方向凝固組織を有する柱状晶シリコンからなり、ガス穴パーツ3は炭化珪素からなる。シリコン電極基板1には、図2に示されるように、ガス穴部開口部2が形成されている。このガス穴部開口部2は大径穴部21と小径穴部22からなり、一方、ガス穴パーツ3は大径部31、小径部32および貫通細孔ガス穴5からなり、この貫通細孔ガス穴5を有するガス穴パーツ3をガス穴部開口部2にはめ込むと、ガス穴パーツ3の大径部31はガス穴部開口部2の大径穴部21に嵌合し、ガス穴パーツ3の小径部32はガス穴部開口部2の小径穴部22に嵌合するようになっており、プラズマエッチング用シリコン電極板をプラズマエッチング装置に装着した場合に、ガス穴パーツ3が脱落しないようになっている。
【0007】
図3は、シリコン電極基板1にガス穴パーツ30を装着した別態様のこの発明のプラズマエッチング用シリコン電極板10である。図3におけるシリコン電極基板1に設けられたガス穴部開口部2は上広がりテーパを有しており、このテーパを有するガス穴部開口部2に、ガス穴部開口部2とは逆のテーパを有する炭化珪素からなるガス穴パーツを嵌合させたものである。その他の符号は先に図1または2で説明したのと同じであるからその説明は省略する。
このようにして作製したプラズマエッチング用シリコン電極板は、貫通細孔ガス穴を有するガス穴パーツが消耗の少ない炭化ケイ素により作られているために、長時間使用しても貫通細孔ガス穴の消耗が少なく、したがって、長時間使用してもエッチングレートの均一性を保つことができる。また、長時間使用して貫通細孔ガス穴が拡大消耗し、中心部と周辺部とのエッチングレート差が大きくなってその許容範囲を越えることがあれば、嵌合しているガス穴パーツを交換することにより簡単に解決することができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
実施例1
直径:280mmの単結晶シリコンインゴットを用意し、このインゴットをダイヤモンドバンドソーにより厚さ:5mmに輪切り切断し、直径:280mm、厚さ:5mmを有する寸法の単結晶シリコン電極基板を作製し、この単結晶シリコン電極基板に、図2に示される直径:4mmの大径穴部21と直径:2mmの小径穴部22のからなるガス穴部開口部2を形成した。
【0009】
さらに、平均粒径:5μmを有する炭化ケイ素粉末を燒結することにより直径:4mmの大径部31と直径:2mmの小径部32を有する焼結体を作製し、この焼結体に直径:0.5mmの貫通細孔ガス穴5を形成して炭化ケイ素からなるガス穴パーツ3を作製した。このガス穴パーツ3をガス穴部開口部2にはめ込むことにより本発明プラズマエッチング用シリコン電極板(以下、本発明電極板という)1を作製した。
【0010】
さらに、先に作製した直径:280mm、厚さ:5mmの寸法を有する単結晶シリコン電極基板に直径:0.5mmの貫通細孔ガス穴を8mm間隔で形成することにより従来プラズマエッチング用シリコン電極板(以下、従来電極板1という)を作製した。
さらに、予めCVD法によりSiO2 層を表面に形成したウエハを用意した。
【0011】
この本発明電極板1および従来電極板1をそれぞれプラズマエッチング装置にセットし、さらにSiO2 層を形成したウエハをプラズマエッチング装置にセットし、
チャンバー内圧力:10−1Torr、
エッチングガス組成:90sccmCHF3 +4sccmO2 +150sccmHe、
高周波電力:2kW、
周波数:20kHz、
の条件で、ウエハ表面のSiO2 層のプラズマエッチングを行ない、エッチング開始直後、エッチング開始から50時間経過後、100時間経過後、150時間経過後、200時間経過後、250時間経過後、300時間経過後のそれぞれの時点でのウエハの最も深くエッチングされた中心部の深さ:Aを測定し、さらにウエハの最も浅くエッチングされた周辺部の深さ:Bを測定し、このAおよびBの測定値を(A−B)/B×100(%)の式に代入し求めた値(以下、エッチングレートという)を表1に示し、ウエハのプラズマエッチングの均一性を評価した。
【0012】
【表1】
【0013】
表1に示される本発明電極板1を使用してウエハ表面のSiO2 層をプラズマエッチングした結果と従来電極板1を使用してウエハ表面のSiO2 層をプラズマエッチングした結果を比較すると、本発明電極板1を使用して300時間プラズマエッチングした場合のエッチングレートは従来電極板1を使用して300時間プラズマエッチングした場合のエッチングレートに比べてその値が小さいところから、本発明電極板1は従来電極板1よりもウエハ表面を長時間プラズマエッチングを行うことができることがわかる。
【0014】
実施例2
溶融・凝固法により直径:300mmの多結晶シリコンインゴットを作製し、このシリコンインゴットをダイヤモンドバンドソーにより切断したのち、研削加工およびポリッシング加工を施して直径:280mm、厚さ:5mmを有する寸法の多結晶シリコン電極基板を作製し、この多結晶シリコン電極基板に、図2に示される直径:5mmの大径穴部21と直径:2.5mmの小径穴部22のからなるガス穴部開口部2を形成した。
【0015】
さらに、平均粒径:8μmを有する炭化ケイ素粉末を燒結することにより直径:5mmの大径部31と直径:2.5mmの小径部32からなる焼結体を作製し、この焼結体に直径:0.4mmの貫通細孔ガス穴5を形成して炭化ケイ素からなるガス穴パーツ3を作製した。このガス穴パーツ3をガス穴部開口部2にはめ込むことにより本発明電極板2を作製した。
【0016】
さらに、先に作製した直径:280mm、厚さ:5mmの寸法を有する多結晶シリコン電極基板に直径:0.4mmの貫通細孔ガス穴を10mm間隔で形成することにより従来電極板2を作製した。
さらに、予めCVD法によりSiO2 層を表面に形成したウエハを用意した。
【0017】
この本発明電極板2および従来電極板2をそれぞれプラズマエッチング装置にセットし、さらにSiO2 層を形成したウエハをプラズマエッチング装置にセットし、
チャンバー内圧力:10−1Torr、
エッチングガス組成:90sccmCHF3 +4sccmO2 +150sccmHe、
高周波電力:2kW、
周波数:20kHz、
の条件で、ウエハ表面のSiO2 層のプラズマエッチングを行ない、エッチング開始直後、エッチング開始から50時間経過後、100時間経過後、150時間経過後、200時間経過後、250時間経過後、300時間経過後のそれぞれの時点でのウエハの最も深くエッチングされた中心部の深さ:Aを測定し、さらにウエハの最も浅くエッチングされた周辺部の深さ:Bを測定し、このAおよびBの測定値を(A−B)/B×100(%)の式に代入し求めたエッチングレートを表2に示し、ウエハのプラズマエッチングの均一性を評価した。
【0018】
【表2】
【0019】
表2に示される本発明電極板2を使用してウエハ表面のSiO2 層をプラズマエッチングした結果と従来電極板2を使用してウエハ表面のSiO2 層をプラズマエッチングした結果を比較すると、本発明電極板1を使用して300時間プラズマエッチングした場合のエッチングレートは従来電極板2を使用して300時間プラズマエッチングした場合のエッチングレートに比べてその値が小さいところから、本発明電極板2は従来電極板2よりもウエハ表面を長時間プラズマエッチングを行うことができることがわかる。
【0020】
実施例3
直径:280mmの柱状晶シリコンインゴットを用意し、このインゴットをダイヤモンドバンドソーにより厚さ:5mmに輪切り切断し、直径:280mm、厚さ:5mmを有する寸法の柱状晶シリコン電極基板を作製し、この柱状晶シリコン電極基板に、図2に示される直径:6mmの大径穴部21と直径:3mmの小径穴部22のからなるガス穴部開口部2を形成した。
【0021】
さらに、平均粒径:3μmを有する炭化ケイ素粉末を燒結することにより直径:6mmの大径部31と直径:3mmの小径部32を有する焼結体を作製し、この焼結体に直径:0.45mmの貫通細孔ガス穴5を形成して炭化ケイ素からなるガス穴パーツ3を作製した。このガス穴パーツ3をガス穴部開口部2にはめ込むことにより本発明電極板3を作製した。
【0022】
さらに、先に作製した直径:280mm、厚さ:5mmの寸法を有する柱状晶シリコン電極基板に直径:0.45mmの貫通細孔ガス穴を12mm間隔で形成することにより従来電極板3を作製した。
さらに、予めCVD法によりSiO2 層を表面に形成したウエハを用意した。
【0023】
この本発明電極板3および従来電極板3をそれぞれプラズマエッチング装置にセットし、さらにSiO2 層を形成したウエハをプラズマエッチング装置にセットし、
チャンバー内圧力:10−1Torr、
エッチングガス組成:90sccmCHF3 +4sccmO2 +150sccmHe、
高周波電力:2kW、
周波数:20kHz、
の条件で、ウエハ表面のSiO2 層のプラズマエッチングを行ない、エッチング開始直後、エッチング開始から50時間経過後、100時間経過後、150時間経過後、200時間経過後、250時間経過後、300時間経過後のそれぞれの時点でのウエハの最も深くエッチングされた中心部の深さ:Aを測定し、さらにウエハの最も浅くエッチングされた周辺部の深さ:Bを測定し、このAおよびBの測定値を(A−B)/B×100(%)の式に代入し求めたエッチングレートを表3に示し、ウエハのエッチングの均一性を評価した。
【0024】
【表3】
【0025】
表3に示される本発明電極板3を使用してウエハ表面のSiO2 層をプラズマエッチングした結果と従来電極板3を使用してウエハ表面のSiO2 層をプラズマエッチングした結果を比較すると、本発明電極板3を使用して300時間プラズマエッチングした場合のエッチングレートは従来電極板3を使用して300時間プラズマエッチングした場合のエッチングレートに比べてその値が小さいところから、本発明電極板3は従来電極板3よりもウエハ表面を長時間プラズマエッチングを行うことができることがわかる。
【0026】
【発明の効果】
上述のように、この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板を使用すると、従来よりも長時間均一なプラズマエッチングを行うことができるところから、プラズマエッチングによるプラズマエッチング用シリコン電極板交換回数を大幅に減らすことができ、半導体装置産業の発展に大いに貢献しうるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板を説明するための断面説明図である。
【図2】この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板の製造方法を説明するための断面説明図である。
【図3】この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板を説明するための断面説明図である。
【図4】従来のプラズマエッチング用シリコン電極板の使用状態を説明するための一部断面概略説明図である。
【図5】従来のプラズマエッチング用シリコン電極板の貫通細孔ガス穴における消耗状態を説明するための断面説明図である。
【符号の説明】
1 シリコン電極基板
2 ガス穴部開口部
21 大径穴部
22 小径穴部
3 ガス穴パーツ
30 ガス穴パーツ
4 ウエハ
5 貫通細孔ガス穴
6 架台
7 エッチングガス
8 プラズマ
9 従来のプラズマエッチング用シリコン電極板
10 この発明のプラズマエッチング用シリコン電極板
11 シリコン電極基板
Claims (4)
- ガス穴部開口部を有するシリコン電極基板と、このガス穴部分開口部に炭化珪素からなる貫通細孔ガス穴を有するガス穴パーツをはめ込んでなるプラズマエッチング用シリコン電極板であって、前記ガス穴部開口部にはめ込まれた前記ガス穴パーツは交換可能であることを特徴とするプラズマエッチング用シリコン電極板。
- 前記ガス穴部開口部を有するシリコン電極基板は単結晶シリコンからことを特徴とする請求項1記載のプラズマエッチング用シリコン電極板。
- 前記ガス穴部開口部を有するシリコン電極基板は多結晶シリコンからことを特徴とする請求項1記載のプラズマエッチング用シリコン電極板。
- 前記ガス穴部開口部を有するシリコン電極基板は一方向凝固組織を有する柱状晶シリコンからことを特徴とする請求項1記載のプラズマエッチング用シリコン電極板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002241962A JP2004079959A (ja) | 2002-08-22 | 2002-08-22 | プラズマエッチング用シリコン電極板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002241962A JP2004079959A (ja) | 2002-08-22 | 2002-08-22 | プラズマエッチング用シリコン電極板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004079959A true JP2004079959A (ja) | 2004-03-11 |
Family
ID=32024289
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002241962A Pending JP2004079959A (ja) | 2002-08-22 | 2002-08-22 | プラズマエッチング用シリコン電極板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004079959A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008251860A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Mitsubishi Materials Corp | プラズマエッチング用シリコン電極板 |
JP2009038050A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Mitsubishi Materials Corp | プラズマエッチング用単結晶シリコン電極板 |
-
2002
- 2002-08-22 JP JP2002241962A patent/JP2004079959A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008251860A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Mitsubishi Materials Corp | プラズマエッチング用シリコン電極板 |
JP2009038050A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Mitsubishi Materials Corp | プラズマエッチング用単結晶シリコン電極板 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2005096361A1 (ja) | 耐久性に優れたプラズマエッチング用シリコン電極板 | |
JP4905855B2 (ja) | プラズマエッチング用フォーカスリングおよびシールドリング | |
JP4045592B2 (ja) | プラズマエッチング用シリコン電極板 | |
JP4535283B2 (ja) | 比抵抗値の面内バラツキが少ないプラズマエッチング用単結晶シリコン電極板 | |
JP2003051485A (ja) | プラズマエッチング用被覆シリコン電極板 | |
JP2004079959A (ja) | プラズマエッチング用シリコン電極板 | |
JPH11281307A (ja) | 電極板、電極板の製造方法およびその小径孔内壁表面粗さの測定方法 | |
JP4045591B2 (ja) | プラズマエッチング用電極板 | |
JP2007273707A (ja) | ウエハとほぼ同じ寸法のシリコン電極板を用いてウエハ表面を均一にプラズマエッチングする方法。 | |
JP4883368B2 (ja) | プラズマエッチング用単結晶シリコン電極板 | |
JP2008159773A (ja) | 比抵抗値の面内バラツキの小さい複合シリコン電極およびその製造方法 | |
JP4517364B2 (ja) | プラズマエッチング用シリコン電極板 | |
JP4150266B2 (ja) | プラズマ処理用シャワープレート及びその製造方法 | |
JPH09129605A (ja) | プラズマエッチング用単結晶シリコン製電極板 | |
JP4517363B2 (ja) | プラズマエッチング用シリコン電極板 | |
JPH10223613A (ja) | プラズマエッチング用シリコン電極板の貫通細孔形成方法 | |
JP2000306886A (ja) | プラズマエッチング電極 | |
JP4863082B2 (ja) | プラズマエッチング用シリコン電極板 | |
JP2006196491A (ja) | プラズマエッチング用電極板 | |
JP2004006581A (ja) | プラズマ処理用シャワープレート及びその製造方法 | |
JPH09289196A (ja) | プラズマエッチング電極 | |
KR20000035233A (ko) | 균일한 에칭면의 형성을 위한 플라즈마 에칭 장치의 전극판 | |
JP4117438B2 (ja) | パーティクル発生の少ないプラズマエッチング用シリコン電極板 | |
JP2004207533A (ja) | プラズマ処理用シリコンプレート | |
JPH0837179A (ja) | プラズマエッチング用電極板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050401 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070226 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070625 |